【課題】異常パターンの弁別性を向上した欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】光源と、干渉制御部と、検査装置本体と、を備えた欠陥検査装置が提供される。前記光源は、可干渉光を放射する。前記干渉制御部は、分散部と、選択部とを有し、前記光源から放射された光の可干渉性を制御して、照明光として出力する。前記検査装置本体は、前記照明光を被検査体に形成されたパターンに照射して、前記被検査体の欠陥を検査する。前記光源から放射された光の進行方向を第１の方向とし、前記第１の方向に垂直な方向を第２の方向としたとき、前記分散部は、前記光源から放射された光を波長に応じて前記第２の方向に拡張して波長分散させる。前記選択部は、前記分散部により波長分散された光を選択的に透過させる。 （もっと読む）

【課題】ウエハの構造や欠陥がばらついて適切な波長が変化しても欠陥を精度よく検出でき、かつ、スループットが速いパターン検査装置を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、パターン検出装置は、光を発生する光源と、前記光をラインビームに整形してウエハ上に照射する集光器とを備える。さらに、前記装置は、前記ウエハで反射した前記ラインビームを分光する分光器を備える。さらに、前記装置は、前記分光器により分光された前記ラインビームを検出し、前記ラインビームのスペクトル情報を保持する信号を出力する二次元検出器を備える。さらに、前記装置は、前記ウエハ上の繰り返しパターンの対応箇所から得られた前記スペクトル情報を比較する比較部と、前記スペクトル情報の比較結果に基づいて、前記ウエハの欠陥の有無を判定する判定部とを備える。 （もっと読む）

【課題】パターン化位相差フィルムの欠陥を精度よく検出する。
【解決手段】投光機１１と撮影装置１２との間に、第１及び第２偏光板１３，１５を配置する。第１及び第２偏光板１３，１５の間に、検査対象のパターン化位相差フィルム２０を配置する。撮影装置１２側でフィルム２０と第２偏光板１５との間にλ／４波長板１４を配置する。第２偏光板１５を回転させて、第１偏光板１３の透過軸をフィルム２０の光学軸に対し４５°傾けた状態で、第２偏光板１５の透過軸を前記λ／４波長板１４の光学軸に対して＋４５度にした第１状態で撮影装置１２により第１画像を撮影する。第２偏光板１５の透過軸をλ／４波長板１４の光学軸に対して−４５度にした第２状態で撮影装置１２により第２画像を撮影する。第１画像と第２画像とを第１及び第２位相差領域が一致する位置で重ね合わせて合成する。得られた合成画像に基づき欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】ステージ上で大きく撓むようなマスク基板のクロム膜等のピンホール欠陥を高精度に検出する。
【解決手段】基板の表面にクロム膜等のマスクパターンが存在すると、基板の表面へ照射された光線はそのマスクパターンの形状や欠陥によって散乱され、基板の表面側の周囲にのみ散乱光が発生するようになり、基板の裏面側に透過する光線は存在しない。一方、このマスクパターンにピンホールが存在する場合、そのピンホールのエッジにて散乱した光の一部は基板の表面側で周囲に散乱光として発生すると共にそのピンホールを介して基板の内部へ透過し、基板裏面側の周囲に散乱光として発生することになる。これらの基板の表面及び裏面で検出された散乱光を、基板の表面側及び裏面側に配置された散乱光受光手段でそれぞれ受光することによって、ステージ上で大きく撓むようなマスク基板のクロム膜のピンホールを高精度に検出する。 （もっと読む）

【課題】テラヘルツ波の反射波を利用して金属の腐食を防ぐための塗膜や半導体ウェーハのエピ層等の積層物中の欠陥（気泡）検査を行う際に測定対象物の位置合わせを容易に行えるテラヘルツ波を用いた検査装置及び検査方法。
【解決手段】第１レーザ光の照射によりテラヘルツ波を発振するテラヘルツ波発振アンテナ５、第２レーザ光に時間遅延を与える時間遅延機構７と、第２レーザ光に基づいた検出タイミングでテラヘルツ波を検出し、検出したテラヘルツ波の強度に応じた検出信号を生成するテラヘルツ波受信アンテナ８、測定対象物１００の位置と傾きとが所定の状態にあるか否かを検出する状態検出部、測定対象物の位置と傾きとが所定の状態にあり、時間遅延機構７で与えられる時間遅延を変化させた場合のテラヘルツ波受信アンテナで生成された検出信号に基づく時系列信号強度データのピーク値に基づいて測定対象物の欠陥の有無を検査する検査部部５４を備える。 （もっと読む）

【課題】微量な光硬化性樹脂を高感度かつ簡便に検出可能な光硬化性樹脂の検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】光硬化性樹脂の検査装置は、検査対象物における光硬化性樹脂を検査するための検査装置であって、パルス光源１と、ストリークカメラ７とを備えている。パルス光源１は、プリント配線板５にパルス状の紫外光を照射するためのものである。ストリークカメラ７は、パルス光源１から照射される紫外光のパルスの幅よりも遅れた時間に、プリント配線板５における紫外光の照射部のソルダーレジスト５３の残渣から生じる蛍光を検出するためのものである。 （もっと読む）

【課題】光沢面の角度の情報を光学的に明度と色に変換し、変換後の画像から得られる明度と色から光沢面の角度を抽出することにより、光沢面の外観の検査を容易にする。
【解決手段】光源１は、第１の偏光要素４を通して光沢を有する検査対象７に円偏光を照射する。撮像装置２は、楕円偏光を直線偏光にする第２の偏光要素５を通して検査対象を撮像する。処理装置３は、撮像装置２から撮像した画像から抽出される画素ごとの明度と色との情報を用いて検査対象７の表面の角度に換算する換算部３３と、画素ごとの角度をグループ化することにより同じ角度を有した平面を抽出する面抽出部３４とを備える。 （もっと読む）

【課題】検査対象物中に混在する毛髪の検出精度が高められた毛髪検出装置を提供する。
【解決手段】検査対象物に対して１９４０ｎｍ〜２４００ｎｍの波長範囲から選ばれる複数波長の光を照射することで得られる反射スペクトルを用いて毛髪を検出する。毛髪の反射スペクトルは、波長２０００ｎｍ、２１２０ｎｍ、２２４０ｎｍにおいて反射強度が大きくなり、波長２０６０ｎｍ、２１８０ｎｍにおいて低くなるため、反射スペクトルが上記のような特徴を有しているか否かを判定することによって毛髪を検出する方法が、毛髪の検出感度の向上に効果的である。 （もっと読む）

【課題】 導光板を作製するときに用いられる導光板用シートや導光板自身の黄色味または透明度の程度を、効率よく検査することができる検査装置を提供する。
【解決手段】 光照射部２は、導光板用シート６の端面に光を照射する。受光部３は導光板用シート６を透過した透過光を受光しＸ値および輝度値を検出する。判定部４２の第１判定部４２１は、第１記憶部４１１に記憶される相関関係αに基づいて受光部３により検出されたＸ値に対応するＹＩ値が所定の閾値を超えているか否かを判定し、第２判定部４２２は、第２記憶部４１２に記憶される相関関係βに基づいて受光部３により検出された輝度値に対応する全光線透過率が所定の閾値未満であるか否かを判定する。出力部４３は、判定部４２による判定結果を出力する。 （もっと読む）

【課題】
光検査装置において、検出する光が微弱な場合に問題となる量子ノイズの影響を抑制する。
【解決手段】
光検査装置を、試料に光を照射する光照射手段と、参照光を発射する参照光手段と、光照射手段により光が照射された試料からの透過光または散乱光または反射光と、参照光手段から発射された参照光とを干渉させて干渉光を生成する光干渉手段と、光干渉手段により生成した干渉光を検出する光検出手段と、光検出手段により干渉光を検出して得られた検出信号に基づいて欠陥の有無を識別する欠陥識別手段と、試料からの透過光または散乱光または反射光の状態または参照光手段から発射された参照光の状態または光干渉手段により生成した干渉光の状態のうち少なくとも一つを変換する光変換手段とを備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】高反射性面の表面特性測定に適した装置および
方法を提供する。
【解決手段】測定面（１０）は少なくとも１つの放射線装置（２）によって照射され、測定面で散乱された前記放射線のうち少なくとも１つの測定信号を出力する少なくとも１つの第１の放射線検出装置（４）とを備え、前記測定面（１０）の光沢度測定を実施するための第２の放射線装置（１２）と第２の放射線検出装置（１４）とを含む。前記第２の放射線装置（１２）は、前記測定面（１０）に所定の入射角（ａ）で放射を行い、前記第２の放射線検出装置（１４）は少なくとも前記第２の放射線装置（２）によって照射され、その後に、前記測定面（１０）から反射された前記放射線の少なくとも一部を受信する。本発明によれば、前記第２の放射線装置（１２）が前記測定面に放射するにあたり、前記測定面（１０）に垂直な方向（Ｍ）に対して形成される前記入射角（ａ）が５０°以下である。 （もっと読む）

【課題】長い距離にわたるコンクリート壁面などのコンクリート構造物の診断を、安価にしかも短時間で行うことが可能な画像データ処理システムを提供する。
【解決手段】移動式架台１０に搭載された可視画像撮影用カメラ６０と赤外線カメラ７０と、最初の可視画像データ及び赤外線画像データに撮影された対象物上の基準点に基づいて、前記複数の可視画像データ及び赤外線画像データの位置関係を求め、前記最初の可視画像データ及び赤外線画像データに対して、あおり補正を施した上で、２番目以降の規格化可視画像データ及び規格化赤外線画像データを、前記位置関係に基づいて重畳し２番目以降の重畳データとし、前記最初の重畳データと前記２番目以降の重畳データとを連結することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】より高い精度で異物や不良品の検出を行う。
【解決手段】異状検査システム１００（検出装置）は、検査対象物３を撮像する光源ユニット１０及び検出ユニット２０と、撮像により得られたスペクトル画像をサポートベクターマシンを用いて解析し検査対象物３中に混在する異物または不良品を検出する分析ユニット３０と、を備える。この異状検査システム１００では、サポートベクターマシンを用いてスペクトル画像を解析して、異物また不良品を検出するため、従来の主成分分析と比較して、例えば正常部分と異状部分とのスペクトルの差が微弱であっても検出が可能となるため、より高い精度で異状部分の検出を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】
微小な欠陥を検出すること、検出した欠陥の寸法を高精度に計測することなどが求められる。
【解決手段】
光源から出射した光を、調整する照明光調整工程と、前記照明光調整工程により得られる光束を所望の照明強度分布に形成する照明強度分布制御工程と、前記照明強度分布の長手方向に対して実質的に垂直な方向に試料を変位させる試料走査工程と、照明光が照射される領域内の複数の小領域各々から出射される散乱光の光子数を計数して対応する複数の散乱光検出信号を出力する散乱光検出工程と、複数の散乱光検出信号を処理して欠陥の存在を判定する欠陥判定工程と、欠陥と判定される箇所各々について欠陥の寸法を判定する欠陥寸法判定工程と、前記欠陥と判定される箇所各々について、前記試料表面上における位置および前記欠陥の寸法を表示する表示工程と、を有することを特徴とする欠陥検査方法。 （もっと読む）

【課題】被検査物の種類や特徴に応じて、自動で最適な測定条件を決定して被検査物の特性を測定する。
【解決手段】前記被検査物を撮像する撮像部１６と、前記被検査物の特性を測定する特性測定部１５と、前記被検査物に関する検査情報を取得する検査情報取得部１１と、前記検査情報に対応する前記被検査物の測定条件に関する測定情報を決定する条件決定部１２と、前記撮像部による撮像を制御する撮像制御部１４と、前記測定情報に基づいて前記特性測定部による測定を制御する測定制御部１３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】立体角をわずかに変えて観察した際に表面塗装に生じる変化も表面特性検査の際に分解できるようにすることである。
【解決手段】本発明は、表面の光学的特性を検査するための装置に関するものであり、所与の一つ目の立体角で検査表面に光を照射する、少なくとも一つの主照射装置を備え、表面に照射され、そこから反射して戻ってきた光を補足するための少なくとも一つの主検出装置を備え、このとき主検出装置は位置分解して光を検出することができ、所与の二つ目の立体角で表面に対して配置されており、少なくとも一つの副照射装置または副検出装置を備え、これは所与の三つ目の立体角で光を検査表面に照射するか、または表面に照射されてここから反射して戻ってきた光を検出する。 （もっと読む）

【課題】
レーザ暗視野方式の基板検査装置では，照明光の可干渉性が高いことにより，酸化膜(透明膜)が表面に形成された基板の検査においては膜内多重干渉による反射強度の変動が生じる。また，金属膜が表面に形成された基板の検査においては，金属膜の表面粗さ(ラフネス，グレインなど)による散乱光が干渉して背景光ノイズが大きくなり，欠陥検出を感度低下させていた。
【解決手段】
指向性の良いブロードバンド光源（スーパーコンティニュアム光源など）を用いた低干渉かつ高輝度な照明により上記課題を解決する。また，従来のレーザ光源も併用し，光源を使い分けることでウエハの状態に応じて高感度な検査を可能とする。さらに，調整機構を設けた照明光学系により，両光源の照明光学系を共通化し，簡略な光学システムで上記効果を実現する。 （もっと読む）

【課題】
試料全面を短時間で走査し，試料に熱ダメージを与えることなく微小な欠陥を検出することができるようにする。
【解決手段】
光源から発射されたパルスレーザをパルス分割し、パルス分割したパルスレーザを回転しながら一方向に移動している試料の表面に照射し、パルス分割されたパルスレーザが照射された試料からの反射光を検出し、反射光を検出した信号を処理して試料上の欠陥を検出し、検出した欠陥に関する情報を表示画面に出力する欠陥検査方法において、パルス分割したパルスレーザの光強度の重心位置をモニタし、モニタしたパルス分割されたパルスレーザの光強度の重心位置を調整するようにした。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、本高速でパターンドメディア表面やスタンパのパターン形状の整形不良を検査できるパターン形状検査装置または検査方法並びにパターンドメディアディスク製造ラインを提供することである。
【解決手段】
本発明は、パターンが形成された被検査対象を載置して回転させながら半径方向に移動させ、前記被検査対象に対して遠紫外光を含む広帯域の照明光を斜め方向から照射し、該照射光学系で照射された被検査対象から発生する０次反射光を検出し、前記検出された０次反射光を一定の波長幅を有するチャンネル分光データを得、該チャンネル分光データが設定許容範囲内に存在するか判断し、前記判断結果を基に前記被検査対象に形成されたパターン形状を検査することを特徴とする。 （もっと読む）