【課題】細穴であっても、穴壁面の付着物を容易に除去することが可能な穴検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】先端に広角レンズ１５を備えた挿入シャフト１１を穴へ挿入させて、広角レンズ１５を通じた画像に基づいて穴壁面を検査する際、挿入シャフト１１の外周面に沿って穴の奥に向ってガス噴出機構１９によりガスを噴出させる。ガス噴出機構１９は、挿入シャフト１１の先端側の部分を囲繞し、その内周面と挿入シャフト１１の外周面との間に挿入シャフト１１の長手方向に延びるガス噴出路Ｒを形成するガイド１３と、ガイド１３の内部空間にガスを供給するガス供給部１４とから構成される。 （もっと読む）

【課題】基板上のパターンに損傷を与えることなく欠陥検査を行うことができる欠陥検査装置を提供すること。
【解決手段】実施形態の欠陥検査装置は、半導体基板を測定光学系によって表面観察し、観察結果に基づいて前記半導体基板の欠陥検査を行う基板検査部を備えている。また、前記欠陥検査装置は、前記測定光学系のうち前記表面観察を行う際に前記半導体基板の表面に近接する底部近傍を撮像し、撮像した画像である第１の撮像画像を用いて前記底部近傍の状態検査を行う測定光学系検査部を備えている。前記測定光学系検査部は、前記基板検査部が前記半導体基板の欠陥検査を行っていない間に、前記底部近傍の状態検査を行う。また、前記測定光学系検査部は、前記状態検査の基準となる基準画像と、前記第１の撮像画像と、を比較し、比較結果に基づいて、前記底部近傍の状態検査を行う。 （もっと読む）

【課題】ステージ上で大きく撓むようなマスク基板のクロム膜等のピンホール欠陥を高精度に検出する。
【解決手段】基板の表面にクロム膜等のマスクパターンが存在すると、基板の表面へ照射された光線はそのマスクパターンの形状や欠陥によって散乱され、基板の表面側の周囲にのみ散乱光が発生するようになり、基板の裏面側に透過する光線は存在しない。一方、このマスクパターンにピンホールが存在する場合、そのピンホールのエッジにて散乱した光の一部は基板の表面側で周囲に散乱光として発生すると共にそのピンホールを介して基板の内部へ透過し、基板裏面側の周囲に散乱光として発生することになる。これらの基板の表面及び裏面で検出された散乱光を、基板の表面側及び裏面側に配置された散乱光受光手段でそれぞれ受光することによって、ステージ上で大きく撓むようなマスク基板のクロム膜のピンホールを高精度に検出する。 （もっと読む）

【課題】ウェハ上の欠陥によって散乱される光は非常に弱く、その微弱光を高速かつ高感度に測定する検出方法としてはＰＭＴやＭＰＰＣがある。上記検出方法では、微弱光を光電変換して、電子を増倍する機能があるが、光電変換の量子効率が５０％以下と低いため、信号光を損失し、Ｓ／Ｎ比を低下させるという課題がある。
【解決手段】そこで、本発明では、光電変換をする前に直接光を増幅する光増幅に着目した。光増幅とは、信号光と励起用光源の光とを希土類を添加したファイバに導入し、誘導放出を起こして信号光を増幅する増幅方法である。本発明は、この光増幅を利用することを特徴とする。また、本発明は、この増幅率を様々な条件により変えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】異なる反射率を示すものが被検査物に含まれる場合でも、検査を実施することのできる検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、感度補正係数を前記被検査物の反射率毎に複数種類予め記憶する感度補正係数記憶工程と、被検査物の反射率の情報を取得する情報取得工程と、前記情報取得工程で取得した前記反射率の情報に対応する感度補正係数を、複数種類予め記憶した前記感度補正係数の中から対応感度補正係数として選択する感度補正係数選択工程と、前記被検査物で反射した反射光を受光して、該反射光の受光量に基づく出力信号を取得する信号取得工程と、前記信号取得工程で取得した前記出力信号を、前記対応感度補正係数を用いて補正する補正工程と、前記補正工程で補正した前記出力信号に基づいて前記被検査物の良否を判定する判定工程と、を含む検査方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】検査対象からの反射光角度の変化に基づいて基板の欠陥を精度よく検査することができる検査装置を提供すること。
【解決手段】本発明に係る検査装置は、赤外光を出射する光源１１と、光源１１から出射される赤外光を平行光としてウエハ３０に略垂直に入射させ、当該ウエハ３０からの反射光を導く光学系と、光学系により導かれる反射光のうち、正反射光以外の光を検出するＩＲカメラ１９、２０とを備え、光源１１からの赤外光を導光する光ファイバ１３の出射端面面は、光学系の瞳位置に配置されている。 （もっと読む）

【課題】投光器および受光器の診断機能を有する鋼帯の穴欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】連続的に搬送される鋼帯１を挟んだ上下に配置された投光器２および受光器３と、光ファイバ４と、これらより少し上流に配置された溶接穴検出器５と、トラッキング装置６と、穴欠陥検出制御装置７と、表示装置８とからなる。穴欠陥検出制御装置７は、鋼帯１に穴欠陥があるかどうかを常時検出する穴欠陥検出部７１と、投光器２を常時診断する投光器診断部７２と、受光器３を所定のタイミングで診断する受光器診断部７３を有する。受光器診断部７３は、鋼帯１のコイル間の溶接部に設けた穴が穴欠陥として検出されたタイミングとほぼ同時か、前記穴が前記受光口の上を通過し前記溶接部が前記受光口の上に存在すると予測されたタイミングで、前記溶接部に対する穴欠陥検出が行われている間に、受光器の光検出器に診断光を入射して、受光器の光検出器からの光検出信号に基づいて受光器を診断する。 （もっと読む）

【課題】 孔内に挿入される導光棒に照明と受光とを行なわせて光学系を一つとし、構造を簡素化して部品数を低減するとともに、部品精度の要求を抑えて組立を簡単にして製造コストを低減した安価な孔内周面撮影装置を目的とするものである。
【解決手段】 光源光を拡散光として導光棒５の基端面に入射させる反射鏡７ｂを導光棒５の基方部周縁に設け、また、導光棒５が先端を受光と照明とを行なう円錐状面６とし、基端面を受光像投影面と光源入射面とされ、該導光棒５の基端面に入射された拡散光を全反射させて先端の円錐状面６に伝達して孔内周面を拡散光により照明するとともに、拡散光により照明された孔内周面からの反射像を前記円錐状面６により受光したうえ、導光棒５の基端面に全反射投影された受光像を撮影する撮影装置４が導光棒５の基端に設けられるものである。 （もっと読む）

【課題】光学的手法を用いて被処理基板の構造をより高精度に評価することができるプロセスモニター装置を提供する。
【解決手段】プロセスモニター装置１１は、光を出射する光源部と、光の強度を検知可能な光検知部と、光源部から出射された光をウェハＷまで導き、ウェハＷから反射した反射波を光検知部まで導く第一光経路２１と、第一光経路２１と同等の光伝搬特性を有するように構成され、光源部から出射された光を、ウェハＷを経由することなく光検知部まで導く第二光経路と、第二光経路を通して光検知部により検知された光の強度情報に基づいて、第一光経路２１を通して光検知部により検知された光の強度情報を補正し、ウェハＷの構造を解析するコントローラ１７とを備える。 （もっと読む）

【課題】パターンを形成したウェハの検査において、表面の内部もしくは表面上の異常の有無を判定できる表面検査法を提供する。
【解決手段】サンプル表面２０ａからの散乱光は表面２０ａに対して垂直な線に対して略対称の光を集束する集束器３８，５２によって集束される。集束光は、異なる方位角で経路へと導かれ、集束した散乱光の線に対する相対的方位角位置に関する情報が保存される。集束光は、垂直な線に対して異なる方位角で散乱した光線を表すそれぞれの信号に変換される。異常の有無および／または特徴は、この信号から判定される。あるいは、集束器３８，５２によって集束された光線は、予測されるパターン散乱の角度差に対応する角度の環状ギャップを有する空間フィルタによって濾波され、狭角および広角集束経路から得た信号は比較され、マイクロスクラッチと粒子との間を識別する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物中に混在する毛髪の検出精度が高められた毛髪検出装置を提供する。
【解決手段】検査対象物に対して１９４０ｎｍ〜２４００ｎｍの波長範囲から選ばれる複数波長の光を照射することで得られる反射スペクトルを用いて毛髪を検出する。毛髪の反射スペクトルは、波長２０００ｎｍ、２１２０ｎｍ、２２４０ｎｍにおいて反射強度が大きくなり、波長２０６０ｎｍ、２１８０ｎｍにおいて低くなるため、反射スペクトルが上記のような特徴を有しているか否かを判定することによって毛髪を検出する方法が、毛髪の検出感度の向上に効果的である。 （もっと読む）

【課題】 光源が点灯した後の一定時間において照度が安定しないという課題を解決し、従来にはなかったデジタル顕微鏡を提供する。
【解決手段】
デジタル顕微鏡１は、発光ダイオード３４と、発光ダイオード３４から出射された光を試料に照射するための光学系と、試料にて反射または散乱した光を光電変換して試料を撮像する撮像素子と、試料を複数回撮像するように撮像素子を制御する制御部３５と、撮像素子にて撮像された画像を表示する表示部３１とを備える。 （もっと読む）

【課題】被検査体の検査効率を低下させることなく異なる角度の走査画像を取得し、欠陥判定の精度を高める表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置は、被検査体の軸に沿って導かれたレーザ光を反射するミラー手段と、ミラー手段によって反射され、被検査体の内側表面に印加されて反射されたレーザ光を受光する受光手段と、ミラー手段を被検査体の軸と同軸で回転させて周方向走査を行う周方向走査手段と、ミラー手段を被検査体の軸に沿って移動して軸方向走査を行う軸方向走査手段と、ミラー手段の被検査体の軸に対する反射角度を変更する反射角度変更手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】傷検査装置、傷検査システム、及び傷検査方法において、検査対象の表面を短時間で検査すること。
【解決手段】移動途中のフィルム２の表面に、強度が所定の周波数で変化する検査光Lをライン状に照射する光照射部８と、検査光Lの照射によりフィルム２から出た散乱光Mを集光する鏡１２と、鏡１２で集光された散乱光Mの強度に応じた出力信号S_Mを出力する光電変換部１５と、出力信号S_Mの周波数と検査光Lの周波数とが同一であるか否かを示す周波数比較信号S_Fを出力する周波数比較部３２とを有する傷検査装置による。 （もっと読む）

【課題】検査ヘッドや焦点距離が変更された場合でも、その変更に対応して自己の動作状態を診断できる表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、検査ヘッド１０から照射された検査光を反射面８１によって検査ヘッド１０に向けて反射できる反射鏡８０と、検査ヘッド１０の移動経路上に配置され、検査ヘッド１０が通過可能な貫通孔６１が形成されたカバー部材６０と、貫通孔６０を開閉できるシャッター部材７１と、を備え、反射鏡８０がシャッター部材７１に設けられており、シャッター駆動機構７２によって反射鏡８０の反射面８１から軸線Ａｘまでの距離を調整する。 （もっと読む）

【課題】発電機巻線端部の弛みについて、発電機の運転中止を要求する粉塵の目視検査、多数の位置への配置を要求し、運動のみ検出するファイバ結合加速度計、又は多数の設置を要求するカメラ撮影によらずに健全性監視を行なう。
【解決手段】電気機械部品監視システム（２０、１００）が、光ファイバ・ケーブル（２６、１０７）を通して光信号を与える光源（２２、１０１）と、電気機械部品（４６）に又は電気機械部品（１０９）から一定の離隔距離に配置されて、電気機械部品（４６、１０９）の状態を表わす応答光信号を得る光ファイバ・センシング部品（３０、１０６）とを含んでいる。このシステムはさらに、光ファイバ・センシング部品（３０、１０６）からの応答光信号を受信して電気信号へ変換する光検出器（３２、１０４）を含んでいる。また、電気信号を解析することにより電気機械部品（４６、１０９）に付着した汚れに関する情報を決定する処理回路（３８、１０５）がシステムに設けられている。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、オートフォーカス動作を行わなくとも、多分割セル方式によるＳ／Ｎ向上を可能とし、高感度の検査を実現できる光学式表面欠陥検査装置または光学式表面欠陥検査方法を提供することにある。
【解決手段】
本発明は、被検査体に検査光を照射し、該被検査体の表面からの散乱光を受光器に結像し、該受光器からの出力に基づいて前記被検査体の表面の欠陥を検査する光学式表面欠陥検査装置または光学式表面欠陥検査方法において、前記受光器は一端が前記散乱光を受光する円形上の受光面を形成し、他端が複数の受光素子に接続された光ファイバーバンドルを有し、該光ファイバーバンドルは前記受光面において扇形状を有する複数のセルに分割され、該セル単位で該受光素子に接続されており、複数の前記セルの出力に基づいて前記検査を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】低コストで、且つ光ビームの広がりを抑えることができ、検査精度を向上することができる表面検査装置を提供する。
【解決手段】光源からの光ビームを光照射手段を介して被検査物の被検査面である外周面に照射し、受光手段により被検査面からの反射光を受光し、受光した反射光の光量に基づいて被検査面上に存在する欠陥を検出する装置である。光照射手段は、回転せしめられる中空回転軸と、中空回転軸の端部の中心軸上に設けられた第１の平面ミラーと、中空回転軸の中心軸から離れた位置に設けられており第１の平面ミラーと同期して回転する第２の平面ミラーと、中空回転軸と同軸に周方向に沿って固定配置された円錐台ミラーとを備えている。光源からの光ビームが、中空回転軸内を介し、第１の平面ミラーと、第２の平面ミラーと、円錐台ミラーとによって反射され、円周方向に移動しながら一定の入射角度で被検査面に照射されるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】化成被覆率を高精度・短時間で測定が可能な車両鋼板における化成被覆率の簡易計測方法及びその装置を提供する。
【解決手段】化成被膜が表面に被覆された車両鋼板の化成被覆率を計測する簡易計測方法であって、前記車両鋼板表面に光を所定の照射角度で照射し、当該車両鋼板表面から所定の受光角度で反射される正反射成分を用い、前記正反射成分を含む反射強度と前記正反射成分を含まない反射強度の比を得ることにより、前記車両鋼板における化成被膜の被覆率を計測する。 （もっと読む）

【課題】プロテクタのどこから凝縮水が侵入したかや、プロテクタ内に侵入した凝縮水の状態を確実に把握することができるプロテクタ内への水侵入確認方法を提供すること。
【解決手段】エンジン５３を作動させて排気管５５内の凝縮水を飛散させ、プロテクタ１内に侵入する凝縮水の状態を調べるプロテクタ１内への水侵入確認方法である。この方法では、環状の可視化装置用治具６７と環状のプロテクタ用治具６９とを軸方向を合わせて着脱可能に接続した観測装置５９を用いる。この観測装置５９は、プロテクタ１を備えており、観測装置５９の中心孔にプロテクタ１の内部を観察可能なようにファイバースコープ７３を挿入する。そして、観測装置５９を排気管５５のガスセンサ２の取付位置に配置し、エンジン５３を作動させて、ファイバースコープ７３によってプロテクタ１内に侵入する凝縮水の状態を観測する。 （もっと読む）