【課題】めっきの製造条件の微少な変動によらず、配線パターン及びめっきの検査を同時に行なうことが可能な金属基板表面の検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】基板を所定速度で移動する搬送段階と、基板の法線方向から０°〜１０°傾いた方向から、搬送と同期を取るかまたは所定時間間隔で、基板表面を撮影する撮像段階と、基板の非めっき部の金属材料とめっき材料との反射強度の差が最大となる波長域の光を間接光で照射する照明段階と、照射光のうち、基板の非めっき部の金属材料とめっき部のめっき材料の反射強度の差が小さい、特定照射角度の光の一部を選択的に照射させないようにする半照明阻止段階と、撮像段階にて得られた画像データを用いて、基板表面に存在する欠陥部を抽出、自動判定する画像処理段階と、を備えた金属基板表面の検査方法および検査装置。 （もっと読む）

【課題】検査対象の不良部分を簡易に、かつ高い精度で検出する検査装置。
【解決手段】銅箔検査装置１０は、ライト１２、ＣＣＤカメラ１４、ガイドローラ１６、及び制御部１８を含んで構成されている。
銅箔２０に光を照射するライト１２は、各ガイドローラ１６間の中心部に位置する銅箔２０の読取位置Ｏを照射する位置に設置されており、読取位置Ｏに光を照射する。ライト１２により照射されることにより読取位置Ｏで正反射された光は、矢印Ｐの方向に進行する。本実施の形態のＣＣＤカメラ１４は、矢印Ｐの方向とは数度異なる矢印Ｑの方向に垂直な面で光を受光するように設けられており、受光した光の強度に応じて画素毎に例えば８ビットの輝度信号に変換した画像データを制御部１８に出力する。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタの欠陥が、どの色の着色画素に発生したかを検査の段階で特定し、色毎に異なる規格を適用した欠陥検査を行うカラーフィルタの外観検査方法を提供する。
【解決手段】予め、着色画素などの良品検査画素の濃度範囲を設定し、被検査体を撮像した際に、各色の着色画素などを判定する検出検査画素の数を設定し、次に、欠陥Ｄ３の位置情報から、その周囲に輪郭部Ｒ３を設け、輪郭検査画素の各濃度を求め前記濃度範囲と対比して濃度範囲毎に集計し、次に、輪郭検査画素の数が検出検査画素の数以上なら、欠陥は当該着色画素と判定し、欠陥のサイズを当該色の許容欠陥のサイズと対比し可否を判定する。 （もっと読む）

【課題】従来の表面欠点検査装置において十分に検出できなかった微細な凹凸の疵等の欠点を、分離膜の地合いの散乱の強さを問わず、十分に検出できる表面検査装置および表面検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】分離膜を照明する照明装置２と分離膜３からの反射光を受光する撮像装置１と、撮像装置の出力信号を処理して前記被検査物の欠点を検出する画像処理装置を備えた表面検査装置であって、前記撮像装置１の撮像軸と前記照明装置２の照射方向が前記分離膜３の法線方向に対して同じ側であり、前記照明装置２はライン状で指向性の高い光を分離膜３に照射し、前記撮像装置の撮像軸と分離膜表面との交点を前記照射域における最大光量を得られる位置に設定し、なおかつ、前記照明装置の照射方向と前記分離膜表面に対する角度より、前記撮像装置の撮像軸と前記分離膜表面に対する角度が大きい、ことを特徴とする表面検査装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】対物レンズの倍率を上げることなく、基板端部を詳細に観察することができる基板検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る基板検査装置は、ウェハ２を保持するウェハホルダ１４と、ウェハ２の端部を観察するラインセンサカメラ２０と、ウェハ２の端部とラインセンサカメラ２０とを相対移動させるウェハ支持部１０とを備えている。ラインセンサカメラ２０は、ウェハ２の端部に照射された照明光の反射光を受光するラインセンサ２４を有しており、またラインセンサ２４は、ウェハ２の相対移動方向に対して斜めに交差する向きに配置されている。 （もっと読む）

【課題】ＬＥＤのような指向性の高い点光源を用いた照明装置を拡散板を導入せずに使用しても、表面の傾斜状態の判別を安定して行って、検査の精度を確保する。
【解決手段】基板Ｓの上方に、カラーカメラ１を受光面が基板面に対向するように配備するとともに、このカメラ１と基板Ｓとの間に照明装置２を設け、基板Ｓ上のフィレット７１に対する検査を実行する。照明装置２は、同心円状に配備されたＬＥＤ２１Ｒ，２１Ｇ，２１Ｂにより、赤、緑、青の各色彩光がカメラ１の視野に対しそれぞれ異なる方向から入射するように構成されるが、光出射面には拡散板が設けられていない。検査の際には、カメラ１により生成された画像から各照明色による高輝度領域を抽出し、これらの領域がＬＥＤ間の距離に応じた間隔を隔てて分布する範囲全体を、照明色に対応する色領域として特定し、各色領域の構成画素の数を所定の基準値と照合する。 （もっと読む）

【課題】
熱可塑性樹脂フィルム製造中に発生するフィッシュアイ欠点を検出し、異物起因、原料カス、ゲル起因を確実に判別し、種類ごとに個数管理を行うフィッシュアイ検出判定方法を提供する。
【解決手段】
熱可塑性樹脂フィルムに見られるフィシュアイの判定方法であって、入射光として光ファイバをライン状に配列したファイバ照明を用い、該ファイバ照明を熱可塑性樹脂フィルムの一方の面側から照射し、その反対面側にカメラを配置して、入射光をカメラ方向に対して２０°から４０°の範囲で傾け、カメラ視野をファイバ照明端部にして、熱可塑性樹脂フィルムを透過した透過光によって撮像し、撮像画像を画像処理して、フィッシュアイ部分の明と暗の位置と面積を分析することによって、異物起因、原料カス、ゲル起因を確実に判別し、種類ごとに個数管理を行う。 （もっと読む）

【課題】表面を斜めの検査角度において高い解像度で検査できるようにする方法及び装置を提供する。
【解決手段】表面に対して斜めのビュー角度に沿って表面のエリアを像形成するための装置は、ビュー角度に向けられた光学軸に沿ってエリアから光学放射を収集することによりエリアの初期傾斜像を形成するように適応された無限焦点光学リレー(192)を備えている。傾斜補正ユニット(194)が、初期像の傾斜を補正するように結合されて、実質的に無歪の中間像を形成する。中間像を像検出器に収束するために拡大モジュール(19８)が結合される。 （もっと読む）

【課題】ウェハ裏面を検査し、検出した欠陥が、搬送手段の接触による汚染であるかの判定と、発生源の特定ができるような平面基板検査装置および平面基板の検査方法を提供する。
【解決手段】ウェハ搬送部２０等により保持されるウェハ１の保持面（例えば、ウェハ裏面１ｂ）の表面状態を検査する平面基板検査装置を、ウェハ裏面１ｂを照明する光ファイバー３，４およびコンデンサレンズ５，６と、照明されたウェハ裏面１ｂの像を結像する受光レンズ７と、結像された像を検出して被検査面情報として出力する撮像素子８および画像処理部９と、接触位置情報を記憶する接触位置情報記憶部１３と、被検査面情報と接触位置情報とを比較照合する比較照合部１２とから構成する。 （もっと読む）

【課題】 被検査体の端部の状態を効率良く検査するとともに、被検査体に生じる欠陥部分の画像を容易に取得する。
【解決手段】 薄膜が形成された円板状の被検査体を回転させながら前記被検査体の端部を撮像することで、前記被検査体の端部の状態を検査する端部検査装置において、被検査体の表面は、平坦部と、平坦部の周縁に設けられ、被検査体の周面に向けて下り傾斜する傾斜部とから構成されており、被検査体の上方から、傾斜部と平坦部の一部を含む被検査体の端部の画像を取得する第１の画像取得手段と、薄膜が形成されていない被検査体の表面の端部を示す基本画像と、第１の画像取得手段により取得された画像とを比較することで、薄膜が傾斜部に形成されているか否かを認識する画像比較手段と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ライン上を搬送されてくるガラス基板をラインから取り出すことなく、その全面にわたる詳細な外観検査を行うことを可能とし、タクトタイムの短縮、製造設備のコンパクト化を図ること。
【解決手段】基板外観検査装置１は、製造ライン５２上を搬送されてくる基板５０の表面に照射する照明光を発生する照明装置１１と、照明装置１１から発せられ基板５０の表面において反射した反射光を撮影するカメラ１３と、これら照明装置１１およびカメラ１３を、製造ライン５２上の基板５０の搬送方向に交差する方向に一体的に移動させる移動機構とを備え、カメラ１３が、照明装置１１からの照明光の、基板５０の表面における正反射光の光束の範囲外に配置されている。 （もっと読む）

【課題】熟練検査員を要することなく、塗装ムラを精度よく判定評価することのできる塗装ムラ評価装置を提供する。
【解決手段】塗装ムラ評価装置１０は、受光手段３にて受光された受光データを使用して演算を実行する演算手段６を車輪付きのボディ１に内蔵したものであり、演算手段では、塗装ムラ評価装置を塗装面上で所定距離移動させた際の所定間隔ごとの受光データを読み込むとともに、この所定距離の移動を複数回実行して第１の移動平均値を求め、間隔を変化させて第ｎ−１、第ｎの移動平均値を求めるステップ、移動平均値の差分値ｎ−１、ｎ−２、・・・・、１を求め、各移動平均値の差分値の標準偏差ｎ−１’、ｎ−２’、・・・・、１’を求めるステップ、該標準偏差の中から任意に２つの標準偏差を取り出して長波長側のムラ特性値および短波長側のムラ特性値とし、塗装ムラの有無領域をそれぞれ求めるステップと、を実行する。 （もっと読む）

【課題】画像取得のタクト時間を増やすことなく分解能を向上させて高精細な画像を取得する撮像方法及び撮像装置、ひいては検査装置を提供することを課題とした。
【解決手段】被写体の光学像を二つに分割する光分割手段と、画素がライン状に配列した二つの撮像素子を有する撮像手段と、被写体を撮像手段に対して相対的に移動させる被写体移動手段と、撮像手段から転送される取得画像を合成及び結合し、統合画像を生成する画像処理手段とを有し、撮像手段は、二つの撮像素子が受光する光学像が画素の配列方向に対して画素の半ピッチ分だけ相互にずれる構成となっていることを特徴とする撮像装置。 （もっと読む）

【課題】スローアウェイチップや棒状切削工具等のワークを効率よく精度良く検査することができる工具欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】ワーク１２をチャック用部材１６により支持する支持装置１８と、ワーク１２の検査面を照明するリング照明３２と、照明されたワーク１２を撮像するカメラ２６を有する。カメラ２６により撮像された画像を表示する表示装置３０と、カメラ２６により撮像されたワーク１２の検査像を画像処理する画像処理装置２８を備える。リング照明３２から照射された照射光を、ワーク１２の検査面の背面側及び周囲で反射させる背面反射板２２を備える。リング照明３２は、ワーク検査面に対して斜め方向から照明光を照射するように設けられ、支持装置１８と背面反射板２２は白色系の同一色に形成されている。画像制御装置２８は、カメラ２６で写したワーク１２の画像を基にワーク１２の輪郭を抽出する抽出処理を行う。 （もっと読む）

【課題】透明又は半透明の板状体の欠陥を、板状体の裏面の状況を反映することなく高精度で検出できる板状体の欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】互いに直交するＡ面、Ｂ面を有する透明又は半透明の板状体Ｗに、光源１２からの光を照射し、その反射光をＣＣＤカメラ１６によって撮像する。光源１２からの光の入射角度θ１をＢ面に対して全反射となる角度以上とする。また、Ａ面に入射した光が板状体Ｗの裏面Ｗ３によって反射される反射光を含むことになる裏面反射光領域Ｗ２を除く検査領域Ｗ１のみを、ＣＣＤカメラ１６によって撮像することで、映像に裏面Ｗ３の粗さ等が反映されるのを防ぐ。 （もっと読む）

【課題】電子写真用クリーニングブレード等の板状体の欠陥をより高速で検出する。
【解決手段】光路２に置かれた透明または半透明の板状体１の欠陥を検出するために、カメラ（Ａ）１１に内蔵するプリズムからの反射光を、カメラ（Ｂ）１２によって撮像し、カメラ（Ｂ）１２のプリズムからの反射光を、カメラ（Ａ）１１によって撮像する。カメラ（Ａ）１１とカメラ（Ｂ）１２の光軸が、各カメラが撮像する視野長の７０〜９０％分、カメラの中央部位に配置した板状体１の長手方向にずれるように配置することで、カメラ１台の場合に比べて２倍近い速度の欠陥検出を可能とする。 （もっと読む）

【課題】光学補償フィルム等の僅かな厚みムラや塗工ムラを検出できるようにする。
【解決手段】連続的に搬送される検査対象フィルム７の下側の面に光源部１５を配してあり、検査対象フィルム７に光を照射する。検査対象フィルム７からの透過光を受光する受光器１６は、検査対象フィルム７を俯瞰するように配置されており、その光軸Ｐとフィルム７に垂直な基準線（法線）Ｌｎと交差角度θ１が与えられ、基準線Ｌｎを回転中心として液晶層の遅相軸Ｌｍを基準に回転角度θ２だけ回転してある。撮影レンズ１６ａと、検査対象フィルム７との間に凸レンズ２１を配してあり、撮影レンズ１６ａとともにテレセントリック光学系を構成する。 （もっと読む）

【課題】被検査物の厚みが大きく変化する場合でも、検出感度を損なうことのない、表面検査装置、表面検査方法および高分子フィルムの製造方法を提供すること。
【解決手段】被検査物に光を投射する投光手段と、該被検査物を介した透過光または反射光を受光する受光手段と、該受光手段が受光した透過光または反射光に基づいて前記被検査物の表面凹凸欠点を検査するデータ処理手段とを有する表面検査装置であって、前記投光手段と前記受光手段との投受光軸上に複数の遮光手段を有することを特徴とする表面検査装置。 （もっと読む）

【課題】 ＲＧＢの３色の蛍光体が塗布された試料を検査する場合には、Ｒ、Ｇ、Ｂそれぞれの単色を検査するための光学系を使用する必要がある。しかし、単色毎に検査すると検査に時間が多くかかった。また３色を同時に検査するためには、３つの光学系が必要となり、検査装置が大きくなる要因となり、製作コストも高かった。本発明は、検査時間の短く、かつ小型の蛍光体検査装置を提供する。
【解決手段】 分散プリズムを通し、分光した光をラインセンサに取込み処理することにより、１つの光学系で、かつ、一度に、Ｒ、Ｇ、Ｂ３色の蛍光体のミクロ検査とマクロ検査を行う。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の一方側に少なくとも液体を含む流体を供給し、他方側から流出する液体の状態を観察し評価することができるようにすることである。
【解決手段】液体透過状態評価装置１０は、測定対象物である多孔体１２を保持する保持部１４と、少なくとも液体を含む流体としての気液二相流れ２１を多孔体１２に供給する流入管２０と、透明回転板２２と、透明回転板２２を介し多孔体１２の下面を撮像する撮像装置２４と、透明回転板２２を回転する駆動部２６と、多孔体１２から流出した液体が液滴３０となって落下し透明回転板２２に付着した液滴３１を拭き取る拭取部２８とを含み、これらが適当な測定台１１の上に配置されて構成される。 （もっと読む）