【課題】複数の検査対象部位を有する検査対象物の検査を行う場合でも、各検査対象部位に対してそれぞれ適切に照明して、検査精度を良好に維持しつつ検査時間を短縮する。
【解決手段】互いに異なる色の光を出射する複数の光源装置ＬＧ、ＬＢ、ＬＲと、各光源装置からの光を変調する空間光変調素子２５と、空間光変調素子からの光を基板Ｓの被検査面Ｓａに投射する投射光学系２８と、空間光変調素子を所定の映像信号にしたがって制御することにより、投射光学系からの光の投射パターンを形成する画像表示制御部７４とを備え、投影パターンを形成するための映像信号は、被検査面における検査対象部位の位置情報に基づき生成され、これにより、空間光変調素子制御部が、検査対象部位に対応する画像領域を含む投射パターンを形成する構成とする。 （もっと読む）

【課題】検査対象物が大きくなっても、同じ撮像条件で得られた画像情報に基づいて膜厚むらの検査ができ、微妙な膜厚むらに対しても精度の高い検査ができる装置を提供する。
【解決手段】表面に皮膜が形成された検査対象物１０の、皮膜形成面の少なくとも一部を撮像し、得られた画像情報に基づいて検査対象物上の皮膜の膜厚むらを検査する膜厚むら検査装置であって、検査対象物又は撮像部４の少なくとも一方を移動させる移動部２と、移動中に撮像部で撮像された所定範囲の画像を移動位置毎に移動位置情報を付加して登録する画像登録部と、移動位置情報が付加された所定範囲の画像を移動位置の順に並べ全体画像として合成する画像合成部と、合成された全体画像の画像情報に基づいて検査対象物の色むらを検出する色むら検出部とを具備し、撮像部で撮像された画像の所定範囲は、撮像部に対して同じ角度で観察された範囲であることを特徴とする膜厚むら検査装置。 （もっと読む）

【課題】受光部のフォーカス調整を容易に行う。
【解決手段】画像取得装置は、ガラス基板９上における線状の撮像領域を撮像する撮像ユニット２と、ガラス基板９を撮像領域と交差する方向に移動する移動機構とを備える。撮像ユニット２は、光照射部２１および受光部２３を有し、光照射部２１により撮像領域に光が照射され、撮像領域からの光が受光部２３のラインセンサへと導かれる。画像取得装置では、受光部回動機構が受光部２３を回転することにより受光部２３の光軸Ｊ２とガラス基板９の法線Ｎとのなす検出角θ２が変更される。撮像ユニット２は、光軸Ｊ２に沿って受光部２３を移動する受光部移動機構をさらに備え、検出角θ２の変位量に基づいて受光部移動機構を制御することにより、光軸Ｊ２上においてラインセンサの受光面と共役な位置Ｐがガラス基板９の表面に配置される。これにより、受光部２３のフォーカス調整が容易に行われる。 （もっと読む）

【解決課題】検査物品の内容液中の気泡と、これ以外の異物等と、を判別して検査し、歩留りや生産性の低下を防止することのできる気泡判別検査装置および気泡判別検査方法を提供する。
【解決手段】気泡判別検査装置は、気泡判別検査機構１００を備える。気泡判別検査機構１００は、異物６５を浮遊させる浮遊手段１０と、検査物品６０を連続的に撮像する撮像部２１と、画像検査部２３と、を備える。画像検査部２３は、検査画像形成手段２５と、検査画像において特定される検査領域が中抜け形状であるか否かに基づき、検査領域を気泡６４に対応する気泡領域と異物等候補領域とに判別する第１の判別手段２６１と、検査領域の傾き度、扁平度、不透明度に基づき、異物等候補領域を異物等６７に対応する異物等領域と気泡６４に対応する気泡領域とに判別する第２の判別手段２６２と、判断手段２８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】検査精度の向上を図ることのできる基板検査装置を提供する。
【解決手段】基板検査装置は、実装エリア内のクリームハンダ４及びレジスト膜５の表面の三次元計測を行うと共に、各クリームハンダ４の最高点の位置情報を基に算出した所定の平面を第１仮想基準面Ｋ１として設定し、さらに当該第１仮想基準面Ｋ１をベース基板２の表面２ａに直交する方向に沿って所定位置まで降下させ、第２仮想基準面Ｋ２として設定する。そして、当該第２仮想基準面Ｋ２からの各クリームハンダ４の突出量を算出し、これを基に当該クリームハンダ４の印刷状態の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】表面に細かな凹凸を有する部材であってもその表面の欠陥を検出できる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】被検査対象Ｓの表面の欠陥を検査する装置であって、被検査対象Ｓに向けて光を放出する投光手段１０と、被検査対象Ｓの表面において反射した光を受光する受光素子21sを備えた撮影手段２０と、を備えており、投光手段１０は、光源１１と、光源１１と被検査対象Ｓとの間に設けられた、光源１１から被検査対象Ｓに照射される光を制限する遮光部材１５と、を備えており、遮光部材１５は、光源１１から放出される光を通過させるスリット15hを備えており、スリット15hは、被検査対象Ｓの表面が平坦面である場合において、該スリットを通過して前記被検査対象の表面で反射する光の光軸方向と前記撮影手段の受光部の光軸方向とが同軸となるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】有機ＥＬパネルの欠陥検査を行うに際して、有機層の成膜直後に成膜の不具合を検知することを可能にする。
【解決手段】有機層１２に検査光２Ａを照射する光源２を基板１０に対して斜めに向けて配置し、検査光２Ａが入射しない位置に有機層１２を撮像する撮像手段３を配置し、検査光２Ａの照射によって有機層１２から発せられる光を撮像手段３にて検出し、撮像手段３によって得られる有機層１２の撮像信号に基づいて欠陥を検査する。 （もっと読む）

【課題】画像検査の検査精度を向上する。
【解決手段】画像検査装置では、撮像部により画像が撮像されて検査画像が取得されるとともに、元画像データに基づいて基準画像が生成される。第１積算部では、基準画像中の画像記録方向に並ぶ画素の値が積算されて基準積算値分布が取得される。第２積算部では、検査画像中の画像記録方向に並ぶ画素の値が積算されて検査積算値分布が取得される。感度補正部では、検査積算値分布の局所ピークを除去した後の検査積算値分布と基準積算値分布との比に基づいて、検査積算値分布６０の局所ピーク以外の複数の積算値を、基準積算値分布の対応する複数の積算値に相対的に近づける感度補正が行われる。比較部では、感度補正後の検査積算値分布６２から基準積算値分布が減算され、欠陥の検出が行われる。このように、画像検査部では、検査積算値分布６０に対して感度補正を行うことにより、検査精度が向上される。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で、検査対象物上の直線状の欠陥を検出し、検査対象物の良否判定処理を実行する欠陥検査方法および欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】画像メモリ５に記憶した撮像画像の各画素の濃度に基づく微分演算を行い微分絶対値および微分方向値を算出し、微分絶対値に、各画素の微分方向値に対応する重み付け値を乗じて、ノイズ成分の除去または前記直線状の欠陥の境界を強調する強度値をそれぞれ算出し、直線状の欠陥の長手方向に連続し、幅手方向に並設する複数の検査領域を、撮像画像に設定し、該検査領域に配置された各画素の強度値を合算した積算値を、前記検査領域に配置された画素数で除算し、前記検査領域における強度値の特徴量Ｆを、検査領域ごとに算出し、特徴量Ｆのいずれか１つが所定の閾値以上である場合、検査対象物２が直線状の欠陥を有する不良品であると判定する判定ステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】周期性のあるパターンを持つ被検査体のムラ欠陥を検出する場合に、映り込みの判別を短時間に行うことが出来、さらに大面積の被検査体の検査時間を短縮する検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】基板を載置して搬送する搬送手段と、基板を照明する第一の照明手段と第二の照明手段と、第一の照明手段の照明角度を変化させる第一の照明角度変化手段と、第二の照明手段の照明角度を変化させる第二の照明角度変化手段と、第一の照明手段によって照明された基板を撮像する第一の撮像手段と、第二の照明手段によって照明された基板を撮像する第二の撮像手段と、第一の撮像手段及び第二の撮像手段によって得られた画像を処理する画像処理部と、前記搬送手段と、第一と第二の照明手段と、第一と第二の照明角度変化手段と、第一の撮像手段及び第二の撮像手段と、を制御する制御部と、を備えたことを特徴とする検査装置。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成でありながら、ワーク表面の明るさのムラを効果的に抑制し、無影照明等をより好適に行うことができる光照射装置を提供する。
【解決手段】光の照射対象である製品等のワークと外部観察点との間であって、かつ、それらを結ぶ観察軸線上に設けられた観察孔と、前記観察孔の周囲に設けられ前記ワークに光を照射する第１光源部と、前記外部観察点側であって前記観察孔に臨む位置に、前記観察軸線に対して斜めに設けられたハーフミラーと、射出された光が前記ハーフミラーで反射し、前記観察孔を通って前記ワークに照射される位置に設けられた第２光源部と、前記観察孔内に嵌入された透明部材と、を備えているようにした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、紙パック容器などに装着されたシュリンクフィルムの包装状態の良否を自動で検査する方法を提供するものである。
【解決手段】紙パック容器の包装用に装着されたシュリンクフィルム接合部の位置検査方法であって、前記紙パック容器の上方より撮像して得られた画像情報を取得し、前記画像情報に含まれる、前記紙パック容器のセンターシール接合部とエンドシール接合部の二箇所のシュリンクフィルム接合部の内、前記エンドシール接合部のデーターの位置を検出することで、シュリンクフィルム包装状態の良否を判定することを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】。
【解決手段】照明装置１００を構成する一対の照明装置１００Ａ、１００Ｂの複数のＬＥＤ１０１が収納溝４Ｂ内のチップ部品Ａに光を拡散板１０２を介して均一に照射して、しかもチップ部品Ａに付された丸の部分ＡＡや文字・数字部分ＡＢを形成する刻印の深さに応じて、確実に照射光によって前記刻印の端部により影ができるような傾斜した照射光となるように照射して、印字検査カメラ８５が撮像した画像において、丸の部分ＡＡや文字・数字部分ＡＢとそれ以外の表面部分ＡＣとのコトラストが大きくなって、丸の部分ＡＡや文字・数字部分ＡＢが黒色に、それ以外の表面部分ＡＣは白色に撮像でき、チップ部品Ａの有無、前記チップ部品の表裏、チップ部品Ａの向きを検査することができる。 （もっと読む）

【課題】
高速で走行しているガラス繊維物品において、被覆層の付着不良欠陥を検出する。
【解決手段】
連続的に走行しながら同時に表面処理される複数本のガラス繊維物品の表面欠陥を、ガラス繊維物品に照射した光の反射光の輝度情報からラインセンサーを用いて判定する欠陥検出方法において、ガラス繊維物品の走行方向に対し直交方向にラインセンサーを配置し、それぞれのガラス繊維物品に対してラインセンサーの検知子に連続的に入力される輝度情報の内、連続した３個以上の輝度異常情報か又は連続的に検知子に入力された５個以上の輝度情報中、輝度異常情報である割合が、予め定められた値以上である場合に第１ステップでの輝度異常情報として処理することを特徴とするガラス繊維物品の表面欠陥検出方法。 （もっと読む）

【課題】口金近くに設置された基板上の異物を検知する異物検知装置が気流等の外乱で検知精度が低下することを防止する。
【解決手段】シート状基板と相対的に移動することにより基板を走査し、基板表面に塗布液を吐出する塗布装置において、塗布液の吐出装置の走査方向上流側に配置され、基板上の異物を検知する検知装置を少なくとも有し、前記検知装置はレーザー光を基板表面と平行に照射する投光装置と、前記投光されたレーザー光を受光する受光装置と、少なくとも前記投光領域直下の空気流れを遮蔽する装置を設ける。 （もっと読む）

【課題】積層体の切断端面に沿って上向きおよび下向きのバリなどの欠陥部位を精度よく求める。
【解決手段】積層体の端面を撮影し、取得した画像データから積層体の領域を求め、積層体の領域の画像データを利用して当該領域に近似する矩形を求め、積層体の領域から矩形の領域の差分をとり、余った領域を予め決めた基準値との比較から塗布物質の欠陥部位を求め、取得した画像データから積層体の総厚みよりも薄い芯材の領域を算出し、求めた芯材の領域から予め決めた芯材の厚み分をノイズとみなして除去し、芯材の欠陥部位を求める。 （もっと読む）

【課題】試料表面の面粗さや正常な回路パターンからの散乱光の影響を抑制し、かつ、欠陥や異物からの散乱光の利得を高くして、高感度に試料表面の欠陥等を検出することが可能な欠陥検査装置を実現する。
【解決手段】ＮＡ値が大きいレンズを使用するとレンズ外径は１０ａとなり斜方光学系とウエハとの角度はα１である。ウエハ表面粗さや酸化膜下の面粗さ、回路パターンからの散乱光を低減して、欠陥散乱光を多く検出するために斜方検出系の仰角を下げると仰角α２＜α１となるがレンズの外径１０ｂはレンズ外径１０ａより小となり散乱光の集光能力が低下する。集光能力を向上するためレンズ径を広げた１０ｃとするとレンズとウエハ７とが干渉を起こす。干渉部分を削除したレンズの創作により低仰角α２を保持してレンズの開口寸法を１０ｂより大とすることができ欠陥検出能力の向上とレンズ性能の向上が同時に成立する。 （もっと読む）

【課題】レンチキュラシートの微細な欠陥までを検出する。
【解決手段】光源部１５は、レンチキュラシート１１に対して、直線偏光された照明光をレンチキュラシートの幅方向と平行な線状にして照射する。撮影装置２１，２２は、照明光の照射方向に対して所定の角度で傾けられた方向から第２偏光板２３を介して照明光の照射領域Ｒを撮影する。第２偏光板２３は、その偏光方向が照明光の偏光方向と直交するものとされている。欠陥は、正常部分よりも輝度が高い部分として検出される。 （もっと読む）

【課題】農作物が搬送部から落下した場合であっても、農作物が投光部又は受光部の上面で静止することを防止した農作物品質測定装置を提供する。
【解決手段】農作物品質測定装置１は、搬送ベルト３１ｂと、投光部４４と、受光部４６と、光分析部４８と、を備える。搬送ベルト３１ｂは、農作物を搬送する。投光部４４は、搬送ベルト３１ｂにより搬送される農作物に光を照射する。受光部４６は、投光部４４による照射光が農作物を透過した透過光を受光する。光分析部４８は、前記透過光を分析して、農作物の品質を測定する。投光部４４は、搬送ベルト３１ｂの下方に配置されるとともに、上面が傾斜した傾斜面４４ｃとなっている。 （もっと読む）