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Fターム[2G051CA07]の内容

光学的手段による材料の調査の特殊な応用 (70,229) | 受光素子 (8,314) | 特定の配置、方向 (1,447) | 複数使用 (1,129)

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【課題】簡易な構成で大面積の積層基板を高速で高精度に検査できる検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板K0上にモリブデン層K1が形成されると共にモリブデン層K1上に薄膜K2,K3が形成された基板Kの、薄膜K2,K3側から形成されたパターニングを検査する検査装置1であって、移送中の基板Kのガラス基板K0側に光を照射する下部照明10と、移送中の基板Kの薄膜K2,K3側に光を照射する上部照明20とを設けると共に、基板Kを透過する下部照明10の光軸P上で且つ基板Kで乱反射する上部照明20の光軸D上に配置された第1ラインセンサカメラ11と、基板Kで正反射する上部照明20の光軸S上に配置された第2ラインセンサカメラ21とを設け、ラインセンサカメラ11,21で検知した光の状態に基づいてパターニングの良否を判断する突き抜け検査用パソコン12及び擦れ検査用パソコン22を具備する。 (もっと読む)


【課題】 発光ダイオードを多数配列した面照明を使用した場合であっても、LEDの全点灯までの時間遅れの影響を受けることなく、検査時の照明光量を一定に保ちつつ、短時間で検査を行うことができる、膜厚むらの検出装置並びに当該装置を具備した塗布装置を提供する。
【解決手段】 基板上に形成された皮膜の膜厚むらを検出する装置で、
基板保持部と、光源部と、撮像部と、制御部と、検査部とを備え、
光源部は複数の発光ダイオードを配置して構成された面照明であり、
制御部は、発光指令信号を出力してから複数の発光ダイオードが全点灯状態になるまでの点灯遅れ時間を登録する点灯遅れ時間登録部と、発光指令信号を入力してから登録された点灯遅れ時間経過後に、撮像部に対して撮像指令信号の出力を行う撮像ディレイタイマ部とを備えたことを特徴とする、膜厚むら検出装置。 (もっと読む)


【課題】本発明は、振動ノイズによる誤検知を防止できる光学検査システム用振動ノイズ補正装置及び方法を提供することにその目的がある。
【解決手段】本発明の一実施形態による光学検査システム用振動ノイズ補正装置は、被検査物に一定の明度で光を照射する第1の照明部と、被検査物に振動ノイズが発生した場合、被検査物に第1の照明部と同一の明度で光を照射できるよう設置された第2の照明部と、第1の照明部及び第2の照明部を一定速度で交互にオン(ON)/オフ(OFF)させる照明制御部と、第1の照明部及び第2の照明部が照らす被検査物の第1の画像及び第2の画像を取得する撮影部と、被検査物に振動ノイズが発生した場合、第1の画像を第2の画像に差し替える映像処理部とを備えるものである。 (もっと読む)


【課題】フィルムの蛇行とカールとを監視し、未塗工不良や塗工不良の発生や、塗工のエッジ部分に発生する塗工抜け不良を検出することを可能とし、更にシワの発生を検出可能としたフィルム検査装置を提供する。
【解決手段】長尺のフィルムに塗液を塗工する工程でフィルムを検査する装置であって、塗工部の直後に設けられ、第一の端辺と第一の塗工エッジを検出するための第一の検出部と、第二の端辺と第二の塗工エッジを検出するための第二の検出部と、第一の端辺と第一の塗工エッジの位置算出部と、第二の端辺と第二の塗工エッジの位置算出部と、フィルムの蛇行またはカールの発生を判別する蛇行・カール判別部と、塗工エッジに発生した塗工抜け不良を判別する塗工抜け不良判別部と、硬化処理される硬化処理部の直後に設けられた第三の検出部と第四の検出部と、第三の端辺位置算出部と第四の端辺位置算出部と、を備えたことを特徴とするフィルム検査装置。 (もっと読む)


【課題】
半導体等の製造工程で用いられる欠陥検査において、微弱な欠陥散乱光をもとに高速に検査するためにはゲインの高い検出器が必要であるが、一般的な検出器、典型的には光電子増倍管ではゲインを高くするに従い、暗電流ノイズが大きくなり、欠陥検出感度が低下する。
【解決手段】
試料からの反射散乱光を検出する検出光学系に複数の検出器を備え、弱い背景散乱光量を検出する検出器で画素数の少ない光子計数型検出器を適用するとともに、強い背景散乱光量検出する検出器で画素数の多い光子計数型検出器か、あるいはアナログ型の検出器を適用し、更に光子計数型検出器の適用によって発生する散乱光検出強度の非線形性を補正して欠陥散乱光検出信号を補正する。 (もっと読む)


【課題】生産性の低下を招くことなく印刷物の検査を適切に行うことができる検査装置、画像形成装置および印刷物の検査方法を提供する。
【解決手段】検査装置100は、印刷物の画像を読み取る読取部130と、読取部130が読み取った読取画像と元画像とを比較して印刷物の欠陥有無を判定する欠陥判定部161と、欠陥判定部161の判定結果に応じて印刷物の排出経路を切り替える切替部150と、画像形成装置200から供給される印刷物を読取部の読取位置P1に搬送する読取前搬送部120と、読取前搬送部120の搬送速度を、印刷システムに対して要求される生産性に応じた規定の搬送速度よりも速くする読取前速度制御部162と、を備える。 (もっと読む)


【課題】 撮像カメラの処理能力に制約を受けることなく、検査時間を短縮することができる自動外観検査装置を提供する。
【解決手段】 テーブル部、走査ステージ部、ストロボ照明部、鏡筒部、撮像部並びに、予め登録しておいた検査条件に基づいて、撮像された検査対象物の画像の良否判断をする検査部とを備え、
走査ステージ部には、テーブルの現在位置を計測する位置計測手段が備えられており、
鏡筒部には、観察光を一部透過させると共に、角度を変えて一部反射させる、
光分岐手段が備えられており、
鏡筒部には、光分岐手段で分岐された光を各々撮像することができるように、撮像部が複数取り付けられており、
制御部は、ストロボ発光させる毎に、撮像に用いる撮像部を逐次変えて撮像を行う機能を備えていることを特徴とする、自動外観検査装置。 (もっと読む)


【課題】飲料液の異物検査に用いられる照明の明るさの調整を、検査対象のボトル、飲料の種別および色濃度に応じて適切に、かつ、効率よく行えるようにする。
【解決手段】飲料液異物検査装置10には、カメラ40が複数個設けられ、その複数のカメラ40は、被検査ボトル71の互いに異なる部分を撮像する。照明41は、複数のカメラ40のそれぞれに対応するように1つずつ設けられている。制御装置50は、複数のカメラ40のそれぞれの受光面での照度計測値を、カメラ40がそれぞれ撮像した被検査ボトル71の陰影像を用いて計算し、その計算した照度計測値が既定の照度範囲に含まれるように、照明41のそれぞれの明るさを個別に調整する。 (もっと読む)


【課題】少ない光源による照明装置を用いて、構造物の表面の欠陥に発生する陰影を確実に認知できるようにする。
【解決手段】
複数の光源121-124から、各光源による光線の主要な照明領域が重複しないよう撮影領域を照射して撮影し、補正データ取得手段103が、欠陥のない撮影領域の撮影結果から、明度のムラを補正する補正データを取得し、欠陥を調査すべき撮影領域の撮影結果を、補正データを用いて補正し、撮影結果の明度のムラを平準化し、撮影結果に含まれる欠陥の影が、明度のムラにまぎれることなく、はっきり認識できるようにする。 (もっと読む)


【課題】 汚れに強く、段取りやメンテナンスを容易化すると共に、コスト低減を図ることができる円筒形状物の外観検査装置を提供する。
【解決手段】 この外観検査装置は、円筒形状物である被検査物の外観を検査するものである。外観検査装置は、回転自在に設置され回転中心軸L1と同心に配置した軸受1の端面を接触させる端面治具5と、端面治具5の軸受1を接触させる側面に回転中心軸L1と同心に設けられた円錐面状の照明反射部6と、外輪3を回転させる駆動装置18と、外輪押えローラー19と、内輪押えローラー20と、照明反射部6に照射する照明装置8と、この照明装置8で照射され照明反射部6および内輪2の内周面2aで順次反射された反射光により内輪2の内周面2aを撮像する撮像装置11とを備えた。 (もっと読む)


【課題】飲料液中の異物の高精度な検出が可能で、かつ、多品種少量生産に好適なコンパクトな飲料液異物検査装置を提供する。
【解決手段】飲料液異物検査装置10は、被検査ボトル71を回転台座25に載置して回転させる被検査ボトル回転機構部20、回転台座25に載置された被検査ボトル71を傾斜させる被検査ボトル傾斜機構部30、被検査ボトル71に照明する照明41、被検査ボトル71の飲料液中を透過した照明光の陰影像を撮像する撮像装置40と、制御装置50などを備える。制御装置50は、被検査ボトル傾斜機構部30により被検査ボトル71を傾斜させたとき、飲料液中に浮遊する重い異物の陰影像を撮像装置40で取得し、被検査ボトル回転機構部20により被検査ボトル71を回転させ、停止させたとき、飲料液中に浮遊する軽い異物の陰影像を撮像装置40で取得し、これら異物の陰影像および軽い異物の陰影像に基づき飲料液中の異物を検出する。 (もっと読む)


【課題】本発明は、基板検査システム及び基板検査方法に関する。
【解決手段】本発明の一実施例による基板検査システムは、基板が配置される第1検査テーブルと、前記第1検査テーブルに配置された基板が再配置される第2検査テーブルと、前記第1検査テーブルに配置された前記基板を撮像する第1撮像手段と、前記第2検査テーブルに再配置された前記基板で、不良が疑われる位置に該当する領域を撮像する第2撮像手段と、前記第1撮像手段により撮像した前記基板映像から不良が疑われる位置を検出し、検出された不良が疑われる位置に対する座標データを演算して前記第2撮像手段に伝送する制御部と、を含む。 (もっと読む)


【課題】成形素材の検査方法及び光学素子の製造方法において、光学素子の製造不良の発生を抑える。
【解決手段】成形素材の検査方法は、光学素子の材料である成形素材1について上記光学素子の光学機能面へと変形する領域である対応領域1a,1bを確認する対応領域確認工程と、成形素材1を対応領域1a,1b以外の部分である保持領域において保持する保持工程と、保持された成形素材1の少なくとも対応領域1a,1bを検査する検査工程と、を有する。 (もっと読む)


【課題】車両用部品の表面検査において、検査時間の短縮と検査精度の向上を図る。
【解決手段】車両用部品20の表面に設定される第1領域を1つの画素で検出する第1画像取得手段によって取得する第1画像取得工程と、取得した第1画像の第1領域の欠陥強度が所定の閾値以上の場合に第1領域を各欠陥検出領域351と設定する欠陥領域設定工程と、第2領域41−49を1の画素で検出する第2画像検出手段によって欠陥検出領域351と欠陥検出領域351の周辺を含む欠陥判定領域40の複数の第2領域41−49の画像を取得する第2画像取得工程と、各第2領域の欠陥強度が所定の閾値以上と判定された各第2領域41−49の欠陥強度の平均値を計算し、平均値が欠陥強度の所定の閾値以上である場合、その車両用部品は欠陥品であると判断する欠陥品判断工程と、を有する。 (もっと読む)


【課題】プリント配線板に反りが生じた場合にも、検査ポイントを不良箇所に合わせて表示する。
【解決手段】電子部品が実装された配線基板5の外側縁5aを支持する支持部6と、検査対象となる電子部品を撮像する撮像装置7と、配線基板5の法線方向に拡散し、検査対象となる電子部品について設定された要検査部位を通過する扇状の第1の光線を斜め上方から照射する第1の照射装置8aと、配線基板5の法線方向に拡散し、電子部品の要検査部位を通過する扇状の第2の光線を斜め上方から照射する第2の照射装置8bとを備え、第1の光線と第2の光線とが交叉することにより、配線基板5の検査ポイントPを示す。 (もっと読む)


【課題】透過率が高い導電性透明電極パターンや微細な金属配線のパターンを、インライン検査で行うための検査システムを提供する。
【解決手段】検査ワーク11を第1の方向Xに搬送するワーク搬送装置20と、検査ワーク上に形成されたパターンの光学情報を取得する撮像装置30と、第1の方向と直交する第2の方向Yに撮像装置を移動させる移動装置40と、ワーク搬送装置、撮像装置及び移動装置を制御するとともに、光学情報に基づいてパターンを検査する制御部50と、を有する。 (もっと読む)


【課題】検査対象物が大きくなっても、同じ撮像条件で得られた画像情報に基づいて膜厚むらの検査ができ、微妙な膜厚むらに対しても精度の高い検査ができる装置を提供する。
【解決手段】表面に皮膜が形成された検査対象物10の、皮膜形成面の少なくとも一部を撮像し、得られた画像情報に基づいて検査対象物上の皮膜の膜厚むらを検査する膜厚むら検査装置であって、検査対象物又は撮像部4の少なくとも一方を移動させる移動部2と、移動中に撮像部で撮像された所定範囲の画像を移動位置毎に移動位置情報を付加して登録する画像登録部と、移動位置情報が付加された所定範囲の画像を移動位置の順に並べ全体画像として合成する画像合成部と、合成された全体画像の画像情報に基づいて検査対象物の色むらを検出する色むら検出部とを具備し、撮像部で撮像された画像の所定範囲は、撮像部に対して同じ角度で観察された範囲であることを特徴とする膜厚むら検査装置。 (もっと読む)


【課題】従来の標高計算は局所領域のミスマッチングによる誤差が生じ、精度の高い標高情報が得られず、多大な処理時間がかかるという問題点がある。
【解決手段】カラーフィルタ基板上の局所領域の標高をステレオ方式で算出し欠陥判定をする欠陥検査方法において、ステレオ画像の一方の撮像画像である基本画像から局所領域を検出する工程、ステレオ画像の他方の撮像画像であって局所領域を含む参照画像を取得する工程、局所領域を含むマッチング領域をステレオ画像から選定する工程、マッチング領域から基準マークとなる部位を選定する工程、局所領域を鮮明化する工程、鮮明化された局所領域の中心座標を求め、基準マークからの距離を算出する工程、基本画像と参照画像における局所領域間の視差を求める工程、局所領域の標高を算出する工程、とを含むことを特徴とするカラーフィルタ基板の欠陥検査方法。 (もっと読む)


【課題】
表面の異物や傷欠陥だけでなく基板の局所的な厚さの変化による欠陥まで検出することを可能にする。
【解決手段】
ガラス基板検査装置を、ガラス基板を透過した光を検出する第1の欠陥検出光学系と、ガラス基板を透過した光によりガラス基板の表面又は内部で発生した散乱光を検出する第2の欠陥検出光学系と、第1の検出光学系で検出した信号と第2の検出光学系で検出した信号とを処理する信号処理手段とを備えて構成し、信号処理手段は、第1の検出光学系手段からの検出信号を入力して処理することによりガラス基板の局所的な厚さの変化に起因する欠陥を検出し、第2の検出光学系手段からの検出信号を入力して処理することによりガラス基板の欠陥を検出するように構成した。 (もっと読む)


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