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Fターム[2G051CA20]の内容

光学的手段による材料の調査の特殊な応用 (70,229) | 受光素子 (8,314) | その他 (56)

Fターム[2G051CA20]に分類される特許

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【課題】試料を検査するために使用される検査システムの欠陥検出を強化する。
【解決手段】光電子増倍管(PMT)検出器の測定検出範囲の制限要因として陽極飽和に対処することによって欠陥検出を強化するための検査システム、回路、方法が提供される。検査システムの測定検出範囲の制限要因として増幅器及びアナログ・デジタル回路の飽和レベルに対処することによって欠陥検出を強化するための検査システム、回路及び方法も提供される。加えて、表面検査の走査の間に試料に供給される入射レーザ・ビームパワー・レベルを動的に変更することによって大きな粒子に対する熱破損を削減することにより欠陥検出を強化するための検査システムや回路、方法が提供される。 (もっと読む)


【課題】被検査物の種類や特徴に応じて、自動で最適な測定条件を決定して被検査物の特性を測定する。
【解決手段】前記被検査物を撮像する撮像部16と、前記被検査物の特性を測定する特性測定部15と、前記被検査物に関する検査情報を取得する検査情報取得部11と、前記検査情報に対応する前記被検査物の測定条件に関する測定情報を決定する条件決定部12と、前記撮像部による撮像を制御する撮像制御部14と、前記測定情報に基づいて前記特性測定部による測定を制御する測定制御部13と、を備える。 (もっと読む)


【課題】導電性を有する異物の検出に要するコストの低減を図りつつ、極く小さな異物であっても確実に検出する。
【解決手段】非導電性材料で形成された樹脂フィルム20にマイクロ波Wmを照射して樹脂フィルム20に含まれている導電性を有する異物Xを選択的に発熱させる発熱処理を実行するマイクロ波照射部3と、樹脂フィルム20を撮像して樹脂フィルム20における各部の温度を検出するサーモカメラ4と、マイクロ波照射部3による発熱処理およびサーモカメラによる樹脂フィルム20の撮像(樹脂フィルム20における各部の温度の検出)を制御すると共に、サーモカメラ4の撮像結果を温度検出結果として分析して、発熱処理によって発熱した発熱部位に異物Xが存在すると検出する処理部6とを備えている。 (もっと読む)


【課題】干渉光学系を用いて検査対象の欠陥を検出する場合に、高精度で欠陥検出することができる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】欠陥検査装置10は、予め定めたパターンが形成された透光性を有する検査対象物に照明光を照射する光源14、照明光が照射された検査対象物を透過した光を結像する、対物レンズ15及び結像レンズ17からなるレンズ群、レンズ群を透過する光を二つの光に分割するハーフミラー18、分割された二つの光が、予め定めた方向に横ずれするように偏向させる偏向器20A、20B、偏向された二つの光の位相をシフトさせる位相シフタ28、位相シフトされた二つの光を合波するハーフミラー30、合波された光の光学像を撮像する撮像素子34を備え、結像レンズ17を透過した二つの光が平行で且つ二つの光の主軸が平行となるように、対物レンズ15及び結像レンズ17が配置されている。 (もっと読む)


【課題】浸透探傷試験や磁粉探傷試験に供される被探傷体の検査領域を効率的に紫外線照明することのできる簡易な構成の紫外線探傷灯を提供する。
【解決手段】被探傷体を照明すべき最小照明領域の大きさよりも狭い領域に、射出光の光軸を一方向に揃えて複数の紫外線発光ダイオードを環状に配置し、これらの紫外線発光ダイオードからそれぞれ射出される紫外線光の各光軸上に各紫外線発光ダイオードから射出された紫外線光を各別に集光して前記被探傷体に照射する複数の集光レンズを設け、これらの集光レンズを一体に支持したレンズ支持体を該紫外線光の光軸方向に進退させて、前記被探傷体に照射する紫外線光の照射領域の大きさを可変する。 (もっと読む)


【課題】 構造物、とくに、アーチダムや、火力発電所、高層ビルなどの巨大構造物のコンクリートの劣化状態を安全に、かつ、精度よく、検出することができる構造物のコンクリート劣化検出システムを提供する。
【解決手段】 超望遠ズームレンズを2備えたビデオカメラ3と、ビデオカメラの向きを上下方向に変化させる上下方向カメラ駆動装置5と、ビデオカメラの向きを左右方向に変化させる左右方向カメラ移動手段6と、構造物のコンクリート面までの距離を測定する距離計4と、画像データを保存するメモリ手段8とを備え、距離計4で距離を計測しつつ、ビデオカメラ3の向きを上下方向に変化させて、構造物の1ラインを撮影し、左右方向に隣り合った構造物の1ラインを、撮影領域がオーバーラップするように、撮影する動作を繰り返して、画像データを生成し、さらに、副走査方向に隣り合った上下方向の画像データを貼り合わせ、ディスプレイ16に表示する画像処理手段15とを備えた構造物のコンクリート劣化検出システム。 (もっと読む)


【課題】正確に、かつ短時間に空間フィルタの設定を行なうことができ、検出感度の低下防止も可能な表面欠陥検査装置を実現する。
【解決手段】それぞれ異なるパターンピッチを有する複数の領域からの光像が混在した回折光像710aを表示し、選択した領域のパターンピッチ702aと算出された回折光ピッチ702bが表示される。回折光ピッチ702bに合わせたピッチのゲージ710b、701cが回折光像710aに重畳して表示させる。ゲージ710b、710cは回折光像710cのピッチに合わせられるように作業者が移動でき、ゲージ710b、710cを合わせたピッチの画像が抽出され、別の表示領域に表示される。異なるパターンピッチを有する複数の領域のそれぞれに対して実行し、それぞれのパターンピッチとそれに対応する画像を表示する。表示した画像等に従い、選択した回折光を除去可能なように空間フィルタの間隔を設定できる。 (もっと読む)


【課題】
フィルム上の突起、窪み、折れなどの平面異常による不良を高速に検査するにあたり、反射率や透過率から検査する方式の表面検査装置では平面異常だけを選択的に検出することは非常に困難であった。またレーザ光を使った凹凸測定による検出方法では検査範囲がレンズの大きさにより制限されていた。
【解決手段】
光源より出射された光を、前記平面に対してライン状に走査する光走査手段と、該走査光による該平面および平面異常部からの透過光または反射光を受光する拡散板と、拡散板に投影された光点を結像レンズを介して受光する反射光位置検知手段と、該検知手段からの検知信号により該平面異常部の角度を算出して平面異常の検査を行う角度検査測定部と、を有する光走査式平面検査装置とした。 (もっと読む)


【課題】自動検査工程において密集圧痕を異物の混入とみなしてしまう問題を回避し得る電子部品の実装状態検査装置及び電子機器の製造方法を提供する。
【解決手段】異方性導電膜を介して電子部品が圧着実装された透明基板を前記電子部品が圧着実装された面の裏面側から微分干渉顕微鏡により映して撮像する撮像手段と、前記撮像手段により撮像された画像に含まれる凸状部の高さを特定する特定手段と、前記特定手段により特定された前記凸状部の高さが所定の閾値を超えるか否かを判定し、前記凸状部の高さが所定の閾値を超える場合は異物が混入していると判定する判定手段とを備える。 (もっと読む)


【目的】パルス光を用いた場合のTDIセンサの出力変動を補正可能な検査装置を提供することを目的とする。
【構成】パターン検査装置100は、パルス光源103と、フォトマスク101を載置するXYθテーブル102と、パルス光がフォトマスク101に照射されて得られるフォトマスク101の光学画像を撮像するTDIセンサ105と、照射された後のパルス光の光量を検知する光量センサ172と、検知された光量を入力し、パルス光の周期に同期させて、パルス毎の光量を測定する光量モニタ回路142と、パルス毎の光量とTDIセンサ105から出力された積分された画素値を入力し、光学画像の画素毎に、該当するパルス毎の光量の総光量を用いてTDIセンサ105から出力された積分された画素値を補正するセンサ回路106と、補正後の積分された画素値を用いて、パターンの欠陥の有無を検査する比較回路108と、を備えたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】画素分解能を高め、また、放射線によるノイズを排除することで、欠陥検出能力の高いパターン欠陥検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】第1の方向に沿って第1の画素ピッチで配列した複数の第1の画素を有し、被検査体の光学像の第1の画像データを出力する第1のセンサと、第1の方向と略直交する第2の方向に並列して設けられ、第1の方向に沿って第1の画素ピッチで配列し且つ第1の方向において第1の画素位置から第1の画素ピッチの1/N(Nは1以上の整数)だけずれた位置に配置された複数の第2の画素を有し、被検査体の光学像の第2の画像データを出力する第2のセンサと、第1の画像データ及び第2の画像データに基づいて被検査体の欠陥を検出する欠陥検出部と、を備えたことを特徴とするパターン欠陥検査装置が提供される。 (もっと読む)


【課題】ディスプレイの表示画面に生じる輝度ムラを、表示画面の背景輝度や画面サイズの影響を考慮しつつ、しかも発生位置に応じて、人間の視覚特性に合わせて定量評価する。
【解決手段】ディスプレイの表示画面の輝度分布情報を取得し、この輝度分布情報と該輝度分布情報の背景輝度との差分から求めた輝度変化量に対する背景輝度との比を表すコントラスト画像を生成する。コントラスト画像を2次元フーリエ変換した2次元フーリエスペクトルに、背景輝度または表示画面のサイズの少なくともいずれかに応じて設定され人間の視覚特性に準じたコントラスト感度関数を乗算し、その結果を2次元フーリエ逆変換して輝度ムラ成分の強度が輝度情報に含まれる評価用2次元画像を生成する。この評価用2次元画像の輝度情報に基づいて輝度ムラを定量評価する。 (もっと読む)


【課題】基板全体の画像を取得する必要がなく、透明導電体パターンの欠陥個所を短時間で検出できる導電体パターンの欠陥検査方法及び欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】プローブ15aを奇数番目の導電体パターン31の左端部に接続し、プローブ15bを偶数番目の導電体プローブ31の右端部に接続して、プローブ15a,15b間に所定の電圧を印加する。導電体パターン31に短絡欠陥がある場合は、その導電体パターン31に電流が流れて発熱する。赤外線カメラ12を導電体パターン31に直交する方向に移動させて、発熱している導電体パターン31を検出する。その後、発熱している導電体パターン31に沿って赤外線カメラ31を移動し、直線から外れた部分の発熱個所を検出し、その位置を短絡個所として記憶する。 (もっと読む)


【課題】ライン光源を円筒状の被検査体に対して傾斜して配置することによって、明度差を発生させる、ラインセンサによる検査方法において、周方向の凹凸に対する感度を高くすることを目的とし、被検査体に対して平行なライン光源によって照射する検査方法では観察できない周方向の微小凹凸を観察する。
【解決手段】円筒状被検査体を回転させながらその表面画像を取得する表面欠陥検査方法について、被検査体の中心軸に対して傾けて配置したライン状光源から被検査体にライン状の光を照射し、その反射光に対して略平行となるように配した撮像手段により表面画像を取得し、その表面画像を画像処理することにより表面欠陥を検出し、また、前記ライン状光源と被検査体の間に配置されたシリンドリカルレンズを通して検査光を照射し、被検査体表面での周方向の光量変化量を大きくすること。 (もっと読む)


【課題】検査作業を容易に行うと共に、検査精度の向上を図る。
【解決手段】本発明は、構造物2の表面の損傷部分を検査するための構造物検査装置1であって、構造物2の表面の画像を撮影するための撮像手段3と、撮像手段3の光学的な中心Pから構造物2の表面までの距離を計測するための距離計測手段4と、距離計測手段4により計測した撮像手段3の光学的な中心Pから構造物2の表面までの距離データと撮像手段3の光学的な中心Pから焦点までの距離とに基づき生成したクラックスケールを撮像手段3により撮影した構造物2の表面の損傷部分の画像上に重ね合わせることにより構造物2の表面の損傷部分の実際の寸法を計測する制御手段11と、を備えていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】従来、製造プロセスの不良対策は、該検査装置で検出された欠陥を分析することにより行われている。一方、光散乱方式の欠陥検査装置の検出結果として総検出個数や欠陥の検出座標、欠陥の寸法などの情報を出力している。光散乱方式の欠陥検査においては、散乱光を用いて欠陥の寸法を測定しているが、寸法が適切に算出できない場合があった。
【解決手段】光学的系により検査する欠陥検査装置において、欠陥検出とほぼ同時に欠陥の寸法を測定する。欠陥寸法の測定を高精度化するために、標準粒子などの標準試料を用いて欠陥寸法を校正する手段を備えた。 (もっと読む)


【課題】 欠陥の形状や大きさ、種類等によらず、欠陥の散乱光像を明確に捉えることができる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】 欠陥検査装置1においては、ステージ3によって支持されたガラス基板Sの内部に透過照明装置5によって光が照射され、ガラス基板Sの内部がカメラ6によって撮像される。このとき、ガラス基板Sの内部に照射される光の照射方向が変化するように制御装置8によって透過照明装置5が制御される。これにより、内部欠陥の形状や大きさ、種類等によらず、内部欠陥による散乱光を強くすることができ、その内部欠陥の散乱光像を明確に捉えることが可能となる。 (もっと読む)


【課題】光学検出手段に移送される前後の米粒がくっつかずに離間した状態で移送されるようにして品位判別の精度を向上させた穀粒品位判別装置を提供する。
【解決手段】
本発明の穀粒品位判別装置1は、穀粒を供給する供給手段2と、該供給手段2から供給された穀粒Kを整列させて流下させる傾斜状のシュート8aからなる移送手段8と、該シュート8a上を流下する穀粒に光を照射し、該穀粒から放出される光を検出する光学検出手段13と、該光学検出手段13が検出した検出光に基づいて穀粒の品位を判別する品位判別手段17とを備えたものにおいて、前記シュート8aは、該シュート8aに対して振動を与える振動発生手段11に接続するとともに、弾性部材10を介して装置本体部1aに固定する一方、前記光学検出手段13は、前記シュート8aに固定して配設する。 (もっと読む)


【課題】パターン検査において、膜厚の違いやパターンの太さの違いなどから生じる比較画像間の明るさむらを低減し、ノイズや検出する必要のない欠陥に埋没した、ユーザが所望する欠陥を高感度、かつ高速に検出するパターン検査技術を実現する。
【解決手段】同一パターンとなるように形成されたパターンの対応する領域の画像を比較して画像の不一致部を欠陥と判定するパターン検査装置において、並列に動作する複数のCPUを実装した処理システムを用いて構成される画像比較処理部18を備えて、膜厚の違いやパターンの太さの違いなどから生じる比較画像間の明るさむらの影響を低減し、高感度なパターン検査をパラメータ設定なしで行えるようにした。また、比較画像間で各画素の特徴量を算出し、複数の特徴量を比較することにより、輝度値からでは不可能は欠陥とノイズの判別を高精度に行えるようにした。 (もっと読む)


【課題】試料表面の温度上昇を抑えて検出感度を向上させる欠陥検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】線状照明を行う照明光学系、被照明領域をラインセンサで分割して検出する検出光学系により、一度の検査で同一欠陥を複数回照明し、それらの散乱光を加算することにより検出感度を向上させる。本手法では試料表面での温度上昇を抑えることができ、またスループットを低下させずに試料表面を検査可能にする。 (もっと読む)


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