【課題】搬送時に得られた画像を基準画像として高速処理を単独カメラユニット毎に実現する通常検査処理と、予め製作してある画像を基準画像として複数カメラユニットの画像を合成処理する版検査処理を併用する検査方法を提供する。
【解決手段】表面、又は裏面、又はその両面に印刷が施され、搬送される印刷物の検査方法であって、印刷物表面または／および印刷物裏面に照明を照射する照明段階と、前記印刷物の搬送と同期を取るかまたは所定時間間隔で、前記印刷物を撮像する撮像段階と、前記撮像段階にて得られた前記印刷物の画像データを用いて、前記印刷物に存在する欠陥を判定する画像処理・欠陥判定段階と、を有し、前記画像処理・欠陥判定段階は、搬送時に得られた画像を基準画像として処理を実現する通常検査段階と、予め製作してある画像を基準画像として処理を実現する版検査処理段階と、を有することを特徴とする印刷物の検査方法。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の歩留りを効率的に、かつ高精度に算出する。
【解決手段】薄膜を一様に形成した半導体ウェハ２の画像データを取得し、品種ごとに形成された欠陥識別データ３８と製品パターン３９とを用いて、薄膜に形成された欠陥を抽出する。欠陥識別データ３８は、半導体装置の電気特性に影響を与える欠陥サイズの情報であり、製品パターン３８は、回路パターンが疎な領域をマスクしたパターンである。さらに、抽出した欠陥が存在するチップの数から歩留り率の予想値を算出し、その品種に必要とされる規定の歩留り数と比較して半導体ウェハ２の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】
従来技術によれば，試料に熱ダメージを与えることなく，短時間で高感度に欠陥検出・寸法算出することが困難であった。
【解決手段】
被検査対象物である試料の表面の領域を所定の照明条件にて照明する照明工程と、該試料を並進および回転させる試料走査工程と、該試料の照明領域から複数の方向に散乱する複数の散乱光のそれぞれを、前記試料走査工程における走査方向および該走査方向と概略直交する方向の各々について複数画素に分割して検出する散乱光検出工程と、前記散乱光検出工程において検出された複数の散乱光のそれぞれについて、該試料の概略同一領域から概略同一方向に散乱した散乱光を加算処理し、該加算処理した散乱光に基づき欠陥の有無を判定し、該判定された欠陥に対応する複数の散乱光のうち少なくとも一の散乱光を用いて該判定された欠陥の寸法を算出する処理工程と、を備える欠陥検査方法である。 （もっと読む）

【課題】樹脂製キャップを検査する場合、カメラで撮影された画像を２値化する際に、キャップの周辺部分に対応した画素群とキャップの中央部分に対応した画素群とを共通なしきい値を用いて２値化することができる照明撮像系を備えた樹脂製キャップの検査装置を提供する。
【解決手段】樹脂製キャップ１の天面１ａ側に配置され、樹脂製キャップ１の天面１ａに投光する天面側照明２０と、樹脂製キャップ１の天面１ａの裏面側に配置され、樹脂製キャップ１の天面１ａの裏面に投光する裏面側照明２２と、樹脂製キャップ１の天面１ａ側に設置され、天面１ａからの光を撮影するカメラ２１とを備え、カメラ２１に、天面側照明２０から樹脂製キャップ１の天面１ａに投光され天面１ａで反射した反射光を入射し、かつ裏面側照明２２から樹脂製キャップ１の天面１ａの裏面に投光され天面１ａを透過した透過光を入射させる。 （もっと読む）

【課題】焦点距離の短い撮像レンズを使用しても周辺光量の低下を抑える欠陥検査装置および照明装置を提供する。
【解決手段】ＬＥＤアレイ２１の長手方向両端を含む複数個のＬＥＤ２０Ｂは長手方向中央側を向く角度、つまり撮影レンズ１６の光軸方向を向く方向に固定され、ＬＥＤアレイ２１の長手方向中央を含むＬＥＤ２０Ａはそのまま角度をつけずに撮影レンズ１６に対向している。ＬＥＤアレイ２１の長手方向両端近傍でＬＥＤ２０の光軸は撮影レンズ１６の光学的中心方向を向くことになるため、周辺光量（この場合は銅箔５０の幅方向両端部の照明光量）が不足することなく、ＣＣＤカメラ１４の視野全域に亘って照明光量を確保することができる。 （もっと読む）

【課題】錠剤などのワークを搬送しながら効果的に撮影する。
【解決手段】２つのベルト６０，６２を対向させ、その対向側面側に凸条Ｂをそれぞれ形成する。そして、この凸条Ｂ上にワークを支持する。これによって、ワークを撮影しやすい状態で確実に搬送することができる。 （もっと読む）

【課題】基板表面の印刷物の位置の変化や濃淡などの影響を低減して、基板上の異物の有無を高精度に判定する異物検査方法を提供する。
【解決手段】撮像部と画像データ演算部とを備える基板検査装置を用いた基板上の異物検査方法であって、良品基板の参照画像データ上で印刷領域を抽出する工程Ｓ１と、印刷領域を所定量だけ膨張させて膨張領域を演算する工程Ｓ３と、検査基板の検査画像データ上で印刷物が占めると推定できかつ膨張領域に含まれる印刷推定領域を抽出する工程Ｓ４と、参照画像データの印刷領域ならびに検査画像データの印刷推定領域に中間色を上書き補正して補正後参照画像データならびに補正後検査画像データとする工程Ｓ５と、補正後参照画像データと補正後検査画像データとを相互に比較して輝度情報に一定以上の差がある輝度差異領域を特定する工程Ｓ６と、輝度差異領域に基づいて検査基板上の異物の有無を判定する工程Ｓ７と、を有する。 （もっと読む）

【課題】フレキシブル基板の表面のＡＣＦの貼付状態の検出精度を向上させる。
【解決手段】ＡＣＦが貼付されたフレキシブル基板１０に対して、フレキシブル基板１０の表面と所定の角度を持って照明光を照射する照明部１と、フレキシブル基板１０の表面と所定の角度を持って配置されて、フレキシブル基板１０の表面から照明光が反射した反射光を撮像する撮像部４，５とを備える。さらに、照明部１とフレキシブル基板１０の表面との間、又はフレキシブル基板１０の表面と撮像部４，５との間の少なくとも一方に偏光フィルタ３を配置する。その上で、照明部１を、フレキシブル基板１０のプリント回路基板との接続部１１側に近づけて配置し、撮像部４，５を、フレキシブル基板１０の表示パネルとの接続部１２側に近づけて配置し、フレキシブル基板の表示パネルとの接続部が、プリント回路基板との接続部よりも近い距離で撮像されるようにした。 （もっと読む）

【課題】検査対象が偏光などの光学的性質を持たない場合であっても、その検査対象について厚みムラ、歪み、うねりなどに起因する光学ムラを高感度で検出できる装置の提供
【解決手段】この発明は、検査対象３の透過光に応じた画像を撮像し、その画像の輝度変化に基づいて検査対象３の光学ムラを検出する光学ムラ検査装置である。そして、検査対象３の一方の面側に配置され検査対象３に光を照射する光源５と、検査対象３の他方の面側に配置され検査対象３を透過した光に応じた画像を撮像する撮像手段１と、を備えている。さらに、光源５と撮像手段１とはそれぞれの光軸７、８が交差角度θ１（θ１≠０）で交差するように配置し、かつ、撮像手段１は光源１の光軸８の回りの異なる複数の位置から撮像するようにした。 （もっと読む）

【課題】溶融金属メッキ鋼板のドロス欠陥を地合ノイズや軽度の欠陥と分離して、安定して検査することができる検査装置を提供する。
【解決手段】抽出された欠陥をドロス欠陥とその他の欠陥に分類する欠陥判定手段（欠陥判定装置１８）を有しており、照明手段（投光器１２）から発せられる光の鋼板１表面に対する入射角が、鋼板１の法線方向に対して５０°から８０°の間の角度に設定されているとともに、撮像手段（撮像器１４）を鋼板１の法線に対して照明手段（１２）と同じ側に配置し、かつ、撮像手段（１４）が受光する光の受光角が、鋼板１の法線方向に対して０°から４０°の間の角度に設定されている。該欠陥判定手段（１８）は、抽出された欠陥を、該欠陥の面積、該欠陥の画像輝度、および該欠陥の形態のうちの少なくとも１つに基づいて、ドロス欠陥とその他の欠陥に判定することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】被検査物の表面形状に左右されずに十分な表面検査を行うことができる表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、被検査物であるシリンダライナ１００の外周面１０１に対して斜め方向に第１検査光１１を照射するとともに、垂直方向に第２検査光１２を照射し、ターンテーブル５にてシリンダライナ１００を回転させつつ、各検査光１１、１２の照射部位２１、２２をデジタルカメラ４で撮像して外周面１０１を検査するものである。 （もっと読む）

【課題】パターン付き基板の表面検査方法及びその装置において、周囲を隔壁で囲まれた有機ＥＬ発光層を形成する領域に存在する０．１μｍよりも小さい異物欠陥を、感度よく検出する。
【解決手段】パターン付き基板の表面検査方法において、２次元状に並んで形成されたパターンの並びの一方の方向に基板を連続的に移動させ、線状に成形された光を連続的に移動している基板の表面に対して斜め方向から入射させて連続的に移動する方向に対して傾いた方向に照射し、基板上の線状の光が照射された領域からの反射散乱光のうち試料の法線方向に反射散乱した光を集光することにより基板上に形成されたパターンからの低次の回折光を検出することなく反射散乱光の像を基板の連続的に移動する方向に対して傾いた方向に設置された１次元または２次元のアレイセンサ上に結像して検出し、アレイセンサで検出して得た信号を処理して試料上の欠陥を検出するようにした。 （もっと読む）

【課題】検査装置における照明装置の煩雑・且つ経験や勘に頼る非効率、不確実な調整作業を軽減し、論理的に最適化し、検査における生産性を向上させ、結果として不良率を下げ、稼働率を上げる。
【解決手段】センシングの為のカメラやセンサ200,201を備えた、検査装置に於いて、単色〜主に多色、異波長の光源を備えた照明100と100を複数軸方向に可動する機能102、103、104、場合により専用受光センサ107を備えた照明部分とそのコントローラ101とＰＣ用ソフトウエア105を考案し、照明100の発光色、発光波長、発光光量、照射距離／範囲、照射角度、などを能動的に変化させ、記憶し、呼び出し、比較し、判断する機能を有する。 （もっと読む）

【課題】エッジ（段差）近傍の表面プロファイルの測定結果を正確に取得することができる、物体の表面プロファイルを測定する方法を提供する。
【解決手段】物体の表面プロファイルを測定する方法であって、物体の表面の段差が走査方向に対して延在する第１の方向の情報を取得するステップと、前記情報に応じて、照射ビームに与える位相分布を設定するステップと、前記照射ビームで前記物体を前記走査方向に走査するステップと、を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は検査の信頼性を悪化させることなくスリップシームの予兆を発見することにより不良缶の発生を未然に防止し得る巻締部の検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】缶の巻締部１１０を検査する際に、缶蓋１０１の中心Ｃを基準とした所定角度α毎の巻締部１１０の厚さＴの変化量を、巻締部１１０の全周に亘って複数個取得し、それら変化量に基づいて巻締部１１０の巻締状態を判定する。 （もっと読む）

【課題】 精度よく且つ効率よい検査が可能な検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】 透明部材もしくは半透明部材を含む検査対象物の法線方向からずれた観察位置に対して、検査対象物の後方に配置された第１単色体と、検査対象物を照明するとともに、検査対象物の前方において観察位置で観察される検査対象物に自身の像が映りこまない位置に配置された光源と、検査対象物の前方において観察位置で観察される検査対象物に自身の像が映り込む位置に配置された第２単色体と、を備えたことを特徴とする検査装置。 （もっと読む）

【課題】本発明は、コンパクトな光学系にて、透明又は半透明であるＡＣＦを貼付した箇所と貼付していない箇所の光のコントラストの差を大きくし、ＡＣＦの貼付状態の検査精度を向上させることができるＡＣＦ貼付状態検査装置を、及び光学系を有し、ＡＣＦの貼付けとＡＣＦの貼付状態の検査とをする小型なＡＣＦ貼付・貼付状態検査装置を提供することにある。
【解決手段】本発明は、被貼付物が有する複数の貼付箇所に貼付された透明又は半透明のＡＣＦに対して照明光を照射する照明装置と、前記貼付箇所から反射された反射光を撮影する撮像装置と、前記照射光または前記反射光の少なくとも一方を偏光する偏光フィルタとを具備するＡＣＦ状態検査光学系を有し、前記照明装置の光軸と前記撮像装置に入射する光軸とが平行になうように平行配置し、前記照射光または前記反射光の少なくとも一方を反射させるミラーを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】リードと半田付けされた部位を鮮明に識別することにより、検査の精度を向上した基板検査装置を提供する。
【解決手段】電子部品の半田付け状態を検査する基板検査装置１において、内面が反射面１２とされた反射部材１１の基板側周囲部１５に複数個設置され、反射面１２側に白色光を出射する白色ＬＥＤ１３と、反射部材１１の基板側周囲部１５に複数個設置され、基板面７１に対して略平行な方向に向けて着色光を出射する赤色ＬＥＤ２１と、基板面７１を撮影するＣＣＤカメラ３０と、白色ＬＥＤ１３と赤色ＬＥＤ２１を同時に発光させて、ＣＣＤカメラ３０による基板面７１の撮影を行い、ＣＣＤカメラ３０で撮影された画像中に所定の領域を設定し、設定された所定の領域中に含まれる着色領域を求め、所定の領域中に含まれる着色領域に基づいて、リード７２の半田付けが良好であるか否かを判定するＣＰＵ５１と、を有する。 （もっと読む）

【課題】高い精度で且つ高速に半田の状態の検査を行う。
【解決手段】
基板２０のリード穴２１に挿通された電子部品２２のリード２３と該基板２０とを接合する半田２４の状態を検査する半田検査方法であって、半田２４の上方に位置するカメラ１に対して基板２０の表面に平行な半田２４の平坦部分からの反射光が該半田２４の傾斜部分からの反射光に比べて強く入射するように該半田２４の上方から光を照射し、カメラ１によって半田２４を撮像し、カメラ１の撮像画像内の所定の検査ウィンドウ３２の輝度に基づいて半田２４の状態を検査する。検査ウィンドウ３２は、撮像画像におけるリード２３の外周より外側の領域の少なくとも一部分である。 （もっと読む）

【課題】検査対象の外観を正確に検査可能であるとともに、製造コストの低廉化が可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の外観検査装置は、複数種類の構成物からなる実装基板７に光を照射可能な液晶カラーモニタ１５と、実装基板７を撮影して撮影情報を得るデジタルカメラ１７とを備えている。また、この外観検査装置では、液晶カラーモニタ１５と実装基板７との間にハーフミラー１９が設けられており、ハーフミラー１９とデジタルカメラ１７との間にはフルミラー１８が設けられている。この外観検査装置では、液晶カラーモニタ１５はハーフミラー１９を透過する光により実装基板７を照射可能な位置に設けられており、デジタルカメラ１７は、フルミラー１８の反射を介し、ハーフミラー１９に反射した実装基板７の画像を撮影可能な位置に設けられている。 （もっと読む）