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Fターム[2G051DA17]の内容

光学的手段による材料の調査の特殊な応用 (70,229) | 被検体のハンドリング、駆動制御 (5,089) | 被検体上のゴミの排除(例;吸引) (94)

Fターム[2G051DA17]に分類される特許

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【課題】細穴であっても、穴壁面の付着物を容易に除去することが可能な穴検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】先端に広角レンズ15を備えた挿入シャフト11を穴へ挿入させて、広角レンズ15を通じた画像に基づいて穴壁面を検査する際、挿入シャフト11の外周面に沿って穴の奥に向ってガス噴出機構19によりガスを噴出させる。ガス噴出機構19は、挿入シャフト11の先端側の部分を囲繞し、その内周面と挿入シャフト11の外周面との間に挿入シャフト11の長手方向に延びるガス噴出路Rを形成するガイド13と、ガイド13の内部空間にガスを供給するガス供給部14とから構成される。 (もっと読む)


【課題】フラットパネル修復に、検査切断修復結合ツール及び独立体積修復ツールの2種類が必要である
【解決手段】装置は、統合された検査機能と、材料除去機能と、材料堆積機能とを備え、検査動作、材料除去動作、及び材料堆積動作を同じ光軸に沿って実行する。装置は、部分的に、カメラと、一対のレンズと、1つ又は複数のレーザとを備える。第1のレンズは、検査を受けているターゲット基板上に形成される構造上に光軸に沿ってカメラを合焦させるために使用される。第1のレンズは、検査された構造が材料除去を必要としていると識別される場合、構造上にレーザビームを合焦させて、その構造上に存在する材料を除去するためにも使用される。第2のレンズは、検査された構造が材料堆積を必要としていると識別される場合、レーザビームをリボン上に合焦させて、リボンに形成された埋め込みウェルから流動的複合物を構造に転写するために使用される。 (もっと読む)


【課題】清掃用シート等の衛生物品に係るウエブ部材の起毛状態を検査する検査装置などを提供する。
【解決手段】衛生物品に係るウエブ部材の起毛状態の検査装置である。前記ウエブ部材は、少なくとも片面に、該片面から剥がれて起毛可能な部分を所定の配置パターンで離散的に有し、前記起毛可能な部分が剥がれて起毛した際には前記片面上に新たな露出部分を生じる。前記検査装置は、前記片面を撮像して前記片面の平面画像のデータを平面画像データとして生成する撮像処理部と、前記平面画像データに基づいて二値化画像を生成する際に、前記二値化画像において二値のうちの一方の値によって特定される画像に、前記平面画像のうちで前記新たな露出部分が撮像されている領域が含まれるように二値化処理を行う二値化処理部と、前記画像の大きさを示す値に基づいて、前記起毛状態の良否判定を行う良否判定処理部と、を有する。 (もっと読む)


【課題】
繰り返しパターンと非繰り返しパターンとが混在する被検査対象基板に対して、微小な異物または欠陥を高速で、しかも高精度に検査できる欠陥検査装置を実現する。
【解決手段】
異物付着防止手段180は、透明基板187が枠185を介して載置台34の上に設置される。異物付着防止手段180はベース186上に固定された2本の支柱184に回転可能に支持されたシャフト181がカップリング183でモータ182に連結されている。そして、2本に支柱184の間で、枠185の一部にシャフト181が挿入され、枠185及び透明基板187がシャフト181を中心として回動できるように構成されている。つまり、枠185全体がシャフト181を軸としてZ方向に開閉する構造になっており、枠185及び透明基板187により、載置台34上のウェハ1を覆うことができる。 (もっと読む)


【課題】棒鋼等の長手方向に連続的に存在する表面欠陥を精度よく検出する。
【解決手段】本発明の表面検査装置15は、長尺の被検査材2の表面を照明する照明手段16と、被検査材2の表面を撮像する撮像手段17と、撮像手段17により撮像された画像を処理して欠陥を検出する画像処理手段18とを備えた表面検査装置15において、被検査材2の周囲に撮像手段17との挟み角が異なる2台の照明手段16を配置している。照明手段16を交互に点灯させて欠陥を検出すると、欠陥の位置によりいずれかの照明手段16を点灯させて欠陥を追随して検出する。 (もっと読む)


【課題】半導体基板表面の清浄度を正確に確認することのできる半導体基板洗浄装置および洗浄方法を提供する。
【解決手段】半導体基板洗浄装置100は、半導体基板10を洗浄する洗浄部1と、洗浄部1で洗浄された半導体基板10の表面の反射強度を測定する反射式センサ2と、反射式センサ2による反射強度の測定結果に基づき、半導体基板10の洗浄の適否を判定する判定部3とを備えている。 (もっと読む)


【課題】高精度なウエハステージの移動制御を行う。
【解決手段】ウエハステージの位置を計測するために用いられるスケール39Y2に対して検出装置PDY1の照射系69Aからの検出ビームを照射し、スケール39Y2を介した検出ビームを受光系69Bで検出することにより、スケールの表面状態(異物の存在状態)を検出する。これにより、スケールに対して非接触で表面状態の検出を行うことができる。さらに、この表面状態を考慮することで、ウエハステージの移動制御を高精度に行うことができる。 (もっと読む)


【課題】 光学特徴の欠陥を識別でき、かつ検査工程においてパネル表面の異物を除去でき、また検査中のパネルに電力が供給できる光学検査装置を提供すること。
【解決手段】 第1方向に延伸する検査台と、前記第1方向に被検査物のいずれかを載置する少なくとも1つの載置板を投入口から払出口へ搬送するために用いられる搬送ユニットと、前記検査台に設置され、前記第1方向と垂直な第2方向に延伸する第1スキャナとを有する光学検査装置。前記第1スキャナは、少なくとも1つの載置板に載置される少なくとも1つの物品を検査するために用いられ、前記投入口と前記払出口の間に第2方向に延伸する第1検出器を含む。前記第1スキャナと前記投入口の間に前記第1方向と垂直な第2方向に延伸する第1ローラセットを有し、当該第1ローラセットは少なくとも1つの前記物品の表面に力をかけるために用いられる。 (もっと読む)


【課題】仮に試験サンプルが良品側へ混入することがあっても、人への健康被害を起こす可能性が極めて小さい光学式粒状物選別機における試験サンプル及びその製造方法を提供する。
【解決手段】小石粒を不良品試験サンプルとなし、予め整粒された米粒を良品試験サンプルとなして、これら不良品試験サンプルと良品試験サンプルとを所定割合で混合して調製した。小石粒を原料とし、該小石粒を篩機に通して粒径選別するとともに、該粒径選別された小石粒を光学式粒状物選別機に通して光学的に複数群に選別し、さらに、該複数群に選別された小石粒を粒状物品位検査装置に供給して小石粒の特徴づけを行う一方、該特徴づけられた小石粒を拾い集めて不良品試験サンプルを作製し、該不良品試験サンプルを、予め整粒された米粒からなる良品試験サンプルと所定割合で混合し調製した。 (もっと読む)


【課題】加工物の表面欠陥を自動的に検出するとともに、作業者に対して安全な環境を維持しつつ、その表面欠陥の位置を正確かつすばやく明示し、その後の表面欠陥の再加工を円滑に行わせることのできる表面欠陥検出・指示システムおよび表面処理の伴う加工物の製造方法を提供する。
【解決手段】ロボットの動作範囲内に表面処理された加工物を置いて、その加工物の表面をスキャンさせ、表面欠陥があったときには、その欠陥位置を特定する情報を記憶させておき、そのスキャン後に、加工物をロボットの動作範囲外におき、欠陥位置情報をもとに指示器がその表面欠陥の位置を光で照射することのほか、その照射した光が指し示す加工物の表面部位に対して再表面処理を行う。 (もっと読む)


【課題】反射防止フィルムの低コントラストの欠陥でも欠陥抽出を容易にする反射防止フィルム欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】透明なフィルム状の基材に反射防止材料をコーティングして製造される反射防止フィルムの欠陥検査装置であって、少なくとも、前記反射防止フィルムを搬送する搬送手段と、搬送される反射防止フィルムを裏面から押し当て、円周表面に黒色部材を備えた検査ローラと、前記黒色部材に付着した異物を洗浄するローラと、前記検査ローラに押し当てられた反射防止フィルムの表面を照明する手段と、照明された前記反射防止フィルムを撮像して撮像画像を得る撮像手段と、撮像画像を処理して欠陥を抽出する画像処理手段と、欠陥を抽出した場合に製造工程に欠陥検出信号を出力する手段と、を備えたことを特徴とする反射防止フィルム欠陥検査装置。 (もっと読む)


【課題】異物を検出する際に影の発生を抑制して異物検出感度を向上させるとともに、繊維条体の太さムラを良好に検出することができる繊維条体測定装置を提供する。
【解決手段】クリアラは、光源部36と、透過光受光部及び反射光受光部を兼ねる受光部と、拡散部材38と、を備える。光源部36は、走行する紡績糸に対して光を照射する。受光部は、光源部36から照射されて紡績糸を透過した光を受光する。また前記受光部は、光源部36から照射されて紡績糸により反射された光を受光する。拡散部材38は、光源部36と紡績糸との間に配置され、光源部36からの光を拡散させる。そして、拡散部材38は、紡績糸の走行方向に平行な平面内で光を拡散させる度合いに比べて、当該走行方向と直交する平面内で光を拡散させる度合いの方が大きい。 (もっと読む)


【課題】反射防止フィルムの欠陥を観察するに至るまでの段取り工程及び観察後の後始末工程を合理化・簡略化する外観検査方法を提供し、同時に製造した反射防止フィルム全長の外観検査が可能な外観検査装置を提供することを目的とした
【解決手段】フィルム基材2の一方の面に反射防止層4,5,6,7が形成された反射防止フィルム1の他方の面にフィルム基材の屈折率と同等の屈折率を有する部材を貼付し、反射防止層側から観察することを特徴とする反射防止フィルム1の外観検査方法であって、特にフィルム基材2の屈折率と同等の前記部材が、黒色のウレタンゲルであることを特徴とする反射防止フィルム1の外観検査方法である。 (もっと読む)


【課題】凝集性が強い粉体であってもホッパーから塊となることなく定量切出しを行うことができる粉体切出装置及びこれを使用した粉体異物検査装置を提供する。
【解決手段】粉体を貯留し、粉体を帯状に切り出す切出用開口を有するホッパー11と、該ホッパー11の切出用開口に連接して配設された当該切出用開口の長手方向に対向して回転自在に配設された外周面を凝集性が強い粉体を切出し可能な粗面とした切出ローラ12を有する粉体切出機構13と、前記切出ローラ12を一定方向に回転駆動するローラ駆動機構14とを備えている。 (もっと読む)


【課題】低い検査頻度で高精度のパターン検査を実現する。
【解決手段】実施形態によれば、経時的に変化するパターンを検査する方法が提供される。該方法は、同一の検査対象パターンについて任意の時期における輪郭形状を予測する工程と、上記検査対象パターンの要求仕様に応じた閾値を設定する工程と、上記予測された輪郭形状と上記閾値とから上記検査対象パターンが上記要求仕様を満たさなくなる時期を予測する工程と、を備える。上記検査方法は、上記同一の検査対象パターンについて異なる時期に撮像して画像を得る工程と、得られた複数の画像の輪郭をそれぞれ検出する工程と、検出された、異なる撮像時期の輪郭同士でマッチングを実行する工程と、該マッチング後に、対応する輪郭同士の差を求めて差分ベクトルを生成する工程とをさらに備え、上記輪郭形状は、生成された該差分ベクトルと上記撮像時期の間隔とに基づいて予測される。 (もっと読む)


【課題】スループットの低下を低減しつつ、レシピに登録された座標と実際の座標とのずれを自動的に補正する。
【解決手段】基板Wにおけるモデルの検査・測定座標を記憶したレシピに基づいて搬送ステージ13上に載置された基板Wにおけるモデルを検査・測定する基板検査・測定装置10は、搬送ステージ13上に載置された基板Wにおけるモデルの実座標を特定し、特定した実座標をレシピに登録する(ステップS114、S415)。 (もっと読む)


【課題】面照明と液晶パネル、撮像手段及び異物除去手段等の効果的な使用により、レンズに付着した異物を欠陥として判定することを防止しつつ、レンズ自体の欠陥を高精度に検査できると共に、構成簡易にして安価に形成可能なレンズ欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】面照明と、該面照明と検査対象レンズとの間に配置されて透光部と遮光部を所定のパターンに設定可能な液晶パネルと、面照明から照射され液晶パネルを透過した光により検査対象レンズを撮像する撮像手段と、検査対象レンズに所定圧のエアを吹き付けて該レンズに付着した異物を除去可能な異物除去手段と、面照明、液晶パネル、撮像手段及び異物除去手段を制御する制御手段と、を備えることを特徴とする。また、前記制御手段は、異物除去手段の作動前後の撮像データを比較することにより、異物の有無を判定する。 (もっと読む)


【課題】車両のデザイン性を損なうことなくレンズ面の汚れを高精度に検出することができるプロジェクタ型ヘッドランプの汚れ検出装置を提供すること。
【解決手段】ハウジングとその前面開口部を覆うアウタレンズ2によって画成される灯室3内に光源4、リフレクタ5、シャッタ6及びプロジェクタレンズ7を収容して成るプロジェクタ型ヘッドランプ1の前記アウタレンズ2の汚れを検出する汚れ検出装置10を、前記シャッタ6に配置された受光フォトダイオード(受光センサ)11と、該受光フォトダイオード11からの検出信号に基づいて前記アウタレンズ2の汚れを判定するコントローラ(ECU)13を含んで構成する。又、前記コントローラ(ECU)13は、前記アウタレンズ2の汚れを検出すると該アウタレンズ2を洗浄する洗浄装置20の駆動信号を出力する。 (もっと読む)


【課題】検査対象基板上の異物を確実に除去することができる基板検査装置の提供。
【解決手段】基板検査装置1は、マスク116、複数の粘着性粒子が離脱可能に設けられた剥離シート20、および粘着部材22が装着されるマスクホルダ117と、マスクホルダ117に対してマニピュレータ(例えばナノピンセット10)と検出部41とが設けられた検出ヘッド113を相対移動させる移動手段である鉛直方向駆動機構123および水平方向駆動機構124と、制御装置200を備えている。制御装置200は、剥離シート20に設けられた複数の微小吸着粒子のいずれか一つをマニピュレータで保持して離脱させ、微小吸着粒子を保持したマニピュレータを異物の位置へ移動し、異物を粘着性粒子に付着させてマスク116から除去し、異物が付着した微小吸着粒子を粘着部材22に付着させて移送する。 (もっと読む)


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