【課題】表面粗さの粗い被検査対象物においても、凹凸が数μm程度の微小凹凸性疵を確実に検出できる装置及び方法を提供する。
【解決手段】鋼板表面に波長が１０．６μm以上の光を照射する光源４と、前記鋼板表面の微小凹凸疵で反射された光の集束及び発散によって得られる明暗パターンに基づいて微小欠陥を検出する検出系とを有する。前記光源４は、前記鋼板１がロール２に接している部位に光を照射する。又前記検出系は、前記鋼板表面により反射された光を投影するスクリーン６と、当該スクリーン上の光強度分布を測定する２次元カメラ７とを有する。 （もっと読む）

ヤーンクリヤラ測定ヘッド（１）用ハウジング（２）は、欠陥個所を除去すべき糸（９）を受入れるため長手方向（ｘ）を規定する測定スリット（３）を持っている。ハウジング（２）が仮想包絡直方体（４）により完全に包囲可能である。包絡直方体の長さ（Ｘ）が長手方向（ｘ）におけるハウジング（２）の寸法として定義されている。包絡直方体の高さ（Ｙ）及び幅（Ｚ）が、長手方向（ｘ）に対して直角な面（ｙｚ）にある包絡直方体の長方形の辺長として定義され、この長方形がこの面（ｙｚ）へのハウジング（２）の投影を完全に包囲し、この長方形の周囲及び／又は面積が最小である。包絡直方体（４）の長さ（Ｘ）が４１ｍｍと４７ｍｍとの間にあり、かつ／又は包絡直方体の高さ（Ｙ）が６１ｍｍと７０ｍｍとの間にあり、かつ／又は包絡直方体（４）の幅（Ｚ）が９６ｍｍと１０６ｍｍとの間にある。ハウジング（２）は、その中に収容される構成要素に対してできるだけ多くの空間を提供し、できるだけ多くの機械に組込むことができる。
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【課題】板状体のエッジ部の欠陥を検出することができる板状体の欠陥検出方法及び欠陥検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】欠陥検出方法は、板状体１１の出射面１２側から撮像して得られた画像をデジタル処理することで板状体１１の欠陥を検出する。板状体１１の出射面１２に隣接している入射面１３に、板状体１１の内部を透過した透過光が入射面１３から出射されるように光を照射し、透過光を結像させることにより板状体１１の画像を得る。 （もっと読む）

【課題】太陽電池パネルのガラス表面上のキズを精度良く検出するキズ検査装置を提供する。
【解決手段】画像処理装置１と、スリット板２と、遮光ボックス３と、該画像処理装置１と電気的に接続されたラインセンサカメラ４、ライン照明５、基板センサ６、基板搬送装置７、およびロータリエンコーダ８とを備え、基板センサ６が、基板搬送装置７上を搬送されてきた太陽電池パネル基板９を検出するとともに、基板搬送装置７のロータリエンコーダ８からのエンコーダ信号が画像処理装置１に送られる。画像処理装置１は、このエンコーダ信号によって、基板搬送装置７の送り速度と同期を取りながら、ライン照明５によって照射されている被検査面を、ラインセンサカメラ４によって撮影し、撮影した被検査画像を画像処理装置１内のメモリに記録する。メモリ内に記録された被検査画像は、画像処理装置１によって画像処理が行われ、キズ判定がなされる。 （もっと読む）

【課題】キズ及びパーティクル等の欠陥の存在及び大きさを短時間で識別することが可能な半導体評価装置及び方法、並びにこれらを用いた半導体製造装置を提供する。
【解決手段】レーザ光源と、前記レーザ光源と対向するようにして配置された複数の集光レンズを有するレンズ系と、受光器とを具え、前記レーザ光源から発されたレーザ光を前記レンズ系の前記複数の集光レンズを順次に通過させて、相異なるビーム径の複数の測定用レーザ光を順次に形成し、前記複数の測定用レーザ光それぞれを半導体基板の表面に順次に照射するとともに、前記半導体基板の前記表面の複数の欠陥に起因した散乱光を前記受光器で受光し、前記散乱光の強度に基づいて、前記複数の欠陥を評価する。 （もっと読む）

【課題】炭素繊維にマトリックス樹脂を含浸させたプリプレグ表面の欠点検査方法。特に、一方向に引き揃えたプリプレグ表面に対して、高精度で信頼性高く検査できる光学的手段を用いた欠点検査方法を提供する。
【解決手段】欠点候補領域の矩形率、最大径角度、凹凸度を求め、ワレ欠点を検出後、ワレ欠点検出領域をマスクした画像から、1画素列毎に閾値を算出し、その閾値により2値化して毛羽欠点を検出する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、製造時にフィルムに生じた欠陥を精度良く検出できるフィルム検査装置を提供することにある。
【解決手段】検査装置１０は、フィルム１２に光Ｌ１、Ｌ２を照射して正反射光を形成させる光照射装置１６と、欠陥を検出するためのセンサ１８とを備える。フィルム１２には光の帯２２が生じ、センサ１８はその間の暗部２４を検出領域とする。通常、センサ１８の受光量は低いが、欠陥によって散乱光が生じると受光量が高くなり、欠陥を検出できる。 （もっと読む）

【課題】異物を感度よく検出することができる光学式の異物検出装置およびこれを搭載した処理液塗布装置を提供すること。
【解決手段】ステージ２上に水平状態に載置された被処理基板１と、前記基板１の幅方向に延びるスリット状吐出開口１１ｂを有する処理液供給ノズル１１とを相対的に移動させて処理液供給ノズル１１から帯状に吐出される処理液を、基板１の表面に塗布するように構成される。前記処理液供給ノズル１１の相対移動方向の前方に投光部５と受光部６からなる光透過形センサユニットが搭載されている。前記センサユニットの相対移動方向に沿って複数の検査エリアが設定され、異物の移動方向の履歴を追ってセンサユニットによる受光データを集計することで、異物に対する反応感度を向上させた光学式の異物検出装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】回折光によるコントラストから正常部と変動部とを精度良く識別する為の画像を取得することによるムラ検査装置における、最適な検査条件設定方法を提供すること。
【解決手段】周期性パターンが形成された基板に照明光を複数の照射角度で斜め照射し、周期性パターンにより生じる回折光を用いて検査するムラ検査装置における検査条件設定方法である。周期性パターンの形状に関する情報を入力する検査対象基板情報入力工程と、位置決め工程と、回折格子方程式による回折光強度ピーク角度算出工程と、回折光の測定を行う際の測定角度範囲を決定する回折光測定角度範囲決定工程と、回折光強度プロファイルを得る回折光強度取得工程と、得られた回折光強度プロファイルと、回折光強度ピーク角度算出工程において得られた回折光角度と回折光次数、照明光波長とを元に、照明光の照射角度、撮像倍率および照明光波長を設定する検査条件設定工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】透光性を有する材料を含む板状体の内部に存在する欠陥を、高精度に検出することを可能にする。
【解決手段】板状体２の欠陥を検出する欠陥検出装置は、透光性を有する材料を含んだ板状体２の一の面３３に光を入射させる投光装置５と、板状体２で反射した光の反射光を用いて板状体２を撮像する撮像装置３と、を有している。そして、投光装置５から出射した光の光路上に光透過率が９２％以下の拡散体６が配置されている。 （もっと読む）

【課題】照射部位によって反射方向の異なる正反射光を返す観測対象面Ｐにおいて反射方向の違いに起因するコントラストを打ち消すとともに、大きいサイズの観測対象面Ｐに均一な光を照射して観測対象面Ｐの傷等を検出できるようにする。
【解決手段】観測対象面Ｐに、その裏面を除く略全方向から略均一な光を照射する光照射装置であって、観測対象面Ｐをその裏面以外の略全方向から略囲むように設けられ、観測対象面Ｐに向かうに従って徐々に拡開する略切頭円錐状をなす拡散面２ａと、拡散面２ａに向かって光を照射して、拡散面２ａの輝度を略全面において略均一にする第１光源と、拡散面２ａの輝度と同一輝度の光を、拡散面２ａの観測対象面Ｐとは反対側の開口から観測対象面Ｐに照射する第２光源と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】基板端部の形状が基板により異なっていても、鮮明な画像を取得可能にすること。
【解決手段】基板５０の表面に対して傾斜した方向から照明光を照射する可動光源５と、可動光源５から発せられた照明光の基板端部５２における反射光により基板端部５２の像を撮影するカメラ７とを備え、可動光源５が、基板端部５２に対する照明光の照射角度を変更可能に設けられている基板検査装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】ガラス板等の透明性を有する板状体の製造ライン等において、板状体に存在する欠陥か、否かを効率よく判別して検出する。
【解決手段】第１の線状光源から投光して板状体を通過した透過光を第１のカメラで明視野画像を撮影するとき、第１のカメラの透過光の光路中の第１のカメラの前面の位置にナイフエッジ状の光路遮蔽部材を設ける。撮影された明視野画像の中から、明視野画像の背景成分の信号値に比べて高い信号値を閾値として、明視野画像の中から明部の領域を探索し、探索の結果、明部の領域を抽出したとき、この明部の領域を用いて、板状体に欠陥領域が存在するか否かを判別する。 （もっと読む）

【課題】
プリズムシートにおける欠点を精度よく検出することができる検査装置ならびに検査方法を提供する。
【解決手段】
被検査体であるプリズムシートに光を照射する光照射手段と、前記プリズムシートに対して前記光照射手段と反対面に配置され、前記プリズムシートを透過した透過光を受光する受光手段と、前記プリズムシートと前記受光手段との間に配置され、前記透過光を集光し前記受光手段に光を入射させる集光手段と、前記受光手段で受光した前記透過光の受光信号波形に基づき前記プリズムシートに存在する欠点を検出するデータ処理手段とを有するプリズムシートの欠点検査装置であって、前記光照射手段は、該光照射手段の長手方向が前記プリズムシートに繰り返し設けられたプリズム形状の繰り返し方向に平行となるように配置されてなり、さらに、前記集光手段の画角θ２が、前記プリズムシートがもつ光屈折特性によって定まる主屈折角θ１に対し、
２×θ１＞θ２
であることを特徴とするプリズムシートの欠点検査装置。 （もっと読む）

【課題】従来の技術と比較して、カメラの光軸の方向が理想的な状態でない場合でも、検査精度が良好となる。
【解決手段】基準となる所定形状が、検査対象領域に含まれていないと判定された場合（１１８でＮ）に、基準画像データが表す画像の所定の基準点から第１の方向上の距離が大きくなるほど、第１の方向と交差する第２の方向へ移動する移動量が大きくなるように、基準画像データが表す画像の各画素を第２の方向へ移動させることにより、基準画像データを変形させる（１２０）。 （もっと読む）

【課題】複数のカラー光源を利用して、鏡面状の検査面を有する検査対象物の欠陥を確実に検出できるようにする。
【解決手段】 検査面２の法線方向に光軸を一致させてカラーラインＴＶカメラ３を配置し、検査面２を横切るカラーラインＴＶカメラ３のライン状視野に対して平行でかつカラーラインＴＶカメラ３の光軸から離れた位置に赤緑青３色の棒状のライン光源４，５，６を配置し、検査面２とカラーラインＴＶカメラ３との間にハーフミラー７を配置し、緑色ライン光源５をその光がハーフミラー７を介してカラーラインＴＶカメラ３の光軸と同軸に検査面２に照射されるように配置し、緑色ライン光源５を挟んで赤色ライン光源４および青色ライン光源６を平行に並べて配置し、ハーフミラー７を介して赤色ライン光源４および青色ライン光源６の光が緑色ライン光源５の光路を挟んで検査面２に対し斜め方向から照射されるようにした。 （もっと読む）

【課題】色彩と傾斜角度との関係の整合がとれた画像を生成するとともに、真上方向からの撮像では認識できない急峻なはんだ面の傾斜状態を認識できるようにする。
【解決手段】発光色の切り替えが可能な発光部が複数配列されたドーム型の照明装置２の上方にカラー撮像用のカメラ１を配置するとともに、照明装置２の中心線Ｃに直交する方向に対向するように反射ミラー３１，３２を配置し、これらのミラー３１，３２の位置を制御することにより、カメラ１に直視撮像モードおよび斜視撮像モードのいずれかを設定する。直視撮像モード下の照明装置２では、赤、緑、青の各発光領域が、各領域間の境界が全方位にわたって均一な状態で生じる。一方、斜視撮像モード下では、画像中の赤、緑、青の各色彩が直視撮像モードによる画像と同じ角度範囲を表し、より急峻な傾斜角度が紫色で表されるように、各発光部の発光色が制御される。 （もっと読む）

【課題】表示パネルの検査において、表示パネルの表面に付着した異物と滅点とを区別して検出すること。
【解決手段】液晶表示パネル１００の表面を異なる２つの視角からカメラ１１を用いて撮像する。視角の切り替えは、反射鏡１ａ〜２ｂを備えた光学系１８の遮光板３ａ、３ｂを用いて行う。得られた画素画像から、輝度が低下した欠陥部位を検出し、この欠陥部位の周辺画素の色配列が異なる視角で撮像した画素画像間で一致するか否か比較する。欠陥部位が表面に付着した異物の場合には、視角によって背景に写り込む画素の色配列が変わるため、滅点と異物とを区別することができる （もっと読む）

【課題】被観察物の端面が，面取り加工された光沢性の強い端面であっても，その端面の広い範囲を一望できる撮像画像を得ること。
【解決手段】光を透過させて透過光を拡散させる拡散板が，被観察物１の端面からその端面に連なる表裏両側の面に渡る範囲に対して内側の面が対向する屈曲形状又は湾曲形状に形成され，その外側に配置されたカメラ３０の位置から被観察物の端面１ａが見える覗き窓１４が設けられた光拡散部材１１と，その光拡散部材１１の外側に配列され，光拡散部材１１を介して端面１ａを照明する複数のＬＥＤ１２と，前記覗き窓１４に向かうカメラ３０の光軸方向に交差する方向へ光を照射するＬＥＤ２１及びレンズ２２と，カメラ３０と前記覗き窓１４との間においてＬＥＤ２１からの光を反射して前記覗き窓１４を通じて端面１ａに照射するとともにその端面１ａからの反射光をカメラ３０側へ通過させるハーフミラー２３とを備える。 （もっと読む）

【課題】１組の光源とラインセンサ型カメラによって欠陥の検出に加え、欠陥の種別の判別も行う。
【解決手段】一定方向に送られる被検査物５の表面に斜光照明を行うライン状光源２と、該光源からの光の被検査物表面での反射光を捕らえるラインセンサ型カメラ１と、上記カメラの出力画像の明暗から欠陥を検出する画像処理回路３とからなる。上記光源の光軸Ｌ２と被検査物表面との交点の位置を、上記カメラの光軸Ｌ１と被検査物表面との交点の位置からずらして、上記光源の光軸と被検査物表面とがなす角度αよりも、上記光源からカメラの光軸と被検査物表面との交点の位置に至る光が被検査物表面とがなす角度α’を小さくする。 （もっと読む）