【課題】製箔ローラ表面の凹凸を簡易に、かつ高い精度で検出し補修する製箔ローラ検査装置を提供する。
【解決手段】製箔ローラ検査装置は製箔ローラの表面に接触し研磨剤で研磨する研磨ローラと、研磨ローラに研磨材を供給する研磨材供給手段からなる研磨手段と、製箔ローラの表面を洗浄する洗浄手段と、製箔ローラの表面の凹凸を検査する検査手段と、検査結果に従い製箔ローラの表面研磨の要否を判断する制御手段と、研磨手段、洗浄手段、および検査手段を一体化した検査研磨機構を製箔ローラに対して接離方向に移動可能に支持し、製箔ローラに接近し表面の凹凸検査および表面の研磨を行う検査補修位置と、製箔ローラから離れて製箔工程への干渉を避ける退避位置との間を移動させる移動手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】露光時の走査方向の違いによって生じるスキャン精度の差異を求めることが可能
な表面検査装置を提供する。
【解決手段】露光によって作製されたパターンを有するウェハを照明光で照明する照明系
２０と、パターンで反射した照明光を検出する受光系３０および撮像装置３５と、撮像装
置３５により撮像されたウェハの回折画像からパターンの線幅を求め、走査方向によるパ
ターンの線幅の差を求める検査部４２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】透光性を有する容器の欠陥を光学的に検査する際に、光源からの光が容器の表面で反射してできる映り込みを低減し、高い検査精度と高い搬送効率とを両立する容器の検査装置を提供する。
【解決手段】検査装置１２では、ガラス壜１１が、第１モータ３３及び第２モータ３４によりそれぞれ異なる速度で回転する搬送ベルト３１，３２に挟持された状態で、回転しながら検査用通路２０に沿って搬送される。また、検査装置１２は、検査エリアＩＡに沿って配列されたＮ個（但しＮは２以上の自然数）の発光部２４ａを有するＬＥＤ光源２４と、検査エリアＩＡを搬送されるガラス壜１１を撮像するカメラ２５と、カメラ２５が撮像した画像に基づいてビリＢ等の欠陥の有無を判定する判定部とを備える。Ｎ個のうちガラス壜１１の搬送位置に対応するＭ個（但しＭはＮ未満の自然数）の発光部２４ａの発光位置が、ガラス壜１１の搬送に追従して移動する。 （もっと読む）

【課題】
半導体等の製造工程で用いられる欠陥検査において、微弱な欠陥散乱光をもとに高速に検査するためにはゲインの高い検出器が必要であるが、一般的な検出器、典型的には光電子増倍管ではゲインを高くするに従い、暗電流ノイズが大きくなり、欠陥検出感度が低下する。
【解決手段】
試料からの反射散乱光を検出する検出光学系に複数の検出器を備え、弱い背景散乱光量を検出する検出器で画素数の少ない光子計数型検出器を適用するとともに、強い背景散乱光量検出する検出器で画素数の多い光子計数型検出器か、あるいはアナログ型の検出器を適用し、更に光子計数型検出器の適用によって発生する散乱光検出強度の非線形性を補正して欠陥散乱光検出信号を補正する。 （もっと読む）

【課題】球の少ない回転で全範囲を確実に目視できる球検査用転がし装置を提供する。
【解決手段】複数の球を載置する載置用台と、複数の球５５を縦横複数列に内側に配置する四角形状の枠３０と、枠を水平面内の直交する２方向へ移動可能に案内する案内装置７０とからなる球検査用転がし装置であって、案内装置７０は、球５５を縦横の２方向にそれぞれ１回転プラス０．５ｎ回転分を移動可能に案内する第１案内部７２ａ、７３ａと、球５５を縦横の一方の方向に０．２５プラス０．５ｎ回転分、球５５を縦横の他方の方向に０．１２５プラス０．５ｎ回転分、球５５を縦横の一方の方向に０．２５プラス０．５ｎ回転分を移動可能に案内する第２案内部７３ａ、７４ａ、７５ａと、球５５を縦横の２方向にそれぞれ１回転プラス０．５ｎ回転分を移動可能に案内する第３案内部７５ａ、７６ａとを有し、ｎは整数である。 （もっと読む）

【課題】 撮像カメラの処理能力に制約を受けることなく、検査時間を短縮することができる自動外観検査装置を提供する。
【解決手段】 テーブル部、走査ステージ部、ストロボ照明部、鏡筒部、撮像部並びに、予め登録しておいた検査条件に基づいて、撮像された検査対象物の画像の良否判断をする検査部とを備え、
走査ステージ部には、テーブルの現在位置を計測する位置計測手段が備えられており、
鏡筒部には、観察光を一部透過させると共に、角度を変えて一部反射させる、
光分岐手段が備えられており、
鏡筒部には、光分岐手段で分岐された光を各々撮像することができるように、撮像部が複数取り付けられており、
制御部は、ストロボ発光させる毎に、撮像に用いる撮像部を逐次変えて撮像を行う機能を備えていることを特徴とする、自動外観検査装置。 （もっと読む）

【課題】半導体基板の欠陥検査において、高精度かつ効率的に、可視光透過性を有する半導体基板の表裏面への焦点位置合せを行うこと。
【解決手段】
半導体基板の欠陥検査装置は、焦点位置合わせマークが表面に形成された可動ステージと、可視光を可動ステージに向けて照射する光源と、可動ステージに対向して設けられた対物レンズと、対物レンズが結像した画像を電気信号に変換する光電変換素子と、焦点位置合わせマークの可動ステージ上の位置および被検査物となる半導体基板の厚さが登録され、可動ステージと対物レンズの位置関係を制御する制御装置を備えている。制御装置は、登録された焦点位置合わせマークを基準にして半導体基板の裏面側の焦点位置合わせを行い、登録された半導体基板の厚さを基準にして半導体基板の表面側の焦点位置合わせを行う。 （もっと読む）

【課題】球の色、傷等の不具合を発見するために、複数の球を一斉に転がす球検査用転がし装置であって、球の球の出し入れ作業を簡単にでき、しかも安価で容易に製造できるようにする。
【解決手段】複数の球３０を載置する載置用台１と、複数の球３０を縦横複数列に内側に配置する四角形状の枠２０と、枠２０の外側の周囲面に接触する前後板１２ａ、１２ｂおよび左右板１３ａ、１３ｂを有しこれらにより枠２０を縦横の２方向に案内するガイド１０とからなる。 （もっと読む）

【課題】球径に応じて転がす量を変えられる球検査用転がし装置を提供する。
【解決手段】複数の球５５を載置するパッド４３と、複数の球５５を縦横複数列に配置する配置部材３０と、配置部材３０およびパッド４３を水平面内の直交する２方向のうち一方向に相対移動させる第１駆動装置２０と、配置部材３０およびパッド４３を水平面内の直交する２方向のうち他方向に相対移動させる第２駆動装置４０と、第１駆動装置２０および第２駆動装置４０を制御して配置部材３０およびパッド４３を相対移動させ、球５５に縦転がしおよび横転がしを与える制御装置５１と、制御装置５１に球径を入力する入出力装置５２とからなり、制御装置５１は、入力された球径に応じた配置部材３０およびパッド４３の相対移動量を算出する算出手段を有する。 （もっと読む）

【課題】 汚れに強く、段取りやメンテナンスを容易化すると共に、コスト低減を図ることができる円筒形状物の外観検査装置を提供する。
【解決手段】 この外観検査装置は、円筒形状物である被検査物の外観を検査するものである。外観検査装置は、回転自在に設置され回転中心軸Ｌ１と同心に配置した軸受１の端面を接触させる端面治具５と、端面治具５の軸受１を接触させる側面に回転中心軸Ｌ１と同心に設けられた円錐面状の照明反射部６と、外輪３を回転させる駆動装置１８と、外輪押えローラー１９と、内輪押えローラー２０と、照明反射部６に照射する照明装置８と、この照明装置８で照射され照明反射部６および内輪２の内周面２ａで順次反射された反射光により内輪２の内周面２ａを撮像する撮像装置１１とを備えた。 （もっと読む）

【課題】飲料液中の異物の高精度な検出が可能で、かつ、多品種少量生産に好適なコンパクトな飲料液異物検査装置を提供する。
【解決手段】飲料液異物検査装置１０は、被検査ボトル７１を回転台座２５に載置して回転させる被検査ボトル回転機構部２０、回転台座２５に載置された被検査ボトル７１を傾斜させる被検査ボトル傾斜機構部３０、被検査ボトル７１に照明する照明４１、被検査ボトル７１の飲料液中を透過した照明光の陰影像を撮像する撮像装置４０と、制御装置５０などを備える。制御装置５０は、被検査ボトル傾斜機構部３０により被検査ボトル７１を傾斜させたとき、飲料液中に浮遊する重い異物の陰影像を撮像装置４０で取得し、被検査ボトル回転機構部２０により被検査ボトル７１を回転させ、停止させたとき、飲料液中に浮遊する軽い異物の陰影像を撮像装置４０で取得し、これら異物の陰影像および軽い異物の陰影像に基づき飲料液中の異物を検出する。 （もっと読む）

【課題】飲料液の異物検査に用いられる照明の明るさの調整を、検査対象のボトル、飲料の種別および色濃度に応じて適切に、かつ、効率よく行えるようにする。
【解決手段】飲料液異物検査装置１０には、カメラ４０が複数個設けられ、その複数のカメラ４０は、被検査ボトル７１の互いに異なる部分を撮像する。照明４１は、複数のカメラ４０のそれぞれに対応するように１つずつ設けられている。制御装置５０は、複数のカメラ４０のそれぞれの受光面での照度計測値を、カメラ４０がそれぞれ撮像した被検査ボトル７１の陰影像を用いて計算し、その計算した照度計測値が既定の照度範囲に含まれるように、照明４１のそれぞれの明るさを個別に調整する。 （もっと読む）

【課題】ウェハエッジ部の幅広い位置変化にも追従することができる光学式検査装置及びエッジ検査装置を提供する。
【解決手段】ウェハ１００の表面の欠陥を検査する表面検査装置３００と、この表面検査装置３００に対するウェハ１００の搬送路に設けたウェハステージ２１０と、このウェハステージ２１０上のウェハ１００のエッジ部を検査するエッジ検査部５３０と、このエッジ検査部５３０を当該エッジ検査部５３０の光軸に沿って移動させる移動装置６５０とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】成形素材の検査方法及び光学素子の製造方法において、光学素子の製造不良の発生を抑える。
【解決手段】成形素材の検査方法は、光学素子の材料である成形素材１について上記光学素子の光学機能面へと変形する領域である対応領域１ａ，１ｂを確認する対応領域確認工程と、成形素材１を対応領域１ａ，１ｂ以外の部分である保持領域において保持する保持工程と、保持された成形素材１の少なくとも対応領域１ａ，１ｂを検査する検査工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】省フットプリントが図れるだけでなく、タクトタイムの短縮化も可能となるマクロ検査とミクロ検査とを１台で行いうる基板検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の基板検査装置１は、検査する基板Ｇを載置し、吐出口６１から気体を吐出させて基板Ｇを浮上させる浮上プレート６を有する基板載置部２と、基板Ｇをミクロ検査するミクロ検査部３と、基板載置部２上に浮上した基板Ｇを搬送する基板搬送部４と、基板載置部２に対して出没可能に設けられ、基板載置部２上に浮上した基板Ｇを基板載置部２の上面に対して傾斜して起こした状態で保持するマクロ検査用ホルダ５と、マクロ検査用ホルダ５で保持されたＧ基板の表面を照明するマクロ照明部１５と、を備え、マクロ検査用ホルダ５は、基板搬送部４による基板Ｇの搬送方向と平行な回動軸を中心に回動することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】撮像デバイス用フォトマスクや表示デバイス用フォトマスクの様に周期性のあるパターンを持つ被検査体のムラ欠陥を検出するためのムラ検査装置および方法の照明照射条件の最適化を課題とする。
【解決手段】基板面に周期性パターンが形成された基板を検査対象とし、前記基板に照明光を異なる複数の照射角度で照射し、周期性パターンにより生じる回折光を用いて検査するムラ検査方法であって、パターン形状から周期成分を抽出し、被検査体である周期性パターンの最適な検査条件を算出する。 （もっと読む）

【課題】様々な環境条件、即ち、温度、環境ガス、荷重、接触材料により、はんだボールの形状がどのように変化するかを容易に検査できるはんだボール検査装置を提供する。
【解決手段】本発明のはんだボール検査装置１００は、対象に光を照射する光源部１１０と、前記対象のイメージを検出するイメージ検出部１２０，１３０と、検出された前記イメージの情報を処理するイメージプロセッサと、光源部１１０とイメージ検出部１２０，１３０との間に装着され、試料を取り付けながら検査を行う試料室１４０と、試料室１４０を駆動させる試料室駆動部１５０とを含む。 （もっと読む）

【目的】インテグレータレンズによって形成される複数の集光点に起因した光学素子の劣化を回避可能な検査装置を提供することを目的とする。
【構成】パターン検査装置１００は、レーザ光を発生する光源１０３と、レーザ光を入射し、入射されたレーザ光を分割して光源群を形成するインテグレータレンズ２０６と、インテグレータレンズの入射面の手前に配置され、インテグレータレンズに入射するレーザ光を散乱させる散乱板２０４と、インテグレータレンズを通過したレーザ光を照明光として用いて、複数の図形パターンが形成された被検査試料におけるパターンの欠陥を検査する検査部１５０と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）