【課題】
近年、半導体製造工程においては、製造時間の短縮および歩留まり低下要因の早期発見のため、ウェハの検査時間を短くすることが要求されている。これは、実際に検査する時間のみならず、検査の条件設定時の時間も短縮する必要がある。
【解決手段】
搬送系２の速度または位置の変動情報を用いて、検出器の蓄積時間や動作速度の制御もしくは取得画像の補正により、搬送系２の加減速時にも検査を行う。また、検出部の観察画像の表示を一定時間で切り替えることにより、検出部の視認性を向上させ、欠陥の有無を短時間で確認する。 （もっと読む）

【課題】異物による液滴吐出ヘッドや基板の損傷を防止するパターン形成装置を提供する。
【解決手段】ＣＦ基板Ｗに付着した異物を、第１異物検出センサ８１及び第２異物検出センサ８２で検出する。第１異物検出センサ８１は、第１投光部８１Ａから第１受光部８１Ｂに向かって第１検出光Ｌ１を出射する。一方、第２異物検出センサ８２は、第２投光部８２Ａから第２受光部８２Ｂに向かって第２検出光Ｌ２を出射する。すなわち、検出光の向きが反対となる異物検出センサを設けた。また、基板ステージ１４上の異物を検出する第３異物検出センサ８３と、検査ユニット７０の検査台７２、フラッシング回収台７３、及び、重量測定ユニット７４の上面の異物を検出する第４異物検出センサ８４とを設けた。従って、基板ステージ１４及び検査ユニット７０を液滴吐出ヘッドの直下に移動させる前に、異物を検出して液滴吐出ヘッドや基板の損傷を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】回路パターンが付された基板の検査ないし補修の工数及びコストの削減を図る。
【解決手段】基板９を配置するためのステージ１と、ステージ１上に配置された基板９を撮像する撮像手段２と、基板９に本来付される回路パターンのデータを記憶するパターン記憶手段８と、撮像手段２で得た画像データをパターン記憶手段８に記憶している回路パターンのデータと比較して基板９の不良部を検出しその位置座標を得る不良検出手段６と、ステージ１上に配置された基板９に対して相対移動可能かつ基板９に付された回路パターンを補修可能な補修手段３と、不良検出手段６で得た位置座標に対応する箇所に補修手段３を移動させて不良部の補修を実行させる制御手段７とを具備する検査・補修装置を構成した。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハに回路パターンを露光する際に用いられるレチクル等のマスク用基板における表裏面の異物等を、簡単かつ安価な構成で検査できるマスク用基板検査装置１００を提供する。
【解決手段】検査光学系機構１０１に対して相対移動可能なステージ３に姿勢調整可能に支持基体４を取り付け、この支持基体４にレチクルＷを保持する基板保持体５を回転可能に支持させる。そして、前記基板保持体５の回転角度位置を、表面に検査光が照射される表面検査角度位置、裏面に前記検査光が照射される裏面検査角度位置に保持する検査角度位置保持機構９を設けるとともに、前記基板保持体５に保持されたレチクルＷの表裏面が、基板保持体５の回転軸線Ｃと平行になるように当該基板保持体５の支持基体４に対する姿勢を調整可能な平行調整機構８を設けた。 （もっと読む）

【課題】
半導体装置のメモリマット部の最周辺部や、繰り返し性の無い周辺回路まで高感度に欠陥判定できる検査技術を提供する。
【解決手段】
繰り返しパターンを有する複数のダイで構成された回路パターンの画像を取得する画像検出部、取得した検出画像について、繰り返しパターンの領域とそれ以外の領域とに応じて加算対象を切り替えて参照画像を合成し、検出画像と比較して欠陥を検出する欠陥判定部、検出された欠陥の画像を表示する表示装置を備える。 （もっと読む）

【課題】検出された欠陥が擬似欠陥であるか否かを精度よく判定する欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】被検査対象物の画像を比較することによって欠陥を検査する画像比較検査部１と、あらかじめ登録された擬似欠陥画像を記憶する擬似欠陥画像記憶部２と、画像比較検査部で検出された欠陥について、擬似欠陥画像記憶部に記憶された擬似欠陥画像と比較し、上記欠陥が擬似欠陥であるか否か判定を行う擬似欠陥判定部３とを備える。あらかじめ登録された擬似欠陥と画像を比較することにより、擬似欠陥であるか否か判定しているので、画像比較検査部で検出された欠陥が本来欠陥と判断されるべきではない擬似欠陥であるか否かを精度よく判定することができる。 （もっと読む）

【課題】色彩と傾斜角度との関係の整合がとれた画像を生成するとともに、真上方向からの撮像では認識できない急峻なはんだ面の傾斜状態を認識できるようにする。
【解決手段】発光色の切り替えが可能な発光部が複数配列されたドーム型の照明装置２の上方にカラー撮像用のカメラ１を配置するとともに、照明装置２の中心線Ｃに直交する方向に対向するように反射ミラー３１，３２を配置し、これらのミラー３１，３２の位置を制御することにより、カメラ１に直視撮像モードおよび斜視撮像モードのいずれかを設定する。直視撮像モード下の照明装置２では、赤、緑、青の各発光領域が、各領域間の境界が全方位にわたって均一な状態で生じる。一方、斜視撮像モード下では、画像中の赤、緑、青の各色彩が直視撮像モードによる画像と同じ角度範囲を表し、より急峻な傾斜角度が紫色で表されるように、各発光部の発光色が制御される。 （もっと読む）

【課題】基板の搬送部を検査者から隔離しつつ、低コストで基板の回転角度のアライメントを行うことができる基板検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】ウエハ７を載置し、ウエハ７の法線回りに回転可能に支持するウエハ載置台５と、ウエハ載置台５を支持し、ウエハ７に平行な面内で移動する電動ＸＹステージと、電動ＸＹステージを移動させるジョイスティック２と、ウエハ載置台５に固定され、ウエハ７の半径方向に延びるつまみ６と、ウエハ載置台５上のウエハ７の表面を観察する顕微鏡３と、電動ＸＹステージによるつまみ６の動作範囲内において顕微鏡３に対して固定され、ウエハ７の法線方向に延びるピン８とを備える基板検査装置１を採用する。 （もっと読む）

【課題】本発明はプラズマディスプレイ等のガラス基板に塗布された蛍光体に紫外線を照射し、蛍光体から発光させた光をカメラ等により撮像することで蛍光体の塗布品質を検査する装置において、ラインセンサカメラを用い、カメラと紫外線照明を移動させながら撮像する蛍光体検査装置にて、プラズマディスプレイのＲ、Ｇ、Ｂ塗布領域間の隔壁に乗上げた蛍光体を容易に検出することを目的とした蛍光体検査装置で有る。
【解決手段】本発明は上記の目的を達成するために、蛍光体塗布領域のエッジ部を検出することにより、隔壁位置を抽出し、隔壁頂部の輝度を積算することで、隔壁上部に乗り上げた微量の蛍光体発光剖分を強調し、隔壁の乗り上げ輝度画像を作成し、隔壁上部に乗り上げた蛍光体塗布欠陥の検出を容易にすることである。 （もっと読む）

【課題】被検査物体の６面が隙問なく整列配置され、電子カメラによる撮影面の広がりを最低限度に抑制した、小型コンパクトな多面外観検査装置を提供する。
【解決手段】透明体は観察平面部から入光した光源からの照明光を直交反射して、不透明体である被検査物体の上下左右の周面を照明する４個の斜面と、照明光を２度にわたって直交反射して被検査物体の背面を照明する対向斜面を備え、収納凹部の底面寸法と深さ寸法は被検査物体の外のり寸法が最大である場合の背面寸法と高さ寸法に相当し、少なくとも被検査物体の複数面は収納凹部の内壁に接触するようにして投入され、電子カメラは観察平面部に整列投影された被検査物体の複数面の外観を撮影し、画像処理装置によって被検査物体に外観上の特異性があるかどうかが判定される。 （もっと読む）

【課題】表示パネルの検査において、表示パネルの表面に付着した異物と滅点とを区別して検出すること。
【解決手段】液晶表示パネル１００の表面を異なる２つの視角からカメラ１１を用いて撮像する。視角の切り替えは、反射鏡１ａ〜２ｂを備えた光学系１８の遮光板３ａ、３ｂを用いて行う。得られた画素画像から、輝度が低下した欠陥部位を検出し、この欠陥部位の周辺画素の色配列が異なる視角で撮像した画素画像間で一致するか否か比較する。欠陥部位が表面に付着した異物の場合には、視角によって背景に写り込む画素の色配列が変わるため、滅点と異物とを区別することができる （もっと読む）

【課題】アライメンに使用するテンプレート画像を最適な方法で登録し、パターンマッチングのエラー、及び評価に要する時間を低減する。
【解決手段】最適なテンプレートのアライメントマークとの選定や識別及び類比判断を、異物検査装置に配備した相関値の演算機能により実践する。すなわち、異物検査装置に、被検査物の表面に形成されるアライメントマークの特徴点を登録する装置と、前記被検査物の表面上に形成されたアライメントマークの画像データを採取する装置と、前記画像データから特徴点を抽出し双方の特徴点より相関値を算出するデータ演算処理装置とを備え、前記相関値の閾値に基いて前記アライメントマークの画像データを登録する。 （もっと読む）

【課題】複数のボールの全表面及び内部の目視検査を短時間で完了させて作業性の向上をはかると共に、目視検査中のボール表面に付着するコンタミの抑制，表面キズの発生を防止する。
【解決手段】上下に重ねられる２枚の板材１，４からなり、上側の板材１には被検査対象となるボールＢの底面の一部が下側の板材に接する形状のボール穴３が一定ピッチで複数配設されていると共に、複数のボール穴３の両側に稲妻形のガイド穴２が穿設されており、一方、下側の板材４には上側の板材１に設けられたガイド穴２に差し込まれるピンが設けられ、ピンとガイド穴とのクリアランスを０．０５〜０．１ｍｍとしてピンを稲妻形ガイド穴の辺に沿って移動させることにより、上下板材１，４の相対位置を移動させ、上側の板材１のボール穴３に保持されるボールＢ全てを同時に一方向に一定距離回転させ順次、繰り返し全面の目視検査を可能ならしめる目視検査用治具である。 （もっと読む）

光学検査システム又はツールは、照明の１つ又はそれよりも多くの特性が、異なる区域の検査の必要性を満たすように調節される動的照明を用いて物体を検査するように構成することができる。例えば、照明強度は、ツールがメモリの区域及びウェーハダイの周縁部特徴を検査する時に増加又は減少させることができる。一部の実施形態では、調節は、様々な特性を有する照明に基づいて撮った画像が検査工程の残りの部分の適合性に対して評価される検査前設定シーケンス中に得られるデータに基づくことができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ハニカム体を検査するにあたり、セルの曲がりの状態によらずにセルの状態を確度よく検査可能な検査装置及び検査方法を提供することを目的としている。
【解決手段】本発明に係わる検査装置は、並列した多数のセルを有するハニカム体のセルの状態を検査する検査装置であって、前記ハニカム体の一端面にセルを通過する平行光を照射する照明手段と、前記セルを通過し前記ハニカム体の他端面から出た前記光を受光する受光手段と、前記受光手段で受光する光が所定の光量となるよう当該受光手段で受光した光の光量に基いて前記照明手段で照射する光の光量を制御する調光手段とを有する検査装置である。かかる検査装置によれば、ハニカム体のセルの曲がりの状態によらずハニカム体の他端面から出る光の光量は同じレベルとなる。 （もっと読む）

【課題】検出精度を犠牲にすることなく、検査時間の短縮を図った欠陥検出装置、及び、欠陥検出方法を実現する。
【解決手段】
欠陥検出装置１００は、評価対象物２００を撮像して得られた複数の撮像画像を参照して高解像度化画像を生成する高解像度化処理部１２３と、高解像度化画像を参照して評価対象物２００における欠陥を検出する欠陥検出処理部１２４とに加え、記録部１２１に記録された欠陥形状情報に基づいて、高解像度化画像を生成するために高解像度化処理部１２３が参照する撮像画像の枚数を設定する光学系制御部１２２を備えている。 （もっと読む）

【課題】基板に発生した圧痕を検査するにおいて、圧痕検査が必要な検査領域の設定が迅速且つ正確であることは勿論、圧痕の異常有無も迅速で且つ正確に検査することができる圧痕検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧痕検査装置は、圧痕が発生した基板を固定するためのワークステージと、前記ワークステージの上側に位置し、前記基板の後面を観察するための顕微鏡と、前記顕微鏡を通して観察された基板の後面を撮像できるように、前記顕微鏡に連結設置されたカメラと、前記カメラから前記撮像された画像データを入力され、前記画像データ中において圧痕検査が必要な検査領域を設定する検査領域選択部と、前記検査領域内で所定形状の枠を有する各検出領域ごとに輝度分布情報を検出し、前記検出された輝度分布情報によって圧痕指数を検出する圧痕検出部と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

検査される対象の対象物の画像を得て、これを提供するための光学検査プローブを提供する。光学検査プローブは、対象物の画像を撮るための画像化組立体と、対象物の方に向けられる光ビームを生成するための照明組立体とを備える。光学検査プローブは、光ビームが、第１の焦点面で焦点に収束するように構成される。
（もっと読む）

【課題】高解像度を維持又は向上させつつ、十分な焦点深度を確保することのできる光学式外観検査装置及び光学式外観検査方法を提供する。
【解決手段】被検査体９に検査光４を照射する検査光照射部と、該検査光照射部から照射された検査光４に対して被検査体９を位置決めする位置決め部８と、被検査体９に反射した検査光４の反射光と被検査体９を透過した検査光４の透過光とのうち少なくとも一方を受光する受光部と、該受光部で受光した前記反射光と前記透過光とのうち少なくとも一方に基づいて画像処理を行う画像処理部とを備えた光学式外観検査装置において、内部に被検査体９を収容すると共に液体Ｗが充填されて、被検査体９に向かう検査光４を屈折させる液浸収容部ａ５を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被検査対象であるパターンドメディアやビットパターンドメディア等からなる磁気記録媒体又はそのスタンパ等のパターン形状を高速で、且つ高感度に検査できるようにしたパターン形状検査装置及びその方法を提供することにある。
【解決手段】被検査対象を載置して回転させながら半径方向に移動させる移動機構と、該移動機構により回転させながら半径方向に移動する前記被検査対象に対して遠紫外光を含む広帯域の照明光を前記被検査対象に適する偏光状態で斜め方向から照射する照射光学系と、該照射光学系で照射された被検査対象から発生する０次反射光を検出する検出光学系と、前記検出された０次反射光を分光して得られる分光反射率波形を基に前記被検査対象に形成されたパターン形状を検査する形状検査手段とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）