【課題】透明フィルム外観検査システムにおいて、簡単な構成により、透明フィルムや半透明フィルムにおける目視による発見が困難な欠陥に対し、その欠陥場所やその他情報を効率よく人に認識させることができるようにする。
【解決手段】外観検査システム１は、巻出し搬送される透明な帯状フィルム２の外観検査を行うシステムであり、フィルム２の巻出し搬送を行うフィルム搬送機構３と、フィルム搬送中にフィルム２の外観を撮像する撮像部４と、撮像した画像を処理してフィルム２の欠陥を検出する欠陥検出部５と、検出された欠陥データを記憶する欠陥データ記憶部６と、記憶された欠陥データを提示する欠陥提示部７と、を備える。欠陥提示部７は、巻出し搬送されるフィルム２の欠陥位置に対応して当該フィルム２の背面側に欠陥データを提示する。検査作業員は、リアルタイムで現物のフィルム上において、システム１が外観検査した結果を確認できる。 （もっと読む）

【課題】フィルムの表面の凹凸を高精度に検査できるようにする。
【解決手段】フィルム検査装置は、フィルムＦを非接触の状態でガイドするガイド部材３と、フィルムＦの表面Ｆａに検査光を照射する照明手段と、フィルムＦａの表面Ｆａを撮像する撮像手段とを備えている。ガイド部材３は、フィルムＦの裏面Ｆｂに対向するガイド面３１、複数の空気室３２、およびこれらの空気室３２からガイド面３１に至る連通路を有している。さらに、フィルム検査装置は、複数の空気室３２内の圧力を個別に制御する圧力制御手段を備えている。 （もっと読む）

【課題】搬送中の被マーキング対象物に対して、欠陥が存在する場所そのものに、高精度で、自由な形状のマーキングを施すことを可能とする移動対象物用マーキング装置を提供することを目的とする。
【解決手段】被マーキング対象物を搬送する搬送部と、搬送中の被マーキング対象物の特定箇所にマーキングを施すマーキング部と、搬送部及びマーキング部の動作を制御する動作制御部と、を備えた移動対象物用マーキング装置において、マーキング部は搬送部の搬送方向に沿って設置されたレール部と、レール部の所定の区間を搬送方向と同じ方向に移動するY方向移動部と、搬送方向に直交する方向に移動するX方向移動部と、X方向移動部に設置されてＹ方向とＸ方向の両方向に直行する方向に移動するＺ方向移動部と、を有するものとし、Ｚ方向移動部が特定区間を、被マーキング対象物と同期して移動しながら、特定箇所にマーキングを施す。 （もっと読む）

【課題】配線パターンの検査装置および方法において、パターンの表面に生じているピットと突起を区別し、ピットのみを検出しながら線幅の測定をできるようにすること。
【解決手段】ＴＡＢテープのパターンが形成されている側から、反射照明手段１２により、検査領域に対して斜めに入射するように照明光を照射するとともに、パターンが形成されている側とは反対側から透過照明手段１３により照明光を照射し、撮像手段１１によりパターンを撮像する。パターンの表面にピットが存在すると反射照明手段１２からの反射光が撮像手段１１に入射しその部分が明るく写る。また、透過照明手段１３からの照明光によりパターンが形成されている部分は暗く写り、パターンが形成されていない部分は明るく写る。したがって、反射照明と透過照明を用いて撮像することによりピットのみを検出しながら線幅の測定することができる。 （もっと読む）

【課題】小型化を実現できるとともに、被検査基板に対し精度の高い欠陥検査を効率よく行なうこと。
【解決手段】矩形状の被検査基板を保持する基板ホルダを水平な状態から目視観察する所定の角度に立ち上げ、この状態で被検査基板の上方からマクロ照明光を被検査基板上面に照射し、かつレーザー光源から出射されたレーザー光を光路分割手段によりＸ方向とＹ方向とに分割し、これら分割された各レーザー光をそれぞれＸ方向とＹ方向との各ガイド部材にそれぞれ移動可能に設けられた２つの反射体により被検査基板側に反射し、２つの反射体をそれぞれＸ方向とＹ方向とに移動させ、これら反射体でそれぞれ反射して被検査基板上の欠陥部に各レーザー光を一致させたときの各反射体のＸ方向とＹ方向への各変位量から位置座標検出部によって欠陥部の位置座標を検出する。 （もっと読む）

【課題】反射照明光と透過照明光を利用して、パターンの表面に生じているピットと突起とを区別し、ピットのみを不良として検出すること。
【解決手段】光透過性基板１上に形成されたパターン２に照明光の撮像画像に基づいてパターン２の良否判定するパターン検査装置において、中心光線が基板１に対して略直交する照明光を照射する第１照明手段３１と、基板１の裏面側に設けられ検査領域６（第１照明手段３１により照明される領域）を基板１に対する法線方向に投影した領域外から基板１に対して照明光を照射する第２照明手段３２と、第１照明手段３１による照射方向と同方向に設けられた撮像手段３３と、第１照明手段３１と第の照明手段３２を制御する制御手段４とを備え、制御手段４は第１照明手段３１と第２照明手段３２による照明とを同時に行い、撮像手段３３は同時に照明されているパターン２を撮像する。 （もっと読む）

【課題】オペレータの負荷を軽減しつつ、不良ダイのマーキング判断を精度良く行う。
【解決手段】基板検査システムでは、ダイ２が複数配置されたウェハ１の表面を目視により概略的に検査して表面不良箇所を検査するマクロ検査部２０と、前記マクロ検査部２０の表面検査結果に基づき、前記ウェハ１の表面を第１の撮像装置４２により詳細に検査して表面不良箇所を検査するミクロ検査部４０と、前記マクロ検査部２０の表面検査結果と前記ミクロ検査部４０の表面検査結果とを所定のダイレイアウト上に記憶するシステムＰＣ５０内の記憶装置と、前記記憶装置の記憶結果と、前記ウェハ１に対する他の欠陥検査装置６２による欠陥検査結果と、前記ウェハ１に対する電気特性の不良箇所の測定結果とを解析して重ね合わせて前記不良箇所に対するマーキングデータ及び／又はインクレスデータを出力するデータ解析装置６３とを有している。 （もっと読む）

【課題】検査対象となる半導体ウェハに対し、同一の光軸上において、表裏両面の外観検査を簡単且つ的確に行う。
【解決手段】対物レンズ２０−１による半導体ウェハ１の表面１Ａの観察点と、対物レンズ２０−２による裏面１Ｂの観察点とは、同一の光軸上に位置出しされており、その表面１Ａの画像と裏面１Ｂの画像とが画像処理装置４０により合成されたモニタ画像４１を観察することで、同時に半導体ウェハ１の表裏を簡単且つ精度良く観察することができる。更に、半導体ウェハ１における表面１Ａの異常、及び裏面１Ｂの異常、それぞれが確認されたダイ１ａに対して、それらのダイ１ａ上にマーキング装置３０によりインクをマーキングすることができる。この時、マーキング装置３０のマーキング位置は、同一の光軸上になるようにアライメントされている。 （もっと読む）

【課題】
薄鋼板等の被検査材表面に、表面または内部の疵位置をマーキングするにあたり、迅速かつ連続にマーカーペンの交換またはインクの補充ができる欠陥部マーキング方法および装置を提供することを課題とする。
【解決手段】疵検出部からの疵位置情報をトラッキングし、疵がマーキング位置に到達した段階で対に有するマーキングヘッドの一方にて被検査材にマーキングを行うとともに、マーキング状態を認識しマーキングヘッドの交換が必要な場合には、他方のマーキングヘッドに交換する。 （もっと読む）

【課題】前記ウェブにおける欠陥マーキングを附した部分および前記欠陥マーキングが転写した可能性のある部分も製品から排除できるウェブ加工ラインを提供する。
【解決手段】ウェブ送出部２と、カッタ１０と、平版印刷原版ウェブＷ上の欠陥マーキングＭを検出するＣＣＤカメラ６と、前記カッタ１０で平版印刷原版ウェブＷを切断した平版印刷原版Ｐを良品と不良品とに仕分けるＮＧゲート１８と、トラッキング制御コンピュータ３２を備え、ＣＣＤカメラ６が欠陥マーキングＭを検出したときは、トラッキング制御コンピュータ３２は、コイル２００の１周分だけ欠陥マーキングＭよりも送出方向に沿って上流側にも仮想欠陥マーキングｍが付されているものと仮想し、平版印刷原版ウェブＷの欠陥マーキングＭおよび仮想欠陥マーキングｍが附された部分を含む平版印刷原版Ｐを不良品として排除するウェブ加工ライン。 （もっと読む）

【課題】豆粒の良否判定の全ての項目に対して、自動的に、かつ確実に良否判定する。
【解決手段】従来の濃度値のレベル判定では、判別できなかった「裂皮」と「へそ」とを明確に判別するため、濃度値のレベル判定に加え、濃度差に応じた山の数、並びに隣り合う山の幅の比に基づいて、「へそ」を特定するようにした。このため、「へそ」であるのに「裂皮」と誤判別することを回避することができる。判別効率、かつ判別精度を向上することができる。 （もっと読む）

本方法は、欠陥のある部品あるいはアセンブリを製造中にマーキングするための、磁気インクの使用に関する。これによって、欠陥が製品内に伏在する、あるいは隠れている場合であっても、製造後の製品で欠陥のある部品あるいはアセンブリを検出させることが可能である。 （もっと読む）

【課題】２波長方式で多層構造の被検体の内部を正確に測定できる表面検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】 短波長と長波長の波長を出射する光源部から光束を被検体の被検面に対して所定の入射角で同時又は択一的に入射させ、光源部からの光束の種類、及び第１光強度検出部からの出力に基づき、射出される少なくとも長波長の光束の強度を調整し、短波長の光束を照射した際の第１光強度検出部の出力と、長波長の光束を照射した際の第１光強度検出部の出力とを比較し、長波長の光束を照射した際の第１光強度検出部の出力にのみ現れる信号を、内部対象物からの検出信号と判別し、かつ、長波長の光束の強度を調整し、その内部対象物からの検出信号が消失する付近の消失レベルを求め、消失レベルよりも高いレベルに、長波長の光束の第１強度を設定し、第１強度の長波長の光束により得られる第１光強度検出部の出力に基づき、被検体内部の対象物を測定する。 （もっと読む）

【課題】搬送対象物の不具合箇所を修整者に簡単に指示することを可能とする検査システム、搬送対象物の不具合・修整履歴を管理可能な不具合記録システムを提供すること。
【解決手段】本発明では、搬送対象物の特定箇所を指示する指示部と、搬送対象物の撮像データを出力する撮像部とが検査エリアに載置される。撮像データに基づき搬送対象物の外観を表示する表示部を設ける。搬送対象物の不具合箇所が修整者により修整される修整エリアにおいて、不具合修整者の発声音声を受信し、取得する音声取得部とを載置し、さらに、指示部により指示された搬送対象物の特定箇所の位置情報を取得し、この位置情報に基づき搬送対象物の特定箇所を含む外観を撮像するように、撮像部の撮像位置を制御する。撮像部により出力された撮像データは、取得音声とを対応づけて記録する。 （もっと読む）

【課題】正確な検査を短時間で行うことができる検査装置及び検査方法ならびにパターン基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様にかかる検査装置は、フォトマスク３３を透過した透過光とフォトマスク３３で反射した反射光とを用いて検査を行う検査装置１であって、レンズ３２の視野６０の一部である同時照明領域６２を、フォトマスク３３のレンズ３２側から照明する反射照明光源２１と、同時照明領域６２と同時照明領域６２以外の透過照明領域６１とを照明する透過照明光学系１０と、同時照明領域６２からの透過光と反射光とを、レンズ３２を介して検出する合成像用センサ４４と、透過照明領域６１からの透過光を、レンズ３２を介して検出する透過像用センサ４３とを備えるものである。 （もっと読む）

【課題】光学フィルムの欠陥をマークするマーキングによって、欠陥の位置を容易に特定することができるとともに、そのマーキング自体が誤認であった場合においても、そのマーキング自体が欠陥とならず、マーキングされた光学フィルムが最終製品の品質に悪影響を及ぼすことを回避することができる光学フィルムの欠陥マーキング方法を提供することを目的とする。
【解決手段】光学フィルムの欠陥に対して、可視光外の波長の光にて蛍光するインクを用いてマーキングする光学フィルムの欠陥のマーキング方法。 （もっと読む）

【課題】三次元網目状金属多孔体に付着した異物を連続的に効率よく、容易に、かつ、確実に検出し、その異物の対処が容易にできる装置を提供すると共に、その装置を使用して検査することにより異物付着の無い高品位の金属多孔体を提供することを目的とする。
【解決手段】シート状の三次元網目状の金属多孔体の供給部とこの三次元網目状の金属多孔体の巻取り部とを有し、この間に三次元網目状の金属多孔体をはさみ片面側に発光手段とその反対面にこの透過光を検出する光学検出手段を有する光学検査部を１つもしくは２つ有する三次元網目状の金属多孔体の異物検出装置。光学検査部と三次元網目状の金属多孔体ワーク巻取り部との間に平面部を有し、該平面部に異物検出箇所を明示するマーキング手段を有することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】欠陥位置などを示すために樹脂フィルムに付与したマークを精度良く検出する方法を提供する。
【解決手段】樹脂フィルムに黒色系を除く色で付与したマークを検出する方法であって、マークを付与した樹脂フィルムに光を照射し、その透過画像または反射画像をカラーＣＣＤカメラで撮像し、カラーＣＣＤカメラからのＲＧＢ信号をＨＳＶ表色系で処理し、得られる色相（Ｈ）、彩度（Ｓ）および明度（Ｖ）の範囲が、それぞれ２５６階調で表して、色相（Ｈ）が付与したマークの色に合わせて設定した範囲、彩度（Ｓ）が１００〜２２５の範囲および明度（Ｖ）が２２０〜２５５の範囲を満足する画素に基づいて該マークを検出する。 （もっと読む）

【課題】分析精度を平準化し作業効率を向上させるため、テープ上の異物の出現位置に、必要な情報を自動的に直接マーキングすることができる透明性テープの異物検査システムを提供する。
【解決手段】透明性テープを走行させながら、テープ中の異物を検出し、自動的にマーキングする機能を有するシステムであって、（１）前記透明性テープの走行方向と直行する方向をレーザー光により走査し、受光レーザー光の強度減衰により異物の出現を検出するとともに、異物の幅方向での出現位置情報とサイズ情報を含む検査信号を出力する手段、（２）異物の走行方向での出現位置情報を記録する手段、（３）透明性フィルム上の異物の出現位置に、レーザー光により異物の位置とサイズ情報を表す符号をマーキングする手段、及び（４）前記検査信号及び出現位置情報を処理して、（２）、（３）の手段に伝達し、かつ記憶する手段、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 シート材をカッター装置に供して平判状シートに加工する場合に、重畳されたシート材の内側のシート材に欠陥部指標が付されている場合であっても平判状シートの積層体に形成した状態で視認できる視認指標を、欠陥が生じている平判状シートに対応させてほぼ確実に付することができるシート材加工における欠陥部指示方法及び欠陥部指示装置を提供する。
【解決手段】 抄紙機で紙シートＰに磁気インクを付着させた欠陥部指標を検知する磁性体検出センサー８をカッター装置６に設け、スリッターナイフ９の下流側に視認指標を付与するインクマーカー11を配する。欠陥部指標が検知された場合には、欠陥部指標が付された位置が通過する際にインクマーカー11により視認指標を付する。平判紙に加工されて積層された平判状シートの積層体の側面にインクマーカー11が付された部分の平判紙を作業者が除去する。 （もっと読む）