【課題】部品およびはんだに対する３次元計測結果に基づく検査の結果や検査対象部位の状態を、ユーザが容易に確認できるような表示を行い、検査結果の確認作業を支援する。
【解決手段】基板上の部品およびはんだに、それぞれ異なる手法の３次元計測を実施し、それぞれの計測により得た３次元情報をはんだ付け部毎および種別毎に読出可能に蓄積する。そして、これらの蓄積情報に基づき、はんだ付け部位毎に部品とはんだとの関係を表す画像を生成し、この画像を含む画面を検査結果の確認用の画面として表示する。好ましい確認用画面では、はんだの３次元情報が表す立体形状を部品のはんだへの接合面の近傍位置で切断した場合に得られるはんだの断面を正面として、このはんだの断面と部品との関係を示す画像（ＹＺ図またはＸＺ図）が表示される。 （もっと読む）

【課題】透明部材の欠陥を高精度に検出可能な欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】透明部材の欠陥検出装置は、光を投射する投光装置２６と、投光装置２６から投射された光を反射する反射板３と、反射部３を撮像する撮像装置１１と、反射板３と撮像装置１１との間に透明ブレードｂを配置可能なステージと、を有する。反射板３は、投光装置２６から投射された光を第２の方向に反射する反射率の異なる複数の領域が規則的に配置された反射面を備えている。 （もっと読む）

【課題】検査精度を保ちつつスループットを向上させることができる検査装置、検査方法および検査プログラムを提供すること。
【解決手段】高倍率で基板の検査測定を行うミクロ検査部と、基板の全体画像をもとに各画素の輝度を算出して全体画像内のムラを検査するマクロ検査部と、全体画像に対して測定を行う測定点を、仮測定点として割り付ける設定部と、各画素の輝度をもとに全体画像を構成する画素をグループ化する分類部と、分類部がグループ化した領域において存在する仮測定点から少なくとも１つの仮測定点を選択して、選択された仮測定点を実測定点として決定する決定部と、実測定点の測定乃至検査をミクロ検査部に行わせるとともに、各実測定点における検査結果を同一の領域における仮測定点にそれぞれ割り付けて検査結果の出力制御を行う制御部と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】構造の簡素化を図ることができる円筒体の検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の検査装置は、取込位置Ａにおいて円筒体Ｗをチャックするチャック手段が、メインローラ２０と、メインローラに接離する方向に移動可能なサブローラ３０とをそれぞれ有する一対の挿入支持部１２を備える。円筒体Ｗをチャック際に、一対の挿入支持部１２を、そのサブローラ３０をメインローラ２０に対し上側に配置したサブローラ上向き姿勢として円筒体の両側部内側に挿入し、その挿入状態で、サブローラ３０を上側に移動させて円筒体Ｗの内周面上側に接触させそのサブローラ３０によって円筒体Ｗを搬入側載置具から持ち上げるとともに、メインローラ２０を円筒体Ｗの内周面下側に接触させる。 （もっと読む）

【課題】タイヤの内周面に生じた線状の凹凸を容易に検出することができる照明装置及びタイヤの検査装置を提供する。
【解決手段】光源ユニット３６から照射された光によってタイヤＴの内周面８を照明する照明装置１６と、タイヤＴの内周面８を撮影する撮影部１８，１９と、タイヤＴと照明装置１６及び撮影部１８，１９とをタイヤＴの回転軸Ｌ２の回りに相対的に回転させるテーブル駆動部１４とを備え、タイヤＴの内周面８に沿わせて配置した光源ユニット３６からタイヤＴの周方向Ｃに向けて光を照射した状態で、テーブル駆動部１４がタイヤＴと照明装置１６及び撮影部１８，１９とをタイヤＴの回転軸Ｌ２の回りに相対的に回転させながら、撮影部１８，１９がタイヤＴの内周面８を撮影する。 （もっと読む）

【課題】高精細なパターンの欠陥部を簡単な構成で修正することが可能な低価格のパターン修正装置を提供する。
【解決手段】このパターン修正装置１は、レーザ光の照射形状を所定形状に整形するスリット３７と、スリット３７によって整形されたレーザ光を基板１２の表面に集光する対物レンズ２５と、スリット３７の位置を調整し、対物レンズ２５によって集光されたレーザ光の照射位置を欠陥部１３ａに移動させる駆動部３５，３６とを備える。したがって、ＸＹテーブル３によってレーザ光の照射位置を移動させていた従来に比べ、装置構成の簡単化、装置の低コスト化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】パターン付きウェハの表面粗さを高精度で非破壊に測定できる平坦な検査範囲を、目視によらず探索できる表面検査装置を提供する。
【解決手段】照射される照射光により生じる散乱光の散乱光強度を、パターン付きウェハ２００上の測定座標に対応付けて測定し、ウェハ２００の表面粗さを検査する表面検査装置において、制御部が、下限閾値以上である散乱光強度の測定座標を抽出し、抽出された測定座標の周辺に相当するパターンの全体レイアウト４０１の一部の部分レイアウト４０５ａ内に、表面粗さの検査の検査範囲４０６を設定し、検査範囲４０６における表面粗さを求める。 （もっと読む）

【課題】容器に貼付されたラベルの良否がラベラ内で検査できるラベル検査装置を提供する。
【解決手段】自転しながら公転軌道３ａを公転する容器２にラベル７を貼付するラベラ１と、ラベラ１の公転軌道３ａを挟んで対向し、かつラベルの正面方向またはラベルの側面方向に設置された少なくとも一対の撮像手段１２ａ〜１２ｄと、撮像手段１２ａ〜１２ｄが撮像した容器２の画像をから容器２に貼付されたラベル７の特徴点を計測する画像計測演算手段２２と、ラベル７の良否を判定する基準値が設定された良否判定基準値設定手段２３と、画像計測演算手段２２が計測した特徴点と基準値とを比較演算してラベル７の良否を判定する良否判定演算手段２５とから構成したもので、ラベラ１内に撮像手段１２ａ〜１２ｄを設置するだけでよいため、既存のラベラにも容易かつ安価に実施することができる。 （もっと読む）

【課題】同一パターンとなるように形成された２つのパターンの対応する領域の画像を比較して画像の不一致部を欠陥と判定するパターン検査装置において、膜厚の違いなどから生じるパターンの明るさむらの影響を低減して、高感度なパターン検査を実現する。また、多種多様な欠陥を顕在化でき，広範囲な工程への適用が可能なパターン検査装置を実現する。
【解決手段】同一パターンとなるように形成された２つのパターンの対応する領域の画像を比較して画像の不一致部を欠陥と判定するパターン検査装置を、複数の検出系とそれに対応する複数の画像比較処理方式を備えて構成し、又、異なる複数の処理単位で比較画像間の画像信号の階調を変換する手段を備えて構成し、画像間の同一パターンで明るさの違いが生じている場合であっても、正しく欠陥を検出できるようにした。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、ガラス基板の搬送方向の平坦性を確保し、精度よく検査できるガラス基板欠陥検査装置またはガラス基板欠陥検査方法を提供することにある。
【解決手段】
本発明は、ガラス基板をエアで浮上力を発生させて浮上させ、前記浮上力のない検査領域に搬送し、前記検査領域において前記ガラス基板を撮像し検査するガラス基板欠陥検査装置または検査方法において、前記検査領域における前記基板ガラスの搬送方向の端部の跳ね上がりによる変位量を低減し、前記検査を行なうことを特徴とする。また、前記低減は前記検査領域における前記ガラス基板の前記変位量を測定し、前記変位量測定結果に基づいて、前記撮像する撮像手段を移動させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ウェーハ上の欠陥分布を検査する表面検査装置において、欠陥検査と同時進行でウェーハの厚さとフラットネスを測定できるようにする。
【解決手段】本発明は、ウェーハを固定し、回転及び直線移動を行う搬送系と、前記直線移動の経路上に配置されたウェーハ上の欠陥の位置とサイズを特定する散乱光学系と、前記直線移動の経路であって、前記散乱光学系よりも前に配置されたフラットネス測定系と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】エッジ（段差）近傍の表面プロファイルの測定結果を正確に取得することができる、物体の表面プロファイルを測定する方法を提供する。
【解決手段】物体の表面プロファイルを測定する方法であって、物体の表面の段差が走査方向に対して延在する第１の方向の情報を取得するステップと、前記情報に応じて、照射ビームに与える位相分布を設定するステップと、前記照射ビームで前記物体を前記走査方向に走査するステップと、を有する。 （もっと読む）

【課題】人の目に近い、生体鉱物の品質管理や評価、農産物の栽培・品質管理や評価を課題とし、色彩画像撮像・解析システムを提供する。詳細には、対象物の表面反射を除去又は軽減する色彩画像撮像システムを提供する。又、Color HistogramとCDEに基づく色彩画像解析システムを提供する。
【解決手段】（Ａ）色彩画像撮像システム及び／又は（Ｂ）色彩画像解析システムからなる色彩画像撮像・解析システムであって、（Ａ）色彩画像撮像システムは、立体拡散光源を有し、該光源内に対象物を設置すること、（Ｂ）色彩画像解析システムは、CDEに基づく画像解析工程と、Color Histogramに基づく色彩解析工程とからなることを特徴とするシステムにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】環状部材に保持されたテープに貼り付けられた検査対象物を、透過照明を用いて効率良く適切に検査することのできる検査装置を提供する。
【解決手段】観察光学系（１１）と、反射照明機構１２と、透過照明機構１４と、検査対象物（４４）が貼付されるテープ４２を保持する環状部材４３の内側で透過照明機構１４側からテープ４２を保持可能な筒状の保持ステージ３４と、を備える検査装置１０である。透過照明機構１４は、光源（５１）から導光された透過光を保持ステージ３４の外方から観察面Ｆｐへ向けて出射する出射部５３を有し、保持ステージ３４には、観察光学系側に観察面Ｆｐに沿う平面を規定する平坦面（３５ａ）が設けられた板状を呈しかつ出射部５３から出射された透過光の透過を許す透過部材３５と、保持ステージ３４に対して観察光軸Ｏａ方向に関する位置調整可能に透過部材３５を保持する位置調整機構（３７、３８）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は検査の信頼性を悪化させることなくスリップシームの予兆を発見することにより不良缶の発生を未然に防止し得る巻締部の検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】缶の巻締部１１０を検査する際に、缶蓋１０１の中心Ｃを基準とした所定角度α毎の巻締部１１０の厚さＴの変化量を、巻締部１１０の全周に亘って複数個取得し、それら変化量に基づいて巻締部１１０の巻締状態を判定する。 （もっと読む）

【課題】熱硬化型接着剤が硬化した樹脂部を検査対象に含む場合において、樹脂部の分布状態の良否を適正に判定することができる電子部品の実装状態検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】チップ型電子部品の実装状態を検査する実装状態検査部１１を、装着状態を検査する第２の装着状態検査部１１ｂと、端子と基板の電極とを接続する半田部の状態を検査する第１の半田付け状態検査部１１ｄと、半田部を補強するために形成される樹脂部のチップ型電子部品の周囲における分布状態を検査する樹脂部検査部１１ｅを含む構成とし、さらに実装用接合材料として半田粒子入りの熱硬化型接着剤を使用している場合は、第２の装着状態検査部１１ｂと樹脂部検査部１１ｅによる検査を実行する。 （もっと読む）

【課題】大型の基板に対しても正確な検査を可能にする。
【解決手段】基板検査装置１は、基板Ｗを支持する基板搬送面を形成する複数の浮上プレート１３２が短手方向に互いに所定幅の隙間を空けて配列する搬送ステージ１３１と、基板搬送面より下方に配置され、隣り合う浮上プレート１３２の間から基板Ｗを照明する投下照明１３８と、搬送ステージ１３１の上方を該搬送ステージ１３１に対して水平に移動可能な光学ユニット１６と、搬送ステージ１３１上の基板Ｗを短手方向に所定距離移動させるシフト機構１３５ａおよび１３５ｂと、を備える。 （もっと読む）

【課題】観察者の検査にかかる自由度を向上させることができる外観検査装置を提供すること。
【解決手段】観察対象の基板Ｗを保持する基板ホルダ２１を有する基板保持装置２と、基板ホルダ２１の移動方向および移動量を操作するコントローラ３とを備えた外観検査装置１であって、コントローラ３は、互いに直交する３つの軸からなり、コントローラに固定された第１座標系に対する並進または回転に基づいて定められ、基板ホルダ２１が並進または回転を行なう移動方向と、基板ホルダ２１の移動方向における移動量とを含む信号を基板保持装置２に送信する信号送信部３４を備え、基板保持装置２は、信号送信部３４によって送信された信号を受信する第１信号受信２４部と、第１信号受信部２４が受信した信号をもとに、互いに直交する３つの軸からなる第２座標系を基準として基板ホルダ２１を駆動制御する制御部と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】透明部品の表面状態を正確に、かつ容易に検査する。
【解決手段】測定対象の表面を撮像する撮像装置１０と、測定対象の表面に光を照射する照射部２０と、撮像装置１０の焦点位置と測定対象の表面の相対位置を制御する制御部３０と、撮像装置１０が撮像した画像の輝度を検出する検出部４０と、を備え、制御部３０は、撮像装置１０の焦点位置を、測定対象の表面に合わせた第１の焦点位置と、第１の焦点位置とは異なる第２の焦点位置に制御し、検出部４０は、第１の焦点位置において検出した輝度と、第２の焦点位置において検出した輝度との差から、測定対象の表面にある異物又はキズを検知する。 （もっと読む）

【課題】欠陥検査装置では検出倍率を上げて微細欠陥検出感度を向上させるため、焦点深
度が浅くなり、環境変動によって結像位置がずれ、欠陥検出感度が不安定になる課題があ
る。
【解決手段】被検査基板を搭載して所定方向に走査するＸＹステージと、被検査基板上の
欠陥を斜めから照明し、その欠陥を上方に配した検出光学系で検出する方式で、この結像
状態を最良の状態に保つために、温度及び気圧の変化に対して、結像位置変化を補正する
機構を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。 （もっと読む）