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Fターム[2G051DA05]の内容

光学的手段による材料の調査の特殊な応用 (70,229) | 被検体のハンドリング、駆動制御 (5,089) | 調査手段内での移動、位置合わせ (3,792)

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【課題】検査手段がより溶接部の形状に倣うことが可能な検査装置。
【解決手段】少なくとも2つの部材を接合する線状の溶接部を探傷する検査装置1であって、基部2と、基部2に対して、溶接部Wに平行な軸線8回りに回転可能に支持されたアーム3,4,5,6,7と、アームに設けられ、探傷手段9を有する検出部19と、アームを回転方向一方側に付勢することによって、検出部19を溶接部Wに密着させる付勢部材25と、を備える検査装置。 (もっと読む)


【課題】部品の端子が接続されない基板上の半田の位置を取得することができる技術の提供。
【解決手段】基板上の半田の印刷位置を取得し、部品の端子が接続される前記基板上の半田の位置である接続位置を取得し、前記印刷位置から前記接続位置を除外した位置を前記部品の端子が接続されない基板上の半田の位置である非接続位置として取得する。 (もっと読む)


【課題】 表面欠陥検査方法及び表面欠陥検査装置に関し、欠陥検査の検知精度の向上を図るために位相シフトを用いつつ検査時間を低減する。
【解決手段】 互いに異なった複数の波長をそれぞれ独立に変調した明暗パターンをパターン平面上で互いに変調させて合成照明パターンを合成し、前記合成した合成照明パターンを検査対象物に照射し、前記検査対象物からの前記合成照明パターンの反射パターンを撮像して波長毎の画像を一括して取得し、前記撮像した画像を波長毎に分解して前記検査対象物の表面の凹凸欠陥を判別する。 (もっと読む)


【課題】 発光ダイオードを多数配列した面照明を使用した場合であっても、LEDの全点灯までの時間遅れの影響を受けることなく、検査時の照明光量を一定に保ちつつ、短時間で検査を行うことができる、膜厚むらの検出装置並びに当該装置を具備した塗布装置を提供する。
【解決手段】 基板上に形成された皮膜の膜厚むらを検出する装置で、
基板保持部と、光源部と、撮像部と、制御部と、検査部とを備え、
光源部は複数の発光ダイオードを配置して構成された面照明であり、
制御部は、発光指令信号を出力してから複数の発光ダイオードが全点灯状態になるまでの点灯遅れ時間を登録する点灯遅れ時間登録部と、発光指令信号を入力してから登録された点灯遅れ時間経過後に、撮像部に対して撮像指令信号の出力を行う撮像ディレイタイマ部とを備えたことを特徴とする、膜厚むら検出装置。 (もっと読む)


【課題】半導体装置からのエミッションの検出を加熱しながら行う半導体装置の検査装置を提供する。
【解決手段】検査装置1は、半導体チップ2を載置する観察ステージ16を、半導体チップ2の基板材料と同じSiで製造し、半導体チップ2の裏面側に撮像素子35を配置した。半導体チップ2で発生した微弱な光は、半導体チップ2、観察ステージ16を透過して撮像素子35に入射する。観察ステージ16は、Siから製造されているので、ヒータ25によって簡単に加熱できる。また、観察ステージ16の上方には、プローブカード19及びLSIテスタ20が配置されており、半導体チップ2の回路のテストが可能である。 (もっと読む)


【課題】球径の大きさの変化に対応できる球検査用転がし装置を提供する。
【解決手段】複数の球55を載置する載置用台と、複数の球55を縦横複数列に内側に配置する四角形状の枠30と、枠を水平面内の直行する2方向へ移動可能に案内する案内装置70とからなる球検査用転がし装置であって、枠30に球55との縦方向の距離を詰める縦方向調整板36を縦方向に移動可能に設け、枠30に球55との横方向の距離を詰める横方向調整板35を横方向に移動可能に設け、縦方向調整板36および横方向調整板35を枠に固定する固定装置38を設けた。 (もっと読む)


【課題】球の色、傷等の不具合を発見するために、複数の球を一斉に転がす球検査用転がし装置であって、安価で容易に製造でき、しかも球径の変化に対応できるようにする。
【解決手段】複数の球55を載置する載置用台と、複数の球55を縦横複数列に内側に配置する四角形状の内枠30と、内枠30よりも大きい四角形状を有し、内枠30を内側に摺接させながら縦横方向に案内する外枠70とからなり、外枠70は、内枠30を球55を縦横方向に少なくとも1回転分移動させる程度の大きさを有する。 (もっと読む)


【課題】検査対象の穴径が数百ミクロン以下であっても穴の内部を簡便に、短時間で検査することが可能な穴の内部検査装置を提供する。
【解決手段】穴の内部検査装置100は、カメラ10と、カメラ10に対向して設けられた光源20と、カメラ10が取得した画像を処理する制御部30と、を備え、カメラ10は、カメラ10と光源20との間に置かれた被検査物2に貫通して形成された穴1の内部を、光源20から照射される光によって得られる画像によって穴1の一方の端から他方の端までを所定の間隔で走査することで複数の走査画像Isを取得し、制御部30は、複数の走査画像Isに分布する輝度に基づいて被検査画像を選択し、被検査画像に対して画像処理を行うことで所望の検査を行う。 (もっと読む)


【課題】本発明は、基板検査システム及び基板検査方法に関する。
【解決手段】本発明の一実施例による基板検査システムは、基板が配置される第1検査テーブルと、前記第1検査テーブルに配置された基板が再配置される第2検査テーブルと、前記第1検査テーブルに配置された前記基板を撮像する第1撮像手段と、前記第2検査テーブルに再配置された前記基板で、不良が疑われる位置に該当する領域を撮像する第2撮像手段と、前記第1撮像手段により撮像した前記基板映像から不良が疑われる位置を検出し、検出された不良が疑われる位置に対する座標データを演算して前記第2撮像手段に伝送する制御部と、を含む。 (もっと読む)


【課題】吸収性物品に係る肌側シートの開口部を検査する検査装置等を提供する。
【解決手段】検査装置よりも上流側に配置された開口部形成装置10によって、開口部2hは形成される。検査装置は、肌側シート2aが吸収体3に重ね合わせられるよりも前に、前記肌側シート2aの片面のうちで前記開口部2hが形成された領域を撮像して前記領域の平面画像のデータを平面画像データとして生成する撮像処理部32と、前記平面画像データに基づいて二値化画像を生成する際に、前記二値化画像において二値のうちの一方の値によって特定される画像に、前記平面画像のうちで前記開口部2hが撮像されている領域が含まれるように二値化処理を行う二値化処理部36と、前記二値化画像に基づいて前記開口部2hの異常の有無の判定を行う異常判定処理部36と、を有する。 (もっと読む)


【解決課題】検査物品の内容液中の気泡と、これ以外の異物等と、を判別して検査し、歩留りや生産性の低下を防止することのできる気泡判別検査装置および気泡判別検査方法を提供する。
【解決手段】気泡判別検査装置は、気泡判別検査機構100を備える。気泡判別検査機構100は、異物65を浮遊させる浮遊手段10と、検査物品60を連続的に撮像する撮像部21と、画像検査部23と、を備える。画像検査部23は、検査画像形成手段25と、検査画像において特定される検査領域が中抜け形状であるか否かに基づき、検査領域を気泡64に対応する気泡領域と異物等候補領域とに判別する第1の判別手段261と、検査領域の傾き度、扁平度、不透明度に基づき、異物等候補領域を異物等67に対応する異物等領域と気泡64に対応する気泡領域とに判別する第2の判別手段262と、判断手段28と、を備える。 (もっと読む)


【課題】適合度の高いマスタデータを簡単に作成することができる基板検査用マスタデータ作成方法を提供することを課題とする。
【解決手段】基板検査用マスタデータ作成方法は、部品Pa1〜Pa8を実装した基板Bを検査する際に用いられ、複数の部品Pa1〜Pa8に対して共用されるマスタデータL1〜L4を作成するデータ作成工程と、基板Bを検査して、作成したマスタデータL1〜L4の妥当性を検証する検証工程と、を有する。 (もっと読む)


【課題】欠陥座標に含まれている誤差を低減可能な光学式検査装置を提供する。
【解決手段】チャンネルが配列されたラインセンサと、ウエハをステージに載せてラインセンサに対して移動させる移動手段と、行列の行毎に1つ且つ列毎に1つ擬似欠陥ダイが形成され擬似欠陥ダイには複数の擬似欠陥が列方向に一列に形成されている座標管理用ウエハを検査したのを受けてチャンネル上に結像した擬似欠陥のステージ上の位置を擬似欠陥ステージ座標Xs0として検出するステージ位置検出手段と、擬似欠陥ステージ座標Xs0を擬似欠陥ダイ座標に変換する座標変換手段と、設計座標に対する擬似欠陥ダイ座標の差分ΔXを算出する差分算出手段と、擬似欠陥ステージ座標Xs0に対して差分ΔXが一定の振幅A1で振動し直線L1に沿って増加又は減少する座標誤差特性パターンCP1を取得する特性パターン取得手段とを有する。 (もっと読む)


【課題】電子部品などに設けたアライメントマークを撮影画像から検出できない場合でも、表示パネルへの電子部品などの取付状態の検査が行えるようにする。
【解決手段】被検査対象となる表示パネルと電子部品又は電子部品搭載基板との接続部を、表示パネルの面に対してレンズの光軸をほぼ直交させた配置として、照明光を投射させて撮影する。そして、撮影して得た画像の輝度を検出する。その検出した輝度値が第1の輝度値の箇所を、電子部品又は電子部品搭載基板の電極部と判別する。また、検出した輝度値が第2の輝度値の箇所を、表示パネルの電極部と判別する。そして、判別した第1の輝度値の箇所と第2の輝度値の箇所との中間の点から、第1の輝度値または第2の輝度値が連続する長さを、接続部の接続状態の評価値とする処理を行う。 (もっと読む)


【課題】検査対象からの反射光角度の変化に基づいて基板の欠陥を精度よく検査することができる検査装置を提供すること。
【解決手段】本発明に係る検査装置は、赤外光を出射する光源11と、光源11から出射される赤外光を平行光としてウエハ30に略垂直に入射させ、当該ウエハ30からの反射光を導く光学系と、光学系により導かれる反射光のうち、正反射光以外の光を検出するIRカメラ19、20とを備え、光源11からの赤外光を導光する光ファイバ13の出射端面面は、光学系の瞳位置に配置されている。 (もっと読む)


【課題】検査速度の低下を伴うことなく、かつ装置容積に占める信号処理部の比率を増加させることなく、データメモリのオーバーフローを回避し、ウエハ全面の検査データを取得するが可能な表面検査装置を実現する。
【解決手段】後処理手段111のブロック化手段300は前処理手段からのデータを任意のデータ数で1ブロックとし1ブロックで1データを取り出す。ブロック化手段300は状態監視手段302の指示でブロック化数を変更する。閾値処理手段301は設定閾値に従いブロック化手段300からのデータに対し閾値を越えた場合にデータを取得しメモリ303へ送る。状態監視手段302はメモリ303の空容量を監視しメモリ303内の空き容量の減少を検知した場合ブロック化手段300に対し、メモリ303がオーバーフローしないように1ブロックのデータ数を増加させる。 (もっと読む)


【課題】外観検査装置を用いた繰り返しパターンの検査において、製品パターン以外を基準として検査視野のずれを防止することによって、微小な繰り返しパターンが高密度に規則正しく配置されていても誤報を抑制可能で、かつ製品パターンへの影響のない配線基板及び配線基板の検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】製品領域内に設けられた繰り返しパターンと、前記繰り返しパターンを所定の検査視野毎に外観検査装置で検査する際のアライメント補助パターンとを有する配線基板であって、前記アライメント補助パターンが、前記配線基板の製品領域内に設けられる配線基板である。また、上記配線基板を用いて外観検査装置で検査する配線基板の検査方法である。 (もっと読む)


【課題】半導体基板表面の清浄度を正確に確認することのできる半導体基板洗浄装置および洗浄方法を提供する。
【解決手段】半導体基板洗浄装置100は、半導体基板10を洗浄する洗浄部1と、洗浄部1で洗浄された半導体基板10の表面の反射強度を測定する反射式センサ2と、反射式センサ2による反射強度の測定結果に基づき、半導体基板10の洗浄の適否を判定する判定部3とを備えている。 (もっと読む)


【課題】高精度なウエハステージの移動制御を行う。
【解決手段】ウエハステージの位置を計測するために用いられるスケール39Y2に対して検出装置PDY1の照射系69Aからの検出ビームを照射し、スケール39Y2を介した検出ビームを受光系69Bで検出することにより、スケールの表面状態(異物の存在状態)を検出する。これにより、スケールに対して非接触で表面状態の検出を行うことができる。さらに、この表面状態を考慮することで、ウエハステージの移動制御を高精度に行うことができる。 (もっと読む)


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