【課題】三次元網目状金属多孔体に付着した異物を連続的に効率よく、容易に、かつ、確実に検出し、その異物の対処が容易にできる装置を提供すると共に、その装置を使用して検査することにより異物付着の無い高品位の金属多孔体を提供することを目的とする。
【解決手段】シート状の三次元網目状の金属多孔体の供給部とこの三次元網目状の金属多孔体の巻取り部とを有し、この間に三次元網目状の金属多孔体をはさみ片面側に発光手段とその反対面にこの透過光を検出する光学検出手段を有する光学検査部を１つもしくは２つ有する三次元網目状の金属多孔体の異物検出装置。光学検査部と三次元網目状の金属多孔体ワーク巻取り部との間に平面部を有し、該平面部に異物検出箇所を明示するマーキング手段を有することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】容器内に存在しうる気泡や水滴を積極的に除去することによって、容器に液体類内容物を充填した後、直ちに容器やその内容物の欠陥を検査する工程に移行することができる効率のよい製品検査方法及び装置を提供すること。
【解決手段】光透過性を有する容器に液体類内容物が充填されている製品を検査するに当たり、製品が供給される回転機を回転させて、その回転に伴う遠心力により、容器内に存在しうる気泡や水滴等を除去するステップ、製品を光照射等により撮影するステップ、撮像情報を解析して製品の良否を判断するステップとを有して、気泡や水滴等による製品検査の錯誤を防止する。 （もっと読む）

【課題】錠剤を搬送して検査する搬送用ベルトに付着した錠剤の余剰粉を効率的に排除し、長時間運転が可能な着粉除去装置及び錠剤検査装置を提供する。
【解決手段】錠剤を搬送して不良錠剤を検査する搬送用ベルト１２、２２の搬送面と搬送面に錠剤を吸引するための吸引孔を設けた吸引溝とが設けられ、搬送用ベルト１２、２２の吸引溝に付着した錠剤の余剰粉を除去する着粉除去装置１０であり、圧縮空気を供給する圧縮空気供給手段と、吸引溝に堆積した余剰粉を除去するための圧縮空気供給手段により圧縮空気を噴射する噴射ノズルと、吸引溝を撮影して得られる画像信号に基づいて吸引溝に付着する余剰粉を検出する検査カメラ１１、２１と、検査カメラ１１、２１による余剰粉の検出によって、圧縮空気供給手段を制御して圧縮空気を噴射ノズルから噴射するベルト清掃制御装置３０、４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】欠陥ログを確実に検出する。
【解決手段】巻取り機の前段にあるバキュームロール上を走行する原紙に対して高周波照明を照射するとともに、その照射部分の所定位置を幅方向に沿って線状に高速度カメラで連続撮影し、この撮影された線状の原紙画像を画像処理装置に取り込むとともに撮影順に順次連続的に合成して原紙画像を形成し、この合成された原紙画像に基づいて欠陥を検出する欠陥ログの検出方法により解決する。 （もっと読む）

【課題】基板上に付着した異物をより確実に除去し、基板の欠陥を正確かつ迅速に特定することができる検査装置を提供する。
【解決手段】本発明にかかる検査装置は、検査対象となる被検査基板１を載置する基板ステージ２と、基板ステージ２と所定間隔を隔てて配置され被検査基板１の欠陥を検出する検出部３と、被検査基板１上にエアーを噴出するエアー噴出手段６と、エアー噴出手段６から噴出されたエアーの拡散を防止する整流板７とを有する。 （もっと読む）

【課題】装置内の清浄度を高めた基板検査装置においてランプ光源の交換を容易にする。
【解決手段】基板検査装置１は、マクロ照明装置４０で基板Ｗの外観検査が可能に構成されている。マクロ照明装置４０は、高清浄部３内でミクロ検査部１５の上方に光源装置９０を有する。光源装置９０は、前壁扉９３から内部のランプを交換可能に構成されている。光源装置９０は、基板を扱う領域よりも清浄度が相対的に低い第一の領域８１に配置されているので、光源装置９０のランプ交換を行っても基板を扱う領域の清浄度が下がることはない。 （もっと読む）

【課題】個々の基板の様態や検査者の個人的な差異に対応可能な処理レシピを備える外観検査装置を提供する。
【解決手段】薄板状の基板に光を照射する照明部と、基板を保持した状態で揺動可能とされた基板支持部とを備える外観検査装置において、基板を外観検査装置で検査する事前に、他の検査装置によって取得された基板の検査データを取得し（Ｓ４０６）、検査データを予め作成したテーブルに入れることによって検査者が目視観察しやすい検査条件を自動で算出して（Ｓ４０８）処理レシピを作成する（Ｓ４０９）処理レシピ作成手段を備えるとともに、処理レシピ作成手段によって作成された処理レシピに従い外観検査装置を動作させる（Ｓ４１１）実行手段を備える。 （もっと読む）

【課題】ボトルの周囲が所望の円形形状であるかどうかを検出するための、安価で簡便なボトル検査装置を提供する。
【解決手段】ボトル１４が検査位置においてロータ１５により軸Ｂ−Ｂを中心として回転され、レーザ・ソース１６は、該ボトル１４の軸に向かってレーザ・ビームを照射して、検査ボトルの表面にビーム・スポットを形成する。カメラ２０は、レーザ・ビームに対して所定の角度で、検査ボトルの表面のビーム・スポットを撮像し、コントローラ２２は、該得られた画像情報に基づいて、ビーム・スポットの変動距離を検出し、該変動距離が所定の閾値を越えた場合に、ボトルを排除するためのボトル排除信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】断面円形で周面が螺旋状に研磨などされた被検査材における各種の表面疵を確実に検出できる探傷方法、およびこれに用いる探傷装置を提供する。
【解決手段】断面円形で表面（周面）が螺旋状に研磨または研削された被検査材Ｗの探傷方法であって、係る被検査材Ｗの検査ラインＬにおいて、法超音波探傷法、渦流探傷法、および光学式撮像手段を用いる表面疵探傷を連続して行う、探傷方法。また、上記被検査材Ｗの検査ラインＬに沿って隣接して配置した、超音波探傷装置２、渦流探傷装置１０、およびＣＣＤカメラ（光学式撮像手段）２２を用いる表面疵探傷装置２０と、係る３つの探傷装置２，１０，２０と接続されたシーケンサ（信号処理手段）３０と、を含む、探傷装置１も含まれる。 （もっと読む）

【課題】構成簡単且つ安価にしてタービンケーシング締付け用ボルトに設けられたボルトヒート穴の内面全域を容易に浸透探傷検査を行うことにある。
【解決手段】洗浄処理治具をボルトヒータ穴に挿入し、ウエスによりボルトヒータ穴内面の付着物等の汚れを除去し、この洗浄処理による洗浄処理後、浸透処理治具をボルトヒータ穴に挿入し、浸透液が塗布されたスポンジによりボルトヒータ穴の内面に浸透液を一様に浸透させ、所定時間経過し洗浄処理を行うと、現像処理治具をボルトヒータ穴に挿入し、現像液をヘッドに有する噴射口からボルトヒータ穴の内面に向けて噴射してボルトヒータ穴の内面を現像し、この現像処理による現像処理後、所定の時間経過するとパイプの先端に可視用ヘッドを取付けた目視検査器具をボルトヒータ穴に挿入し、可視用ヘッドに結合される光導管を通してボルトヒータ穴の内面を目視検査する。 （もっと読む）

【課題】清掃作業の作業性を向上させることができるとともに、色に関係なく糸条の異常状態を検知することができる糸条の異常検知装置を提供すること。
【解決手段】走行する糸条Ｙ異常を光学的に検知する異常検知装置において、この異常検知回路は、糸条Ｙに光を照射する発光器３１と、走行する糸条をＹ挟んで発光器３１に対向する位置に設けられた反射棒３３と、反射棒３３に隣接するとともに、反射棒３３に対向して設けられ、糸条Ｙおよび反射棒３３から反射された光を受光し、この反射光を電気信号に変換する受光器３２と、受光器３２から出力される電気信号が入力され、この電気信号の変化状態に基づいて糸条Ｙの有無を検知する増幅回路３５、監視タイマー回路３６および出力手段３７からなる制御手段を有する。 （もっと読む）

【課題】洗浄処理により欠陥が除去されたか否かの判定を高精度且つ効率よく行うことができるフォトマスクの検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】１回目のフォトマスク１１０の検査において欠陥が検出されると欠陥の位置が欠陥情報記憶部１１７に記憶される。１枚分のフォトマスクの検査が終了すると、欠陥情報は検査結果記録部１２１に記録される。欠陥除去処理（洗浄処理等）を実施した後、２回目の検査を行う。この２回目の検査では、検査結果記録部１２１から１回目の検査結果を読み出し、１回目の検査で欠陥が検出された部分及びその周囲の領域に対応する領域の画像を受光素子１１４で取得する。欠陥検査部１１６は、受光素子１１４で取得した画像（画像データ）と、画像データ記憶部１１５に記憶された基準となる画像データとを比較して欠陥の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】電極表面の状態のばらつきの影響を排除して、安定して正しい検査結果を得ることができる接着テープ貼付検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】基板３にコネクタを接続するために接続部３ｂに貼り付けられる接着テープ５の貼付状態の検査において、接続部３ｂを撮像して得られた検査視野内の画像において、正常に貼付けられた接着テープ５が横切るべき電極４ｂにおいて、接着テープ５の貼付範囲外に対応する位置および貼付範囲内に対応する位置にそれぞれ第１検査エリアＡ１、第２検査エリアＡ２を設定し、これらの検査エリアについて個別に輝度データを求め、これらの輝度データを比較して接着テープ５の有無を判断する。これにより、電極表面の状態のばらつきの影響を排除して、安定して正しい検査結果を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 比較的単純な情報処理によってシート状物の全面を漏れなく欠陥検査しながらシート状物の有害な異物や欠陥と、付着異物とを確度高く弁別するシート状物の検査方法および装置を提供する。
【解決手段】 透明体シート状物のフィード方向上流側に設置した第１検査装置と、該検査装置の下流側の位置に付着異物除去装置を具備し、更に該付着異物除去装置の下流側に第２検査装置を具備し、第１検査装置と第２検査装置との異物欠陥の検出データを比較照合することにより、有害な異物や欠陥と、シート状物表面に付着した異物とを弁別する異物欠陥の検査システム。 （もっと読む）

【課題】設置スペースが少なくて済み、光源とスクリーン間から反射ミラーを省け、しかも表示欠陥（点欠陥・線欠陥・シミムラ欠陥等）を自動検出可能な電気光学装置の検査装置及び検査方法を提供することである。
【解決手段】電気光学パネル１００に表示した検査画像を投影面に投影する電気光学装置の検査装置１であって、水平に置かれた電気光学パネル１００に検査光を透過または反射させて鉛直方向に投影面１７に投射する検査光路を構成する検査光学系５と、電気光学パネル１００を所定の検査パターンで駆動した際の投影面１７上の輝度分布を撮像する撮影カメラ６と、撮影カメラ６のレンズ表面に付着する異物を吹き飛ばすエアーブロー６１、及び吹き飛ばされた異物を吸引する吸引部６２と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】 車両が停車状態であるときに、車両の窓ガラスに付着した異物を除去することができる車両の窓ガラスの異物除去装置を提供する。
【解決手段】 ＩＧスイッチ検出センサ２からの検出信号に基づいて、マイコン１０が停車状態であると判断し、かつ撮像部３および撮像画像処理部４ならびに温度センサ５および温度画像処理部６によって得られる撮像画像データおよび温度画像データに基づいて異物を検出し、異物の大きさがしきい値以上であり、異物が除去する必要である位置にあれば、マイコン１０がワイパ制御部１２を制御し、ノズル部駆動モータ１４を駆動させてノズル部２４を異物の位置に向けて、ウォッシャ液噴出ポンプによってウォッシャ液を噴出させて、ワイパ駆動モータ１５を駆動してフロントガラス２２を払拭させる。これによって、車両が停車状態であっても、車両の窓ガラスに付着した異物を除去することができる。 （もっと読む）

【課題】巻締め上端のリング像を用いる缶の巻締め不良検査について、巻締め部の付着水滴などがもたらすノイズを画像処理的に除去して,不良の見逃しを防止する。
【解決手段】撮像手段にて缶の端面を撮像してリング幅を適宜な間隔で計測し、リング幅データ及び幅差データに所定のリング幅閾値及びリング幅差閾値よりも大きいものがあった場合に当該缶を巻締め不良と判定するようになっている巻締め不良検査方法について、巻締め部に付着した水滴などによるリング幅に関するノイズを除去するノイズ除去処理を含ませるようにし、そのノイズ除去処理では、一定以上に広いリング幅を有する部分について幅の変化状態を判定し、所定以上に急峻に幅が変化している部分をノイズとして除去するようにしている。また、ノイズ除去状態を検証することにより、不良見逃しを防止できるようにしている。 （もっと読む）

【課題】表面欠陥の形状、サイズ（面積）、深さ等の種類を判別することができる表面検査方法を提供する。
【解決手段】 検査対象領域の各部に対して、表面欠陥がなければ照明光の反射光がカメラに検出される明領域となる光学条件と、反射光が検出されない暗領域となる光学条件を含む、複数種類の光学条件下で表面欠陥の検出を行い、各光学条件下における欠陥検出の有無の組合せパターンに基づいて、検出された表面欠陥の種類を判定する。 （もっと読む）

【課題】欠陥を深さを評価して、不良として扱う必要のない欠陥を判別し、収率の低下を防止することができる表面検査方法を提供する。
【解決手段】検査対象領域の各部に対して、照明光の入射角度が異なる複数の光学条件下で表面欠陥の検出を行い、鋭い欠陥が検出されやすい検出態様である周囲より暗い黒欠陥としての検出回数や、なだらかな欠陥が検出されやすい検出態様である周囲より明るい白欠陥としての検出回数に基づいて欠陥深さを評価する。 （もっと読む）

【課題】 異物吸引動作時に他の吸引ノズルから圧縮空気が逆流して正常な部分の粉粒体を吹き飛ばすようなことがなく、しかも小さな吸引力で確実に異物を吸引することができる吸引効率に優れた粉粒体検査装置を提供すること。
【解決手段】 ベルトコンベア４に載せて送られてくる粉粒体ｐ中の異物ｍを吸引するための吸込穴７０３を備えたノズル部７０１と、ジェットノズル７０６から圧縮空気を噴出することにより前記吸込穴７０３から異物を吸引するための負圧を発生するエジェクタ部７０２とからなるエジェクタ式異物吸引機構７_１〜７_６を用い、該吸引機構をベルトコンベア４の回転方向終端に位置してベルトコンベアの幅方向に複数個並設するとともに、これら複数個の吸引機構の圧縮空気排出口７０８側に位置して異物回収部８を設置し、各吸引機構の圧縮空気排出口の端面には異物回収部内からの空気の逆流を阻止するリード弁７０９を設けた。 （もっと読む）