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Fターム[2G051DA05]の内容

光学的手段による材料の調査の特殊な応用 (70,229) | 被検体のハンドリング、駆動制御 (5,089) | 調査手段内での移動、位置合わせ (3,792)

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【課題】被検査対象に合わせて照明光量を調節する場合に、レーザ光量を調整する特別な機構を別に持たずとも照明光量を調節でき、光量を調整した状態で異物の検査を行うことができるようにする。
【解決手段】検査光の照射領域が低反射率部から高反射率部に移行して照射する時に、その直前で検査光をオフ制御とし光量が少なくなるようにし、逆に高反射率部から低反射率部に移行して照射する時に、その直前で検査光をオン制御とし光量が多くなり標準時の光量に戻るようにしている。検査光となるレーザ光は、オン状態からオフ状態に移行したときは、光量は徐々に減少し、逆にオフ状態からオン状態に移行したときに、光量は徐々に増加するので、このレーザ光の特性を利用して、オン/オフ制御を行なうことによって、レーザ光量を調整する特別な機構を別に持たずとも照明光量を調節することができ、光量を調整した状態で異物の検査を行うことができる。 (もっと読む)


【課題】たとえばラベルおよび/もしくは浮き彫りパターンを備えた装飾的な外観を有する、ビールもしくはソフトドリンクなどの飲み物などの液体用容器の考えられる汚染の存在を検出する。
【解決手段】検出装置は、少なくとも第1の波長(たとえば可視光、赤外線、紫外線、X線)で容器を照射する照射手段(2,4)と、照射と容器の少なくとも一部との相互作用があった後に照射サンプルを記録する記録手段(22)と、第1の記録手段に対して容器の方向を決定する方向決定手段と、記録の間、第1の記録手段に対して容器の方向を一致させてサンプルと所定の参照とを比較する比較手段(36)とを備える。 (もっと読む)


【課題】異なる波長の光を用いて和周波発生手段により所定の光を出射するレーザ装置について、簡便且つ正確にその出力を調整することのできる方法と、この方法により出力調整可能なレーザ装置と、このレーザ装置を光源として備えた検査装置とを提供する。
【解決手段】第2の非線形光学結晶4は、波長266nmのレーザ光を出射する。第3の非線形光学結晶8は、波長782nmのレーザ光を出射する。これらの光は第4の非線形光学結晶11に入射し、和周波発生により波長変換されて、波長198.5nmの光になる。反射ミラー5の角度と、波長選択性反射ミラー9の角度と、測定部13で測定された波長198.5nmの光の出力とは、それぞれ制御装置14に送られる。制御装置14は、出力が最大となるよう反射ミラー5と波長選択性反射ミラー9の角度を調整する。 (もっと読む)


【課題】発光素子の不良の有無を検査し、検査後に不良の発光素子を廃棄することのできる発光素子検査装置及びこれを用いた検査方法を提供する。従って、発光素子の不良検査及び不良廃棄を自動化するとともに一連の過程で迅速に処理することにより、生産性の向上を図ることができる。
【解決手段】本発明の一実施形態による発光素子検査装置は、発光素子のビジョン検査により不良の有無を検査する検査部と、前記検査部から供給された前記発光素子のうち、前記検査部の検査結果に基づいて不良と判定された発光素子を廃棄する不良リジェクト部とを含む。 (もっと読む)


【課題】バンプ接合部を効率よくかつ精度よく検査する。
【解決手段】基板53と半導体素子51との間に形成されたバンプ52を検査するバンプ検査装置は、基板53と半導体素子51との間にレーザー光を照射するレーザー照射装置10と、バンプ52を介して半導体素子51が戴置された基板53を保持するワーク保持部14と、基板表面に対し垂直方向にレーザー照射装置10を移動しながら、バンプ52に向けて照射されるレーザー光の入射方向が、基板53に対して平行方向になるようにレーザー照射装置10からレーザー光を照射させるXYZステージ13と、バンプ表面から基板53と平行方向に反射された反射光を受光する受光装置11と、受光装置11が受光した反射光の強度分布が所定の条件を満たすとき、バンプ52の接合状態を良好と判定する制御部17と、を有する。 (もっと読む)


レーザーを用いた貼り合わせウェーハの検査装置の提供。簡単な構造であることから作動し易く、経済性に富んでおり、信頼性が高く、しかも、貼り合わせウェーハの界面不良が検出可能なレーザーを用いた貼り合わせウェーハの検査装置が開示されている。このために、レーザー手段と、レーザー拡散手段及び検出手段を備えるレーザーを用いた貼り合わせウェーハの検査装置を提供する。本発明に係るレーザーを用いた貼り合わせウェーハの検査装置によれば、検査者が所望の倍率にてウェーハ界面の検査を行うことができるというメリットがある。なお、簡単な構造であることから、検査のための作動が容易であるというメリットがある。
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【課題】半導体ウェーハ等の対象物に形成されたID、文字、異物、欠陥等の高精度な観測を容易に実現する。
【解決手段】照明装置14に設けられた基板上には、LED21、22、23が並べて配置され、これらLED21、22、23の発光主軸L1、L2、L3のXY平面への正射影とX軸とのなす角の大きさαが15度以上75度以下であり、かつ発光主軸L1、L2、L3のYZ平面への正射影とY軸とのなす角の大きさβが0度以上75度以下であるようにLED21、22、23の向きが定められている。 (もっと読む)


あるシステム及び方法が、再構築により、基板上のオブジェクトの概略構造を決定する。これは、例えば、リソグラフィ装置のクリティカルディメンション(CD)又はオーバレイ性能を評価するための微細構造のモデルベースのメトロロジーなどに適用できる。基板上のスタック上の格子などのオブジェクトの概略構造を決定するためにスキャトロメータが使用される。ウェーハ基板は上層と下地層とを有する。基板はスタックオブジェクト上の格子を含む第1のスキャトロメトリターゲット領域を有する。スタック上の格子は上層と下地層とからなる。上層は周期格子のパターンを備える。基板はさらに、上層がない、隣接する第2のスキャトロメトリターゲット領域を有する。第2の領域は、パターン形成されていない下地層のみを有する。 (もっと読む)


【課題】表面に膜が形成されたウエハでも安定してアライメントマークと周辺部のコントラストが高い画像データを取得できるようにしたものを提供する。
【解決手段】照明光となる光源と前記光源からの光を物体に照射し、また反射光を集光結像する結像光学系と前記結像光学系の集光点に設置し、物体の画像を取り込むカメラと取り込んだ画像を処理する画像処理機能からなるアライメント測定装置を備えた欠陥検査装置において、画像の取り込みを少なくとも2つの異なる波長帯域の反射光において行い、それぞれの反射光に対応した物体の画像情報を適切に演算処理することによってアライメントマークのコントラストを高めるように構成する。 (もっと読む)


【課題】検査部内には基板を全面検査するためにXY移動ステージ機構や高速回転機構などの可動部があり、ファンフィルタユニット(以下FFU)も、付着異物をゼロにすることは困難である。
【解決手段】本発明は、複数の領域に分割されたファンフィルタユニットと、前記ファンフィルタユニットからの空気を排気するための複数の領域に分割された排気ユニットと、前記ファンフィルタユニットと前記排気ユニットとの間に配置された搬送系とを有し、前記搬送系の動作に応じて、前記ファンフィルタユニットの一部の領域の流量と、前記排気ユニットの一部の領域の流量とを制御することを第1の特徴とする。 (もっと読む)


ワークピース(10)を検査するための光学検査システムが提供される。システムは、ワークピース(10)をノンストップで輸送するように構成されたワークピース輸送機構(26)を含む。照明装置(45)が、第一のストロボ照明野タイプ及び第二のストロボ照明野タイプを提供するように構成されている。照明装置(45)は、ワークピース(10)に近い第一端及び第一端とは反対側にあり、第一端から離間した第二端を有するライトパイプを含む。ライトパイプはまた、少なくとも一つの反射性側壁(70)を有する。第一端は出口アパーチャを有し、第二端は少なくとも一つの第二端アパーチャ(50)を有して、それらを通してワークピース(10)の視認を提供する。カメラアレイ(4)が、ワークピース(10)をデジタル式に画像化するように構成されている。カメラアレイ(4)は、第一の照明野を用いてワークピース(10)の第一の複数の画像を生成し、第二の照明野を用いてワークピース(10)の第二の複数の画像を生成するように構成されている。処理装置が、照明装置(45)及びカメラアレイ(4)に操作可能に結合され、第一及び第二の複数の画像の少なくともいくつかを記憶し、他の装置に提供するように構成されている。
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【課題】被検査体が所定の形状および寸法よりもわずかでも小さい場合には寸法不足を確実に検出して欠陥であると判定できる形状検査装置および形状検査方法を提供すること。
【解決手段】被検査体であるスパイダの素形材2の突起部22,23の形状を測定してその断面形状を示す「形状データ」を作成し、作成した「形状データ」からスパイダの素形材2の突起部22,23の軸線方向の全長にわたって最も外側に位置する部分の抽出することにより得られる形状を「基準形状」としてこの「基準形状」をデータ化した「基準形状データ」を作成し、「基準形状データ」と「形状データ」との差分を算出し、算出した差分に基づいてスパイダの素形材2の突起部22,23に欠陥があるかを判定する。 (もっと読む)


【課題】パネル基板の周縁部に実装された電子部品の実装状態の良否を、迅速かつ正確に判定することができ、パネルの大型化にも容易に適応することができる基板検査装置を提供する。
【解決手段】電子部品が異方導電膜を介して実装された透明なパネル基板10(ワークW)を所定の検査位置まで移動させて位置決めする移動ステージ1と、電子部品が実装された面の裏面側から検査対象部位を上記基板10を透して撮像する撮像手段2と、この撮像手段2を各検査対象部位に沿ってスライドさせるリニア駆動手段3と、上記撮像された検査対象部位の実装状態の良否を判定する情報処理手段とを備え、上記移動ステージ1の上面1aに、少なくとも一方の基板端部が側方に突出した状態で基板10を載置する基板検査装置において、上記撮像手段2の近傍に、上記移動ステージ1から突出する基板10の端部を下側から支承する固定ステージ4を配設する。 (もっと読む)


【課題】基板検査装置を小型化して、設置面積を小さくする。
【解決手段】基板1を搭載するステージ10に、基板1の下面を支持するブロック12を検査光の走査方向と直交する方向に所定の間隔で複数設けて、ブロック12間に検査光の走査方向の溝を形成する。ステージ10と、投光系及び受光系を有する光学系とを互いに逆方向に移動し、ステージ10の移動と光学系の移動とを並行して行いながら、断面の長さLがブロック12の間隔より短い帯状の検査光を投光系からステージ10に搭載された基板1のブロック12で支持されていない部分へ検査光の走査方向に沿って斜めに照射して、検査光による基板1の走査を行う。 (もっと読む)


【課題】周期性のあるパターンをもつ被検査体のムラ検査をする検査装置の、ムラ欠陥検出能力やムラ欠陥の周期性を検出・解析する能力を評価することが可能な、評価用パターンおよびその評価用パターンを形成したフォトマスクを提供することを目的とする。
【解決手段】所定形状の単位パターンが2次元配列状に配置された周期性パターンであって、所定の複数の列の前記単位パターンが、サイズずれまたは/および位置ずれを起こし、かつ、そのサイズずれまたは/および位置ずれの量は同一で、前記サイズずれまたは/および位置ずれを起こしている単位パターンの列は所定数が隣接して一つの領域として形成されており、さらに、このサイズずれまたは/および位置ずれを起こしている単位パターンのある領域は、正常な単位パターンが形成されている領域を挟んで所定の周期長で配置されていることを特徴とする評価用パターン。 (もっと読む)


【課題】検出する光の光量低下を防止した表面検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る表面検査装置1は、少なくとも熱線及び紫外光を射出する光源部と、所定の繰り返しパターンを有する被検基板の表面に、前記紫外光の直線偏光を照射する照明部と、前記直線偏光が照射された前記被検基板の表面からの反射光のうち前記直線偏光と振動方向が交差する偏光成分を検出する検出部と、前記検出部で検出された前記偏光成分に基づいて、前記繰り返しパターンにおける欠陥の有無を検査する検査部とを備え、
前記照明部または前記検査部の光路上に、前記直線偏光または前記偏光成分を得るための偏光板34が密閉部材36により外気に対して密閉された状態で配設されると共に、前記密閉部材36のうちの前記紫外光の透過領域表面に紫外光透過性熱線吸収膜が形成されている。 (もっと読む)


【課題】検査コストを小さくする。
【解決手段】検査対象物を撮像して撮像画像を得る撮像装置と、検査対象物を撮像装置により撮像した撮像画像における検査対象外とすべき領域を含むマスクデータを生成する生成装置と、撮像画像および生成装置の処理結果に基づいて、検査対象物を検査する検査部とを備え、生成装置は、検査対象物の3次元モデルを記憶する記憶部と、検査対象物の3次元モデル上における非検査箇所および検査対象物の3次元モデルの背景の少なくとも一方を撮像画像に投影して、マスクデータを生成する生成部と、を備える検査装置を提供する。 (もっと読む)


【課題】透過サブストレートの欠陥を検出するための方法とシステム。
【解決手段】本願発明のシステムは、複数の検出チャネルを備え、その各々が、該サブストレートに照明を提供するための照明コンポーネントと、前記サブストレートの画像を提供するために前記サブストレートをスキャンする画像形成コンポーネントと、該サブストレートと該照明コンポーネントと複数の検出チャネルに含まれる画像形成コンポーネントの間の相対運動を生成するための移送モジュールと、前記複数の検出チャネルに含まれる前記照明コンポーネントと前記画像形成コンポーネントを制御するための制御モジュールと、を含む。前記複数の検出チャネルに含まれる前記照明コンポーネントの内の少なくとも2つの照明コンポーネントが、交替に照明を前記サブストレートに提供しその検出チャネルに含まれる前記照明コンポーネントが前記サブストレートを照明する場合には、前記複数の検出チャネルのいずれかに含まれる画像形成コンポーネントが、前記サブストレートをスキャンするようになっている。ここで、複数の検出チャネルの少なくとも2つの検出チャネルに含まれる前記画像形成コンポーネントが、同一の画像形成コンポーネントである。本願発明によって記述される方法とシステムは、実際の欠陥を検査されたサブストレートをクリーニングする必要がない疑似欠陥から識別することができる。 (もっと読む)


【課題】検査対象物が転がり易い形状を有している場合であっても該検査対象物の検査および分別が容易である異物または不良品の検出装置及び異物または不良品の排除装置等を提供する。
【解決手段】異物または不良品の排除装置1は、透明部材11,12、仕切り部材21,22、供給部30、カメラ41,42、制御部50、吸引制御部60および吸引機61〜68を備える。仕切り部材21,22と一体化された透明部材11,12が巡回移動する過程において、仕切り部材21,22の各区画に検査対象物Aが1個ずつ供給部30により供給され、透明部材11,12を挟んで上方および下方の双方からカメラ41,42により検査対象物Aが撮像される。撮像により得られた画像が解析されて、検査対象物A中に混在する異物または不良品が検出される。吸引機61〜64により、仕切り部材22の各区画に入れられた検査対象物Aのうち異物または不良品が吸引除去される。 (もっと読む)


【課題】非透過層の表面上の欠陥のみを判別可能とすることで、歩留り向上につなげることができる外観検査システムおよび外観検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】カメラで撮像される画像において波長ごとに焦点距離が異なることを利用して、波長の短い青色成分については光透過層102の表面近くで焦点が合い、波長の長い赤色成分については非透過層101の表面近くで焦点が合うように、レンズ11−対象物100間の距離を設定する。これにより、撮像画像においては、光透過層102の表面上の欠陥に関しては赤色成分の方が輪郭がぼやけて面積が大きくなり、非透過層101の表面上の欠陥に関しては青色成分の方が輪郭がぼやけて面積が大きくなる。そこで、画像処理装置では、撮像画像の赤色成分と青色成分とを比較することで非透過層101上の像か否かを識別し、非透過層101の表面上の欠陥のみを判別する。 (もっと読む)


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