【課題】検査対象物の種類に応じてプログラムを切り換えるのみで、フォーカス調整を容易に行うことができる画像処理装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る画像処理装置は、検査対象物を含む撮像領域を撮像する撮像部と、検査対象物に対する前記撮像部のフォーカス位置を調整するフォーカス調整機構と、該フォーカス調整機構の動作を制御する制御部とを備える。フォーカスが合う位置を示すフォーカス位置データを含む複数の設定項目から構成され、検査対象物を検査する条件に関する検査条件データを、複数設定する。一の検査条件データから他の検査条件データへの切換指示を受け付けた場合、切換後の他の検査条件データに含まれるフォーカス位置データに基づいて、フォーカス調整機構の動作を制御する。 （もっと読む）

【課題】検査に必要な画像データを、撮影条件を変更しながら複数回撮影することにより、適正な画像データを用いた高精度な検査装置を得る。
【解決手段】撮影条件の異なる複数の画像を撮影する撮像手段２と、撮像手段２の撮影画像を複数の領域に分割して符号化する符号化手段３と、符号化手段３の符号化データを複数画像分だけ格納する記憶手段４と、記憶手段４に格納された符号化データを送信する送信手段５と、送信手段５からの符号化データを復号する復号手段９と、復号手段９により復号された画像から被写体の検査を行う検査手段１０と、検査手段１０からの検査命令および送信命令に応答して記憶手段４内の符号化データを検査手段１０へ送信する制御手段６とを備える。検査手段１０は、記憶手段４に格納された符号化データのうち、複数の画像データの中から任意の領域を指定して送信させる。 （もっと読む）

【課題】ラインセンサを利用し、かつ被検体の表面欠陥を高精度に検出することができる表面検査装置を提供する。
【解決手段】被検体１２を搬送する搬送部１４と、搬送部１４にて搬送される被検体１２の表面に所定の繰り返し明暗パターンを照射する照射部１６と、被検体１２に照射された明暗パターンを被検体１２の幅方向に移動させる動力伝達機構１８と、被検体１２の明暗パターンが照射された部位を撮像するラインセンサ２０と、ラインセンサ２０にて撮像された信号に基づいて被検体１２の表面に欠陥が存在するか否かを判定する欠陥判定部５０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ウェハ上の欠陥によって散乱される光は非常に弱く、その微弱光を高速かつ高感度に測定する検出方法としてはＰＭＴやＭＰＰＣがある。上記検出方法では、微弱光を光電変換して、電子を増倍する機能があるが、光電変換の量子効率が５０％以下と低いため、信号光を損失し、Ｓ／Ｎ比を低下させるという課題がある。
【解決手段】そこで、本発明では、光電変換をする前に直接光を増幅する光増幅に着目した。光増幅とは、信号光と励起用光源の光とを希土類を添加したファイバに導入し、誘導放出を起こして信号光を増幅する増幅方法である。本発明は、この光増幅を利用することを特徴とする。また、本発明は、この増幅率を様々な条件により変えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】検査対象物（例えば半導体パターン）の微細化により、検査すべき欠陥の大きさも微小化し、欠陥からの散乱光の強度が大幅に減少するが、このような欠陥からの微小な散乱光を検出するのに適した欠陥検査装置および方法を提供する。
【解決手段】表面にパターンが形成された試料１００に光を照射するレーザ光源１１１を備える照明光学系１１０ａと、前記照明光学系により照明された該試料から発生する光を検出するセンサ１２６を備える検出光学系１２０と、前記検出光学系により検出された光に基づく画像から欠陥を抽出する信号処理手段２５０と、を備え、前記検出光学系にて光を検出する間に前記センサの増幅率を動的に変化させることを特徴とする欠陥検査装置である。 （もっと読む）

【課題】回折光や散乱光等の外乱による影響を受けにくく、パターンの微細化に十分対応できる基板検査装置及びマスク検査装置を実現する。
【解決手段】本発明による基板検査装置は、検査データの取得と対物レンズ（８）の焦点データ信号の取得を並行して行う。検査中に対物レンズの光軸方向の位置を制御するオートフォーカス装置は、焦点誤差信号を出力する焦点誤差検出手段（４０）と、対物レンズ位置信号又は焦点誤差信号が加算された対物レンズ位置信号により構成される焦点データ信号を用いて対物レンズの光軸方向の位置を制御する焦点制御信号を走査ラインごとに生成する焦点制御信号生成手段（６０）とを有する。ｉを正の整数とした場合に、ｉ番目の走査ラインの走査により取得した焦点データ信号を用いて生成された焦点制御信号は、（ｉ＋２ｍ）番目の走査ラインを走査するときの焦点制御信号として用いられる。 （もっと読む）

【課題】反射防止フィルムの低コントラストの欠陥を容易に検出するために、反射防止フィルムに付着した薬液を拭取る薬液拭取り装置を提供する。
【解決手段】反射防止フィルムの欠陥を検査する場合にフィルムに付着させた薬液を検査後に拭取る装置であって、土台に設けられ昇降が可能な支柱と、拭取りヘッドベースと拭取りヘッド中間部材と拭取り部材を順に重ねた構造を有し、前記支柱に支えられた拭取りヘッドと、を備え、前記拭取りヘッドを薬液が付着したフィルム面に接触させて薬液を拭取ることを特徴とする薬液拭取り装置。 （もっと読む）

【課題】検査時間および労力を低減できるマスク検査方法およびその装置を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、マスク検査方法は、半導体露光用マスクに任意波長の光を入射させ撮像部にて像を取得する光学系を用いて、前記マスクの欠陥の有無を検査する方法であって、予め前記光学系による点像を、前記撮像部の読み出し方向に伸長される制御条件を取得する第１ステップ（Ｓ２０３）と、前記制御条件により、マスクの所望の領域の像を取得する第２ステップ（Ｓ２０５）と、取得した前記所望の領域の像において、信号強度が予め定めておいた第１閾値以上であり、前記信号強度の前記読み出し方向における差分が予め定めておいた第２閾値以下であるピーク信号が存在する場合、前記ピーク信号の座標を欠陥として判定する第３ステップ（Ｓ２０６）とを具備する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物品の色に応じた最適な検査手段、方法により、誤判定を無くすための技術を提案する。
【解決手段】検査対象となる物品（実施例では瓶２）を撮像するための少なくとも一つの撮像装置１１ａ・１１ｂ・１１ｃ・１１ｄ・１１ｅと、前記物品に対して光を照射するための少なくとも一つの照明装置１２と、を有し、前記光が照射された前記物品を前記撮像装置１１ａ・１１ｂ・１１ｃ・１１ｄ・１１ｅにて撮像し、撮像された画像に基づいて前記物品の欠陥を判定するための反射系検査部１０を有する、物品の欠陥検査装置１であって、前記照明装置１２は、検査対象となる物品（瓶２）に対して照射する光の色を変更できる構成とする。 （もっと読む）

【課題】合焦精度を向上させる。
【解決手段】高感度のラインセンサ１６Ｂは、レーザ照明部１１により照明された対象物２の光点像の光量から得られる高輝度の受光データを取得し、低感度のラインセンサ１６Ａは、対象物２の光点像の光量から得られる低輝度の受光データを取得し、データ処理部１７は、正常時は、高感度のラインセンサ１６Ｂからの高輝度の受光データを選択し、高輝度の受光データを得るときのレーザ光が飽和した場合、低輝度の受光データを選択する。そして、検出部１８は、データ処理部１７により選択された受光データに基づいて、対象物２の像の合焦状態を検出することで、対象物２の像の合焦状態が確実に検出されるので、合焦精度を向上させることができる。本発明は、例えば、対象物の断面形状を測定する測定装置に用いられる位置検出装置に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】コストを増加させずに処理の高速化と解像度の変更が可能な光電変換素子と、それを用いた欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】複数のセンサ画素を有する光電変換素子１において、マルチプレクサ５と、複数の水平転送レジスタ３ａ〜３ｄとを有する。センサ画素は、水平転送レジスタ３ａ〜３ｄのそれぞれに対応するように、複数のブロック２ａ〜２ｄに分割される。複数のブロック２ａ〜２ｄの電荷が、対応するそれぞれの水平転送レジスタ３ａ〜３ｄを介してマルチプレクサ５に読み出され、マルチプレクサ５を介して出力されるように構成する。 （もっと読む）

【課題】画像処理による擬似的な解像度の向上を実現し、検査対象であるワークに存在する欠陥を高精度に検出可能な欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】ワークＷにおける欠陥の有無を画像処理によって検査する欠陥検査工程Ｓ１であって、基準位置にてワークＷを撮像し、基準画像を作成するステップＳ１１と、基準位置からＸ方向、Ｙ方向、又はＸＹ方向に１／Ｎ（Ｎは２以上の整数）画素ずつずれた位置にてそれぞれワークＷを撮像し、基準画像に対して画素をずらした複数のシフト画像を作成するステップＳ１２と、基準画像、及び複数のシフト画像の各画素の位置に応じて、基準画像の各画素の間に、複数のシフト画像の各画素を補完するように配置して、基準画像のＮ^２倍の解像度を有する判定画像を作成するステップＳ１３と、判定画像に基づいて、ワークＷにおける欠陥の有無を判定するステップＳ１４と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】目視検査に必要な視点から撮影した映像を得、撮像装置が撮影した映像の手振れ感を除去し、及び高解像度画像を用いて映像を表示装置にリアルタイムに映し出すための、遠隔目視検査装置を提供する。
【解決手段】遠隔目視検査装置は、移動しながら検査対象の表面の映像を撮影する撮像部３０と、映像を構成する少なくとも２つの画像データの特徴量の差に基づいて、撮像部３０の位置及び姿勢の変化量である移動量を計算する移動量計算部１１と、移動量の履歴を格納する移動量メモリ１２と、移動量の履歴に基づいて、検査員にとって目視検査に好適な撮像部３０の位置及び姿勢の好適位置を推定する位置推定部１３と、好適位置に基づいて画像データに幾何変換を施すことにより、好適位置に対応する処理画像データを生成する画像変換部１４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】欠陥検査装置では検出倍率を上げて微細欠陥検出感度を向上させるため、焦点深
度が浅くなり、環境変動によって結像位置がずれ、欠陥検出感度が不安定になる課題があ
る。
【解決手段】被検査基板を搭載して所定方向に走査するＸＹステージと、被検査基板上の
欠陥を斜めから照明し、その欠陥を上方に配した検出光学系で検出する方式で、この結像
状態を最良の状態に保つために、温度及び気圧の変化に対して、結像位置変化を補正する
機構を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】 ピントが合わせやすく、しかも、ワークやラインカメラの移動に伴う振動があってもうねりをはっきり撮像できる撮像装置を提供する。
【解決手段】撮像装置１は、ワークαに対して８０°の入射角度で線状光がワークαに当たるように光源装置２０を配置し、その反射光をエリアカメラ３１で撮像できるようにカメラユニット３０を配置している。撮像装置１は、ラインカメラのように線ではなく、エリアカメラ３１の撮像面で面により反射光を捉えているので、ピントが合わせやすく、しかも、エリアカメラ３１の場合、一定の幅で画像を取り込むことで、ハイライト部分が若干移動しても確実にハイライト部分を受光できるので、明るさが一定した均質な画像が得られる。従って、撮像装置１を用いると、ラインカメラを用いた撮像装置に比べて、ピントが合わせやすく、光量むらを発生させずにワークαの外部表面をうねりが分かるように二次元的に撮像できる。 （もっと読む）

【課題】カメラのパン・チルト機構を有効に活用した簡素な構成で、節をもつ鉄塔内部の観察を円滑に行うことができる自走可能な吊下式カメラ装置を提供する。
【解決手段】ローテーション可動部１３の先端側に設けられた少なくとも１つの自走用突起部（ゴム足）１６がフランジ２の面上に接している懸吊状態で、ローテーション可動部１３を回転させると、フランジ面に接しているゴム足１６の摩擦により、ローテーション可動部１３がフランジ面上でゴム足１６を代えながらフランジ面上を移動し（走行し）、これに伴いカメラ１０がフランジ面上で自走する。 （もっと読む）

【課題】従来の方法では、膜種が同じで、膜厚が異なる場合等は再度の実測が必要となり、検査条件を設定するのに時間がかかってしまう。
【解決手段】複数の検出光学系がそれぞれ、検光角を変える光学素子と、前記検光角を制御する検光角制御部と、を有し、処理部は、前記複数の検出光学系毎の、前記検光角と、前記検光角に対応した信号対雑音比と、前記基板の膜種と、前記基板の膜厚との関係を保存したデータベースを有し、前記データベースを更新していく。さらにＳＮＲ閾値を設ける。 （もっと読む）

【課題】通常は高速な検査を行いながら、必要に応じて高倍率の画像に基づく高精度な検査を行うことが可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１において、制御部４０は、第１の撮像装置３５にウェハＷの表面全体の像を撮像させ、画像処理部４５で第１の撮像装置３５により撮像されたウェハＷの表面全体の画像において異常を検出した場合に、第１の撮像装置３５よりも高い倍率で撮像可能な第２の撮像装置３６に切り替えてウェハＷの表面における異常が検出された部分の像を撮像させる制御を行う。 （もっと読む）

様々な実施形態は、流れ方向（１１８）に装置に対して移動するオンライン製品ウェブを検査する装置を目的とする。装置は、視野（１１４）を画定し、視野が製品ウェブ（２０８）の部分を含むように配置されるラインスキャンカメラ（１０２）を含み得る。カメラ制御システム（１０４）は、カメラ（１０２）と電子通信し得、ウェブ速度センサ（１１０）から製品ウェブの速度を示すウェブ速度データを受信し、ウェブ速度データをライントリガ信号に変換するように構成され得る。ライントリガ信号は、流れ方向に不断の画素解像度を達成するために必要なカメラ画像キャプチャの時間周波数を示し得る。更に、カメラ制御システム（１０４）は、製品位置データを受信し、製品位置データを考慮するフレームトリガ信号を生成するように構成され得る。フレームトリガ信号は、画像フレームと画像フレームとの間で中断を示し得る。
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【課題】従来の検査装置の設備をできるだけ利用しつつ、従来に比べて、撮像手段の配置の制約を緩和させ、より自由度の高い設定を可能とし、より汎用性が高く、取り扱いが容易な物品検査装置を低コストで提供すること
【解決手段】物品を搬送する搬送手段２と、搬送手段によって搬送されている物品１１を搬送方向の上流側から撮像する上流撮像手段３ａと、搬送手段によって搬送されている物品を搬送方向の下流側から撮像する下流撮像手段３ｂと、上流撮像手段及び下流撮像手段を制御する制御手段６とを備えた物品検査装置１において、制御手段６は、上流撮像手段の撮像タイミングと下流撮像手段の撮像タイミングを独立して制御でき、搬送される物品の大きさ又は種類に応じて、複数の異なる撮像タイミングの組み合わせを設定でき、上流撮像手段と下流撮像手段とを同時に撮像する第１の設定と、上流撮像手段と下流撮像手段とを異なる撮像タイミングで撮像する第２の設定を有する。 （もっと読む）