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Fターム[2G051DA05]の内容

光学的手段による材料の調査の特殊な応用 (70,229) | 被検体のハンドリング、駆動制御 (5,089) | 調査手段内での移動、位置合わせ (3,792)

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【課題】浮上させたガラス基板の移動を規制して、所定の位置に確実に保持できるようにする基板保持装置及び基板の保持方法を提供する。
【解決手段】浮上ステージ3から基板Wを浮上させつつ、前記基板Wを位置決めして保持する基板保持装置で、前記浮上ステージ3から突設し搬送される前記基板Wを載置する支持部材11と、前記基板Wが載置された前記支持部材11を下降させ、前記浮上ステージ3から吐出されるエアーによって前記基板Wが浮上する高さより高い位置で前記支持部材11を停止させる制御部と、浮上している前記基板Wの裏面に前記支持部材11が当接されて前記基板Wが支持された状態で前記基板Wを前記支持部材11に対して相対的に移動させ所定位置に位置決めする位置決め機構とを備える。 (もっと読む)


【課題】半導体ウェーハの高速検査を可能にする。
【解決手段】半導体ウェーハ20の一部の並行検査を同時に実行するために、複数の独立した低コスト光学検査サブシステム30がパッケージ化及び統合される。ここで、検査に関連するウェーハ位置は、ウェーハ全体が光学サブシステムからなるシステムによってラスタスキャンモードで画像化されるように制御される。単色の可干渉性(コヒーレントな)光源がウェーハ表面を照明する。暗視野光学システムが散乱光を集光し、フーリエフィルタリングを使用して、ウェーハに作り込まれた周期的な構造によって生成されたパターンをフィルタリングする。フィルタリングされた光は、汎用デジタル信号プロセッサによって処理される。ウェーハの欠陥を検出するために、画像を比較する方法が使用され、こうした欠陥は、統計的な工程制御、特に製造設備を支援するために、メインコンピュータ50に報告される。 (もっと読む)


【課題】検査対象物の不良品が誤って良品と判定される可能性を低減可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置(1)は、検査対象物を撮影した検査画像を取得する撮像部(3)と、検査画像から、検査対象物に関する特徴量を抽出する特徴量抽出部(51)と、特徴量をサポートベクターマシンとして構成される識別器に入力することにより、検査対象物の良否を判定する良否判定部(54)とを有する。そしてその識別器が不良品と判定する検査対象物から抽出される特徴量が含まれる領域である不良品特徴量領域が、サポートベクターマシンの学習により決定された不良品特徴量領域よりも広くなるように、不良品特徴量領域の境界が修正されている。 (もっと読む)


【課題】袋体内に収容されている穀物を袋体から取り出して異物の混入の有無を目視によって確認する検査を効率的に行い得る穀物検査装置を提供する。
【解決手段】米入り袋体200を支持可能に構成されると共に米入り袋体200から取り出された米(穀物)を投入させる投入口226が形成された投入部2と、水平面に対して傾斜して投入口226から投入された米を滑り流させる傾斜流路6a,6bと、傾斜流路6a,6bを滑り流れた米を貯留する第2貯留部7と、投入口226から第2貯留部7に至る米の移動経路内に配設されて米の通過が可能な網目を有するネット9a,9b,9cとを備え、傾斜流路6a,6bは、滑り流れている米およびネット9a,9b,9cを外部から視認可能に構成され、第2貯留部7は、貯留している米を外部から視認可能に構成されている。 (もっと読む)


【課題】乾燥前の塗布膜であっても塗布ムラを検出することができ、塗布工程直後から塗布ムラを検出することができる塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】ステージに載置された基板に対し相対的に移動しつつ塗布液を吐出することにより基板上に塗布膜を形成する塗布ユニットと、基板上に形成された塗布膜に対し、特定の照射パターンの光を出力する照射部と、塗布膜の表面で反射された反射光を受光する受光部と、受光部によって受光された反射光の受光パターンと、特定の照射パターンとを比較することにより、塗布膜の形成状態の良否を判断する制御装置とを備える塗布装置を構成する。 (もっと読む)


【課題】比較的簡単な処理で、濃淡値の良品範囲を随時更新して最適化することができる欠陥検査方法および欠陥検査システムを提供する。
【解決手段】画像処理装置1は、欠陥判定手段13で良品と判定された場合に、当該検査対象物4の撮像画像を設定用画像として設定用画像メモリ14に追加する範囲更新手段10を有している。演算処理器15は、予め設定用画像メモリ14に記憶されている設定用画像から良品範囲を設定するだけでなく、範囲更新手段10により新たな設定用画像が設定用画像メモリ14に保存される度に、各画素ごとの濃淡値の度数分布を求め、当該度数分布結果から良品範囲を再設定する。しかして、欠陥判定手段13で良品と判定される度、範囲更新手段10は、設定用画像を設定用画像メモリ14に追加し、追加された設定用画像を含む複数枚の設定用画像に基づいて良品範囲を自動的に更新させることとなる。 (もっと読む)


【課題】検査対象となる部品が複雑な形状を有する部品であったり複数種類の欠陥を有する部品であったりしても、短時間で精度良く欠陥を検出することができる欠陥検出方法を提供すること。
【解決手段】熟練作業者による動作・視線の動きを計測する工程(S10)と、熟練作業者の知見に基づいて作成される重要度マップを準備する工程(S20)と、計測された動作・視線の動きを検査システムに模擬させながら連続的な複数の撮像画像(動画像)を取得する工程(S30)と、取得された動画像に基づいて特徴量を算出する工程(S40)と、重要度マップおよび算出された特徴量に基づいて欠陥候補部位が存在するか否かを検査する工程(S50)と、欠陥候補部位についての動画像の再取得を行う工程(S60)と、取得された動画像に基づいて特徴量を算出する工程(S70)と、算出された特徴量に基づいて欠陥の定量値化を行う工程(S80)とを含む方法。 (もっと読む)


【課題】自動検査工程において密集圧痕を異物の混入とみなしてしまう問題を回避し得る電子部品の実装状態検査装置及び電子機器の製造方法を提供する。
【解決手段】異方性導電膜を介して電子部品が圧着実装された透明基板を前記電子部品が圧着実装された面の裏面側から微分干渉顕微鏡により映して撮像する撮像手段と、前記撮像手段により撮像された画像に含まれる凸状部の高さを特定する特定手段と、前記特定手段により特定された前記凸状部の高さが所定の閾値を超えるか否かを判定し、前記凸状部の高さが所定の閾値を超える場合は異物が混入していると判定する判定手段とを備える。 (もっと読む)


【課題】導体パターンの検査と、導体パターンから露出する絶縁層の上に存在する異物の検査とを、容易かつ同時に実施することのできる、配線回路基板の製造方法を提供する。
【解決手段】ベース絶縁層2と、その上に形成される導体パターン3とを備える配線回路基板1を用意し、配線回路基板1を、支持台4の上に配置し、光10を、配線回路基板1の上側から配線回路基板1に向けて照射することにより、パターン反射光7と台反射光8と異物反射光9とを検知して、それらの間のコントラストによって、導体パターン3および異物11を検査する。この検査工程において、台反射光8の反射率を30〜70%に調整し、異物反射光9の反射率を10%以下に調整する。 (もっと読む)


【課題】照明系と検出系、温度・気圧と言った環境をモニタリングする情報収集機能、モニタリング結果と設計値、理論計算値もしくはシミュレーション結果により導出した理想値を比較しモニタリング結果と理想値を近づけるように装置を較正するフィードバック機能を有する装置状態管理機能、を含むことで、装置状態及び装置感度を一定に保つ手段を提供する。
【解決手段】制御部800を記録部801、比較部802、感度予測部803、フィードバック制御部804、を含む構成とする。比較部802において、記録部801から送信されたモニタリング結果とデータベース805に格納された理想値を対比する。理想値とモニタリング結果との差分が所定の閾値を越えた場合には、フィードバック制御部804が照明系と検出系の補正を行う。 (もっと読む)


【課題】短時間で、ノズル孔周囲の不良およびノズル孔内部の異物の有無を一括して検査できるノズルプレートの検査装置等を提供することである。
【解決手段】ノズルプレート2がセットされるセットステージ12と、ノズルプレート2を移動させる移動テーブル13と、各ノズル孔3の表面側周囲7および内部を画像認識する認識カメラ14と、認識カメラ14のフォーカシング距離を調整するZテーブル15と、各ノズル孔3の表面側周囲7を照明する反射照明16と、各ノズル孔3内部を照明する透過照明17と、ノズルプレート2の高さを計測するレーザー変位計18と、制御装置19と、を備え、制御装置19は、ノズルプレート2の高さを計測する計測動作と、フォーカシング距離を調整するフォーカシング調整動作と、各ノズル孔3の表面側周囲7の不良を検査する表面検査と、各ノズル孔3の内部の異物の有無を検査する孔内検査と、を連続して実施するものである。 (もっと読む)


【課題】 半導体ウェーハを検査するための検査システム。
【解決手段】 この検査システムは、広帯域照明を供給するための照明設定を備える。広帯域照明は、異なるコントラスト、例えば明視野および暗視野広帯域照明であることができる。検査システムは、第1の画像収集装置および第2の画像収集装置を更に備え、半導体ウェーハが動く間、各々が半導体ウェーハの画像を収集するために広帯域照明を受け取るために構成される。システムは、広帯域照明の平行を可能にするための複数のチューブレンズを備える。システムはさらに、安定化メカニズムおよび対物レンズ組立体を備える。システムは、細線照明エミッタ、および半導体ウェーハの3次元画像をそれによって収集するために細線照明を受け取るための第3の画像収集装置を更に備える。システムは、第3の画像収集装置が、複数の方向に半導体ウェーハから反射される照明を受け取ることを可能にするための反射器組立体を備える。 (もっと読む)


【課題】照明装置、検査システム、および照明方法において、光学部材の光散乱系欠陥や光吸収系欠陥等を良好に観察することができるようにする。
【解決手段】検査システム100は、光透過性の被検レンズ1を、被検レンズ1を保持する保持台と、被検レンズ1上の被検査領域上の各点を小さい開口数で透過照明する散乱光放射領域である面光源6aと、保持台に保持された被検レンズ1と面光源6aとの間の相対位置を少なくとも光軸Pに沿う方向に調整する相対移動機構とを備え、面光源6aの中心Oを、被検レンズ1の前側焦点位置に略一致させて、被検レンズ1の被検査領域の全域を透過照明する。 (もっと読む)


【課題】テーブル板の表面の傾斜移動が抑制された昇降テーブルを提供すること。
【解決手段】基台(11)、基台上に設置された昇降装置(12)、下端部が昇降装置に可動接続具(41)を介して固定され、上端部にてテーブル板(13)を支持している軸体(14)、前記基台上の昇降装置の周囲に立設された支柱(15)に支持されている、前記軸体を上下に移動可能に収容する外筒(16)を持つ直動軸受(17)を含み、前記の可動接続具が、昇降装置に固定された支持板と、支持板上に複数の球体を介して滑動可能に支持された可動板とを有するスライドユニット、および前記可動板に固定されている、上方に開口する球状の空洞部を持つハウジングと、前記空洞部に収容された球体と、この球体の頂部に備えられている、前記のハウジングの開口を通って軸体の下端部に固定された支持軸とを有する球面軸受からなる昇降テーブル。 (もっと読む)


【課題】短時間でCCDカメラのフォーカシングを行うことができるノズルプレートの検査装置およびノズルプレートの検査方法を提供することである。
【解決手段】マザープレート1がセットされるセットステージ12と、セットステージ12を介してマザープレート1を移動させる移動テーブル13と、各ノズル孔3のメニスカス形成部8にフォーカシングし、画像認識するCCDカメラ14と、各ノズル孔3内部を照明する透過照明17と、CCDカメラ14とマザープレート1の表面との距離を計測するレーザ変位計15と、これら装置を制御する制御装置18と、を備え、制御装置18は、各ノズル孔3の近傍における距離およびマザープレート1の移動量から、各ノズル孔3の位置情報および各ノズル孔3に対するフォーカシングの距離情報を取得し、取得情報に基づいて、各ノズル孔3の内部を連続的に画像認識して、異物43の有無を検査するものである。 (もっと読む)


【課題】 任意のパターンを有するレチクル上のパーティクル及び異常の検出を可能にすること。
【解決手段】 レチクル検査のための方法及びシステムを開示する。この方法は、検査レチクル及び基準レチクルの表面をコヒーレントに照明すること、照明された表面からの散乱光にフーリエ変換を適用すること、基準レチクルからの変換された光の位相を、検査レチクルからの変換された光と基準レチクルからの変換された光との間の位相差が180度であるようにシフトすること、変換された光を像減算として合成すること、合成された光に逆フーリエ変換を適用すること、及び、ディテクタにおいて合成された光を検出することを含む。照明源からディテクタへの2つの光路間の光路長差は、照明源のコヒーレント長未満である。ディテクタにより検出される像は、レチクルの振幅及び位相分布における差を表し、これにより、外部パーティクル、異常などを容易に識別することが可能となる。 (もっと読む)


【課題】基板表面に付着した異物の検出精度を向上する。
【解決手段】レチクルRの被検査面(ガラス面RG)に波長の異なる複数のプローブ光を照射し、ガラス面RGからの散乱光を複数の受光角で受光し、受光した散乱光L,Lのそれぞれの強度を計測する。ガラス面RGでのプローブ光の照射位置と照射位置に対応する散乱光L,Lの強度の計測結果とから、複数のプローブ光の波長と複数の散乱光の受光角毎に、ガラス面RGについての散乱光の強度分布を求める。求められた複数の強度分布を相互に比較して解析することにより、レチクルパターンによる回折光からガラス面RG上に付着した異物APによる散乱光を分離して検出することができるので、精度良く異物APを検出することが可能となる。 (もっと読む)


【課題】高精度に反射率が均一な状態での標準画像を生成することを目的とする。
【解決手段】複数の状態、複数個の被写体を撮像し、それらを平均化して標準画像を生成することにより、高精度に反射率が均一な状態での標準画像を生成することができる。 (もっと読む)


【課題】本発明は、電子部品をプリント配線基板に半田付け実装する際、フロー半田槽に浮遊する半田の酸化物を付着しない、品質の良いプリント配線基板装置を提供することを課題とする。
【解決手段】プリント配線基板上に形成された貫通孔に電子部品のリード端子を挿入し、前記プリント配線基板をフロー半田槽に搬送することにより、前記電子部品のリード端子と、前記貫通孔の周囲のランドとを半田付け実装する際に用いる、プリント配線基板の半田付け用パレットにおいて、前記パレットの先端は、前記フロー半田槽に搬送する搬送方向に対し、略V字状に形成することを特徴とする。かかる構成により、電子部品をプリント配線基板に半田付け実装する際、フロー半田槽に浮遊する半田の酸化物が付着することが無く、品質の良いプリント配線基板装置を提供できる。 (もっと読む)


【課題】
従来の照射光学系では、照射光学系の状態確認用にカメラを搭載しているが、明るさや光軸のモニタとして使用されているに留まり、装置の異常や定期メンテナンスなどの調整時に使用されていた。本発明では、複数のカメラで照射光学系の状態をモニタリングし、装置にフィードバックすることで、環境の変動に影響を受けない安定した照射光学系、および検査装置を提供することができる。また、部品交換などのメンテナンス時間の短縮を可能とすることを目的とする。
【解決手段】
複数台の撮像装置を設置し、それらの画像を解析することができる計算処理部を有し、計算結果より照射光学系にフィードバックすることができる調整機構を搭載していることを特徴とする検査装置。 (もっと読む)


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