【課題】
レーザ暗視野方式の基板検査装置では，照明光の可干渉性が高いことにより，酸化膜(透明膜)が表面に形成された基板の検査においては膜内多重干渉による反射強度の変動が生じる。また，金属膜が表面に形成された基板の検査においては，金属膜の表面粗さ(ラフネス，グレインなど)による散乱光が干渉して背景光ノイズが大きくなり，欠陥検出を感度低下させていた。
【解決手段】
指向性の良いブロードバンド光源（スーパーコンティニュアム光源など）を用いた低干渉かつ高輝度な照明により上記課題を解決する。また，従来のレーザ光源も併用し，光源を使い分けることでウエハの状態に応じて高感度な検査を可能とする。さらに，調整機構を設けた照明光学系により，両光源の照明光学系を共通化し，簡略な光学システムで上記効果を実現する。 （もっと読む）

【課題】容易かつ確実にアンプルの封止部及び溶閉境界部の検出ができる封止部検出装置及び封止部検出システム及び封止部検出方法を提供する。
【解決手段】本発明の溶閉境界部検査システム１００は、画像処理装置１を含んで構成され、アンプル２、アンプル配置装置３、アンプル供給装置４、アンプル中心線８Ｂ上に配置されるカメラ５、リング状照明６及び撮像処理装置７とから構成される。アンプル配置装置３は、アンプル２の枝先部２Ａが、水平面２Ｂと間隙を置いた水平面５Ｂを備えるリング状照明５に対して、リング状照明５の中心線に位置するようにアンプル２を配置する。そして、撮像処理装置７によって、封止部２Ｃに照射された水平照射光９に基く、溶閉境界部２Ｄによる乱反射光によってアンプル２の封止部２Ｃを撮像し、画像処理装置１によって、封止部２Ｃおよび溶閉境界部２Ｄについての撮像画像２０を得る。 （もっと読む）

【課題】容易かつ確実にアンプルの気泡又はツノの検出ができる気泡又はツノの検出方法及び検出システムを提供する。
【解決手段】気泡又はツノ等の欠陥検出システム１００は、画像処理装置１を含んで構成され、アンプル２と、アンプル配置装置３と、アンプル供給装置４と、カメラ５と、リング状照明６及び撮像処理装置７を有する。アンプル配置装置３は、アンプル２の枝先部２Ａが、水平面２Ｂと間隙１２を置いた水平面５Ｂを備えるリング状照明５に対して、リング状照明５の中心線８に位置するようにアンプル２を配置する。撮像処理装置７によって、天面２Ｃに照射された水平照射光９に基く天面に形成された気泡１４又はツノ等の欠陥による乱反射光によってアンプル２の天面２Ｃを撮像し、画像処理装置１によって天面２Ｃに形成された欠陥についての撮像画像を形成する。 （もっと読む）

【課題】形鋼のウェブ検査面の表面に存在する可能性のある表面欠陥を正確に検出すること。
【解決手段】本発明に係る表面欠陥検査装置は、変調された線状のレーザ光を照射して形鋼によって反射された線状のレーザ光を撮像し、形鋼の光切断像を生成する遅延積分型撮像装置により生成された光切断像から得られる縞画像を利用し、形鋼の表面の凹凸状態を表す形状画像と形鋼の表面での粗度の相違を表す輝度画像とを生成する画像生成部と、輝度画像に基づいて形鋼のフランジ面のエッジ位置を検出するエッジ位置検出部と、検出されたエッジ位置と、形鋼の形状に関する情報と、形鋼撮像装置と形鋼との位置関係に関する情報とを利用し、形状画像のフランジ面に対応する部分を不感帯として算出するエッジ不感帯算出部と、形状画像のうち不感帯をのぞく部分を表面欠陥検出対象部分とし、当該表面欠陥検出対象部分に存在する表面欠陥を検出する欠陥検出処理部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハの表面欠陥を簡便に高い信頼性をもって検査し得る手段を提供すること。
【解決手段】検査対象である半導体ウェーハの表面に向かって光源部から検査光を照射すること、ウェーハ表面の検査光が照射された照射領域からの散乱光を検出すること、ならびに、検出された散乱光に基づきウェーハ表面の欠陥の有無および／またはその程度を評価すること、を含む半導体ウェーハの表面検査方法。前記検査光をウェーハ表面に対して斜め方向からウェーハ半径以上の幅をもって入射させることにより、前記ウェーハ表面に、ウェーハ半径以上の幅を有しウェーハ中心を含む照射領域を形成し、前記ウェーハおよび光源部の少なくとも一方を移動させることにより前記検査光をウェーハ全面に走査させる。 （もっと読む）

【課題】部品実装機において電子部品のピンの先端部のみを鮮明に撮像できる撮像判定方法及び該方法を実現する部品実装機を提供すること。
【解決手段】光照射手段２８による水平方向に照射されている光Ｌ内で電子部品ＣのピンＰを移動させているので、例えばピンの移動を上下方向とすることにより部品本体Ｂ及びピンの外筒部での光の反射を防止でき、ピンの先端部のみを鮮明に撮像できる。さらに、ピンの移動開始から移動終了まで連続してピンを撮像するようにしているので、電子部品のピックアップ部位が異なってピンの先端部の上下方向の位置が異なっていたとしても、また、電子部品の製造ロットや製造メーカによって各ピンの長さにバラツキが生じていたとしても、全てのピンの先端部の累積画像から鮮明な画像を容易に取得できる。よって、ピンの形状や配置の良否、ピンの抜けや曲げや折れの有無等の検査を容易且つ高精度に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】鉛蓄電池用格子体に存在する形状変化を、バラツキなく高精度で検出できるばかりではなく、検出した鉛蓄電池用格子体の形状変化から、鉛蓄電池用格子体鋳造装置の異常、例えば、鋳造鋳型に塗布されている離型剤の寿命及び鋳造装置の不具合を迅速かつ適確に判定可能な、鉛蓄電池用格子体鋳造装置の異常判定方法を提供するものである。
【解決手段】鋳造された鉛蓄電池用格子体の形状変化を検出して、鉛蓄電池用格子体鋳造装置の異常を判定する方法であって、（ａ）鉛蓄電池用格子体の形状変化検出領域を照明する工程、（ｂ）照明された形状変化検出領域を撮像する工程、（ｃ）撮像された画像に２値化処理及び任意的に収縮処理を施す工程、（ｄ）上記処理後の画像から鉛蓄電池用格子体の形状変化を検出する工程、並びに（ｅ）検出した形状変化から、鉛蓄電池用格子体鋳造装置の異常を判定する工程を含む、鉛蓄電池用格子体鋳造装置の異常判定方法。 （もっと読む）

【課題】効率よく短時間で、かつ高精度で検査することが可能な微細部品外観自動検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の微細部品外観自動検査装置は、外観検査前の微細部品が収容された供給トレイ、外観検査で良と判定された微細部品が収容される収納トレイ、検査対象の微細部品がセットされるインデックステーブル、検査対象の微細部品を前記供給トレイから前記インデックステーブルへと移動する供給ノズル、前記微細部品を前記供給トレイから前記インデックステーブルへと移動する途中で前記微細部品の裏面を撮影する裏面撮像カメラ、前記インデックステーブルにセットされた前記微細部品の表面を撮影する表面撮像カメラ、前記裏面撮像カメラおよび前記表面撮像カメラによって得られた画像情報と予め入力された前記微細部品の基準データとを比較して微細部品の外観検査の良否の判定を行う外観検査データ処理装置、および外観検査で良と判定された微細部品を前記インデックステーブルから前記収納トレイへと移動する収納ノズルを備える。 （もっと読む）

【課題】粉体のワークは高速に移動させるとワークが舞い上がってしまう点、及び粒体のワークは隣接させずに個々に分離して検査することができずに誤検知率が高い点、こうした不具合なく高速かつ全量のワークの検査を行うことができない点を解消する。
【解決手段】粉粒体検査装置１は、ワークＷを表面上に吸着させることで受け取って、回転させて検査位置から良品・不良品の排出箇所へ搬送するために、筒状体４Ａの周面表裏を貫通する複数の微細な孔４ａが形成され、さらに、該筒状体４Ａの内部の空気を吸引する吸引機構４Ｃが接続された回転吸引搬送機構４と、回転吸引搬送機構４の外周面を覆ってワークＷを把持する通気カバー４Ｂと、回転吸引搬送機構４の周面外側に設けたカメラ５と、を備えることとした。 （もっと読む）

【課題】この発明は、長尺状の被検査部の外面全周に異常が有るか否かを正確且つ確実に判定することができ、検査精度の向上を図ることができる被検査物の外観検査方法及びその外観検査装置の提供を目的とする。
【解決手段】搬送路２上の検査区間Ｃに搬送されるエナメル線Ａの外面全周を、拡散反射板３が拡散及び反射する光源４からの光で均一に照光する。エナメル線Ａの上側周面Ａａと、反射部６に映り込ませた左右周面Ａｂ，Ａｃとを撮像カメラ５で撮像する際、光透過部７により反射部６が反射する左右周面Ａｂ，Ａｃの光路長Ｌ２を、上側周面Ａａの光路長Ｌ１と同一又は近似する長さに調整する。これにより、エナメル線Ａの上側周面Ａａ及び左右周面Ａｂ，Ａｃの画像を撮像カメラ５により鮮明に撮像することができ、その画像情報に基づいて、エナメル線Ａの外面全周に異常が有るか否かを外観判定装置９で確実且つ正確に判定することができる。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハ表面に存在するソーマークなどの線状の凹凸について、短時間かつ容易に検査が可能であり、検査に対する振動の影響を低減できる技術を提供する。
【解決手段】半導体ウェハＷの表面の全域に光源装置２によって斜め方向から光を照射し、ＣＣＤカメラ４で半導体ウェハＷ全体を撮影する。これにより、半導体ウェハＷの各ポイントからの前記照射光の反射光または散乱光の強度を検出する。取得された光の２次元的な強度分布に基づいて、半導体ウェハＷの表面に生成されたソーマークなどの凹凸を検出し、またはその大きさを測定する。 （もっと読む）

【解決手段】 物品の表面に平行に所定間隔で形成されたライン２Ａを撮影して、該ライン２Ａの欠け２Ｂを検査する物品検査方法に関する。
カメラ５が撮影した検査画像Ｇからライン２Ａを示すライン領域Ａを抽出したら、上記ライン領域Ａの外郭となる輪郭線をその形状を保ったまま所定の方向に移動させて、隣接するライン領域Ａとの隙間がなくなるように該ライン領域Ａを拡張させる。
そして上記検査画像Ｇに、拡張させたライン領域Ａに該当しない空白領域Ｂが存在する場合、ライン２Ａに欠け２Ｂが存在すると判定する。
【効果】 物品の表面に平行に所定間隔で形成されたライン２Ａの欠け２Ｂを検査する場合に、モデルデータと撮影した検査画像Ｇとの位置合せを不要とすることができる。 （もっと読む）

【課題】反射光学系を併用した場合に撮像光学系のみを用いた場合と同じ像を得ることが可能なビデオマイクロスコープを提供する。
【解決手段】複数のレンズ２１Ａ〜２１Ｅよりなる撮像光学系２０の光軸ＯＡを、載置面の上方斜めから載置面上の被写体に向ける。撮像光学系２０の下端には、第１ミラー３１および第２ミラー３２よりなる反射光学系３０を、反射光学系支持機構４０により支持させると共に、撮像光学系２０の光軸ＯＡの回りに回転可能とする。撮像光学系２０の上端には、ＣＣＤなどの撮像素子５０を配置する。第１ミラー３１の回転方向位置に応じて撮像素子５０を撮像光学系２０の光軸ＯＡの回りに回転させることにより、反射光学系３０の回転によって生じた被写体２の像の傾きを低減ないし解消させる。 （もっと読む）

【課題】外観検査を行う検査対象の表面形状によらず、高い精度で欠陥を検出する技術または欠陥の検出を支援する技術を提供する。
【解決手段】検査対象の表面を、所定の曲率の範囲に納まるまで分割し、分割後の領域毎に画像を取得する。すなわち、検査対象の表面が曲率が一定でない曲面であっても、略平面とみなせる単位で撮像を行う。また、取得した画像を画像処理し、欠陥を検出する。欠陥の検出には、従来同様、閾値による判別手法を用いる。 （もっと読む）

【課題】表面に透明薄膜が形成された基板等の試料において、透明薄膜の上面の微小な異物、キズ等の欠陥を高感度且つ高速に検査することができる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の欠陥検査装置によると、照明光学系は、試料の表面の法線に対して所定の入射角を有する検査用照明光を試料表面に照射し、試料表面にスリット状のビームスポットを生成する。試料の表面に対して所定の傾斜角にて傾斜した光軸を有する斜方検出系と試料の表面の法線に沿った光軸を有する上方検出系によって、ビームスポットからの光を検出する。斜方検出系と上方検出系の出力によって、試料の表面の透明薄膜上の欠陥を検出する。検査用照明光の入射角は、試料の表面の透明薄膜下面にて反射した反射光が透明薄膜上面にて全反射するときの入射角より僅かに小さい角度である。 （もっと読む）

【課題】円筒部材に塗布された塗布物を確実に精度よく検出して、塗布物の塗布状態の検査精度を向上させる。
【解決手段】検査装置内で、円筒部材１０に塗布された塗布物１１を検出する検出センサ４０を、円筒部材１０の軸方向Ｃの外側に、かつ、軸方向Ｃに対して傾斜させて円筒部材１０の塗布面に向けて配置する。検出センサ４０により、円筒部材１０の軸方向Ｃに対して傾斜した方向から円筒部材１０の塗布物１１を検出し、検出センサ４０の検出結果に基づき、塗布物１１の塗布状態を検査する。 （もっと読む）

【課題】表面粗さの粗い被検査対象物においても、凹凸が数μm程度の微小凹凸性疵を確実に検出できる装置及び方法を提供する。
【解決手段】鋼板表面に波長が１０．６μm以上の光を照射する光源４と、前記鋼板表面の微小凹凸疵の各点から鏡面反射された光の集束によって得られる明点に基づいて凹欠陥を、前記鋼板表面の微小凹凸疵の各点から鏡面反射された光の発散によって得られる暗点に基づいて凸欠陥を検出する検出系６，７とを有する。 （もっと読む）

【課題】白色で光を散乱する性質を有する膜の表面に存在する液滴を精度よく検出できる検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】多孔質基材上に形成された多孔質樹脂層の表面に分離機能膜製膜溶液が付与され、その後余剰の分離機能膜製膜溶液が除去されてなる膜の多孔質樹脂層側表面に、光を照射するとともに該光の反射光を受光撮像し、該多孔質樹脂層側表面から突出している分離機能膜製膜溶液の欠点液滴を検出する膜の検査方法であって、撮像視野幅に垂直な方向に関して、複数方向から光を照射してそれぞれの主光線が多孔質樹脂層側表面の異なる位置を照射するようにするとともに、それら複数の主光線の軸が、所定の曲率半径を有する多孔質樹脂層側表面から突出する仮想液滴の表面において、撮像軸とそれぞれ正反射の関係になるように光を照射し、かつ、受光撮像した反射光に基づいて欠点液滴の有無を判断する。 （もっと読む）

【課題】的確に検査対象の表面上の欠陥の有無を判定する欠陥判定技術を提供する。
【解決手段】載置台３の載置面３ｆにワークＷを載置し、ワークＷの被検査面Ｗｆは、照明１により光が照射され、カメラ２により撮影される。カメラ２は、移動機構４により、載置面３ｆに対する照明１の光軸の相対方向と、載置面３ｆに対するカメラ２の光軸の相対方向との少なくとも一方が変更されつつ撮影を行う。カメラ２により撮影された撮影データは画像データ取得部により取得され、特徴量抽出部はその画像データに基づいて被検査面Ｗｆの反射特性を表す特徴量を抽出する。欠陥判定部は、抽出された特徴量に基づいて被検査面Ｗｆの欠陥の種別を判定する。 （もっと読む）