【課題】スカッフィングを精度よく検出できるとともに、スカッフィングの大きさを定量的に評価できるエンジンボア表面傷の評価方法を提供する。
【解決手段】解析画像データ４１を取得して、第一周波数スペクトル４２を求める工程Ｓ１０・Ｓ２０と、フィルタリングした第一周波数スペクトル４２を復元し、二次元凹凸データ４５を生成するステップＳ３０〜Ｓ５０と、二次元凹凸データ４５から第二周波数スペクトル４６を求めるとともに、スカッフィングＷ３を検出するステップＳ６０・Ｓ７０と、二次元凹凸データ４５から第三周波数スペクトル４７を求めるとともに、フィルタリングした第二周波数スペクトル４６を復元するステップＳ８０〜Ｓ１１０と、復元した二次元凹凸データ４９よりスカッフィングＷ３を評価するステップＳ１２０〜Ｓ１５０とを行う。 （もっと読む）

【課題】トンネルなどの構造物に経時的に発生する亀裂を簡単かつ迅速に検査することができる構造物の劣化検査方法等を提供する。
【解決手段】構造物を構成する基体１の上に、紫外線又は青色系可視光などの励起光によって発光する蛍光色素が混入され且つ高弾性の第１塗布層２の上に、励起光の透過を阻止する遮蔽材が混入され且つ低弾性の第２塗布層３を形成する。基体１に亀裂１１が発生したときには、第２塗布層３には亀裂３１が発生するが、第１塗布層２は単に延びるだけであるので、励起光は亀裂３１を通って第１塗布層２に到達する。よって、亀裂３１の下側の第２塗布層２が青白色に発光するので、亀裂１１の発生を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】位相欠陥と表面異物とを識別できるＥＵＶマスク検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るＥＵＶマスク検査装置は、ＥＵＶ光を出射するＥＵＶ光源１００ａと、ＥＵＶ光を伝播する第１多層膜楕円面鏡１０３ａ、第２多層膜楕円面鏡１０３ｂ、落とし込みＥＵＶミラー１０５を含む光学系と、ＥＵＶ光の光軸と同軸に導入され、光学系で伝播される紫外光を出射するＡｒＦエキシマレーザ１００ｄとを備える。紫外光は、ＥＵＶ光の光軸上に挿入された振り込みミラー１１３により反射され、ＥＵＶ光と同軸に導入される。 （もっと読む）

【課題】フラットパネル修復に、検査切断修復結合ツール及び独立体積修復ツールの２種類が必要である
【解決手段】装置は、統合された検査機能と、材料除去機能と、材料堆積機能とを備え、検査動作、材料除去動作、及び材料堆積動作を同じ光軸に沿って実行する。装置は、部分的に、カメラと、一対のレンズと、１つ又は複数のレーザとを備える。第１のレンズは、検査を受けているターゲット基板上に形成される構造上に光軸に沿ってカメラを合焦させるために使用される。第１のレンズは、検査された構造が材料除去を必要としていると識別される場合、構造上にレーザビームを合焦させて、その構造上に存在する材料を除去するためにも使用される。第２のレンズは、検査された構造が材料堆積を必要としていると識別される場合、レーザビームをリボン上に合焦させて、リボンに形成された埋め込みウェルから流動的複合物を構造に転写するために使用される。 （もっと読む）

【課題】画面の異物付着及び画素欠陥を識別できる画質検査装置を提供する。
【解決手段】画質検査装置２は、ＬＣＤ３１に白色パターンを指示し、撮像画面の白色パターンから候補エリアを抽出する候補エリア抽出部２１を有する。画質検査装置は、ＬＣＤに黒色パターンを指示し、撮像画面の黒色パターンから輝点異常の画素を含む候補エリアがある場合に、候補エリア周囲の輝点異常検出時のＲＧＢ値差を取得する輝点異常検出部２２を有する。画質検査装置は、黒色パターンを表示させたまま、候補エリア内の画素の白表示を指示し、撮像画面から候補エリア周囲の今回のＲＧＢ値差を取得する暗点異常検出部２３を有する。画質検査装置は、今回のＲＧＢ値差が輝点異常検出時のＲＧＢ値差を超えた場合、異物付着による異常と識別し、今回のＲＧＢ値差が輝点異常検出時のＲＧＢ値差を超えなかった場合、暗点の画素欠陥による異常と識別する異常識別部２４を有する。 （もっと読む）

【課題】透明基板に形成される透明導電体のパターン形状を容易かつ正確に検査することができる導電体パターン検査装置及び導電体パターン検査方法を提供する。また、重ね合わされる複数の透明導電体の相対的位置精度を高めることができる基板の位置合わせ装置を提供する。
【解決手段】透明基板表面に形成される透明導電体のパターン形状を検査する導電体パターン検査装置であって、前記透明基板及び前記透明導電体から放射される赤外線の放射量分布を撮像してパターン形状画像として取得する画像取得手段を備える導電体パターン検査装置。 （もっと読む）

【課題】撮像デバイス用フォトマスクや表示デバイス用フォトマスクの様に周期性のあるパターンを持つ被検査体のムラ欠陥を検出するためのムラ検査装置および方法の照明照射条件の最適化を課題とする。
【解決手段】基板面に周期性パターンが形成された基板を検査対象とし、前記基板に照明光を異なる複数の照射角度で照射し、周期性パターンにより生じる回折光を用いて検査するムラ検査方法であって、パターン形状から周期成分を抽出し、被検査体である周期性パターンの最適な検査条件を算出する。 （もっと読む）

【課題】異品種の混入に対して高精度かつ安価な異品種混入検査方法および異品種混入検査装置を提供する。
【解決手段】被検査対象物の画像を取得し、マスターデータとの比較を行うことにより、前記被検査対象物を正規品種もしくは異品種と判定する異品種混入検査方法であって、
前記被検査対象物のパターンから特徴あるパターンを有するマスターデータ領域により、被検査対象物の全画像領域に対して、輝度値を用いたパターンマッチングをして、パターン一致領域を探索し、
前記パターン一致領域内の平均色相と前記マスターデータ平均色相とのマッチングにより、正規品種もしくは異品種と判定する異品種混入検査方法および異品種混入検査装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 短絡部を含む配線の赤外線画像を２値化処理して、細線化された２値化画像を生成し、短絡部の位置を正確に特定することを目的とする。
【解決手段】 基板に形成された配線の短絡部の有無を検査する配線検査方法であって、配線に電圧を印加して短絡部を発熱させる発熱工程と、基板の赤外線画像を取得する画像取得工程と、赤外線画像から閾値を用いて２値化画像を生成する２値化工程と、２値化画像から短絡部の位置を特定する位置特定工程とを含み、２値化工程は、閾値を変更して２値化処理を繰返すことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】特定の織物パターンがタイル状に敷き詰められた構造を有する複雑な地合の織物画像に含まれる微小欠陥を検出する。
【解決手段】検査対象となる織物に含まれる欠陥を検出する方法であって、織物の画像を取得する画像取得工程Ｓ１０と、画像取得工程Ｓ１０で取得した取得画像に基づいて比較用正常パターンを含む参照画像を生成する参照画像生成工程Ｓ２０と、参照画像生成工程Ｓ２０で生成した参照画像と画像取得工程Ｓ１０で取得した取得画像との双方にウェーブレット変換を施す画像変換工程Ｓ３０と、画像変換工程Ｓ３０によるウェーブレット変換後の参照画像と取得画像とを比較する画像比較工程Ｓ４０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】シート状の基材上に形成された薄膜パターンの画像を取得する際に、検出角を容易に変更する。
【解決手段】画像取得装置１は、中心軸Ｋを中心とするドラム１１を有し、ドラム１１の回転により外側面１１１に沿ってウエブ９が搬送される。画像取得装置１は、中心軸Ｋに平行な線状の撮像領域９０に向けて光を出射する光照射部２１と、撮像領域９０からの光をラインセンサにて受光する受光部２３とをさらに有し、光照射部２１および受光部２３は移動機構４により中心軸Ｋに垂直、かつ、互いに交差する２方向に移動する。移動機構４を制御することにより、受光部２３の光軸Ｊ２とウエブ９の法線Ｎとのなす検出角θ２が変更されるとともに、光軸Ｊ２上においてラインセンサの受光面と共役なフォーカス位置Ｐが薄膜パターン上に配置される。このように、受光部２３を２方向に移動する移動機構４のみにより、検出角θ２を容易に変更することができる。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の部分によって色調又は光沢が異なる場合でも検査対象物全体の露光調節を行うことができるとともに、検査対象物の形状が製造時の公差によって異なる場合であっても欠陥の有無を正確に判定することが可能となる、外観検査装置及び外観検査方法を提供する。
【解決手段】撮像手段３３は、検査対象物Ｗにおける撮像エリアの輪郭が撮像可能な第一露光条件と、撮像エリアにおける欠陥Ｂが撮像可能な、第一露光条件と異なる第二露光条件と、のそれぞれで検査対象物Ｗを撮像し、画像処理手段１１が備える判定手段１４は、第一露光条件で撮像した検査対象物における撮像エリアの輪郭の画像である撮像エリア画像ＳＰ１と、第二露光条件で撮像した撮像エリアの画像である第二画像Ｐ２と、を組み合わせて組み合わせ画像Ｐ３を作成することにより、検査対象物Ｗにおける撮像エリアの輪郭内における欠陥Ｂの有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】箱詰めされる物品の種類、形状、重量などを問わず、物品や仕切板の欠落など、種々の箱詰め不良を非接触で検出することを可能とする。
【解決手段】複数個のガラスびん１が整列された状態で箱詰めされる箱詰め物１２の箱詰め状態を検査する。準備工程では適正な箱詰め状態の箱詰め物１２を撮像して得られる基準画像について各ガラスびん１が整列配置される位置に検査領域をそれぞれ設定して、各検査領域内の基準画像についての濃度分布に関する情報を抽出することにより検査領域毎の基準となる情報を取得する。検査工程では検査対象の箱詰め物１２を撮像して得られる検査対象画像について各ガラスびんが整列配置される位置に検査領域をそれぞれ設定して、各検査領域内の検査対象画像についての濃度分布に関する検査情報を抽出した後、各検査情報を前記基準となる情報と対比して箱詰め状態の適否を判別する。 （もっと読む）

【課題】 印刷途上において、簡便に欠陥分類の調整を行うことが可能な画像検査装置を提供する。
【解決手段】 画像像検査装置１００は、印刷用紙５の第１面５１に形成された印刷画像の検査を行う第１面検査処理部７０と、印刷用紙５の第２面５２に形成された印刷画像の検査を行う第２面検査処理部８０と、印刷結果情報等を保存する記憶手段９０と、オペレータによる入力部６２からの選択操作を受け付けて、第１面撮影画像、第２面撮影画像、第１面検査処理部７０および第２面検査処理部８０の検査結果等のうち選択された内容を所定の表示態様で表示部６１に表示する表示制御部９２を備える。 （もっと読む）

【課題】ＳＮ比の高い欠陥検出を行うことができる欠陥検査装置を提供することである。
【解決手段】実施形態に係る欠陥検査装置は、被検査体上の画像を検出する検出部と、前記検出部からの出力に基づいて、欠陥部分の断面プロファイルを演算する特徴量演算部と、前記演算された断面プロファイルを再サンプリングして再構成する再サンプリング部と、前記再構成された断面プロファイルと、テンプレート画像とのパターンマッチングを行う積和演算部と、前記パターンマッチングの結果を閾値を用いて判定する判定部と、を備えている。そして、前記再サンプリング部は、前記演算された断面プロファイルにおける重心を求め、求められた重心を中心画素として前記断面プロファイルを再サンプリングして再構成する。 （もっと読む）

【課題】生理用ナプキン等の吸収性物品に係る積層体の圧搾部の穴あき異常や接合異常を検査可能な検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】積層体３の片面のうちで圧搾部が形成された領域を撮像して前記領域の平面画像のデータを平面画像データとして生成する撮像処理部３６と、第１二値化処理部で生成された二値化画像に基づいて、穴あき異常の有無の判定を行う第１異常判定処理部と、第２二値化処理部で生成された二値化画像に基づいて、接合異常の有無の判定を行う第２異常判定処理部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】石英ガラスなどのガラスに較べて紫外線透過率の低い樹脂シートの表面に形成した透明電極の検査に必要な測定精度を得ることのできる透明電極の観察装置を提供すること。
【解決手段】樹脂シートＦの表面に形成された透明電極Ｐの光透過率が５０％以下となる２００〜３００ｎｍの波長帯域の紫外線光を含む光を照射する光源１と、光源１から照射された紫外線光によって励起され、蛍光発光した樹脂シートＦの光の強度が０．１以上となる４００〜５００ｎｍの波長帯域の光を透過する光学フィルタ２と、光学フィルタ２を透過した可視域の波長に感度を有する画像を撮影するカメラ３とを備えたので、透明電極Ｐが形成された部位は暗くなり、それ以外の部位は明るく撮影される。これにより、可視光では視認が困難な透明電極Ｐの形状を特定でき、透明電極Ｐの検査に必要な測定精度を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】十分な検査速度を確保しつつ、卵の全周面の透過光画像を確実に撮影して卵の品質を検査することができる卵検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象の卵４を搬送方向に沿って列状に搬送する搬送装置１と、搬送装置上の撮影領域内に設定した複数の撮影位置で卵４の検査画像を撮影する撮像装置３を備え、搬送装置１は、卵４が鋭端部と鈍端部との間の卵軸廻りに回転しながら各撮影位置の間を転動する搬送軌道５と、搬送軌道上の卵４を搬送方向後方から押す支持部材７と、支持部材を搬送方向に沿って移動させる支持部材駆動部を有し、搬送軌道５は、検査画像を撮影する撮影位置の相互間の区間軌道長が、支持部材間に相当する卵の搬送ピッチよりも長く、かつ卵の卵軸廻りの全周角を前記撮影位置の数で除した区分角度の整数倍の回転角度に卵を回転させるのに必要な長さを有する。 （もっと読む）

【課題】箱体の姿勢にかかわらず接合部の精度を正確に検査でき、箱体の形状精度や印刷品質、異物の有無も同時に検査することができ、検査スペースの効率化を図ることができる品質検査装置を提供する。
【解決手段】接合部を挟んで隣り合う２つの領域を撮像する撮像手段３と、照明手段４と、基準形状データ記憶部、及び基準画像データ記憶部を有する記憶手段５０と、撮像される画像に基づき形状データを検出し、各領域の基準形状データと対比することにより各領域のずれ量を算出し、各領域の形状精度の良否を判定する形状精度判定手段と、形状精度判定手段により算出される各領域のずれ量に基づき、当該箱体の接合精度の良否を判定する手段と、撮像手段により撮像される画像に基づき各領域の画像データと基準画像データ記憶部に記憶された各領域の基準画像データとを対比することにより各領域の印刷品質の良否及び異物の有無を判定する手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】製造ラインを連続して搬送される開口を塞ぐシール部を有する被検査物に対して、特殊領域特定のために準備工程を必要とせず、検査時間の大幅な短縮が可能な、効率の良い検査性能に優れた検査装置を提供する。
【解決手段】容器を搬送する手段と、第一の光学手段と、第一の光学手段の容器搬送方向の下流に設けられた第二光学手段と、第一の特殊領域特定手段と、第一の特殊領域に基づいてシール部の液漏れ欠陥を検出する第一の検査手段と、前記エッジ座標と、第一の撮像手段と第二の撮像手段の取り付け角度の角度差と、第一の撮像手段と第二の撮像手段から得られた撮像画像における検査領域の中心座標から、第二の撮像手段によって得られた画像の第二の特殊領域を特定する第二の特殊領域特定手段と、第二の撮像手段によって撮像した画像の第二の特殊領域に基づいて容器の異物欠陥を検出する第二の検査手段と、を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。 （もっと読む）