【課題】乾燥前の塗布膜であっても塗布ムラを検出することができ、塗布工程直後から塗布ムラを検出することができる塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】ステージに載置された基板に対し相対的に移動しつつ塗布液を吐出することにより基板上に塗布膜を形成する塗布ユニットと、基板上に形成された塗布膜に対し、特定の照射パターンの光を出力する照射部と、塗布膜の表面で反射された反射光を受光する受光部と、受光部によって受光された反射光の受光パターンと、特定の照射パターンとを比較することにより、塗布膜の形成状態の良否を判断する制御装置とを備える塗布装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】自動車ボディの外板面が許容範囲内で変化しても、正確に表面欠陥を検査することのできる自動車ボディ表面欠陥検査方法、及び自動車ボディ表面欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】照明手段５と、カメラ７と、カメラ７の映像データを記憶する映像データ記憶手段である検査制御装置２と、照明手段５とカメラ７を移動するカメラ移動手段である検査フレーム制御装置１０と有し、映像データをフーリエ変換して、不要周波数成分をカットするカット処理工程（Ｓ３２）と、カット処理されたデータを３次元処理して意匠近似面データを作成する意匠近似面データ作成工程（Ｓ３３、Ｓ３４）と、カット処理されたデータと意匠近似面データとの差分を算出する差分処理工程（Ｓ３５）と、差分処理されたデータに基づいて、自動車ボディの表面欠陥を判断する表面欠陥判断工程（Ｓ３６、Ｓ３７、Ｓ３８）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】物体表面の検査面において光沢度の差を明瞭に検出できる物体表面検査装置を提供する。
【解決手段】物体表面検査装置は、検査対象物５０の検査面５１の法線方向Ｌ１と斜めに交差する方向からライン状の検査光を検査面５１に照射する照明装置２と、ライン状に配置された受光素子を具備し受光素子の受光光軸Ｌ３と検査面５１の法線方向との為す角度δ２が照明装置２の投光光軸Ｌ２と検査面５１の法線方向Ｌ１の為す角度δ１と同じ角度になるように配置されて検査面５１を撮像する撮像装置３と、撮像装置３が撮像した画像を解析することによって検査面の検査を行う画像処理装置１とを備え、照明装置２及び撮像装置３は、ライン状の検査光の延びる方向およびライン状の視野Ａの延びる方向Ｌ４が、搬送装置４による検査対象物５０の搬送方向Ｌ５に対して、それぞれ同じ角度θ１，θ２で斜めに交差するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】紙等のシート製造ライン等において使用する検査設備をコンパクト化できる光学検査装置を提供する。
【解決手段】連続して搬送されるシートＰの欠陥を検査する装置であって、シートＰに対して光を照射する光源５と、光源５からシートＰに照射された光を受光する受光手段２と、受光手段２と光源５の作動を制御する制御部と、受光手段２が受光した光に基づいて欠陥検出処理を行う処理部とを有する制御手段３とを備えており、光源５は、シートＰに対して光を照射する角度が異なる複数の発光源を備えている。複数の発光源から異なる角度でシートＰに複数の光を照射しているので、一方向からの光では検出できなかった欠陥でも検出することができる。従来、発光源ごとに必要であった受光系や制御系を一系統にすることができる。複数台の検査装置を備えていた検査設備について、検査装置の台数を少なくすることができ、検査設備を小型化することができる。 （もっと読む）

【課題】従来の技術と比較して、迅速に精度の高い検査を行う。
【解決手段】被検査物としてのタイヤ３４にレーザ光を照射した状態で撮影された画像３８にレーザ光照射領域３６が含まれ、かつ画像３８の基準領域４０からレーザ光照射領域３６の少なくとも一部分がはみ出ている場合には、撮影手段としてのカメラ２４で撮影された画像３８内の基準領域４０内にレーザ光照射領域３６が含まれるように、移動手段としての垂直駆動用モータ２８及び水平駆動用モータ３０を制御する。 （もっと読む）

【課題】複写機、ファクシミリ、プリンタ、印刷機等の画像形成装置等に用いられる、物体表面の光沢ムラを比較的簡易な手法で定量的に測定して評価する光沢ムラ評価装置、光沢ムラ評価方法、かかる光沢ムラ評価装置を有するかかる画像形成装置、かかる光沢ムラ評価方法を実行するプログラムを格納した記録媒体の提供。
【解決手段】撮像された被評価サンプルＳＡの正反射光を含む画像の画素の光輝感成分と色彩成分とを算出する第１の算出手段８０と、光輝感成分の平均値と色彩成分の平均値とを算出する第２の算出手段８０と、光輝感成分の平均値からの偏差の空間周波数特性に、人の視覚特性を考慮した重み付け処理を行い積分して所定値を算出する第３の算出手段８０と、所定値に色彩成分の平均値を用いた色味の度合いで重み付け処理を行った光沢ムラ評価値を算出する第４の算出手段８０とを用いる。 （もっと読む）

【課題】柄が装飾された表面に生じた凹凸欠陥を検出可能な樹脂成形品の外観検査装置を提供する。
【解決手段】一定の指向性を有する光源２１と反射光を撮影するカメラ３１を備える。光源は出射光軸２２方向に主出射光を出射するとともに出射光軸を中心軸として一定の広がり角を有する放射角光を出射するものであり、光源２１と被検査物４１間の光路に遮蔽板２５を配置して光源からの主出射光を遮蔽することにより、被検査物の表面上に放射角光照明領域４６を作り出す。放射角光照明領域４６をカメラ３１で撮影して撮影像を得て、撮影像から凹凸欠陥を検査する外観検査装置である。 （もっと読む）

【課題】 従来、目視により行われていた、フッ化物単結晶などの光学材料が有する極微小な散乱点の量や分布などの把握を、再現性よく、また定量的かつ迅速に把握できる方法を提供する。
【解決手段】 光学材料の有する平面に対し垂直に可視光レーザーを入射しながら内部を走査し、内部の散乱点で生じた散乱光をカメラを用いて撮影する。レーザー走査を行うことにより内部の散乱点の存在を面として捕らえることができ、またこれをカメラで撮影することにより、他の光学材料との比較が容易になり、さらには画像解析を行えば、他の光学材料との比較をいっそう定量的かつ信頼性が高いものとできる。 （もっと読む）

【課題】照明系や受光系を構成する光学素子（凹面鏡）の検査精度を向上させる表面検査装置を提供する。
【解決手段】ウェハＷを支持するステージ１０と、ウェハＷを検査する光を射出する光源２２と、ウェハＷの表面を光源２２からの光で照明する照明系２０と、照明されたウェハＷの表面からの光を所定の撮像面上に結像させる受光系３０と、前記撮像面上に結像した像を撮像する撮像部３２と、撮像部３２で撮像された像に基づいてウェハＷ表面の検査を行う検査部（画像処理部５０、中央制御部６０及び表示部７０）と、照明側凹面鏡２６及び受光側凹面鏡３１の少なくとも一方を照明するためのレーザー光源と、レーザー光源により照明された診断対象である前記凹面鏡において該照明を受けた部位で発生した散乱光を検出するフォトダイオードと、フォトダイオードにより検出された散乱光に基づいて前記凹面鏡の検査を行う診断部４０とを有する。 （もっと読む）

【課題】透明平板基板の表裏に存在する微細な異物を光散乱方式により高感度に検出するとともに、異物が表裏のいずれに存在するかを確実に判別することができる異物検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】透明平板基板に投光系により検出光を照射し、前記透明平板基板に存在する異物による散乱光を受光系により受光して前記異物の存在を検出する異物検査装置において、前記透明平板基板の表面に前記透明平板基板の基板法線に対して所定の入射角で前記検出光を照射する投光系と、前記表面側に設けられ、前記検出光の照射点を基準として、前記投光系と略対称の位置に設けられ、前記検出光が異物に照射された際の散乱光を受光する第１の受光系と、前記表面側で、前記検出光の照射点のほぼ頭上に設けられ、前記散乱光を受光する第２の受光系とを備える。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の表面の微小な凹凸の状態を評価できる表面微小凹凸評価装置および装置を提供する。
【解決手段】投光手段２から測定対象物Ｗの表面Ｗａに対して表面Ｗａの法線Ｘを基準として８３度から８５度の投光角度αで投光し、表面Ｗａで反射された反射光Ｒを受光手段３で、表面Ｗａの法線Ｘを基準として−７３度から−８０度の受光角度βで受光し、受光手段３で受光した反射光Ｒの光強度に基づいて表面Ｗａの微小な凹凸の状態を評価する。 （もっと読む）

【課題】表面を照明するための装置、ならびに物体の視覚的特性を特定するための装置および方法を提供する。
【解決手段】一つの保持装置に設けられている少なくとも二つの放射光源を有する少なくとも一つの放射光装置と、少なくとも一つの絞り装置と、光路において前記絞り装置の手前に設けられており、前記絞り装置を通って進んでゆく放射光を均一にするために用いられている少なくとも一つの散乱装置とを備え、少なくとも一つの放射光源と前記絞り装置との間の光路中に、放射された光を前記絞り装置の単独のスリットに偏向する少なくとも一つの光偏向装置が設けられ、それによって前記放射光源から放射可能とされた放射光が前記絞り装置内の単独のスリットに向けられるように構成されている、測定面を照明するための照明装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】安価かつ簡単な方法で、棒状回転工具の逃げ面の特徴及び逃げ面内の欠陥の特徴を抽出することが出来る画像を撮像する棒状回転工具の検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】検査対象である角度が相互に相違する複数の逃げ面を有する棒状回転工具の刃先に照明装置により照射しつつ撮像し、得られた画像を基に検査対象の棒状回転工具の良否を判定する棒状回転工具の検査方法であって、棒状回転工具の先端部から外周までを同心円状に撮像すると共に、棒状回転工具の刃先と該棒状回転工具の刃先の一部または全部をその周囲から照射する照明装置との距離を変えて、棒状回転工具の特定の角度をなす逃げ面が他の角度をなす逃げ面に対して明暗が相互に逆転する画像が得られる複数の位置で撮像する棒状回転工具の検査方法及び検査装置。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウェーハを検査するための検査システム。
【解決手段】 この検査システムは、広帯域照明を供給するための照明設定を備える。広帯域照明は、異なるコントラスト、例えば明視野および暗視野広帯域照明であることができる。検査システムは、第１の画像収集装置および第２の画像収集装置を更に備え、半導体ウェーハが動く間、各々が半導体ウェーハの画像を収集するために広帯域照明を受け取るために構成される。システムは、広帯域照明の平行を可能にするための複数のチューブレンズを備える。システムはさらに、安定化メカニズムおよび対物レンズ組立体を備える。システムは、細線照明エミッタ、および半導体ウェーハの３次元画像をそれによって収集するために細線照明を受け取るための第３の画像収集装置を更に備える。システムは、第３の画像収集装置が、複数の方向に半導体ウェーハから反射される照明を受け取ることを可能にするための反射器組立体を備える。 （もっと読む）

【課題】ムラ評価装置、ムラ評価方法、ディスプレイ検査装置、およびプログラムを提供すること。
【解決手段】ムラ評価装置１００は、ディスプレイ装置の表示領域から設定された半径の球面を走査して前記表示領域に存在する表示ムラについて複数の画像を取得するムラ検出部１１０と、ムラ検出部の取得した複数の画像から、当該画像におけるムラの特徴値と、当該画像を取得した位置とを対応付けてムラ立体を生成し、指定された観視角度から仮想平面を見た場合のムラ立体を重畳したムラ重畳イメージを生成する情報処理装置１５０とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】検査対象となる透明体の内部に欠陥が存在する場合に、その欠陥がどのくらい深い位置に存在しているかを特定できる透明体検査装置を提供する。
【解決手段】撮影駆動手段３は、撮影手段２を透明体１７に近づく方向および透明体から遠ざかる方向に移動させる。撮影手段２は、透明体１７に近づく方向または透明体１７から遠ざかる方向に移動している間に複数回撮影を行う。欠陥判定手段１２は、撮影手段２が撮影した画像中の画素の輝度が不均一である場合、その画像を撮影した時の被写界深度内に欠陥があると判定する。 （もっと読む）

【課題】紡績準備において繊維のベールから取り出される（開繊される）例えばコットンの繊維フロックの中からポリプロピレンバンド、布、フィルム等のプラスチック材料の異物を検出することが可能な装置を提供することを目的とする。
【解決手段】少なくとも１台の検出装置（カメラ）４６と協働する偏光源４１、４２が繊維材料（繊維フロック、繊維フロック、ウェブ）に作用し、繊維材料は、明るい又は透明なプラスチック材料の薄板状異物を通過する偏光で照射され、検出装置４６は、その分解能に基づいて繊維状部分から薄板状異物を区別することができる。 （もっと読む）

【課題】めっき層表面に生じるめっき未着等の欠陥を安定的に検出することが可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置２０は、パッド部と、パッド部と異なる色彩をもつめっき層とを有する被検査基材１０の外観を検査するものである。外観検査装置２０は、被検査基材１０に対して光を照射する照明装置と、被検査基材１０を撮像してカラー画像を取得するカラーセンサカメラ２２と、カラーセンサカメラ２２に接続された画像処理装置３０とを備えている。画像処理装置３０は、カラー画像のうちパッド部からの反射率が低く、めっき層からの反射率が高くなる特定波長成分のみを含む画像成分を抽出する成分抽出部３２と、特定波長成分を含む画像成分の画像を処理する画像処理部３３と、めっき層の欠けを判定する判定部３４とを有している。 （もっと読む）

【課題】めっき層表面に生じるめっき未着等の欠陥を安定的に検出することが可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置２０は、パッド部１１ａ、１１ｂと、パッド部１１ａ、１１ｂと異なる色彩をもつめっき層１２とを有する被検査基材１０の外観を検査するものである。外観検査装置２０は、被検査基材１０に対してパッド部１１ａ、１１ｂからの反射率と、めっき層１２からの反射率との差が大きくなる特定波長成分を含む光を照射する照明装置２３ａ−２３ｃと、被検査基材１０を撮像してグレー画像を取得するモノクロカメラ２２と、モノクロカメラ２２に接続された画像処理装置３０とを備えている。画像処理装置３０は、モノクロカメラ２２からのグレー画像に基づいて白黒画像を生成する二値化処理部３３と、白黒画像に基づいてめっき層１２の未着を判定する判定部３４とを有している。 （もっと読む）

【課題】短時間でＣＣＤカメラのフォーカシングを行うことができるノズルプレートの検査装置およびノズルプレートの検査方法を提供することである。
【解決手段】マザープレート１がセットされるセットステージ１２と、セットステージ１２を介してマザープレート１を移動させる移動テーブル１３と、各ノズル孔３のメニスカス形成部８にフォーカシングし、画像認識するＣＣＤカメラ１４と、各ノズル孔３内部を照明する透過照明１７と、ＣＣＤカメラ１４とマザープレート１の表面との距離を計測するレーザ変位計１５と、これら装置を制御する制御装置１８と、を備え、制御装置１８は、各ノズル孔３の近傍における距離およびマザープレート１の移動量から、各ノズル孔３の位置情報および各ノズル孔３に対するフォーカシングの距離情報を取得し、取得情報に基づいて、各ノズル孔３の内部を連続的に画像認識して、異物４３の有無を検査するものである。 （もっと読む）