【課題】検査に必要な画像データを、撮影条件を変更しながら複数回撮影することにより、適正な画像データを用いた高精度な検査装置を得る。
【解決手段】撮影条件の異なる複数の画像を撮影する撮像手段２と、撮像手段２の撮影画像を複数の領域に分割して符号化する符号化手段３と、符号化手段３の符号化データを複数画像分だけ格納する記憶手段４と、記憶手段４に格納された符号化データを送信する送信手段５と、送信手段５からの符号化データを復号する復号手段９と、復号手段９により復号された画像から被写体の検査を行う検査手段１０と、検査手段１０からの検査命令および送信命令に応答して記憶手段４内の符号化データを検査手段１０へ送信する制御手段６とを備える。検査手段１０は、記憶手段４に格納された符号化データのうち、複数の画像データの中から任意の領域を指定して送信させる。 （もっと読む）

【課題】高速かつ低コストで検査対象物の表面の不良や欠陥を検査することのできる画像検査装置および画像検査プログラムを提供する。
【解決手段】画像上で見て複数方向それぞれに隣接する複数の数値に基づいた２次元的な差分が所定程度に達しているときに、その画像中でのこの差分を求めた箇所をエッジ部分と判定し、エッジ部分と判定された箇所を含む領域については圧縮データを記録媒体に記録し、その箇所を含まない領域についてはその圧縮データを破棄する。 （もっと読む）

【課題】ウェハ上にチップとして形成されたセンサーデバイスの保存する画像検査データを削減させながら、画像検査データの正確さを確保する。
【解決手段】画像メモリ部３２に保存された画像データを例えば同一レティクルによるショット毎にデータ識別部３３によってグループ化する。差分検出部３４により、隣接するグループ間で共通する特性を有することが予測されるチップの画像の画像データの差分である差分データを検出する。オフセット設定部３５により、差分が最も“０”に近づくように差分データのオフセットを設定し、当該オフセットを差分データから差し引くとともにオフセット保存部３６に保存させる。可逆圧縮部３７により、オフセットが差し引かれた差分データを可逆圧縮する。データ制御部３９により、差分データを取る２つの画像検査データのうち小さい方である基本画像データと圧縮された差分データとを対応付けてデータ格納部３８に格納させる。 （もっと読む）

【課題】大きさや形状が異なるむらが混在する場合においても、むらの検出を安定して自動的かつ効率的に行うことができる外観検査装置及び外観検査方法を提供する。
【解決手段】中心領域平均算出部１４は、対象画素に対応する中心領域における輝度（画像データにおける各画素の濃淡値）の平均値（中心領域平均輝度）を算出する。周辺領域１平均算出部１５１〜周辺領域Ｎ平均算出部１５Ｎは、同様に、この中心領域に対応する周辺領域１〜周辺領域Ｎにおける各画素の濃淡値の平均値（周辺領域Ｎ平均輝度）を算出する。次に、平均差分算出部１６は、中心領域平均輝度と周辺領域１平均輝度〜周辺領域Ｎ平均輝度との差分値（差分値１〜差分値Ｎ）を算出する。さらに、平均差分算出部１６は、差分値１〜差分値Ｎの中から代表値（代表差分値）を抽出する。この外観検査装置１においては、この代表差分値を用いてむらの検出を行う。 （もっと読む）

【課題】 処理速度が速く、カメラ台数を増やす際の対応が容易で、高い信頼性が得られる画像処理装置および画像処理方法を提供すること。
【解決手段】 検査対象物の欠陥を検出する画像処理装置１は、ＣＰＵ２、メインメモリ３およびＰＣＩバス４を備えたパーソナルコンピュータ５と、ＰＣＩバス４に接続された画像処理ボード６とを備える。画像処理ボード６は、大容量画像メモリ８を備え、４台のカメラ１１〜１４からの原画像データを大容量画像メモリ８に記憶させる処理、シェーディング補正処理、および原画像データを圧縮する画像圧縮処理等、原画像データの全てに関わる処理をハードウェアを使って行う。ＣＰＵ２は、画像処理ボード６からＰＣＩバス４を通じてメインメモリ３へ転送される圧縮画像データに対して、２値化処理、ラベリング処理等、欠陥検出のためのソフトウェア処理を行う。 （もっと読む）