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Fターム[2G051DA05]の内容

光学的手段による材料の調査の特殊な応用 (70,229) | 被検体のハンドリング、駆動制御 (5,089) | 調査手段内での移動、位置合わせ (3,792)

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【課題】平面表示パネルの画素周期のレベルで画像中における平面表示パネルの表示領域に相当する領域の位置を決定することができる平面表示パネルの画像の位置決め方法を提供する。
【解決手段】一色の画素のみを発光させて液晶パネルを撮像して画像Aを取得する。次に、画像AについてX方向の輝度プロファイルFxを求め、極小点の座標xminを求め、配列周期Pxを求める。そして、パネル領域のX方向の端部の座標xendとして、最も外側に位置する極小点から配列周期Pxだけ外側に離隔した位置の座標を算出する。一方、Y方向の輝度プロファイルFyを求め、極大点の座標ymaxを求め、配列周期Pyを求める。そして、パネル領域のY方向の端部の座標yendとして、最も外側に位置する極大点から、Y方向における発光させた画素の中心とこの画素が属する絵素の外側の端縁との間の距離eだけ外側に離隔した位置の座標を算出する。 (もっと読む)


【課題】フレームを簡単に折り畳んで運ぶことのできるサイズ可変ステージを提供する。
【解決手段】互いに平行に設置され、互いに接近し離間することのできるベースフレームBF11,BF21と、ベースフレームBF11,BF21間を橋渡しする少なくとも1本のスライドフレームSF1とを備えている。連結部材C11,C21は、ベースフレームBF11,BF21の縦長方向に沿ってスライドするスライド機構と、ベースフレームBF11,BF21に対するスライドフレームSF1の角度を変化させることができる回転機構とが設けられている。さらに、連結部材C11,C21には、スライドフレームSF1を、前記ベースフレームBF11,BF21の縦長方向と直角な水平方向に沿ってスライドさせることのできる補助スライド機構が設けられている。 (もっと読む)


【課題】LEDのような指向性の高い点光源を用いた照明装置を拡散板を導入せずに使用しても、表面の傾斜状態の判別を安定して行って、検査の精度を確保する。
【解決手段】基板Sの上方に、カラーカメラ1を受光面が基板面に対向するように配備するとともに、このカメラ1と基板Sとの間に照明装置2を設け、基板S上のフィレット71に対する検査を実行する。照明装置2は、同心円状に配備されたLED21R,21G,21Bにより、赤、緑、青の各色彩光がカメラ1の視野に対しそれぞれ異なる方向から入射するように構成されるが、光出射面には拡散板が設けられていない。検査の際には、カメラ1により生成された画像から各照明色による高輝度領域を抽出し、これらの領域がLED間の距離に応じた間隔を隔てて分布する範囲全体を、照明色に対応する色領域として特定し、各色領域の構成画素の数を所定の基準値と照合する。 (もっと読む)


【課題】設置環境の温度変化による架台内部の温度影響を可及的に小さくすることである。
【解決手段】基板を測定するための測定機器を収容する測定機器用架台であって、前記測定機器が内部に配置される枠体3と、前記枠体3に設けられ、前記測定機器の少なくとも側方を囲む内面板61及びその内面板61との間に気体層を形成する外面板62からなる二重壁構造4と、を具備することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】従来、製造プロセスの不良対策は、該検査装置で検出された欠陥を分析することにより行われている。一方、光散乱方式の欠陥検査装置の検出結果として総検出個数や欠陥の検出座標、欠陥の寸法などの情報を出力している。光散乱方式の欠陥検査においては、散乱光を用いて欠陥の寸法を測定しているが、寸法が適切に算出できない場合があった。
【解決手段】光学的系により検査する欠陥検査装置において、欠陥検出とほぼ同時に欠陥の寸法を測定する。欠陥寸法の測定を高精度化するために、標準粒子などの標準試料を用いて欠陥寸法を校正する手段を備えた。 (もっと読む)


【課題】缶体の外面に光を照射して、その光が缶体内に漏れたことを検出して缶体に発生したピンホールを検査する缶体検査装置において、支持部に支持された部分の缶体に発生するピンホールを、簡単な構成により確実に検出すること。
【解決手段】缶体50に沿う周面が形成されたポケット部11aに前記缶体50の外面を支持する支持部11と、前記缶体50の外側から光を照射する光源12と、前記缶体50の内側に漏れ出た光を検出する検出部Sとを備え、前記ポケット部11aに支持された前記缶体50に前記周面11aから前記光を照射する缶体検査装置10であって、前記支持部11は、入射された光が蛍光に変換される蛍光性光透過材料により形成されていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】連続的に多数の積層コンデンサの内部不良を検査することができる、検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】制御部は、赤外光が照射された積層コンデンサからの反射光を取得するステップ(S100)と、分析対象データを平均化処理するステップ(S500)と、最大波長側から小さい波長の反射率の極大値をカウントするステップ(S600)と、反射率が極大値である波長を特定するステップ(S700)と、反射率の極大値の差が最大の波長を特定するステップ(S1000)と、特定された極大値に関するデータに基づいて不良品であるか否かを判定するステップ(S1200)とを含む、プログラムを実行する。 (もっと読む)


【課題】パターン画像検出部110の特性変動や被検査ウェーハ6の表面特性の個体ばらつきに応じて、欠陥判定のしきい値を自動的に調整する。
【解決手段】画像処理部120は、被検査ウェーハ6表面のある領域の検出画像とその領域と同じパターンを有する他の領域の検出画像との差分画像に基づき、欠陥信号を抽出する欠陥信号抽出部21、前記差分画像の全画素について、その各画素の欠陥信号量を累積して、その頻度分布および分散を算出する欠陥信号累積部23、その算出した分散を、基準の被検査ウェーハ6から得られた基準の頻度分布の分散と比較して、頻度分布のオフセット量を算出するオフセット算出部24、あらかじめ設定された基準の欠陥判定しきい値を前記オフセット量により修正し、その修正した欠陥判定しきい値に基づき、前記欠陥画像についての欠陥信号の欠陥判定を行う欠陥判定部25、を含んで構成される。 (もっと読む)


【課題】基板にかかる応力を抑制しつつ確実に吸着保持できるようにする。
【解決手段】外観検査装置1は、基板吸着装置として板金15に固定された3つの吸着部群16A〜16Cを備える。吸着部群16A〜16Cはガラス基板Wの搬送方向に並んで配置されており、各々が3つの吸着部18A〜18Cを備える。吸着部18A〜18Cは、ガラス基板Wの裏面に吸着可能で、首振り動作が可能な吸着パッド22が1つずつ設けられている。最も中央にある吸着部群16Bの吸着部18Bは、上方に押し付け部33が配置されている。押し付け部33は補助パッド35を降下させてガラス基板Wを吸着部18Bに押し付ける。 (もっと読む)


【課題】高精度なウエハステージの移動制御を行う。
【解決手段】ウエハステージの位置を計測するために用いられるスケール39Y2に対して検出装置PDY1の照射系69Aからの検出ビームを照射し、スケール39Y2を介した検出ビームを受光系69Bで検出することにより、スケールの表面状態(異物の存在状態)を検出する。これにより、スケールに対して非接触で表面状態の検出を行うことができる。さらに、この表面状態を考慮することで、ウエハステージの移動制御を高精度に行うことができる。 (もっと読む)


【課題】光学系を用いて中空糸口金の紡糸孔および注入液孔の画像を取得し、定量的な管理基準により検査・判定を自動で行うことで、正確且つ短時間に行える中空糸口金検査方法を提供すること。
【解決手段】
下記(A)〜(C)の検査用照明手段およびその撮像手段を有し、支持固定された中空糸口金の中空糸吐出側に対する位置に(A)の手段が設置され、前記中空糸口金の中空糸吐出側からの照射光の透過が可能となる位置に(B)および(C)の手段が設置され、(A)の手段より照射された光の前記中空糸吐出側の紡糸孔表面からの反射光並びに(B)および(C)の手段より照射された透過光を前記撮像手段が撮像可能であることを特徴とする中空糸口金検査装置。
(A)紡糸孔および注入液ノズルの同心度検査・判定用の照明
(B)紡糸孔表面および内部検査・判定用の照明
(C)注入液孔検査・判定用の照明 (もっと読む)


【課題】透明膜のムラ、傷、汚れ、ゴミ等の欠陥を簡単、かつ精度よく検査する。
【解決手段】保持枠21に生化学センサ2を固定する。透明膜5のムラは、拡散光源ユニット28の光源38を点灯させ、乳白色板39、拡散板40、カラーフィルタ41により拡散された拡散光S1を透明膜5の全域に照射し、金属膜4で反射された光の濃淡に基づいて検査する。透明膜5の傷等は、線状光源ユニット47の光源38を点灯させ、反射板54、集光レンズ55で集光され、遮光カバー56でライン状にされた線状光S2を透明膜5に照射し、矢印X方向に移動させ、金属膜4の反射状態に基づいて検査する。 (もっと読む)


【課題】光学フィルムに生じている欠陥が揮点欠陥を生じさせる欠陥(光学欠陥)であるのか否かを容易に判定できるようにする。
【解決手段】光学フィルム1の一方の面側に配置された偏光板3を介して照明光7で照明しつつ、該光学フィルム1の他方の面側に配置された偏光板2を介して撮像し、該撮像結果に基づいて、光学欠陥の有無を判定する。偏光板2と偏光板3とはクロスニコルに配置される。照明光7として、青から緑の波長帯域内にある単波長光を用い、照明光7による露光時間が最適化されている。 (もっと読む)


【課題】接続状態を短時間で正確に検査することが可能な接続状態検査装置、接続状態検査方法および接続システムを提供する。
【解決手段】可視光が透過可能な透光性部品の第1主表面上に設けられた端子と不透明基板に設けられた端子とが異方性導電材料を介して接続されている状態を検査する接続状態検査装置101であって、透光性部品に設けられた端子と基板に設けられた端子との接続部分を透光性部品の第2主表面側から撮影する撮影部4と、撮影した接続部分の画像に基づいて、透光性部品に設けられた端子と基板に設けられた端子との接続状態を判定する接続状態判定部1とを備える。 (もっと読む)


【課題】小型化を実現できるとともに、被検査基板に対し精度の高い欠陥検査を効率よく行なうこと。
【解決手段】矩形状の被検査基板を保持する基板ホルダを水平な状態から目視観察する所定の角度に立ち上げ、この状態で被検査基板の上方からマクロ照明光を被検査基板上面に照射し、かつレーザー光源から出射されたレーザー光を光路分割手段によりX方向とY方向とに分割し、これら分割された各レーザー光をそれぞれX方向とY方向との各ガイド部材にそれぞれ移動可能に設けられた2つの反射体により被検査基板側に反射し、2つの反射体をそれぞれX方向とY方向とに移動させ、これら反射体でそれぞれ反射して被検査基板上の欠陥部に各レーザー光を一致させたときの各反射体のX方向とY方向への各変位量から位置座標検出部によって欠陥部の位置座標を検出する。 (もっと読む)


【課題】位相差バラツキを有するセパレータが積層されている積層フィルムの検査を行なうに際して、セパレータの全領域にわたって精度のよい検査を行なうことが可能な積層フィルムの検査方法を提供する。
【解決手段】少なくとも、偏光子14と、セパレータ11とが積層されている積層フィルム1の欠陥検出を行うに際して、検査用光源2を用いて積層フィルム1を照射する工程と、この検査用光源2による透過光像を検査用偏光フィルター4と検査用位相差フィルター3とを介して撮影する工程と、を有し、積層フィルム1の検査領域が複数の小領域1aに分割設定されており、各領域ごとに検査用偏光フィルター4及び検査用位相差フィルター3を位置させる工程と、位置させた検査用位相差フィルター3を回転させて、透過光が最も吸収される回転位置を検出する工程と、検出された回転位置において、当該小領域1aの透過光像を撮影する工程と、を有する。 (もっと読む)


【課題】検査環境による検査対象物の形状の良否判定の精度が検査環境によって低下することを防止する。
【解決手段】形状検査装置は、検査対象物を照明するための検査光源と、撮像手段と、前記検査光源を点灯した状態において前記検査対象物の反射光を受光することによって前記撮像手段が出力する画像データである検査データを取得する検査データ取得手段と、前記検査光源を消灯した状態において前記検査対象物の反射光を受光することによって前記撮像手段が出力する画像データであるオフセットデータを取得するオフセットデータ取得手段と、前記検査データと前記オフセットデータの差分を示す差分データを取得する差分データ取得手段と、前記差分データに基づいて前記検査対象物の形状の良否を判定する良否判定手段と、を備える。 (もっと読む)


検査された対象物が捕捉イメージ内の欠陥の寸法を増幅する移動の平面ビームの照明によって掃引される、観察カメラによる検査のゾーンを用いて光掃引を用いたイメージの併合による表面内の欠陥の検出のシステム。対応するカメラによって捕捉される対象物の所定の部分のイメージの全てが、その後の処理のために単一のイメージ内に併合される。 (もっと読む)


【課題】従来方法を改良して従来の手動作業と自動作業とを兼用した検卵装置を提供する。
【解決手段】卵投入部と卵整列部と第1次検査部と無精卵・発育異常卵排出部と優良卵供給部と第2次検査部と、卵取出部とから構成される有精卵自動検卵装置において、前記検卵装置に画像で検卵処理する画像処理システムと画像で検卵処理する画像処理用カメラとを付設しかつ前記システムとカメラを介して検卵部でライトアップしたのち画像処理にて良否判定を行い、該良否判定による不良品を自動的に取り出して卵内血管の発育状態と活力とを人の目視により確認可能とし、かつ複数卵の発育状態を離れた位置で手動操作により画像判定を可能にしたことを特徴とする有精卵検査における自動式兼手動式の検卵装置の提供。 (もっと読む)


【課題】大型のフォトマスクの性能評価及び欠陥検査を良好に行うことができるフォトマスクの検査装置及びフォトマスクの検査方法を提供し、これらフォトマスクの検査装置及びフォトマスクの検査方法を用いた液晶装置製造用フォトマスクの製造方法及びパターン転写方法を提供する。
【解決手段】フォトマスク3を保持し、光源1からの所定波長の光束を照明光学系2を介して照射し、対物レンズ系4を介して、撮像手段5によりフォトマスク3の像を撮像する。光源1より発せられた光束は、少なくとも、g線、h線、または、i線のいずれかを含み、あるいは、これらのうち任意の二以上を混合した光束を含み、波長選択フィルタ6を介して、フォトマスク3に照射される。 (もっと読む)


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