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Fターム[2G051CA04]の内容

光学的手段による材料の調査の特殊な応用 (70,229) | 受光素子 (8,314) | 特定の受光素子 (6,408) | TVカメラ (4,196)

Fターム[2G051CA04]に分類される特許

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【課題】十分な検査速度を確保しつつ、卵の全周面の透過光画像を確実に撮影して卵の品質を検査することができる卵検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象の卵4を搬送方向に沿って列状に搬送する搬送装置1と、搬送装置上の撮影領域内に設定した複数の撮影位置で卵4の検査画像を撮影する撮像装置3を備え、搬送装置1は、卵4が鋭端部と鈍端部との間の卵軸廻りに回転しながら各撮影位置の間を転動する搬送軌道5と、搬送軌道上の卵4を搬送方向後方から押す支持部材7と、支持部材を搬送方向に沿って移動させる支持部材駆動部を有し、搬送軌道5は、検査画像を撮影する撮影位置の相互間の区間軌道長が、支持部材間に相当する卵の搬送ピッチよりも長く、かつ卵の卵軸廻りの全周角を前記撮影位置の数で除した区分角度の整数倍の回転角度に卵を回転させるのに必要な長さを有する。 (もっと読む)


【課題】箱体の姿勢にかかわらず接合部の精度を正確に検査でき、箱体の形状精度や印刷品質、異物の有無も同時に検査することができ、検査スペースの効率化を図ることができる品質検査装置を提供する。
【解決手段】接合部を挟んで隣り合う2つの領域を撮像する撮像手段3と、照明手段4と、基準形状データ記憶部、及び基準画像データ記憶部を有する記憶手段50と、撮像される画像に基づき形状データを検出し、各領域の基準形状データと対比することにより各領域のずれ量を算出し、各領域の形状精度の良否を判定する形状精度判定手段と、形状精度判定手段により算出される各領域のずれ量に基づき、当該箱体の接合精度の良否を判定する手段と、撮像手段により撮像される画像に基づき各領域の画像データと基準画像データ記憶部に記憶された各領域の基準画像データとを対比することにより各領域の印刷品質の良否及び異物の有無を判定する手段とを備えた。 (もっと読む)


【課題】不良と判定される欠陥を内在する半導体基板のウェハプロセスにおける製造効率を向上させ、良品率を向上させる。
【解決手段】ウェハ1を搬送してウェハ支持台4へ載置するための搬送装置3と、該ウェハ支持台4の位置を可変制御する駆動装置14と、該ウェハ1が載置される前記支持台4の位置の可変制御により、ウェハ1の上部に配設される照射光8を前記ウェハ1表面に走査させながら照射する光照射部6と該光照射部6に照射光8を供給する光源7と、前記ウェハ1表面からの散乱光9を検出する第1受光検出部13とウェハ1の透過光を検出する第2受光検出部10と、該受光検出部からの信号を受けて演算処理する演算部11と該演算部11からの信号を受けて画像として出力するモニター12とを含む半導体基板の欠陥検査装置。 (もっと読む)


【課題】異常パターンの弁別性を向上した欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】光源と、干渉制御部と、検査装置本体と、を備えた欠陥検査装置が提供される。前記光源は、可干渉光を放射する。前記干渉制御部は、分散部と、選択部とを有し、前記光源から放射された光の可干渉性を制御して、照明光として出力する。前記検査装置本体は、前記照明光を被検査体に形成されたパターンに照射して、前記被検査体の欠陥を検査する。前記光源から放射された光の進行方向を第1の方向とし、前記第1の方向に垂直な方向を第2の方向としたとき、前記分散部は、前記光源から放射された光を波長に応じて前記第2の方向に拡張して波長分散させる。前記選択部は、前記分散部により波長分散された光を選択的に透過させる。 (もっと読む)


【課題】被検査試料に形成されたパターンの位置ずれマップを高精度に作成する装置を提供する。
【解決手段】位置ずれマップ作成装置200は、被検査試料から取得された光学画像と参照画像との間での位置ずれ量に基づいた位置ずれマップ(1)に対し、ワイドパスフィルタ処理をおこなって位置ずれマップBを作成するWPフィルタ処理部56と、ローパスフィルタ処理をおこなって位置ずれ量マップCを作成するLPフィルタ処理部58と、座標計測装置で計測された複数の位置計測用パターンの各パターンの位置の位置ずれ量に基づく位置ずれマップ(2)に対し、LPフィルタ処理をおこなって位置ずれマップCを作成するLPフィルタ処理部64と、位置ずれマップAと位置ずれマップBの差分に位置ずれマップCを加算することによって合成して位置ずれマップDを作成する合成部66と、を備える。 (もっと読む)


【課題】検査対象毎に検査パラメータを設定する必要がなく、半田付けの実装の良否を適切に判定すること。
【解決手段】複数の半田接合部を含む画像から、半田接合部を含む部分画像を複数抽出する抽出部と、抽出部により抽出された複数の部分画像を用いて、半田接合部の実装の良否を判定する基準となる基準画像を作成する作成部と、作成部により作成された基準画像と各部分画像とを比較する比較部と、比較部による比較結果に基づき、各半田接合部の実装の良否を判定する判定部と、を備える。 (もっと読む)


【課題】塗布シートをシワやタルミなく略平面状に保持することにより、塗布面の表面観察を容易にする。
【解決手段】固定台20は、基面21から突出し、第1方向に沿って延びる、平滑な上面31を有する凸条30と、凸条に対して第1方向と直交する第2方向の両側に形成された第1吸引孔とを備える。塗布面を基面とは反対側に向けて、凸条及び第1吸引孔を覆うように塗布シートを基面上に載置し、塗布シートを第1吸引孔に吸引して塗布シートを凸条の上面に密着させる。 (もっと読む)


【課題】金属製部品及びプラスチック製部品の表面及び内部に存在する微細なキズ、バリを、画像処理技術を用いて検知する検出装置において、目視検査を超える検出精度、検出速度を有し、かつ従来の画像処理技術を使用する自動検出装置を超える検出精度を有する検出装置、及び検出方法を提供する。
【解決手段】検査部品と全く同じ形状の無欠陥標準部品とを、全く同じように回転、傾動、停止させる機構を有し、停止させるごとに両部品の画像を撮影するカメラを有し、撮影を効果的に行うための照明を有し、撮影した両部品の画像をコンピューター上で重ね合わせて比較する処理を行う画像処理コンピューターを有し、両部品の画像の不一致をキズ、バリとして表示するモニターを有する検出装置により、金属製部品及びプラスチック製部品の表面及び内部に存在する微細なキズ、バリを検出する。 (もっと読む)


【課題】清掃用シート等の衛生物品に係るウエブ部材の起毛状態を検査する検査装置などを提供する。
【解決手段】衛生物品に係るウエブ部材の起毛状態の検査装置である。前記ウエブ部材は、少なくとも片面に、該片面から剥がれて起毛可能な部分を所定の配置パターンで離散的に有し、前記起毛可能な部分が剥がれて起毛した際には前記片面上に新たな露出部分を生じる。前記検査装置は、前記片面を撮像して前記片面の平面画像のデータを平面画像データとして生成する撮像処理部と、前記平面画像データに基づいて二値化画像を生成する際に、前記二値化画像において二値のうちの一方の値によって特定される画像に、前記平面画像のうちで前記新たな露出部分が撮像されている領域が含まれるように二値化処理を行う二値化処理部と、前記画像の大きさを示す値に基づいて、前記起毛状態の良否判定を行う良否判定処理部と、を有する。 (もっと読む)


【課題】基板上のパターンに損傷を与えることなく欠陥検査を行うことができる欠陥検査装置を提供すること。
【解決手段】実施形態の欠陥検査装置は、半導体基板を測定光学系によって表面観察し、観察結果に基づいて前記半導体基板の欠陥検査を行う基板検査部を備えている。また、前記欠陥検査装置は、前記測定光学系のうち前記表面観察を行う際に前記半導体基板の表面に近接する底部近傍を撮像し、撮像した画像である第1の撮像画像を用いて前記底部近傍の状態検査を行う測定光学系検査部を備えている。前記測定光学系検査部は、前記基板検査部が前記半導体基板の欠陥検査を行っていない間に、前記底部近傍の状態検査を行う。また、前記測定光学系検査部は、前記状態検査の基準となる基準画像と、前記第1の撮像画像と、を比較し、比較結果に基づいて、前記底部近傍の状態検査を行う。 (もっと読む)


【課題】 微小細粒(タガント)を付与した物品の真贋判定を行う際に、撮影画像に含まれるタガントがコピーや印刷等によって付与されたものでないことを明確に区別して、真贋判定を効率よく行うことが可能な真贋判定装置等を提供する。
【解決手段】 個々の物品1の基材11上に、基材とは異なる光学反射特性を有するタガント12をランダムに配置しておく。物品1に対して異なる方向から光を照射し、複数枚の画像を撮影する。撮影された複数枚の画像の差分を抽出することによりタガント12に影9が生じているか否かを判断する。影9が生じている場合は、真の物品であると判断する。これによりカラーコピーされたタガントでないことを効率よく判断できる。 (もっと読む)


【課題】解決しようとする課題は、面積が広くなり高密度化された試料の表面形状の測定に際して、高速化及び高精度化である。
【解決手段】表面検査装置は、第1照射部から照射される第1の照射方向からの照射光と、第2照射部から照射される第2の照射方向からの照射光とを照射方向を切り替えて、それぞれの照射部から照射された第1波長の光を試料の一面で反射させて、また、第2波長の光を試料保持部の一面側に取付け固定された光学部材で反射させ、双方から反射された光に基づいて生成された第1輝度データ及び第2輝度データを用いて試料表面の形状を算出するものである。 (もっと読む)


【課題】 より高い精度で紙葉類を処理することが出来る紙葉類処理装置、及び紙葉類処理方法を提供する。
【解決手段】 一実施形態に係る紙葉類処理装置は、紙葉類を搬送する搬送手段と、搬送される前記紙葉類に対して光を照射する照明手段と、前記紙葉類から画像を取得する画像取得手段と、搬送される前記紙葉類の深度と前記照明手段から放射される光の照度分布とに基づいて予め算出される補正係数を格納する補正係数格納手段と、前記補正係数により、前記画像取得手段により取得された前記画像を補正する補正処理手段と、を具備する。 (もっと読む)


【課題】検査装置で欠陥検出の行いやすい画像を得られるように、従来のリング照明に替わって、照明光が方向によらず一定の強さであり、検査する物体に対して均一に照明され、光が効率的に利用できるような照明装置を提供すること。
【解決手段】狭い波長幅の平行光を発する照明光源と、平行光で照明すると円環形状に広がる回折光を発する第1ホログラムと、1点から拡がる光で照明すると特定の範囲に収束する回折光を発する第2ホログラムと、を有する照明装置であって、
照明光源からの平行光が第1ホログラムに入射して回折され、円環形状の回折光として第2ホログラムに入射し、第2ホログラムから発し収束する回折光が対象物を照明するように配置されている。 (もっと読む)


【課題】ウエハの構造や欠陥がばらついて適切な波長が変化しても欠陥を精度よく検出でき、かつ、スループットが速いパターン検査装置を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、パターン検出装置は、光を発生する光源と、前記光をラインビームに整形してウエハ上に照射する集光器とを備える。さらに、前記装置は、前記ウエハで反射した前記ラインビームを分光する分光器を備える。さらに、前記装置は、前記分光器により分光された前記ラインビームを検出し、前記ラインビームのスペクトル情報を保持する信号を出力する二次元検出器を備える。さらに、前記装置は、前記ウエハ上の繰り返しパターンの対応箇所から得られた前記スペクトル情報を比較する比較部と、前記スペクトル情報の比較結果に基づいて、前記ウエハの欠陥の有無を判定する判定部とを備える。 (もっと読む)


【課題】無害模様の表面状態が一定しない場合でも、無害模様を誤検出することなく被検査体表面の欠陥を検出すること。
【解決手段】本発明の表面欠陥検出装置1は、被検査体2に照射された照明光の反射光を受光して、被検査体2の表面画像を撮像する撮像部4と、撮像部4の光学条件を規定する偏光子5および検光子6の相対的角度を変更する偏光角調整部12と、撮像部4が撮像した被検査体2の表面画像を評価する画像モニター10と、画像モニター10による評価に従い検光子6の角度を入力する偏光角修正入力部11とを備える。 (もっと読む)


【課題】本実施形態では、検査対象物が各種のものであっても、柔軟に対応して検査目的を達成できる表面パターンの検出方法及び装置を提供する。
【解決手段】この実施例では、予め撮像した参照用検査対象物の撮像信号に基づく参照用パターンデータを用意し、検査用対象物を撮像した撮像信号に基づくリアル撮像パターンデータを取得し、前記リアル撮像パターンデータを前記検査用対象物のリアル速度情報に基づき圧縮及び又は伸張して修正パターンデータを生成し、前記修正パターンデータと前記参照用パターンデータを比較して、類似か非類似を判定し、判定結果を示す信号を出力する。 (もっと読む)


【課題】TFT基板の材質に依らず、配線やガラスなどのパターン材質の差異を、明瞭に顕在化する欠陥検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】TFT基板の配線を通電することにより発熱する短絡欠陥を赤外カメラで検出する欠陥検査装置であって、TFT基板に赤外線を照射する赤外線源と、TFT基板の基準画像を保持する記憶部と、前記赤外カメラで得られた赤外画像と前記基準画像とのマッチングを行う画像処理部とを備え、前記赤外線源は、前記TFT基板から見て前記赤外カメラと同じ側に設置されることを特徴とする欠陥検査装置を提供する。 (もっと読む)


【課題】対象物体に関する腐食の段階に基づく劣化の診断を高精度で行う。
【解決手段】金属製の対象物体の腐食により生じる錆を撮影して得た発錆箇所に係るRGB色空間の錆画像情報をHLS色空間の錆画像情報に変換するHLS変換部115と、変換後のHLS色空間の錆画像情報に係るHLS値が、発錆箇所が錆びているとする際の基準となる錆色領域の範囲内に含まれるか否かを判定する診断実行判定部121と、HLS値が錆色領域の範囲内に含まれる旨の判定が下された場合、対象物体に関する腐食の段階に基づく劣化を診断する劣化診断部123と、を備える。錆色領域は、腐食の段階が初期の際に現れる赤茶色系統の初期錆、および、腐食の段階が前記初期よりも進んだ後期の際に現れる黒褐色系統の後期錆を共に錆として捉えることを考慮して設定される。 (もっと読む)


【課題】 反射画像と透過画像とを同時に同じ位置で撮影することができる太陽電池セル検査装置を提供する。
【解決手段】 半導体ウエハ2の第一面に向かって可視光を照射する第一照射部4と、半導体ウエハ2で反射した可視光を受光することにより、半導体ウエハ2の反射画像を取得する第一撮像部5と、半導体ウエハ2の第一面に対向する第二面に向かって赤外光を照射する第二照射部6と、半導体ウエハ2を透過した赤外光を受光することにより、半導体ウエハ2の透過画像を取得する第二撮像部7と、反射画像及び透過画像に基づいて、半導体ウエハ2に欠陥があるか否かを判定する判定部21dとを備える太陽電池セル検査装置1であって、第一撮像部5及び第二撮像部7との間に配置されるビームスプリッタ11を備え、ビームスプリッタ11は、設定波長未満の光を第一撮像部5に導くとともに、設定波長以上の光を第二撮像部7に導くことを特徴とする。 (もっと読む)


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