【課題】ヒストグラムを目視で確認しつつ、検査対象物の良否を判定する基準である判定閾値を容易に設定することができる画像処理装置及び該画像処理装置で用いる判定閾値設定方法を提供する。
【解決手段】撮像部で撮像された検査対象物の画像と、事前に記憶してある検査対象物と比較する基準となるマスタ画像との一致度を算出する。複数の検査対象物について算出した一致度の度数分布を示すヒストグラムを表示し、撮像部で撮像された検査対象物について算出した一致度を、表示されたヒストグラムに対応付けて表示する。ヒストグラムと一致度とが同じ画面上に表示された状態で、検査対象物の良否判定に用いる閾値を設定する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の表面の彩度、色相等をより正確に再現することができ、欠陥検出精度の低下を防止することができる画像処理装置、該画像処理装置で実行する画像処理方法及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】検査対象物を撮像する撮像素子を有する撮像部と、該撮像部で取得した画像データに対して画像処理を実行する画像処理部とを備える。撮像部は、撮像素子で撮像されたカラー画像を、ダイナミックレンジを広げる変換特性に基づいてＨＤＲ画像に変換して出力する。画像処理部は、撮像部から出力されたＨＤＲ画像の画素ごとの色成分値を変換特性に基づいて逆変換し、逆変換された色成分値から、画素ごとに明度及び色成分値の比を算出し、算出した明度を変換特性に基づいて変換し、変換された明度と算出した色成分値の比とに基づいて、補正後ＨＤＲ画像を生成する。 （もっと読む）

【課題】露光時の走査方向の違いによって生じるスキャン精度の差異を求めることが可能
な表面検査装置を提供する。
【解決手段】露光によって作製されたパターンを有するウェハを照明光で照明する照明系
２０と、パターンで反射した照明光を検出する受光系３０および撮像装置３５と、撮像装
置３５により撮像されたウェハの回折画像からパターンの線幅を求め、走査方向によるパ
ターンの線幅の差を求める検査部４２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】全て自動的に周期性パターンの欠陥検査方法および欠陥検査装置を提供すること。
【解決手段】取得した画像データについて濃度比較差分処理と２値化処理を行い、２値化処理工程で得た２値化画像から欠陥のサイズと位置情報を決定することで欠陥点の抽出を行う欠陥抽出処理をこの順に全ての画素について実施する事によって抽出された欠陥について、特定の方向の任意のピッチだけ離れた複数の画素の画像との輝度値を比較し、予め決めた判定基準に従って欠陥の種類である欠陥モードを選別する欠陥選別工程と、前記欠陥選別工程で選別された欠陥ごとに、輝度値の差分をクラス分けする欠陥種別クラス分け工程と、前記欠陥モード別クラス分け工程で得られた全ての欠陥についての判定結果を、予め設定した良否判定基準に従って、良否判定を行う良否判定工程と、から構成されていることを特徴とする周期性パターンの欠陥検査方法および欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】印刷物の欠陥有無の判定を正しく行うことができる検査装置、印刷システムおよび印刷物の検査方法を提供する。
【解決手段】検査装置２００は、複数の印刷物に対応する複数の元画像を画像ＩＤと関連付けて格納する格納部２５０と、印刷物の画像形成に用いた元画像の画像ＩＤを含む排紙画像情報を取得する取得部２６０と、画像形成装置１００から排出された検査対象の印刷物の画像を読み取る読取部２２０と、格納部２５０に格納された複数の元画像のうち、検査対象の印刷物に対応する排紙画像情報に含まれる画像ＩＤに関連付けられた元画像と、読取部２２０が読み取った読取画像とを比較して、検査対象の印刷物の欠陥有無を判定する判定部２４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】物体の表面を撮像して生成される画像に基づいてその表面の荒れ具合を判定する表面検査装置を提供すること。
【解決手段】匣鉢２０の内側底面２０Ｂを検査する表面検査装置１００は、内側底面２０Ｂを撮像して処理対象画像を生成する処理対象画像生成部１０と、処理対象画像の濃度ヒストグラムを生成する濃度ヒストグラム生成部１１と、濃度ヒストグラム生成部１１が生成する濃度ヒストグラムに基づいて内側底面２０Ｂの荒れ具合を判定する荒れ具合判定部１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の部分画像データを検査に用いる場合であっても、検査対象物の特徴部分まで視認することができる画像処理装置、該画像処理装置で実行する画像処理方法及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】検査対象物を撮像する撮像部と、該撮像部で撮像して取得した画像データに対して圧縮処理を実行して圧縮画像データを生成する圧縮処理部と、検査のための画像処理を実行する画像処理部とを備える。画像処理部は、取得した画像データの一部である部分画像データを生成し、画像処理に用いる画像データとして、圧縮画像データ又は部分画像データのいずれかの選択を受け付ける。画像処理部は、選択を受け付けた圧縮画像データ又は部分画像データを用いて、検査のための画像処理を実行する。 （もっと読む）

【課題】検査に必要な画像データを、撮影条件を変更しながら複数回撮影することにより、適正な画像データを用いた高精度な検査装置を得る。
【解決手段】撮影条件の異なる複数の画像を撮影する撮像手段２と、撮像手段２の撮影画像を複数の領域に分割して符号化する符号化手段３と、符号化手段３の符号化データを複数画像分だけ格納する記憶手段４と、記憶手段４に格納された符号化データを送信する送信手段５と、送信手段５からの符号化データを復号する復号手段９と、復号手段９により復号された画像から被写体の検査を行う検査手段１０と、検査手段１０からの検査命令および送信命令に応答して記憶手段４内の符号化データを検査手段１０へ送信する制御手段６とを備える。検査手段１０は、記憶手段４に格納された符号化データのうち、複数の画像データの中から任意の領域を指定して送信させる。 （もっと読む）

【課題】背景が含まれる場合であっても、背景の明るさの影響を低減して検査対象物表面の明るさを自動的に調整することができる画像処理装置、該画像処理装置で実行する画像処理方法及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】検査対象物を含む撮像領域を撮像する撮像部と、撮像領域を前記撮像部で撮像した画像に対して画像処理を実行する画像処理部とを備える。画像処理部は、撮像部から出力された画像の撮像領域内に設けられ、各々が複数の画素を含む複数の小領域ごとに、検査対象物が存在する可能性を示す特徴量を算出する。算出した特徴量に基づいて、少なくとも検査対象物を含む画像の明るさの評価値を算出し、算出した評価値に基づいて、画像の明るさを調整するための調整信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】基板の欠陥部の候補を適切に絞り込むことができ、さらに検査時間の短縮でき、且つ検査回数を低減できる検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】検査装置１００は、基板７上の複数の配線６と電気的に接触する複数のプローブ５と、正極及び負極を有し配線６間の電気特性値を測定する電気特性測定器１と、温度または赤外線により基板７の欠陥部を検出する赤外線カメラ８と、電気特性測定結果に基づき配線６間に係る電気特性の良否を判別して欠陥部の候補を絞り込み、絞り込んだ欠陥部の候補を含むプローブ群に関する赤外線カメラ８の検出結果に基づき欠陥部を特定する制御部３とを備えた。制御部３は、複数のプローブ５を２つのプローブ群に分割し、分割後のプローブ群間における電気特性測定を行い、分割されたプローブ群間に欠陥があると判定された場合には、分割されたプローブ群間については接続及び電気特性測定を行わない。 （もっと読む）

【課題】半導体装置からのエミッションの検出を加熱しながら行う半導体装置の検査装置を提供する。
【解決手段】検査装置１は、半導体チップ２を載置する観察ステージ１６を、半導体チップ２の基板材料と同じＳｉで製造し、半導体チップ２の裏面側に撮像素子３５を配置した。半導体チップ２で発生した微弱な光は、半導体チップ２、観察ステージ１６を透過して撮像素子３５に入射する。観察ステージ１６は、Ｓｉから製造されているので、ヒータ２５によって簡単に加熱できる。また、観察ステージ１６の上方には、プローブカード１９及びＬＳＩテスタ２０が配置されており、半導体チップ２の回路のテストが可能である。 （もっと読む）

【課題】 撮像カメラの処理能力に制約を受けることなく、検査時間を短縮することができる自動外観検査装置を提供する。
【解決手段】 テーブル部、走査ステージ部、ストロボ照明部、鏡筒部、撮像部並びに、予め登録しておいた検査条件に基づいて、撮像された検査対象物の画像の良否判断をする検査部とを備え、
走査ステージ部には、テーブルの現在位置を計測する位置計測手段が備えられており、
鏡筒部には、観察光を一部透過させると共に、角度を変えて一部反射させる、
光分岐手段が備えられており、
鏡筒部には、光分岐手段で分岐された光を各々撮像することができるように、撮像部が複数取り付けられており、
制御部は、ストロボ発光させる毎に、撮像に用いる撮像部を逐次変えて撮像を行う機能を備えていることを特徴とする、自動外観検査装置。 （もっと読む）

【課題】半導体基板の欠陥検査において、高精度かつ効率的に、可視光透過性を有する半導体基板の表裏面への焦点位置合せを行うこと。
【解決手段】
半導体基板の欠陥検査装置は、焦点位置合わせマークが表面に形成された可動ステージと、可視光を可動ステージに向けて照射する光源と、可動ステージに対向して設けられた対物レンズと、対物レンズが結像した画像を電気信号に変換する光電変換素子と、焦点位置合わせマークの可動ステージ上の位置および被検査物となる半導体基板の厚さが登録され、可動ステージと対物レンズの位置関係を制御する制御装置を備えている。制御装置は、登録された焦点位置合わせマークを基準にして半導体基板の裏面側の焦点位置合わせを行い、登録された半導体基板の厚さを基準にして半導体基板の表面側の焦点位置合わせを行う。 （もっと読む）

【課題】光透過率の低い容器に液体を充填した場合であっても、容器内の液面又は液面付近の全周の浮遊異物を少ない個数のカメラで検出することができる液面浮遊異物検出方法及び装置を提供する。
【解決手段】容器１内に充填された液体の液面Ｌｅ又は液面Ｌｅ付近に浮遊した異物を検出する検査方法において、容器１の下方に配置された照明２によって容器１内を容器底面１ａ側から照明することにより容器１内の液面を照明し、容器１内の液面Ｌｅの位置を囲むように容器１の外周側に配置されたコーンミラー４の逆円錐面状のミラー面４ｍにより、容器１内の液面Ｌｅからの光を上方に反射させ、コーンミラー４のミラー面４ｍで反射した反射光を容器１の上方に配置されたカメラ３により撮像する。 （もっと読む）

【課題】検査対象の穴径が数百ミクロン以下であっても穴の内部を簡便に、短時間で検査することが可能な穴の内部検査装置を提供する。
【解決手段】穴の内部検査装置１００は、カメラ１０と、カメラ１０に対向して設けられた光源２０と、カメラ１０が取得した画像を処理する制御部３０と、を備え、カメラ１０は、カメラ１０と光源２０との間に置かれた被検査物２に貫通して形成された穴１の内部を、光源２０から照射される光によって得られる画像によって穴１の一方の端から他方の端までを所定の間隔で走査することで複数の走査画像Ｉｓを取得し、制御部３０は、複数の走査画像Ｉｓに分布する輝度に基づいて被検査画像を選択し、被検査画像に対して画像処理を行うことで所望の検査を行う。 （もっと読む）

【課題】飲料液の異物検査に用いられる照明の明るさの調整を、検査対象のボトル、飲料の種別および色濃度に応じて適切に、かつ、効率よく行えるようにする。
【解決手段】飲料液異物検査装置１０には、カメラ４０が複数個設けられ、その複数のカメラ４０は、被検査ボトル７１の互いに異なる部分を撮像する。照明４１は、複数のカメラ４０のそれぞれに対応するように１つずつ設けられている。制御装置５０は、複数のカメラ４０のそれぞれの受光面での照度計測値を、カメラ４０がそれぞれ撮像した被検査ボトル７１の陰影像を用いて計算し、その計算した照度計測値が既定の照度範囲に含まれるように、照明４１のそれぞれの明るさを個別に調整する。 （もっと読む）

【課題】撮像装置とキャリブレーションマークとの位置関係に係わらず、撮像装置をキャリブレーションするに十分な、キャリブレーションマークの撮像画像を取得する。
【解決手段】単一のキャリブレーションマークを複数回撮像することによって、複数の基準マークが配置されたキャリブレーションを撮像したときと同様の画像マークを取得し、この画像マークに基づいて撮像装置について中心位置、取り付け角度、分解能等のキャリブレーションを行う。単一のキャリブレーションマークを異なる撮像位置で複数回撮像して画像マークを取得する撮像工程と、複数回の撮像で取得したキャリブレーションマークの各画像マークを用いて、複数個の画像マークを有した撮像画像を形成する撮像画像形成工程と、撮像画像の画像マークの位置と撮像画像上の基準位置とに基づいて、撮像装置のキャリブレーション情報を算出するキャリブレーション情報算出工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】 汚れに強く、段取りやメンテナンスを容易化すると共に、コスト低減を図ることができる円筒形状物の外観検査装置を提供する。
【解決手段】 この外観検査装置は、円筒形状物である被検査物の外観を検査するものである。外観検査装置は、回転自在に設置され回転中心軸Ｌ１と同心に配置した軸受１の端面を接触させる端面治具５と、端面治具５の軸受１を接触させる側面に回転中心軸Ｌ１と同心に設けられた円錐面状の照明反射部６と、外輪３を回転させる駆動装置１８と、外輪押えローラー１９と、内輪押えローラー２０と、照明反射部６に照射する照明装置８と、この照明装置８で照射され照明反射部６および内輪２の内周面２ａで順次反射された反射光により内輪２の内周面２ａを撮像する撮像装置１１とを備えた。 （もっと読む）

【課題】飲料液中の異物の高精度な検出が可能で、かつ、多品種少量生産に好適なコンパクトな飲料液異物検査装置を提供する。
【解決手段】飲料液異物検査装置１０は、被検査ボトル７１を回転台座２５に載置して回転させる被検査ボトル回転機構部２０、回転台座２５に載置された被検査ボトル７１を傾斜させる被検査ボトル傾斜機構部３０、被検査ボトル７１に照明する照明４１、被検査ボトル７１の飲料液中を透過した照明光の陰影像を撮像する撮像装置４０と、制御装置５０などを備える。制御装置５０は、被検査ボトル傾斜機構部３０により被検査ボトル７１を傾斜させたとき、飲料液中に浮遊する重い異物の陰影像を撮像装置４０で取得し、被検査ボトル回転機構部２０により被検査ボトル７１を回転させ、停止させたとき、飲料液中に浮遊する軽い異物の陰影像を撮像装置４０で取得し、これら異物の陰影像および軽い異物の陰影像に基づき飲料液中の異物を検出する。 （もっと読む）

【課題】少ない光源による照明装置を用いて、構造物の表面の欠陥に発生する陰影を確実に認知できるようにする。
【解決手段】
複数の光源121-124から、各光源による光線の主要な照明領域が重複しないよう撮影領域を照射して撮影し、補正データ取得手段103が、欠陥のない撮影領域の撮影結果から、明度のムラを補正する補正データを取得し、欠陥を調査すべき撮影領域の撮影結果を、補正データを用いて補正し、撮影結果の明度のムラを平準化し、撮影結果に含まれる欠陥の影が、明度のムラにまぎれることなく、はっきり認識できるようにする。 （もっと読む）