【課題】種々の欠陥をより確実に検出することができる、成形シートの欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】欠陥検査装置は、成形シートの２次元画像を複数回撮像して複数の２次元画像データを生成する撮像部５_１〜５_ｎと、成形シートにおける撮像領域の一部に線状光源像が投影されるように成形シートを照明するための線状光源と、成形シートにおける線状光源像の位置が変化するように、成形シートを、線状光源の長手方向と交差し、かつ成形シートの厚み方向に直交する方向に搬送する搬送装置と、撮像部５_１〜５_ｎで生成された複数の２次元画像データから線欠陥検出アルゴリズムによって欠陥を検出する線欠陥用画像解析部６１_１〜６１_ｎと、撮像部５_１〜５_ｎで生成された複数の２次元画像データから点欠陥検出アルゴリズムによって欠陥を検出する点欠陥用画像解析部６２_１〜６２_ｎとを備える。 （もっと読む）

【課題】従来のガラス検査装置は顕微鏡を用いて人による目視によって検査されており、不良のガラス基板には油性インク等でマーキングして、後工程で判別できるように作業されていた。しかし油性インクのマーキングでは洗浄時に消えてしまうことがあり、また、次工程でもマーキングを判別する必要があった。
【解決手段】本発明ではガラス基板をチップ毎に外形検査カメラで測定し、判断部によって良否を判断し、良否のチップの位置を演算部でマッピングデータにし、記録部の記録媒体に記録するように構成した。このことによって次工程には記録媒体に記録されたマッピングデータを送信することでガラス基板の良否を自動で判別できるようにし、作業効率を向上させたものである。 （もっと読む）

【課題】基板上の予め定められた各検査箇所にそれぞれマーキングを行うことで、基板上に適切に回路あるいは素子等の実装対象物が実装されているか否かを検査する場合に、検査のし忘れを防止して検査の正確性を向上させることが可能な実装状態検査装置を提供する。
【解決手段】マーキングユニット２０のペンを用いて、検査者が基板上の検査箇所をマーキングする毎にカウンタ１２のカウンタ値がインクリメントされ、カウンタ値が予め設定された基準カウンタ値に達した時点で、すべての検査箇所のマーキングが終了したことが通知部６０より検査者に通知される。 （もっと読む）

【課題】検査者が基板上の検査済みの各検査箇所にマーキングペンなどの筆記具でマーキングすることによりマークを付けていき、マーキング個数が所定の基準個数に達しているか否かで判断して検査を行う場合に、確認済みの検査箇所の個数の検査者によるカウントの手間を省き、個数のカウントを誤るなどの人為的なミスの発生を抑制する。
【解決手段】検査者が基板上にマーキングする際に筆記具２２のペン先２２ａが基板上に接圧されると、筆記具２２が筆記具収容ケース体２４に支持されて、矢印Ａ方向に摺動することで、プランジャ２８ａが矢印Ａ方向に摺動し、プランジャ２８ａを介してメカニカルスイッチ２８がスイッチ操作される。このスイッチ操作により、メカニカルスイッチ２８は、カウンタ１２にインクリメント指令を出力し、カウンタ１２が当該インクリメント指令を受けて、カウンタ値をインクリメントする。 （もっと読む）

【課題】現在の手動検査プロセスを置き換える自動化検査システムを提供すること。
【解決手段】自動化欠陥検査システム（１０）が発明され、これはパターン化されたウェハ、全ウェハ、破損ウェハ、部分ウェハ、ワッフルパック、ＭＣＭなどを検査するために使用される。この検査システムは、特に、スクラッチ、ボイド、腐食およびブリッジング、などの金属化欠陥、ならびに拡散欠陥、被覆保護層欠陥、書きこみ欠陥、ガラス絶縁欠陥、切込みからのチップおよびクラック、半田隆起欠陥、ボンドパッド領域欠陥、などの欠陥のための第二の光学的ウェハ検査のために意図され、そして設計される。 （もっと読む）

【課題】電子内視鏡による視野範囲を広げることで内視鏡を使いやすくする。特に、前方視野と任意方向の側方視野が容易に得られる広視野内視鏡を提供することである。
【解決手段】
内視鏡先端部に設けられた透明な円筒体の一端に、透明な円筒体の軸方向に向かって前方視野を有するように第１の撮像モジュールを装着し、第１の撮像モジュールの後部に配置され、第１の撮像モジュールの光軸に対し側方視方向の光軸を有し、透明な円筒内部で回転自在に装着された第２の撮像モジュールを有する先端構造を持ったことを特徴とし、さらに第２の撮像モジュールの側方視の視野方向を第１の撮像モジュールによる画像内に表示する手段を持った広視野内視鏡。 （もっと読む）

【課題】マークが付与された枚葉フィルムとマークが付与されていない枚葉フィルムとを人手なしに自動的に仕分けすることができる偏光フィルムの仕分けシステムおよび仕分け方法を提供する。
【解決手段】マークが一部に付与された複数の枚葉フィルム３の仕分けを行う仕分けシステムは、画像を撮像するＣＣＤカメラ８と、ＣＣＤカメラ８によって撮像された画像に基づいて、枚葉フィルム３上に存在するマークを検知し、マークの位置を表すマーク検知信号ＣＨ０・ＣＨ１を出力する画像処理装置９と、マーク検知信号ＣＨ０・ＣＨ１に基づいて各枚葉フィルム３にマークが付与されているか否かを判定するＰＬＣ１０と、ＰＬＣ１０による判定の結果に基づいて、上記複数の枚葉フィルム３を、マークが付与された枚葉フィルム３とマークが付与されていない枚葉フィルム３とに仕分けする仕分け装置１１とを備える。 （もっと読む）

【課題】偏光フィルムにおける、欠陥検査装置で検出された欠陥のうちで許容される欠陥のみを含む部分を製品として使用不可能とすることなく、欠陥検査装置で検出された欠陥の近傍位置にマークを形成することができる偏光フィルムの検査方法を提供する。
【解決手段】帯状の偏光フィルムに対して欠陥検査装置を用いて欠陥の検出を行い（Ｓ２）、欠陥の検出結果に基づき、欠陥の位置を示す欠陥位置データを作成して記憶媒体に保存し（Ｓ３）、帯状の偏光フィルムをロールに巻き取り（Ｓ５）、ロールから帯状の偏光フィルムを巻き出し（Ｓ６）、帯状の偏光フィルムに対して他のフィルムを積層し（Ｓ７）、他のフィルムの積層後に、記憶媒体に保存された欠陥位置データを読み込み、読み込んだ欠陥位置データに基づいて偏光フィルムの欠陥位置を特定し（Ｓ８）、特定された欠陥位置に基づいて上記他のフィルムにおける欠陥の近傍位置にマークを形成する（Ｓ９）。 （もっと読む）

【課題】搬送方向に一定長に区分されたブロック毎の制御と計４個のエッジを検出することで、最終製品状態では目視検査が困難な状態の製品においても歩留まりを大幅に向上させることが出来る製品の欠陥検査システムを提供することを課題とする。
【解決手段】透過率の非常に低い例えば黒膜を塗布した保護フィルムを貼り付けた感光性樹脂凸版は、製品内部に存在する欠陥が目視検査では検出が非常に困難であり、今までは検査が出来ないため品質保証が出来ないという状態であった。黒膜付き感光性樹脂凸版の品質保証を可能とし、正常品を市場に提供するために、製造工程に適正な欠陥の検査装置、欠陥情報のマーキング装置、製品の蛇行に追従するシステムなどの欠陥検査システムを新たに導入し、マーキングされた欠陥部のみを排除することで、最終製品状態で目視検査が出来ない製品 （もっと読む）

ウェブ上の欠陥を優先的にマーキングするためのシステムが説明される。システムは、複数の異なる等級水準の個別のシートに変換される材料のウェブと、ウェブ上の異常の異常データを格納するデータベースであって、異常が複数の異なる等級水準のうちの少なくとも１つにおける潜在的な欠陥である、データベースと、等級水準のうちの少なくとも１つに固有のマークを関連付けるマーカーと、データベースから異常データを検索し、かつ、マークをどこに付けるかに関してマーカーに信号を送信するためのコントローラと、を備え、マーカーは、異常が欠陥を発生させる可能性がある等級水準のうちの少なくとも１つに関連付けられたマークを適用する。システムは、単一のウェブロールからの多様な製品の変換業者が、ウェブのどの領域がそれぞれの等級水準を満たすかを決定することができる等の利点を提供することができる。
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【課題】用紙のすき入れ位置を検査する方法として、用紙を積層した状態で用紙の側面からすき入れ位置の検査を可能とし、迅速、かつ、確実に検査を行う。
【解決手段】すき入れが施された用紙のすき入れ位置の検査を行うための方法及び装置に関するものであって、すき入れ模様と関連し、かつ、用紙の端部にすき入れ位置の確認用マークをすき入れにより施し、用紙を積層した際に積層された用紙の側面からすき入れ位置確認マークの近傍に二本線を引き、すき入れ位置確認マークと二本線の位置関係から、すき入れ模様位置の検査を行うことを特徴とするすき入れ位置の検査方法及びすき入れ模様位置検査用装置に関するものである。 （もっと読む）

【課題】透明な基板上に不透明な膜を成膜させた被検体に生じた突起がどの段階で生じた異常によるものかを特定する。
【解決手段】第１カメラ１２により、被検体５０の成膜表面に生じる突起５２の有無をその成膜表面側から検査する。第１工程で突起５２が検出された場合に、その突起５２の位置において、第２カメラ１６により、成膜表面とは反対の反対面側から透明な基板５４と不透明な膜５６との界面部を観察する。突起５２が検出された場合において、前記界面部に異常が検出されたときに突起５２の原因が透明な基板５４上に生じた異常にあると判定でき、その異常が成膜前に生じたと判断できる。突起５２が検出された場合において、前記界面部に異常が検出されなかったときに突起５２の原因が不透明な膜５６の膜内に生じた異常にあると判定でき、その異常が成膜中に生じたと判断できる。 （もっと読む）

【課題】他の判別結果に対する影響を抑えつつ、誤判定した判定対象に対し所望の判別結果が得られるよう判別規則を調整可能な判別装置、判別方法及びプログラムを提供すること。
【解決手段】判別対象が複数種類の集合のいずれに属するかを判別する判別装置１００を提供する。この判別装置１００は、判別結果が既知の学習用特徴情報とその学習用判別結果情報とに基づいて、学習用特徴情報を特徴情報による空間上の点を写像した際を写像先の空間上で点を線形分離する判別面と、判別面までの距離が最短の点との距離が最大になるように判別面を算出して判別関数とする判別関数算出部１１２と、判別関数による判別結果情報と既知の判別結果とが異なる誤判別特徴情報の判別関数への影響係数を調整する判別関数修正部１２０と、当該判別結果が未知の判別対象の特徴情報と修正された判別関数とに基づいてその判別対象を判別する判別部１３０とを有する。 （もっと読む）

【課題】不良品が流出する可能性を低減する。
【解決手段】搬送制御部３２は、パターン検査装置６で不良品と判定されたピースを顕微鏡２４で撮影できる位置までＴＡＢテープ１０を搬送する。第１のベリファイ実行部３４は、パターン検査装置６で不良品と判定されたピースの顕微鏡画像と検査装置画像を並行表示させ、検査員による良否判定結果を第１のベリファイの結果として記憶部３１に格納する。搬送制御部３２は、第１のベリファイで良品と判定されたピースを顕微鏡２４で撮影できる位置までＴＡＢテープ１０を搬送する。第２のベリファイ実行部３５は、第１のベリファイで良品と判定されたピースの顕微鏡画像と検査装置画像を並行表示させ、検査員による良否判定結果を第２のベリファイの結果として記憶部３１に格納する。 （もっと読む）

【課題】ディスクの表面（記録面部分）及び端面（エッジ部）の同時検査や両面の同時検査に好適なディスク検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】垂直姿勢で保持されたディスク12の面に対し、照明装置112，114,116,118からエッジを含んだ検査領域の形状と略同一形状の照射範囲となる照明光パターンの照明光を照射し、当該エッジを含んだ検査領域部分からの反射光をカメラ102,104によって撮像する。照明光は、光ファイバーなどのライトガイドを使用して照射パターン形状を整形し、ディスク12のテクスチャの接線方向に沿って照射する。カメラ102,104から得られる画像を解析し、ディスクの中心位置と半径を求めて自動的に各検査面のウインドウを形成する。また、検査画像からエッジ部分における反射形状を認識し、当該反射形状に基づき、塵埃と塵埃以外の要因によるものとを判別して塵埃の検出と測定を行う。 （もっと読む）

【課題】印刷物の検査データを管理すると共に、印刷物の検査状況に応じて良否判定基準を設定できる検査群データ管理システムを提供することを目的とする。
【解決手段】印刷物の被検査面画像とマスタ画像とを比較して誤差を検出し、
検出された誤差画像と当該誤差画像の誤差値とを対応させて誤差データと、複数の誤差データを含む検査群データとを構成し、検査群データを識別する検査群識別情報を当該検査群データに対応させて記録し、選択対象の検査群の検査群識別情報に一致する検査群データを、複数の検査群データの中から選択し、良判定として許容される良否基準を設定し、選択された検査群データの各誤差データと良否基準とに基づいて印刷物の良否を判定し、記録する。 （もっと読む）

【解決手段】 判定手段６は、カメラ５で撮影した４０００回の画像のデータに基づいて、タイヤ２の内面２Ａ全体についての三次元の基本画像８を作成する。
判定手段６の第１演算部６Ｂは、上記基本画像８を基にしてノイズを除去したタイヤ２の内面２の輪郭線１１の画像（Ｇ１）を求める。
次に、判定手段６の第２演算部は、上記基本画像８を基にして、ノイズと不良部分を除去した輪郭線１１だけの画像（Ｇ２）を求める。
次に、比較部６Ｄは上記Ｇ１とＧ２とを比較して、不良部分を強調した画像（Ｇ３）を求める。判定部６Ｆは、上記不良部分を強調した画像（Ｇ３）を基にしてタイヤ２の内面２Ａの外観の良否を判定する。
【効果】 タイヤ２の内面２Ａの外観の良否を正確に判定することができる。 （もっと読む）

【課題】表示に影響するような欠陥及びムラや製品製造での不具合につながる様な欠陥を容易に判別し、良好な光透過性周期性パターン試料検査装置を提供する。
【解決手段】光透過性を有する周期性パターン試料検査装置であって、前記周期性パターン試料をステージ上に載置しＸ平面上を移動させる試料移動手段と、光照射手段と、前記周期性パターン試料からの透過光又は反射光を撮像し、複数のセンサ素子を二次元方向に配列してなる二次元センサアレイを具備した撮像手段と、前記撮像手段と前記周期性パターン試料との間の距離を測定する為の距離測定手段と、前記距離測定手段により得られた距離を基に撮像手段の焦点位置へ撮像手段を移動させるＺ方向移動手段と、画素データを処理する画像処理手段と、前記画像処理手段で処理された結果を表示する表示手段と、を有することを特徴とする周期性パターン試料検査装置である。 （もっと読む）

【課題】ロール巻きされた積層フィルムの欠陥を精度よく検出する。
【解決手段】原反ロールから積層フィルムを繰出して保護フィルムを剥離する保護フィルム除去過程と、保護フィルムが剥離されたフィルム本体の表面における欠陥の有無を検査する第１検査過程と、検査後の積層フィルムからセパレータを剥離するセパレータ除去過程と、セパレータが剥離除去されたフィルム本体を縦方向に向かうフィルム走行径路に導きながら縦向き姿勢のフィルム本体における欠陥の有無を検査して検出データを記憶格納する第２検査過程と、検査の済んだフィルム本体の裏面および表面のそれぞれにセパレータおよび保護フィルムを貼り付けるセパレータ貼付け過程および保護フィルム貼付け過程と、保護フィルムおよびセパレータが貼り付けられた検査済みの積層フィルムをロール巻きするフィルム回収過程とを備える。 （もっと読む）

【課題】撮像ごとに発生するノイズを除去できる検査装置を提供する。
【解決手段】検査システム１４は、ステージ３００に積載されている基板３０に光を照射するライト４６と、基板３０からの反射光を撮像するラインセンサ４８と、検査装置４０と、ディスプレイ装置５０とを備える。検査装置４０は、受信部４１と、記憶部４２と、判定部４３と、出力部４４と、入力部４５とを含む。判定部４３は、複数の領域の各画像を投影することにより１次元の投影データをそれぞれ算出し、各投影データを差分することにより差分プロファイルを算出し、差分プロファイルから強度のピークを検出し、当該ピークの値に基づいて基板３０に形成された薄膜のムラを判定する。 （もっと読む）