【課題】ウェーハ表面のＬＰＤの検出と暗視野像の検出とを並行して行うことができ、且つ、ＬＰＤの検出感度を高めた表面欠陥検査装置および表面欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】表面検査装置は、ウェーハ１の表面に対して斜め方向からレーザー光を照射する光源１０と、照射により前記ウェーハ表面で散乱・乱反射された光を結像させる結像光学系２１と、散乱・乱反射された光の結像位置に受光面を有する面センサ２２と、面センサ２２から画像信号を取得し、この画像信号に基づきウェーハ１表面の画像を生成する画像処理部３２とを備える。照射されるレーザー光の光軸とウェーハ１との相対位置を変位させつつ、画像処理部３２は、変位に応じて一部が重複したウェーハ１上の複数領域に対応する複数の画像信号を取得して、スペックルノイズを除去した暗視野像を合成する。 （もっと読む）

【課題】軸状ワークを、外周の径方向張り出し部をテーブルで受け支えて吊り下げ姿勢で搬送しながら選別のための検査を行う検査装置について、検査の高速化と高精度化を図ることを課題としている。
【解決手段】回転テーブル２、吸着装置１０、回転駆動機構２０、ワーク突き上げ機構３０、および検査機４０を有し、吸着ヘッド１１とワーク突き上げピース３１が検査部５に対向して配置され、回転テーブル２が間欠的に回転して外周の切欠き溝に受け入れたワークＷを検査部５に移動させ、検査部において、ワーク突き上げ機構３０がワークＷをそのワークの頭頂部が吸着ヘッド１１に吸着・保持される位置まで下から突き上げ、回転駆動機構２０が吸着ヘッド１１と一緒にワークＷを回転させて検査機４０による検査が行われるようにした。 （もっと読む）

【課題】薬液を収納した薬液容器の先端に取り付けられた栓部材に負荷をかけることなく、薬液容器を回転可能に正確に保持する。
【解決手段】保持装置２０は開口部３３を備えたアウターケース３１とアウターケース内に配置されシリンジ２１を保持する爪機構３４とを備えた把持部２３を有し、爪機構は、開口部から外方に突出した状態のときにアウターケースの半径方向の外側に拡がると共にアウターケースの内方に収納された状態のときにアウターケースの内面によって半径方向の内側に狭められる開閉可能な複数の爪を備えた爪部３６を有し、アウターケースが下方に移動したときに、爪部が開口部からアウターケースの内方に収納させられて半径方向の内側に狭められることにより、爪部の内側に形成された空間部４６にシリンジのゴム栓４１が収納されると共に、爪部がゴム栓を越えた位置にあるシリンジの部位を保持する。 （もっと読む）

【課題】高い精度で且つ高速に半田の状態の検査を行う。
【解決手段】
基板２０のリード穴２１に挿通された電子部品２２のリード２３と該基板２０とを接合する半田２４の状態を検査する半田検査方法であって、半田２４の上方に位置するカメラ１に対して基板２０の表面に平行な半田２４の平坦部分からの反射光が該半田２４の傾斜部分からの反射光に比べて強く入射するように該半田２４の上方から光を照射し、カメラ１によって半田２４を撮像し、カメラ１の撮像画像内の所定の検査ウィンドウ３２の輝度に基づいて半田２４の状態を検査する。検査ウィンドウ３２は、撮像画像におけるリード２３の外周より外側の領域の少なくとも一部分である。 （もっと読む）

【課題】１つの装置で異なる被検査物の異物検査を実施した際に、検出した異物がいずれの被検査物に付着しているかを判定することができる異物検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物２、３に対して照明光を照射する照明手段７と、照明光の照射を受け、異物から発生する散乱光を受光する受光手段８と、被検査物を面方向、若しくは面に対する法線方向に駆動する第１駆動手段６と、照明手段７、受光手段８、及び第１駆動手段６の動作及び処理を制御する制御手段１２とを備え、第１駆動手段６は、複数の被検査物２、３を個別に駆動が可能であり、受光手段８は、第１駆動手段６による駆動前後において散乱光を受光し、制御手段１２は、駆動前後に検出された、それぞれの異物の検出結果に基づいて検出結果の変化を導出し、変化に基づいて複数の被検査物２、３のいずれの被検査物に異物が付着しているかを判定する。 （もっと読む）

【課題】オフセット量を正確かつ容易に取得する。
【解決手段】第１の位置情報に基づいて特定される位置Ｏｂ上にビーム照射部が位置するように移動させた後に、照射部をＸ方向（矢印Ａ１，Ａ２の向き）に移動させながらレーザービームを照射させたときのレーザービームの反射光量の変化、およびＹ方向（矢印Ｂ１，Ｂ２の向き）に移動させながら照射させたときの反射光量の変化に基づいてマーク２１の位置Ｍｘ１，Ｍｘ２，Ｍｙ１，Ｍｙ２を取得すると共に、位置Ｍｘ１，Ｍｘ２，Ｍｙ１，Ｍｙ２と、第２の位置情報とに基づいて基板保持機構によって保持されているオフセット量取得用基板におけるマーク２１の位置Ｍｂを特定し、位置Ｍｂ，ＯｂのＸ方向に沿った位置ずれ量Ｘｂ、およびＹ方向に沿った位置ずれ量Ｙｂを、照射部のＸ方向に沿った移動量、およびＹ方向に沿った移動量をそれぞれ補正するためのオフセット量として特定する。 （もっと読む）

【課題】液体系内に生成された沈殿物を評価する方法及び装置について記述している。
【解決手段】本発明の方法は、沈殿物に関連する高さの計測、ひいては、体積のデータの計測を実現するための情報を光学的に取得するステップを有している。液体系の単一のサンプルを処理することが可能であるが、本発明の方法は、複数のサンプルを処理することにより、沈殿物に関係するデータを高速で取得するのに特に適している。本発明の装置は、ワークステーション間において、且つ、沈殿物に関係する情報の取得に使用される関連した光学装置に対して、サンプルを移動することが可能な自動運搬装置を備えている。 （もっと読む）

【課題】
レーザ暗視野方式の基板検査装置では，照明光の可干渉性が高いことにより，酸化膜(透明膜)が表面に形成された基板の検査においては膜内多重干渉による反射強度の変動が生じる。また，金属膜が表面に形成された基板の検査においては，金属膜の表面粗さ(ラフネス，グレインなど)による散乱光が干渉して背景光ノイズが大きくなり，欠陥検出を感度低下させていた。
【解決手段】
指向性の良いブロードバンド光源（スーパーコンティニュアム光源など）を用いた低干渉かつ高輝度な照明により上記課題を解決する。また，従来のレーザ光源も併用し，光源を使い分けることでウエハの状態に応じて高感度な検査を可能とする。さらに，調整機構を設けた照明光学系により，両光源の照明光学系を共通化し，簡略な光学システムで上記効果を実現する。 （もっと読む）

【課題】位相シフト法で立体形状を測定して行う被検査物の検査が低ノイズで効率良く行えるようにする。
【解決手段】通常状態で撮影を行う（ステップＳ１１）と共に、位相シフト法で立体形状を測定するために、格子縞を投光させた状態で撮影を行う（ステップＳ１２）。撮影して得た二次元画像から、被測定物の検査領域を特定する（ステップＳ１４）。そして、格子縞が投光された二次元画像から、特定した検査領域について立体形状を測定して、立体形状検査を行う（ステップＳ１５）。 （もっと読む）

【課題】塗布液の供給配管経路の途中に設置でき、塗布液の透明、不透明の影響を受けず、全ての気泡を確実に検知できると共に、気泡径の測定をも可能とした気泡検知用用具を提供すること。
【解決手段】塗布液を薄膜化させて流通させる気泡検知流路１を形成可能に所要の間隔をおいて対向配置され、少なくとも一方を透明板とさせた一対の平板２、３を備えた平板部と、平板部を挟み込んで平板部を保持させる共に、塗布液の供給配管経路の途中に接続されるプレート部とを備える。そして、プレート部は、供給配管経路と連通され、気泡検知流路１へ塗布液を流入させる入口側マニホールド６及び気泡検知流路１から塗布液を流出させる出口側マニホールド７と、気泡検知流路１を流通する塗布液中の気泡の有無を透過光又は反射光を用いて検知可能または目視可能に気泡検知流路１と対応する部位を開口させた検知スロット１９とを設ける。 （もっと読む）

【課題】ヘイズのような微小な段差の異物を簡素な構成の装置により正確に検出する。
【解決手段】レチクル検査装置１００は、レチクル３に照射される照射光１０を発光する光源（例えばレーザ１）を有する。レチクル検査装置１００は、レチクル３の表面３ａにおける照射光１０の照射位置Ｐを調整し、該照射光１０をレチクル３上で走査させる照射位置調整部と、レチクル３の表面３ａからの正反射光１１を受光する受光部（例えばフォトマル８）とを有する。レチクル検査装置１００は、受光部により受光される正反射光１１の光量の変動に基づいてレチクル３の表面３ａの異物（例えばヘイズ）の有無を判定する判定部（制御部９）を有する。 （もっと読む）

【課題】部品実装機において電子部品のピンの先端部のみを鮮明に撮像できる撮像判定方法及び該方法を実現する部品実装機を提供すること。
【解決手段】光照射手段２８による水平方向に照射されている光Ｌ内で電子部品ＣのピンＰを移動させているので、例えばピンの移動を上下方向とすることにより部品本体Ｂ及びピンの外筒部での光の反射を防止でき、ピンの先端部のみを鮮明に撮像できる。さらに、ピンの移動開始から移動終了まで連続してピンを撮像するようにしているので、電子部品のピックアップ部位が異なってピンの先端部の上下方向の位置が異なっていたとしても、また、電子部品の製造ロットや製造メーカによって各ピンの長さにバラツキが生じていたとしても、全てのピンの先端部の累積画像から鮮明な画像を容易に取得できる。よって、ピンの形状や配置の良否、ピンの抜けや曲げや折れの有無等の検査を容易且つ高精度に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】粉体のワークは高速に移動させるとワークが舞い上がってしまう点、及び粒体のワークは隣接させずに個々に分離して検査することができずに誤検知率が高い点、こうした不具合なく高速かつ全量のワークの検査を行うことができない点を解消する。
【解決手段】粉粒体検査装置１は、ワークＷを表面上に吸着させることで受け取って、回転させて検査位置から良品・不良品の排出箇所へ搬送するために、筒状体４Ａの周面表裏を貫通する複数の微細な孔４ａが形成され、さらに、該筒状体４Ａの内部の空気を吸引する吸引機構４Ｃが接続された回転吸引搬送機構４と、回転吸引搬送機構４の外周面を覆ってワークＷを把持する通気カバー４Ｂと、回転吸引搬送機構４の周面外側に設けたカメラ５と、を備えることとした。 （もっと読む）

【課題】連続検査が可能で、検査の品質を低下させることがない、検査システムのフレーム機構を提供する。
【解決手段】検査システムのフレーム機構２０は、第１ワークフレーム２５１と、第１フレーム２１と、第２フレーム２２とを含み、第１フレーム２１は第１スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と第１スキャン区域から外側に展開された位置との間で第１ワークフレーム２５１の第１の側へ回動し、第２フレーム２２は第１スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と第１スキャン区域から外側に展開された位置との間で第１ワークフレーム２５１の第２の側へ回動し、第１スキャン区域において、第１及び第２フレーム２１、２２の一方が折り畳まれた位置にあり、第１及び第２フレーム２１、２２の他方が展開された位置にあるとき、第１及び第２フレーム２１、２２のいずれかを第１スキャナ３８がスキャンする。 （もっと読む）

【課題】被検査物に付着した粒子が有機系粒子であっても、レーザ散乱方式における検出感度を向上させることができる粒子検出方法を提供する。
【解決手段】ウェハＷの表面に光を照射し、該表面からの散乱光を受光することによって、前記表面に付着した粒子Ｐを検出する粒子検出方法において、粒子Ｐが損傷しない所定温度範囲でウェハＷの表面に成膜処理を行い、成膜されたウェハＷの表面に光を照射し、前記表面からの散乱光を受光することによって、粒子Ｐを検出する。 （もっと読む）

【課題】基板を汚染することなく非接触で保持する基板保持装置では、基板の自重によるたわみが発生したり、使用条件の中で回転動作の風圧による基板のたわみが発生するために、各種処理の障害になっている。
【解決手段】基板の上面を所望の面高さに保持したり、あるいは平面度を保持したりするために、基板上面に基板面の高さを測る非接触の変位センサを設置し、また、載せ台上面には複数の溝と障壁を設け、基板と乗せ台の間にエアーを供給してその圧力によって基板の変位を可能として、さらに、変位センサの出力をフィードバックすることで基板を任意の凸，凹形状に変形したり、平面化することを可能とする構造を持つ基板搭載装置。 （もっと読む）

【課題】車椅子技能者であっても精度良く検査が実施できる検査台を提供することを課題とする。
【解決手段】検査物載せ台３０は、車両のインストルメントパネルに倣って傾けられている。検査員４８は検査物載せ台３０に面直な理想的な目線４９で上段目線確認部材３４を見ている。上段目線確認部材３４がミラーである場合には、ミラーに自己の瞳が写る。瞳が中立線４４に合致すれば、目線４９とミラーの中心とが一致したことになる。車椅子４７に座っている検査員４８は、上段目線確認部材３４、中段目線確認部材３５又は下段目線確認部材３６を見ながら検査物載せ台３０を昇降させ、次に検査作業を行う。
【効果】検査員は首を上下に振る必要がない。すなわち、車椅子技能者にとって使い勝手のよい検査台が提供される。 （もっと読む）

【課題】表面に透明薄膜が形成された基板等の試料において、透明薄膜の上面の微小な異物、キズ等の欠陥を高感度且つ高速に検査することができる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の欠陥検査装置によると、照明光学系は、試料の表面の法線に対して所定の入射角を有する検査用照明光を試料表面に照射し、試料表面にスリット状のビームスポットを生成する。試料の表面に対して所定の傾斜角にて傾斜した光軸を有する斜方検出系と試料の表面の法線に沿った光軸を有する上方検出系によって、ビームスポットからの光を検出する。斜方検出系と上方検出系の出力によって、試料の表面の透明薄膜上の欠陥を検出する。検査用照明光の入射角は、試料の表面の透明薄膜下面にて反射した反射光が透明薄膜上面にて全反射するときの入射角より僅かに小さい角度である。 （もっと読む）

【課題】ウェハ表面の膜を容易に高感度で検査することが可能な検査方法を提供する。
【解決手段】表面に膜が設けられたウェハを支持するステージと、ステージに支持されたウェハの表面に照明光を照射する照明系と、照明光が照射されたウェハの表面からの反射光を検出する検出部と、検出部により検出された反射光の情報から膜の検査を行う検査部とを備えた検査装置による検査方法であって、目標膜厚および屈折率を設定する設定ステップＳ１０１と、目標膜厚および屈折率から、目標膜厚近傍における膜厚変化に対する反射率変化の特性を複数の波長毎に算出する演算ステップＳ１０２と、膜厚変化に対する反射率変化の特性に基づいて、反射率変化（すなわち感度）が最も大きくなる波長を照明光の波長として決定する決定ステップＳ１０３とを有している。 （もっと読む）

【課題】的確に検査対象の表面上の欠陥の有無を判定する欠陥判定技術を提供する。
【解決手段】載置台３の載置面３ｆにワークＷを載置し、ワークＷの被検査面Ｗｆは、照明１により光が照射され、カメラ２により撮影される。カメラ２は、移動機構４により、載置面３ｆに対する照明１の光軸の相対方向と、載置面３ｆに対するカメラ２の光軸の相対方向との少なくとも一方が変更されつつ撮影を行う。カメラ２により撮影された撮影データは画像データ取得部により取得され、特徴量抽出部はその画像データに基づいて被検査面Ｗｆの反射特性を表す特徴量を抽出する。欠陥判定部は、抽出された特徴量に基づいて被検査面Ｗｆの欠陥の種別を判定する。 （もっと読む）