説明

Fターム[2G051DA15]の内容

光学的手段による材料の調査の特殊な応用 (70,229) | 被検体のハンドリング、駆動制御 (5,089) | 欠陥品又は良品へのマーキング (165)

Fターム[2G051DA15]に分類される特許

41 - 60 / 165


【課題】簡易な構成により良否判定に用いる画像と目視による外観検査に用いる画像とを取得できるとともに、半田付け部の立体形状を容易に認識可能な外観検査用画像を取得できる半田付け部の検査装置、検査方法、検査プログラムおよび検査システムを提供する。
【解決手段】良否判定用画像に基づいて半田付け部の良否を判定し、良否判定結果に応じ、同一の検査装置を用いて、検査対象の半田付け部に複数の異なる方向から照明光を順次照射して複数の外観検査用画像を順次取得する。これらの画像を順次表示することにより、半田付け部の立体形状を容易に認識可能となる。 (もっと読む)


【課題】不具合箇所が見付かった基板を検査ラインから除外せずに修理し、その修理が適正だったか後で調べられるようにし、検査部位を予めプログラムしておく必要を無くす。
【解決手段】a)少なくとも一部の検査工程12A〜12Hでは、不具合箇所の修理を行う;b)ステップa)で不具合箇所を修理した時に不具合箇所の不具合内容と、位置情報と、修理前および修理後の少なくとも一方の画像とを読込む;c)ステップb)で読込んだ不具合箇所の不具合内容と、位置情報と、修理前・後の少なくとも一方の画像とをデータベース16に蓄積する;d)ステップc)でデータベース16に蓄積した不具合内容と、位置情報と、修理前・後の少なくとも一方の画像とを、適時に読出す。 (もっと読む)


【課題】ウェハ表面の膜の端部の高さを精度よく測定可能な検査方法を提供する。
【解決手段】ステージによりウェハを略水平に支持した状態で、高さ検出器によりウェハの平面部の高さ位置を検出するステップS101と、上ベベル部に位置する膜の端部に合焦させた状態で、撮像部により膜の端部を撮像するステップS102と、データ処理部により、ステップS102で撮像した膜の端部の画像に基づいて膜の端部の高さ位置を検出し、ステップS101で検出した平面部の高さ位置と膜の端部の高さ位置との差から、ウェハの平面部に対する膜の端部の降下量を求めるステップS103とを有している。 (もっと読む)


【課題】発光素子の不良の有無を検査し、検査後に不良の発光素子を廃棄することのできる発光素子検査装置及びこれを用いた検査方法を提供する。従って、発光素子の不良検査及び不良廃棄を自動化するとともに一連の過程で迅速に処理することにより、生産性の向上を図ることができる。
【解決手段】本発明の一実施形態による発光素子検査装置は、発光素子のビジョン検査により不良の有無を検査する検査部と、前記検査部から供給された前記発光素子のうち、前記検査部の検査結果に基づいて不良と判定された発光素子を廃棄する不良リジェクト部とを含む。 (もっと読む)


【課題】 被検査物の面積が広い場合にも能率的な表面検査が可能であり、また、特別な信号処理を施さなくとも長い表面欠陥を一つの欠陥と判断することができる新規の表面検査手段を提供する。
【解決手段】 被検査物Xの表面に光源10から光を照射し、当該表面から反射する散乱光の強さにより被検査物の表面欠陥を検出する。被検査物Xの表面と光源10との間に相対移動を与えて当該表面に光を走査させること、および、照射する光11を、上記走査方向と直角の方向に長い線状のものとし、照射する光11の全域からの散乱光の強さにより被検査物Xの表面欠陥を検出する。 (もっと読む)


【課題】 外観検査装置を大型化を防止し、かつ検査時間の長くなることを防止することである。
【解決手段】 外観検査装置1は、ベース本体3上に浮上ステージ4と、基板搬送ステージ5とが敷設されており、ガラス基板Wをベース本体3の長手方向に沿って一端部から他端部に至るまで搬送可能になっており、マクロ検査部10と欠陥観察部11とが搬送方向に沿って配設されており、これら検査部10,11間の距離は、ガラス基板Wの搬送方向の長さよりも短くなっている。 (もっと読む)


【課題】有価証券等の印刷物用検査機械の改良に関する。
【解決手段】印刷済みシート(sheet)を供給する供給器1、第一、第二、第三シート検査ユニット、第一、第二移送シリンダを含み、各検査ユニットは、検査シリンダ、照明手段、カメラを含み、第一移送シリンダ13、各検査シリンダ、ならびに第二移送シリンダ17は、相互に直接接触した状態で設置され、各検査ユニット、各移送シリンダは、検査が完了したときにのみシートが各検査シリンダから取り出されるように配置され、第一移送シリンダ13、各検査シリンダ、第二移送シリンダ17は、シートの入出力位置間でシートの運搬長が所定シート長として最適になるようにジグザグ形態に配置され、かつ各検査シリンダ上のシートの運搬長は検査されるべきシートの長さよりも僅かに長い。 (もっと読む)


【課題】良否判定装置で不良と判定された表面処理鋼板が振り分け機の故障や動作不良により良品パイラーに混入したことを検知することのできる表面処理鋼板の振り分け方法を提供する。
【解決手段】鋼帯Sを所定の長さに剪断して得られた表面処理鋼板SPの良否を判定する良否判定装置18の判定結果に基づいて表面処理鋼板SPを良品パイラー20と不良品パイラー21に振り分ける振り分け機19の振り分け実績を良否判定装置18の判定結果と照合して、良否判定装置18で不良と判定された表面処理鋼板SPが振り分け機19の故障や動作不良により良品パイラー20に混入したか否かを判定する。 (もっと読む)


【課題】
本発明はレジスト膜の面ムラをリアルタイムあるいは簡単にレジスト膜の面ムラを検査できるレジスト膜面ムラ検査装置及び検査方法を及びDTM製造ラインを提供することである。
【解決手段】
本発明は表面ディスクの表面に塗布されたレジスト膜の表面に検査光を照射し、該レジスト膜表面から正反射光を検出し、その二次元像を出力することを特徴とする。
また、本発明では前記特徴に加え、前記出力は前記2次元検出結果をその検出レベルに応じて濃淡画像あるいは色相画像として表示することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】海島型複合繊維を溶融紡糸する紡糸口金の内部に装着された数万本にも及ぶパイプに関して、少なくともパイプ曲りの発生を自動で検出することができる紡糸口金の異常検査装置及び異常検査方法を提供する。
【解決手段】直管型パイプが口金板に対して垂直に多数立設された口金板を装着する紡糸口金に対して各パイプのポリマー流路である貫通孔を通過した検査光をカメラで撮影して、撮影した画像データを二値化処理などの画像処理を行って各パイプの先端部のポリマー流路の中心座標を算出し、算出した中心座標が設計時の値よりもずれているかどうかを判断して、パイプ曲りの有無を検出する紡糸口金の異常検査装置及び異常検査方法とする。 (もっと読む)


【課題】ガラス板面の錫付着物と他の付着物とを識別する。
【解決手段】ガラス板の上流又は下流の斜め上方にガラス板の搬送方向と直交する方向にほぼ全幅に亘って設けた照明装置と、該装置の下面側に全幅に亘って配設し、照明装置の照射角度を制限し指向性を持たせる視野選択フィルターと、照明装置によって拡散光が照射されるガラス面全幅を走査し撮像する少なくとも1台のラインカメラと、ラインカメラにより撮像された画像信号を処理する画像処理装置と、画像処理装置によって処理された画像信号より錫付着物の有無を判定する演算処理装置とからなり、前記視野選択フィルターの照射角度α、すなわちラインカメラが走査するガラス板下面への走査線上の各走査点から照明装置側に向けて、ガラス板の搬送方向±α/2の角度範囲にある拡散光のみが該走査点に到達するよう指向性を持たせた視野選択フィルターによって照明の範囲を各走査点毎に対応した範囲にした。 (もっと読む)


【課題】帯状ワークを十分に平坦化することができ、上流側の表面処理装置の振動の影響を受けることのない外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置30において、帯状ワーク1に送出方向と直交する方向へ張力を加える第1張力印加部32と、帯状ワーク1に送出方向へ張力を加える第2張力印加部33と、第1張力印加部32及び第2張力印加部33により張力が加えられた帯状ワーク1を平坦化する平坦化部34と、平坦化部34にて平坦化された帯状ワーク1の所定区間の画像を取得して表面処理状態を検査する表面状態検査部35と、表面処理装置20による振動が発生した際に、表面状態検査部35により画像の取得を禁止する画像取得禁止部とを備える。 (もっと読む)


【課題】 検査員の熟練度に依存することが少なく、検査効率の良い目視検査装置及び目視検査方法と、そのような目視検査装置を備えた検査システムを提供することを課題とする。
【解決手段】 検査対象パネルにテストパターンを表示させる手段を備えたディスプレイパネルの目視検査装置であって、テストパターン記憶手段と、自動検査装置が作成した自動検査結果情報を取得する手段と、自動検査装置が検査対象パネルに存在すると判断した欠陥についてのマーカーパターンを上記取得した自動検査結果情報に基づいて作成する手段と、作成したマーカーパターンをテストパターンに重畳させる手段と、マーカーパターンが重畳されたテストパターンを検査対象パネルに表示させる手段を備えている目視検査装置及び目視検査方法、並びにそのような目視検査装置を備えた検査システム並びに目視検査方法を提供することによって解決する。 (もっと読む)


【課題】フィルムを搬送しながら連続して、微小な膜厚ムラを正確に検出できるフィルム表面の欠陥検査装置、該検査方法及び光学フィルムの製造方法を提供すること。
【解決手段】明暗パターンをフィルムの表面に反射させ、撮像手段で撮像した反射画像と明暗パターンとを比較することでフィルム表面の欠陥を検査する装置において、フィルムの反射面の中心位置と撮像手段との反射面に平行な距離をL、撮像手段の水平視野距離を撮像手段の水平画素数で割った画素分解能をδとしたとき、450mm≦L≦1000mm、0.1mm≦δ≦0.5mmであること。 (もっと読む)


【課題】設備の大型化や設備コストの増大を招くことなく、検査対象物の不良の有無を高い確実性をもって判別することができる不良検査方法を提供する。
【解決手段】一次判別工程では、複数の検査対象物1の不良の有無を判別する。マーキング工程では、一次判別工程で不良と判別された検査対象物1に、特定波長の光の照射を受けて可視化するインク2を塗布する。二次判別工程では、一次判別工程を経た検査対象物1を搬送しながらこの検査対象物1へ向けて特定波長の光を照射するとともに、特定波長の光を照射を受けて上記インク2が可視化している検査対象物1について、不良の有無を再度判別する。報知工程では、一次判別工程で検査対象物1が不良と判別された場合に、この検査対象物1が二次判別工程で不良の有無の判別がされる前に、前記判別結果を報知する。 (もっと読む)


【課題】アルミニウム板をコイルに巻き取る処理ラインにおいて、防錆油の有無及び加工メーカー側の欠陥検出性能に関らず、目視によって容易に確認可能な圧痕を形成することができる欠陥マーキング装置、欠陥マーキング方法及び欠陥マーキングされたコイルを提供することを目的とする。
【解決手段】欠陥マーキング装置5を構成する圧痕装置5aは、円筒部8aと、その外周面に沿って形成された複数の突起部8bからなるローラ8と、前記ローラ8を回転自在に支持するベアリング9と、前記ベアリング9を支持するシリンダ10と、前記シリンダ10の駆動速度を制御するスピードコントローラ11と、を備えている。そして、欠陥検出装置の指示に基づいてシリンダ10が下方に駆動し、ローラ8が回転しながらアルミニウム板を押圧することで、欠陥部に対して深さ5〜50μmの圧痕を形成することができる。 (もっと読む)


【課題】 検査対象のスクリーン製版におけるピンホールなどの欠陥を容易に検出することができるスクリーン製版の検査装置の提供。
【解決手段】 スクリーン製版の検査装置は、被着パターンを形成する樹脂層が網状基材に設けられたスクリーン製版の検査装置であって、検査対象スクリーン製版が垂直面内において移動自在に移動する移動機構と、検査対象スクリーン製版が前記移動機構により移動するよう、垂立状態で保持する可動保持機構と、この可動保持機構に保持された検査対象スクリーン製版に光源よりの光を集光して照射する光照射機構と、検査対象スクリーン製版の少なくとも一部の領域を透過した光による像を拡大して投影する拡大投影機構とを備えることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 本発明は、半導体ウエハの下面の外観異常箇所が、何れの半導体素子領域に存在しているかを正確に識別することができる外観検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 複数の半導体素子領域52が形成された半導体ウエハ50の下面50bの外観異常を検査する方法であって、半導体ウエハ50の下面50bに各半導体素子領域52を示す映像を投影した状態で、半導体ウエハ50の下面50bの外観異常箇所56を目視で特定する検査工程を有する外観検査方法。 (もっと読む)


【課題】目視観察用のモニター装置を用いて、大型基板上の欠陥部位を観察するに当たり、当該部位が該モニター画面上のどこにあるのか容易に認識できる手段及びこの手段を備える目視検査システムを提供する。
【解決手段】自動欠陥検査装置で取得したパターンの欠陥に関する情報を欠陥情報データベースに蓄積する手段と、目視検査装置で取得したパターンの欠陥に関する情報を欠陥情報データベースに蓄積する手段と、蓄積された前記パターンの欠陥に関する情報を目視検査支援システムに備わるモニター装置で閲覧する手段と、被検査基板上に形成されたパターンの撮像映像を目視検査装置に備わるモニター装置に表示する手段と、被検査基板上に形成されたパターンの欠陥部位を、前記欠陥情報データベースに蓄積された情報に基づいて、レーザポインタにより照射する手段と、を備えることを特徴とする目視検査システム。 (もっと読む)


【課題】検査部のテープ部分に所定の張力を付与することができ、またかかるテープ部分への振動の伝達を確実に阻止し、撮像性能を向上させる。
【解決手段】透過光式検査部Dにテープ1の厚さ方向に湾曲させる第1の張力付与装置43と、テープの長手方向に張力を付与する第2の張力付与装置44を配設する。第1の張力付与装置43は、テープ1の下面を支持する一対の支持ローラ46、47と、テープ1を支持ローラ46、47に押し付ける一対の押圧ローラ48、49とで構成されている。第2の張力付与装置44は、テープ1の側縁部をそれぞれ保持する一対のクランプ装置60、61と、クランプ装置60、61をテープ1の長手方向に移動させてテープ1に張力を付与するシリンダ64を備えている。さらに、一対の吸着手段66によってテープ1の下面を吸着保持する。 (もっと読む)


41 - 60 / 165