【課題】計測対象物が載置されるステージ上のホコリ、キズ等の異物による計測への影響を効率良く軽減して計測対象物を正確に計測することができる画像計測装置及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】撮像素子にて結像して得られた画像を表示する表示手段３３２と、画像データを取得する所定のタイミングの設定を受け付けるタイミング設定受付手段３３６と、ステージ上に計測対象物が載置されていない非載置状態で得られた前記画像の画像データに基づいて計測対象物以外の異物の位置情報を検出する第一の検出手段３３３と、非載置状態又はステージ上に計測対象物が載置された載置状態で、所定のタイミングにて取得した画像の画像データに基づいて異物の位置情報を検出する第二の検出手段３３４と、第一の検出手段３３３又は第二の検出手段３３４の選択を受け付ける選択受付手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】フロントガラス等の透光部材に異物が付着したことを検出する異物検出装置において、異物の付着状態を検出できるようにする。
【解決手段】異物検出システムにおいては、異物検出処理にて、カメラ１１による撮像画像を取得し（Ｓ１１０）、この撮像画像中において相対的に輝度の低い部位である異物領域を抽出する（Ｓ１２０）。さらに、異物領域に関する物理量を検出する（Ｓ１３０）。そして、物理量の検出結果に基づいて、異物の付着状態を判定する（Ｓ１５０）。そして、異物が検出された場合に、異物を除去する機能を有する手段を作動させる（Ｓ１６０）。従って、撮像画像中の異物領域に関する物理量を検出するので、この物理量に基づいて異物の付着状態を判定することができる。 （もっと読む）

【課題】被検査物体の６面が隙問なく整列配置され、電子カメラによる撮影面の広がりを最低限度に抑制した、小型コンパクトな多面外観検査装置を提供する。
【解決手段】透明体は観察平面部から入光した光源からの照明光を直交反射して、不透明体である被検査物体の上下左右の周面を照明する４個の斜面と、照明光を２度にわたって直交反射して被検査物体の背面を照明する対向斜面を備え、収納凹部の底面寸法と深さ寸法は被検査物体の外のり寸法が最大である場合の背面寸法と高さ寸法に相当し、少なくとも被検査物体の複数面は収納凹部の内壁に接触するようにして投入され、電子カメラは観察平面部に整列投影された被検査物体の複数面の外観を撮影し、画像処理装置によって被検査物体に外観上の特異性があるかどうかが判定される。 （もっと読む）

【課題】欠陥検出を高精度で行うことができる光透過性フィルムＡの欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】光透過性フィルムＡの欠陥検出装置は、搬送手段５、撮像部１、観察用補助部材２、液体充填手段７、及び液体除去手段８を備える。搬送手段５は検査対象である光透過性フィルムＡを搬送する。撮像部１は光透過性フィルムＡの一面Ａ１（表面）側からこの光透過性フィルムＡの外観を撮像する。観察用補助部材２は撮像部１で撮像される光透過性フィルムＡの他面Ａ２（裏面）側に配される。液体充填手段７は光透過性フィルムＡの他面Ａ２と観察用補助部材２との間に液体４を介在させることでこの光透過性フィルムＡと観察用補助部材２とを密着させる。液体除去手段８は撮像後の前記光透過性フィルムＡに付着している液体４を光透過性フィルムＡから除去する。 （もっと読む）

【課題】 一般に入手が容易である１台の二次元カメラと１台の照明と稼動ステージと画像処理装置という通常の表面検査装置の構成で、欠陥が凸であるか否かの判定を可能とし、短時間で検査処理が実現できる表面検査装置を提供すること。
【解決手段】 検査物を載置するステージと、一の照明、光学系、平面画像を取得する一の画像取得部、からなる撮像装置と、前記ステージと前記撮像装置とを相対的に移動させる移動制御部と、画像記憶部と、欠陥検出部と、前記欠陥検出部で欠陥が検出された画像を第１の画像とし、当該第１の画像を取得した時の前記ステージと前記撮像装置との位置関係と異なる位置関係で当該第１の画像と同一の欠陥が含まれる第２の画像を取得し、当該第１の画像と第２の画像の位置合せを行う画像位置合せ部と、位置合せがされた第１の画像と第２の画像を比較し、欠陥が凸状態であるか否かを判定する凸判定部とを有する。 （もっと読む）

【課題】圧着処理されたシール部を有する液体または気体を封入する袋状の包装容器の材質、形状、色にとらわれる事無く、内容物の漏れなどにつながるようなシール不良をシール幅を検査することによって行い、シール強度を保障する検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】圧着処理されたシール部を有する袋状の包装容器を移動させる移動手段とガイド手段と、光照射手段と、撮像手段と、画像データを処理する画像処理手段と、シール部の寸法データを表示する表示手段と、シール部の寸法を測定するする手段と、該測定結果をシール部の基準寸法とし、さらに、シール部の寸法から測定した結果を検査寸法として、前記基準寸法と検査寸法を比較することによって、シール部の良否を判定する手段と、該判定結果を上記表示手段に表示することを特徴とする検査方法及び装置 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハのチップ無効領域における自動外観検査を確実にし、プローブ検査時にチップ無効領域に付着した異物によりプローブ装置における探針が破損するのを防止することのできる外観検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハ（Ｋ）の外周付近に形成されたチップ無効領域（ＨＲ）の外観検査を自動的に行う自動外観検査装置（１）であって、チップ無効領域（ＨＲ）を撮像するための撮像光学系（５）と、撮像光学系（５）の光軸（Ｊ１）に対して所定角度（φ１，φ２）傾いた方向からチップ無効領域（ＨＲ）に向けて暗視野照明を行う暗視野照明手段（８）と、暗視野照明手段（８）により暗視野照明された状態で撮像光学系（５）によりチップ無効領域（ＨＲ）を撮像したときに得られる散乱光（Ｌ１’，Ｌ２’）の画像に基づいてチップ無効領域（ＨＲ）における異物（ＩＢ）の有無を判定する判定手段（９Ｂ）とを備える。 （もっと読む）

【課題】適切に食品からなる検査対象物から異常部分を除去する。
【解決手段】本発明の食品検査システムは、第１のベルトコンベア５と第２のベルトコンベア７とを備える。第２のベルトコンベア７は、第１のベルトコンベア５の終端側に配置されている。また、検査装置を備え、第２のベルトコンベア７より上流に位置する検査対象物を検査する。更に制御手段を備え、検査装置から入力する検査結果を示す信号に応じて、正常部分が、第１のベルトコンベア５の終端部５ｂから第２のベルトコンベア７の始端部７ａへ運搬され、異常部分が、第１のベルトコンベア５の終端部５ｂと第２のベルトコンベア７の始端部７ａとの間から落下して製造ラインから除去されるように、第１のベルトコンベア５の終端部５ｂと第２のベルトコンベア７の始端部７ａとの相対的な位置を制御する。 （もっと読む）

【課題】移動式処理機により生成される処理物の品質向上に寄与することができる移動式検査機を提供する。
【解決手段】被処理物の発生現場にて移動式処理機の被処理物又は処理物を検査する移動式検査機であって、下部車体上に設けた動力装置及びホッパと、ホッパの下方位置から延在するコンベヤ４０と、ホッパに受け入れた被検査物の検査データを検出する検出部５００と、検出部５００よりも下流側の位置で被検査物をコンベヤ４０上から除去する選別装置６０と、検出部５００で検出された検査データを基に算出された被検査物の特徴量を記憶部５９２から読み出した設定値と比較し、コンベヤ４０上の被検査物の品質の良否を判定する判定部５６４と、判定部５６４から入力された品質不良の被検査物の情報を基に選別装置６０を制御する選別装置コントローラ５８０とを備える。 （もっと読む）

【課題】欠陥を正確に検出し、かつ検査時間の増大を防ぐことが可能な太陽電池セルの外観検査装置を提供する。
【解決手段】太陽電池セルの外観検査装置１０１は、太陽電池セルの電極が形成された基板Ｂを複数の位置に移動する搬送部４と、一列に配列された画素を含み、複数の位置における基板Ｂをそれぞれ撮影する撮影部１と、発光素子１１と、発光素子１１が照射した光を基板Ｂにおける撮影部１の撮影領域に集光する集光レンズ１２と、撮影部１によって撮影された複数の位置における基板Ｂの画像に基づいて太陽電池セルの電極における金属突起を検出する画像処理部３とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、試料、特に食品の製造、検査の過程で、食品に混入した異物を高速かつ高精度に検出することができる異物検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】上記課題を解決するために、連続的に試料を移送する搬送手段と、ストロボ光源と、該ストロボ光源からの光を反射して試料の表面や裏面を間接的に照射する反射板と、ストロボ光源の発光と同期して試料を撮影する撮影手段とを備え、上記撮影手段は、試料からの反射光の波長帯域を少なくとも２つ以上に分けて撮影するものであり、それぞれの画像または差分画像から組み合わせて画像を生成し、異物を強調するようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】
繰り返しパターンと非繰り返しパターンとが混在する被検査対象基板に対して、
微小な異物または欠陥を高速で、しかも高精度に検査できる欠陥検査装置を実現する。
【解決手段】
異物付着防止手段１８０は、透明基板１８７が枠１８５を介して載置台３４の上に設置される。異物付着防止手段１８０はベース１８６上に固定された２本の支柱１８４に回転可能に支持されたシャフト１８１がカップリング１８３でモータ１８２に連結されている。そして、２本に支柱１８４の間で、枠１８５の一部にシャフト１８１が挿入され、枠１８５及び透明基板１８７がシャフト１８１を中心として回動できるように構成されている。つまり、枠１８５全体がシャフト１８１を軸としてＺ方向に開閉する構造になっており、枠１８５及び透明基板１８７により、載置台３４上のウェハ１を覆うことができる。 （もっと読む）

【課題】 簡素な構成にしたがって、基板の異物の検出および異物の種類の判別を迅速に行うことのできる検出判別装置。
【解決手段】 基板（５０）の異物を検出し且つ該異物の種類を判別する検出判別装置。基板の異物を検出して該異物の位置情報および画像情報を得る検出系（１，２，４１）と、検出系により検出された異物にレーザー光を照射する照射系（３１，３２，３３，４１）と、検出系で得られたレーザー光照射前の異物の領域の画像情報とレーザー光照射後の対応領域の画像情報とに基づいて異物の種類を判別する判別部（４１，４２）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】表示に影響するような欠陥及びムラや製品製造での不具合につながる様な欠陥を容易に判別し、良好な光透過性周期性パターン試料検査装置を提供する。
【解決手段】光透過性を有する周期性パターン試料検査装置であって、前記周期性パターン試料をステージ上に載置しＸ平面上を移動させる試料移動手段と、光照射手段と、前記周期性パターン試料からの透過光又は反射光を撮像し、複数のセンサ素子を二次元方向に配列してなる二次元センサアレイを具備した撮像手段と、前記撮像手段と前記周期性パターン試料との間の距離を測定する為の距離測定手段と、前記距離測定手段により得られた距離を基に撮像手段の焦点位置へ撮像手段を移動させるＺ方向移動手段と、画素データを処理する画像処理手段と、前記画像処理手段で処理された結果を表示する表示手段と、を有することを特徴とする周期性パターン試料検査装置である。 （もっと読む）

【課題】パレットの平板の被検査部の外観態様によらず、その破損の有無を検知することができるようにする。
【解決手段】パレット検査装置２００は、検査対象であるパレット１０を支持するパレット支持部２２１，２２２と、パレット支持部２２１，２２２に支持されたパレット１０の平板１１の被検査部に対し、その幅方向両側の斜め方向から検査光を照射するように設けられた一対の光源２２８と、一対の光源２２８から検査光が照射された平板１１の被検査部の画像を取得する画像取得部２２９と、を備える。一対の光源２２８は、画像取得部２２９で外観態様が消去された平板１１の被検査部の画像が取得される検査光を出射するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】高精度なウエハステージの移動制御を行う。
【解決手段】ウエハステージの位置を計測するために用いられるスケール３９Ｙ₂に対して検出装置ＰＤＹ₁の照射系６９Ａからの検出ビームを照射し、スケール３９Ｙ₂を介した検出ビームを受光系６９Ｂで検出することにより、スケールの表面状態（異物の存在状態）を検出する。これにより、スケールに対して非接触で表面状態の検出を行うことができる。さらに、この表面状態を考慮することで、ウエハステージの移動制御を高精度に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】機能性材料層の平坦性を正確かつ容易に判定できる有機ＥＬ表示装置の中間製品検査装置を提供する。
【解決手段】透明基板上に形成された透明電極層と、透明電極層の上にパターン配列された隔壁及び透明機能層を有する有機エレクトロルミネッセンス（有機ＥＬ）表示装置の中間製品の検査装置であって、中間製品を載置しＸＹ平面上を移動させる試料移動手段と、中間製品の透明機能層側へ可視光を照射する光照射手段と、光照射手段からの可視光を撮像領域全体に均一に照明するための撮像用照明光学系と、中間製品からの反射光を撮像する撮像手段と、撮像手段と中間製品との距離を測定する距離測定手段と、距離測定手段により得られた距離の値をもとに焦点位置へ撮像手段を移動させるＺ方向移動手段と、撮像された画像データを処理する画像処理手段とを有することを特徴とする有機ＥＬ表示装置の中間製品検査装置。 （もっと読む）

【課題】 軸受に簡単かつコンパクトに搭載できて、軸受内部の潤滑剤劣化状態を安定的にかつ精度良く検出できる潤滑剤劣化検出装置を提供する。
【解決手段】 この潤滑剤劣化検出装置は、円弧状の光ファイバ４の両端にそれぞれ発光素子および受光素子を対向して設け、この円弧状の光ファイバ４の一部に潤滑剤５を介在させる測定用ギャップ部７を設ける。この測定用ギャップ部７にエアーを吹きかけるエアー吹きかけ装置１５を設けて、測定用ギャップ部７の潤滑剤５を順次入れ換える。 （もっと読む）

【課題】外部からのパーティクルの浸入、駆動部からのパーティクルの巻込みを防止し、表面検査部の雰囲気を清浄に維持し、基板の汚染を防止、更に検査の信頼性を向上させる。
【解決手段】光照射による表面検査部１と、基板回転用モータ４を含む駆動部と、表面検査部及び駆動部用の制御部１３と、表面検査部、駆動部、表面検査装置の駆動関連部３０と、表面検査部、駆動部、制御部、駆動関連部を収納する筐体１５を具備し、筐体は仕切板２５で表面検査部収納空間２６と格納部２８とに仕切り、表面検査部収納空間に表面検査部を収納し、格納部に駆動部、制御部、駆動関連部を収納し、天板１７にクリーンユニット３５を設け、仕切板に検査部ファン３６を設け、クリーンユニットは表面検査部収納空間にクリーンエアの下降流を送出し、検査部ファンは表面検査部収納空間の雰囲気を吸引して格納部に吐出し、表面検査部収納空間にクリーンエアの下降一様流を形成する。 （もっと読む）

【課題】骨材とそれ以外の異物の、それぞれの可視光域と近赤外光域の輝度を算出し、それぞれの輝度増加率または輝度差を比較することによって骨材以外の異物を検出除去する異物除去装置を提供する。
【解決手段】本発明は、少なくとも、搬送される被選別材料を照明する照明手段と、照明された被選別材料を撮影する撮影手段と、撮影された画像を基に被選別材料中の骨材と異物のそれぞれの可視光域輝度と近赤外光域輝度との輝度増加率または輝度差を計算する画像処理手段と、該輝度増加率または輝度差が基準値以上になった場合に異物の除去信号を出す検出手段と、該除去信号に従って輝度増加率または輝度差が基準値以上となった異物を除去する除去手段とから構成されることを特徴とする異物除去装置である。 （もっと読む）