【課題】透過率が高い導電性透明電極パターンや微細な金属配線のパターンを、インライン検査で行うための検査システムを提供する。
【解決手段】検査ワーク１１を第１の方向Ｘに搬送するワーク搬送装置２０と、検査ワーク上に形成されたパターンの光学情報を取得する撮像装置３０と、第１の方向と直交する第２の方向Ｙに撮像装置を移動させる移動装置４０と、ワーク搬送装置、撮像装置及び移動装置を制御するとともに、光学情報に基づいてパターンを検査する制御部５０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】車両用部品の表面検査において、検査時間の短縮と検査精度の向上を図る。
【解決手段】車両用部品２０の表面に設定される第１領域を１つの画素で検出する第１画像取得手段によって取得する第１画像取得工程と、取得した第１画像の第１領域の欠陥強度が所定の閾値以上の場合に第１領域を各欠陥検出領域３５１と設定する欠陥領域設定工程と、第２領域４１−４９を１の画素で検出する第２画像検出手段によって欠陥検出領域３５１と欠陥検出領域３５１の周辺を含む欠陥判定領域４０の複数の第２領域４１−４９の画像を取得する第２画像取得工程と、各第２領域の欠陥強度が所定の閾値以上と判定された各第２領域４１−４９の欠陥強度の平均値を計算し、平均値が欠陥強度の所定の閾値以上である場合、その車両用部品は欠陥品であると判断する欠陥品判断工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】高精度に半田付け部の良否を判断すること。
【解決手段】第１部材から相互に隣接して延びる複数のリード１２が第２部材に夫々半田付けされた、半田付け部１２ａを検査する半田検査方法は、各リード１２を交互に異なる色で着色するステップと、各リード１２に対して、着色された色と関連する各色の光で夫々照射するステップと、各光が照射された各リード１２の半田付け部１２ａを夫々撮影するステップと、撮影された各リード１２の半田付け部１２ａの撮影画像に基づいて、半田付け部１２ａの良否判断を行うステップと、を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】プリント配線板に反りが生じた場合にも、検査ポイントを不良箇所に合わせて表示する。
【解決手段】電子部品が実装された配線基板５の外側縁５ａを支持する支持部６と、検査対象となる電子部品を撮像する撮像装置７と、配線基板５の法線方向に拡散し、検査対象となる電子部品について設定された要検査部位を通過する扇状の第１の光線を斜め上方から照射する第１の照射装置８ａと、配線基板５の法線方向に拡散し、電子部品の要検査部位を通過する扇状の第２の光線を斜め上方から照射する第２の照射装置８ｂとを備え、第１の光線と第２の光線とが交叉することにより、配線基板５の検査ポイントＰを示す。 （もっと読む）

【課題】成形素材の検査方法及び光学素子の製造方法において、光学素子の製造不良の発生を抑える。
【解決手段】成形素材の検査方法は、光学素子の材料である成形素材１について上記光学素子の光学機能面へと変形する領域である対応領域１ａ，１ｂを確認する対応領域確認工程と、成形素材１を対応領域１ａ，１ｂ以外の部分である保持領域において保持する保持工程と、保持された成形素材１の少なくとも対応領域１ａ，１ｂを検査する検査工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】鏡面反射が酷い計測対象物であっても、簡単な構造により低コストで高精度かつ高速に表面の凹みや大きな疵などの三次元的欠陥を検査することが可能な三次元表面検査装置の提供。
【解決手段】計測対象物Ｘを撮影するカメラ装置３と、曲面状に配設されて計測対象物を覆うフィルタ膜と、フィルタ膜の曲面状に沿って周期的な強度分布を持つ曲面状強度分布のパターン光を投影し、フィルタ膜を介して計測対象物に投影する曲面パターン光投影手段５と、カメラ装置３により撮影された画像に対し、曲面状強度分布を直線状強度分布に変換するデコード処理を行うことで、計測対象物の表面の三次元的欠陥を検出する欠陥検出手段１３とを含む。 （もっと読む）

【課題】生産性の高い検査装置、及び搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明の一態様にかかる検査装置は、前段搬送ベルト２１と後段搬送ベルト２３との間において、基板１０を支持して、照明する照明ステージ２２と、基板１０を持ち上げる移載部３１を有し、前段搬送ベルト２１から照明ステージ２２に受け渡すともに、照明ステージ２２から後段搬送ベルト２３に基板１０を受け渡すための動作を行うクランク機構３２と、移載部３１に設けられ、移載部３１で持ち上げられた基板１０に向けて下側から照明光を照射する照明部３１ａと、一の基板１０が照明ステージ２２を介して前段搬送ベルト２１から後段搬送ベルト２３に移載されるまでの間に、照明ステージ２２及び照明部３１ａで照明された一の基板１０を撮像する撮像部３５と、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、基板検査システム及び基板検査方法に関する。
【解決手段】本発明の一実施例による基板検査システムは、基板が配置される第１検査テーブルと、前記第１検査テーブルに配置された基板が再配置される第２検査テーブルと、前記第１検査テーブルに配置された前記基板を撮像する第１撮像手段と、前記第２検査テーブルに再配置された前記基板で、不良が疑われる位置に該当する領域を撮像する第２撮像手段と、前記第１撮像手段により撮像した前記基板映像から不良が疑われる位置を検出し、検出された不良が疑われる位置に対する座標データを演算して前記第２撮像手段に伝送する制御部と、を含む。 （もっと読む）

【課題】スペックルパターンの明暗模様の時間変化の測定に基づくひび割れの検出方法において、その検出感度を向上する。
【解決手段】検査対象物Ｍの表面で反射されて位相変調された信号光２と、この検査対象物Ｍの表面で位相変調されていない参照光３との干渉によってフォトリフラクティブ結晶４中に生じたダイナミックホログラムで参照光３を回折し、この回折した参照光３を複数の検出チャンネル５を備えたマルチチャンネル検出器６で受光する。複数の検出チャンネル５のうち受光強度が最も高い受光強度を検出した検出チャンネル５から、予め決めた順番に相当する受光強度を検出した検出チャンネル５をディスクリミネータ７で弁別し、この弁別された検出チャンネル５の受光強度をマルチプレクサ８で積分してノイズを除去する。このノイズ除去によって位相変調を明確にとらえることができ、深いひび割れを高感度に検出できる。 （もっと読む）

【課題】吸収性物品に係る肌側シートの開口部を検査する検査装置等を提供する。
【解決手段】検査装置よりも上流側に配置された開口部形成装置１０によって、開口部２ｈは形成される。検査装置は、肌側シート２ａが吸収体３に重ね合わせられるよりも前に、前記肌側シート２ａの片面のうちで前記開口部２ｈが形成された領域を撮像して前記領域の平面画像のデータを平面画像データとして生成する撮像処理部３２と、前記平面画像データに基づいて二値化画像を生成する際に、前記二値化画像において二値のうちの一方の値によって特定される画像に、前記平面画像のうちで前記開口部２ｈが撮像されている領域が含まれるように二値化処理を行う二値化処理部３６と、前記二値化画像に基づいて前記開口部２ｈの異常の有無の判定を行う異常判定処理部３６と、を有する。 （もっと読む）

【課題】反射防止フィルム製造工程の各層を形成する工程で、前工程の欠陥情報を利用して最新工程により検出した欠陥を選別し、最新工程における発生欠陥の監視精度の向上を行い、品質異常の検知速度を向上させ、早期に不良の発生を知ることが可能な品質監視システムを提供する。
【解決手段】製造工程内の各工程に備えられた検査機と、検査機から得られた検査情報を格納し管理する検査情報管理データベースと、製品ロールの各工程における品質情報や実績情報を管理する生産情報管理データベースと、検査情報管理データベースと生産情報管理データベースに基づいて、最新工程と前工程での欠陥検出位置の座標を補正することによって最新工程で発生した欠陥を選別する欠陥選別手段と、欠陥選別手段によって選別された欠陥を異常判定条件に基づいて異常と判断し、異常を通知する欠陥監視手段と、を備えたことを特徴とする品質監視システム。 （もっと読む）

【課題】検査対象物が大きくなっても、同じ撮像条件で得られた画像情報に基づいて膜厚むらの検査ができ、微妙な膜厚むらに対しても精度の高い検査ができる装置を提供する。
【解決手段】表面に皮膜が形成された検査対象物１０の、皮膜形成面の少なくとも一部を撮像し、得られた画像情報に基づいて検査対象物上の皮膜の膜厚むらを検査する膜厚むら検査装置であって、検査対象物又は撮像部４の少なくとも一方を移動させる移動部２と、移動中に撮像部で撮像された所定範囲の画像を移動位置毎に移動位置情報を付加して登録する画像登録部と、移動位置情報が付加された所定範囲の画像を移動位置の順に並べ全体画像として合成する画像合成部と、合成された全体画像の画像情報に基づいて検査対象物の色むらを検出する色むら検出部とを具備し、撮像部で撮像された画像の所定範囲は、撮像部に対して同じ角度で観察された範囲であることを特徴とする膜厚むら検査装置。 （もっと読む）

【課題】 従来は、保守員の点検作業後、次回の点検予定日以前でも異常を検出した時点で発報する。
【解決手段】 この発明に係るブレーキ診断装置は、エレベータ巻上機の電磁ブレーキのプランジャーの上部および励磁コイルカバーの上部に設けられ、励磁コイルの励磁制御によるプランジャーの上下運動のストロークを回転運動の回転量に変換する運動変換手段と、運動変換手段に変換された回転運動の回転量を検出し、検出した回転量に基づいて、エレベータ巻上機の電磁ブレーキの状態を診断する診断手段と、診断手段がエレベータ巻上機の電磁ブレーキの状態に異常があることを診断したとき、所定の連絡先に保守点検の要請を発報する発報手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】細穴であっても、穴壁面の付着物を容易に除去することが可能な穴検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】先端に広角レンズ１５を備えた挿入シャフト１１を穴へ挿入させて、広角レンズ１５を通じた画像に基づいて穴壁面を検査する際、挿入シャフト１１の外周面に沿って穴の奥に向ってガス噴出機構１９によりガスを噴出させる。ガス噴出機構１９は、挿入シャフト１１の先端側の部分を囲繞し、その内周面と挿入シャフト１１の外周面との間に挿入シャフト１１の長手方向に延びるガス噴出路Ｒを形成するガイド１３と、ガイド１３の内部空間にガスを供給するガス供給部１４とから構成される。 （もっと読む）

【課題】金属缶の天板部材に注出口として加締装着した口金について、加締装着を終えた段階で加締不良を迅速かつ確実に検出する手段を提供する。
【解決手段】天板部材１１の口金２装着部分の全体に無影光を照射して稜線及び谷の輝度が同心円状に分布するように撮像し、画像処理装置４により、撮像した画像から、環状加締部３の稜線Ｒ１，Ｒ２を切り出し、稜線Ｒ１，Ｒ２に対応する近似真円Ｃ１，Ｃ２を演算して作定し、近似真円Ｃ１，Ｃ２と切り出し稜線Ｒ１，Ｒ２とに囲まれた領域Ｚ１，Ｚ２の面積を算出し、算出面積と設定した判定基準面積とを比較演算し、算出面積が判定基準面積以上である場合を加締不良と判定する。 （もっと読む）

【課題】より小型または簡単な構成で、より精度よく、半導体ウェハの表面に存在するソーマークの検出又は大きさの測定を行うことが可能な技術を提供する。
【解決手段】半導体ウェハＷの表面に対して斜め方向から、入射面において平行光である光を照射し、ラインセンサカメラ３、４で半導体ウェハＷの表面におけるライン状の領域３ａを撮影する。このことで、半導体ウェハＷの表面からの照射光の反射光または散乱光を検出し、この強度に基づいて、半導体ウェハＷの表面における線状の凹凸を検出し、またはその大きさを測定する。光源装置１、２によって、ラインセンサカメラ３、４によって撮影されるライン状の領域３ａのラインに平行な方向から光を照射し、線状の凹凸の方向がラインの方向に直交するように配置された状態で、半導体ウェハＷの線状の凹凸を検出し、またはその大きさを測定する。 （もっと読む）

【課題】 ウェハを検査する際の下地の影響を低減させた検査装置を提供する。
【解決手段】 検査装置１は、複数種の波長を有する照明光でウェハを照明する照明部３０と、照明光により照明されたウェハを撮影する撮影部４０と、複数種の波長毎に所定の重み付けを行って撮影部４０により撮影されたウェハの検査用撮影像を生成するとともに、生成した検査用撮影像に基づいてウェハにおける欠陥の有無を判定する画像処理部２７とを備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】スカッフィングを精度よく検出できるとともに、スカッフィングの大きさを定量的に評価できるエンジンボア表面傷の評価方法を提供する。
【解決手段】解析画像データ４１を取得して、第一周波数スペクトル４２を求める工程Ｓ１０・Ｓ２０と、フィルタリングした第一周波数スペクトル４２を復元し、二次元凹凸データ４５を生成するステップＳ３０〜Ｓ５０と、二次元凹凸データ４５から第二周波数スペクトル４６を求めるとともに、スカッフィングＷ３を検出するステップＳ６０・Ｓ７０と、二次元凹凸データ４５から第三周波数スペクトル４７を求めるとともに、フィルタリングした第二周波数スペクトル４６を復元するステップＳ８０〜Ｓ１１０と、復元した二次元凹凸データ４９よりスカッフィングＷ３を評価するステップＳ１２０〜Ｓ１５０とを行う。 （もっと読む）

【課題】トンネルなどの構造物に経時的に発生する亀裂を簡単かつ迅速に検査することができる構造物の劣化検査方法等を提供する。
【解決手段】構造物を構成する基体１の上に、紫外線又は青色系可視光などの励起光によって発光する蛍光色素が混入され且つ高弾性の第１塗布層２の上に、励起光の透過を阻止する遮蔽材が混入され且つ低弾性の第２塗布層３を形成する。基体１に亀裂１１が発生したときには、第２塗布層３には亀裂３１が発生するが、第１塗布層２は単に延びるだけであるので、励起光は亀裂３１を通って第１塗布層２に到達する。よって、亀裂３１の下側の第２塗布層２が青白色に発光するので、亀裂１１の発生を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】管体に挿し込んだ筒体の抜け止めを作業効率を損なうことなく、簡便な構成で行うこと。
【解決手段】筒体２に固定される鍔部材１０と、筒体止水部５に固定される係止部材１１で抜け止め機構１を構成する。鍔部材１０は、二つに分割した分割リング１２、１２を締め付けボルト１３で締め付けることによって前記固定がなされる。また、係止部材１１は、筒体止水部５に固定するベース部１７と、このベース部１７に対して開閉自在に設けられたアーム部１４と、このアーム部１４を閉じた状態でロックする固定具１８とから構成される。筒体２の挿し込みの際にはアーム部１４を開いた状態とし、この挿し込みが完了したらこのアーム部１４を閉じる。このようにすれば、鍔部材１０と、係止部材１１のアーム部１４とが当接して、筒体２の抜け止めを図ることができる。 （もっと読む）