Fターム[2G051EA00]の内容
光学的手段による材料の調査の特殊な応用 (70,229) | 受光信号処理 (8,240)
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その他 (74)
Fターム[2G051EA00]に分類される特許
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ガラス表面の異物検査装置及びその方法{DETECTIONAPPARATUSFORPARTICLEONTHEGLASSANDDETECTIONMETHODUSINGTHESAME}
【課題】マイクロ回路が蒸着されるガラスの表面上に発生可能な異物を正確に検査すること。
【解決手段】ガラス基板の異物を検出するためのレーザー光照射部を、前記ガラス基板の上部側面と下部側面にそれぞれ1つずつ所定の間隔を開けて具備し、前記レーザー光照射部から出射される光が、前記ガラス基板の移送方向に垂直な方向に照射されるように構成する。
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