【課題】様々な欠陥を確実に検出し得る欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】光強度分布が全方向において周期的に徐々に変化している照明パターンにより、被検査体１２の被検査面２０を照明する照明部１８と、照明部の照明パターンにより被検査面を照明した状態で、被検査面を撮像する撮像部２２と、撮像部により取得された被検査面の画像に基づいて、被検査面における欠陥を検出する処理部３２とを有している。 （もっと読む）

【課題】本発明は、金属帯上の有害疵と、過検出とを弁別して検出することができる表面欠陥検出方法、および、該方法に使用される表面欠陥検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】走行する金属帯の表面欠陥を検出する表面欠陥検出方法において、疵候補領域の検出積算値、検出長さ、および検出幅を算出し、検出幅と検出積算値を検出長さで除して得られる密度幅（検出積算値／検出長さ）との比（検出幅／密度幅）を比較することにより、過検出と欠陥とを判定する。 （もっと読む）

【課題】微細な傷等を見逃すことなく被検査体の正確な外観検査を行うことができる外観検査装置を提供すること。
【解決手段】本発明では、被検査体(2,2')に透過光又は反射光を照射して被検査体(2,2')の表面の検査を行う外観検査装置(1,1')において、被検査体(2,2')に照射する透過光又は反射光の一部を遮蔽して被検査体(2,2')の表面に明部と暗部の境界領域を形成することにした。また、前記透過光又は反射光を被検査体(2,2')に対して相対的に移動させることにした。さらに、前記透過光又は反射光を被検査体(2,2')に対して相対的に移動させながら被検査体(2,2')の表面の画像(A₁〜A_n)を複数枚撮影し、複数枚の画像(A₁〜A_n)から前記境界領域の近傍の画像(抽出画像B₁〜B_n)を合成して１枚の検査画像(C)とすることにした。 （もっと読む）

【課題】内部空間形成体内側の観察対象部にレーザ光を結像させつつ、レーザ光の結像サイズを調節可能であるとともに、レーザ投光装置を狭隘な点検穴から内部空間形成体内へ挿入できるようにする。
【解決手段】内部空間形成体３内へレーザ光を投光するレーザ投光装置２０は、バリフォーカル光学系７を有する。バリフォーカル光学系７は、複数のレンズ体１１ａ，１１ｂ，１１ｃを有する。各レンズ体は、レンズ１２と、該レンズを保持するとともに光軸方向に移動可能な保持移動片１３ａ，１３ｂ，１３ｃと、を有する。アクチュエータ１９ａ，１９ｂ，１９ｃが、ぞれぞれ、光軸方向に保持移動片を駆動することにより、内部空間形成体３内側でのレーザ光の結像位置と結像サイズを調節する。各保持移動片において対応するアクチュエータから駆動力を受ける駆動力伝達部分１３ａ１，１３ｂ１，１３ｃ１は、周方向において互いにずれており、各アクチュエータは、光軸方向から見て、対応する駆動力伝達部分に重なる。 （もっと読む）

【課題】 孔内に挿入される導光棒に照明と受光とを行なわせて光学系を一つとし、構造を簡素化して部品数を低減するとともに、部品精度の要求を抑えて組立を簡単にして製造コストを低減した安価な孔内周面撮影装置を目的とするものである。
【解決手段】 光源光を拡散光として導光棒５の基端面に入射させる反射鏡７ｂを導光棒５の基方部周縁に設け、また、導光棒５が先端を受光と照明とを行なう円錐状面６とし、基端面を受光像投影面と光源入射面とされ、該導光棒５の基端面に入射された拡散光を全反射させて先端の円錐状面６に伝達して孔内周面を拡散光により照明するとともに、拡散光により照明された孔内周面からの反射像を前記円錐状面６により受光したうえ、導光棒５の基端面に全反射投影された受光像を撮影する撮影装置４が導光棒５の基端に設けられるものである。 （もっと読む）

【課題】被検物を高温に加熱することなく、被検物の放射率を測定する放射率測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】第１放射エネルギの赤外光を被検物に照射する赤外光照射工程と、前記赤外光を照射された前記被検物からの反射赤外光から第２放射エネルギを測定する測定工程と、前記第２放射エネルギと前記第２放射エネルギとに基づいて前記被検物の放射率を算出する算出工程と、を含む放射率測定方法である。 （もっと読む）

【課題】塗膜の将来の劣化状態を予測できる塗膜劣化予測方法、塗膜劣化予測装置及びコンピュータプログラムを提供すること。
【解決手段】塗膜劣化予測装置１の仮想劣化画像作成手段１１は、所定のパラメータ及び時間変数に対応する複数の仮想劣化画像を作成する。対象画像作成手段１２は、塗装面の撮影画像から対象画像を作成する。仮想プロファイル作成手段１３は、仮想劣化画像の統計量として劣化部の個数ｆ、面積率ａ、標準偏差ｓを算出し、ｆ−ａ−ｓ空間座標上に仮想プロファイルを示す。統計量算出手段１４は、対象画像から統計量を算出し、対象値特定手段１５は、対象画像に近い仮想プロファイルの統計量を特定し、特定した特定量に対応するパラメータ及び時間変数を特定する。劣化予測画像作成手段１６は、特定されたパラメータを劣化進行モデルに入力し、時間変数に特定された値よりも大きい値を入力して、劣化予測画像を作成する。 （もっと読む）

【課題】微小な電子部品であっても、その外形を示すエッジを正確に検出することができる基板の外観検査装置および外観検査方法を提供する。
【解決手段】照明パターン選択手段（照明パターン選択部４７）は、複数の方向からの照明光を同時に照射する照明パターン１と、照明パターン１よりも高い輝度で複数の方向からの照明光を別々に照射する照明パターン２と、から照明光照射手段（照明２０）による照明光の照射パターンを選択し、画像取得手段（カメラ１０）は、照明パターン２が選択された場合には、別々に照射された複数の方向別の照明光毎に画像を取得する。このようにして取得した画像には、電子部品の実装面に略平行な面（上面）および実装面に略垂直な面（側面）により形成されるエッジが、電子部品の側面からの拡散光によって電子部品の外形として表され、エッジ検出手段（エッジ検出部４８）はこれらの画像から電子部品の外形を示すエッジを検出する。 （もっと読む）

【課題】現場作業者、構造物管理者、材料専門家の三者をリアルタイムで同時に結びつけるコンクリート構造物の劣化診断用画像表示システムの提供。
【解決手段】劣化状況を表す画像情報等を共有でき、オンラインで、即時に材料専門家がコンクリートの変状を観察し、劣化状況を診断し、さらに、詳細検査の必要の有無と判断とその方策をたてるための画像を表示することが望まれる。また、劣化状況の詳細の判定とデータ取得には、三者で、音声をその場で相互に交換し、又は、その場で、双方向に連絡して、画像中の着目点位置と画像サイズを指定できるシステム（画像のスケール、縮尺が自動表示される機構も含む）を実現する。 （もっと読む）

【課題】 微小ワークを検査し易いように所定間隔に揃えながら高速搬送することが可能であるとともに、ワーク吸着ミスが生じ難い構成の外観検査装置を提供する。
【解決手段】 第１のインデクサ４がフィーダ３によって整列搬送されたワーク２０に背後上方から接近し当該ワークを追い越す際にエア吸着して掬い上げるようにして吸着固定して搬送して直接受け渡す構成とし、ワーク２０をいったん減速あるいは停止させる中継ガイド部材をなくして、ワーク搬送速度を落とさずに、その間隔を狭めることなくワーク２０を受渡しながら外観検査する。 （もっと読む）

【課題】本発明はカラーフィルタ基板の自動欠陥検査装置で、前記カラーフィルタ基板上の欠陥を平面の面積サイズ判定だけでなく、同時に高さ方向の欠陥判定を行うことで、極めて効率のよい欠陥検査が行える立体欠陥検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】カラーフィルタ基板の平面方向と高さ方向の欠陥を同時に検出する立体欠陥検査装置であって、前記カラーフィルタ基板を載置しＸＹ平面上を搬送させる搬送手段と、前記カラーフィルタ基板上をカメラと光源が同期かつ軸移動可能な撮像手段と、前記撮像手段により得られた撮像データに対して演算処理を行う画像処理手段と、前記画像処理手段で得られた立体欠陥データにより前記カラーフィルタ基板の合否判定を行う手段を具備することを特徴とする立体欠陥検査装置である。 （もっと読む）

【課題】反射防止フィルムの低コントラストの欠陥を容易に検出するために、反射防止フィルムに付着した薬液を拭取る薬液拭取り装置を提供する。
【解決手段】反射防止フィルムの欠陥を検査する場合にフィルムに付着させた薬液を検査後に拭取る装置であって、土台に設けられ昇降が可能な支柱と、拭取りヘッドベースと拭取りヘッド中間部材と拭取り部材を順に重ねた構造を有し、前記支柱に支えられた拭取りヘッドと、を備え、前記拭取りヘッドを薬液が付着したフィルム面に接触させて薬液を拭取ることを特徴とする薬液拭取り装置。 （もっと読む）

【課題】地中電力線検査のための検査システム及び方法を提供する。
【解決手段】地中ユーティリティ埋設室の検査システム及び方法は、地中ユーティリティ埋設室内に設置された所定のレールウェイ１２と、検査職員に検査結果を提供するように前記レールウェイを移動するように構成された検査車両１１と、を備える。前記検査車両は、地中電力線及び設備を検査し、検査結果を記録し、及び、前記検査職員に前記検査結果を伝送するための検査ツールを含む。 （もっと読む）

【課題】被検査面の表面性状の影響を軽減して目的とする疵をより精度良く検出可能とする。
【解決手段】被検査面を撮影したカメラ２の撮像画像に基づき上記被検査面に存在する表面欠陥を検出する。上記撮像画像の少なくとも疵検出領域でハレーションが発生するように、上記撮影する被検査面に対し照射装置１から光を照射することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被検査体を搬送しながら表裏を円滑に反転させることができる外観検査機を提供すること。
【解決手段】本発明では、被検査体を搬送するとともに搬送途中で被検査体の表裏を反転させて被検査体の表裏の外観を検査する外観検査機において、被検査体をターンテーブルで搬送しながら表面側の外観を検査する表面側検査装置と、表面側検査装置から受取った被検査体を表裏反転させる表裏反転装置と、表裏反転装置から受取った被検査体をターンテーブルで搬送しながら裏面側の外観を検査する裏面側検査装置とを有し、表裏反転装置は、表面側検査装置のターンテーブルの外側下方に傾斜面を有するターンテーブルを配置し、表面側検査装置のターンテーブルの外周端縁から落下した被検査体を前記傾斜面で表裏反転させて受取り、裏面側検査装置のターンテーブルに搬送するように構成することにした。 （もっと読む）

【課題】同一仕様で形成され同一方法で保持された複数の平面基板上の、同一箇所に形成された同一パターンの形状を確実に順次検査するための簡単な方法を提供すること。
【解決手段】１枚目の検査対象基板に対して、検査のためのカメラと検査対象となるパターンとの撮像距離を順次変化させて各撮像距離で撮像して合計で複数の画像情報を入力し、入力した複数の画像情報を予め登録してある登録画像情報と比較して、登録画像情報に最も類似した一画像の情報を複数の画像情報の中から選択して、検査判定するとともに、選択した画像情報に対応する撮像距離をカメラ最適高さとして特定し、２枚目以降の平面基板上の同一箇所に形成された同一パターンの形状検査において、カメラ最適高さとした撮像距離で検査することを特徴とするパターン検査方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は、光学ガラスの洗浄時に生じるダメージを定量的に評価し、硝材に対して好適な洗浄条件の調査に有用な光学ガラスの潜傷評価方法及び潜傷評価装置を提供する。
【解決手段】評価対象の光学ガラスの表面に潜傷を付与する潜傷付与手段２と、潜傷付与手段２により付与された潜傷の形状を測定する第１の形状測定手段３と、第１の形状測定手段３により潜傷の形状を測定された光学ガラスの表面に洗浄液を接触させ、潜傷を拡大させる洗浄手段４と、洗浄手段４による洗浄後に、潜傷の形状を測定する第２の形状測定手段５と、第１の形状測定手段３及び第２の形状測定手段５で得られた結果から光学ガラスの洗浄前後の潜傷の状態を対比する対比手段６と、を有する光学ガラスの潜傷評価装置１。 （もっと読む）

【課題】粉体への異物混入を効果的に検出する。
【解決手段】保持機構１２は、粉体を収容したボトル１４を垂直方向に立てた状態で、側方から保持する。この保持機構１２を水平方向に回動させ、前記ボトル１４を寝かせた状態とし、この寝かされたボトル１４を支持台３４で下方から支持する。振動装置３２により、支持台３４を介しボトルを振動させ、ボトル内の粉体を一方向に移動させる。そして、支持台３４上に寝かされたボトル１４内で移動する粉体の前方部分を撮影し、撮影したボトルの画像に基づいて、前記振動によって、粉体より大きく移動した異物を検出する。 （もっと読む）

【課題】反射防止フィルムの欠陥を高精度で、且つ、非破壊で行うことで生産性の向上が可能となる外観欠陥検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】透明フィルム基材の片面に反射防止層を設けてなる反射防止フィルムの表面を照射する表面照射手段と、表面反射光を撮像する撮像手段と、撮像された画像を画像処理して欠陥を検出する手段を有する自動欠陥検査ユニットと、顕微鏡検査ユニットと，目視欠陥検査ユニットと、を具備することを特徴とする反射防止フィルムの外観欠陥検査装置およびそれを用いた検査方法である。 （もっと読む）

【課題】検査装置の透過光量分布のデータを用いて転写用マスクの内部欠陥等を検出する。
【解決手段】Ｄｉｅ−ｔｏ−Ｄｉｅ比較検査法を適用し、薄膜の第１領域に対して検査光を照射して第１の透過光量分布を取得し、第２領域に対しても、検査光を照射して第２の透過光量分布を取得し、第１の透過光量分布と第２の透過光量分布との比較から算出される差分光量値が第１しきい値以上であり、かつ第２しきい値未満である座標をプロットした所定範囲差分分布を生成し、所定範囲差分分布でプロットの密度が高い領域が検出されない転写用マスクを選定する。 （もっと読む）