【課題】外光の影響を抑えて、雨滴検出の精度を向上させた画像処理システム及びそれを備えた車両を提供する。
【解決手段】フロントガラス１０５の内壁面１０５ａ側からフロントガラス１０５に向けて光を照射する光源２０２と、フロントガラス１０５の外壁面１０５ｂに付着した雨滴２０３などの異物によって反射された光源２０２からの光、及び、外壁面１０５ｂ側からフロントガラス１０５を透過した光を撮像する撮像装置２０１と、撮像装置２０１で撮像された撮像画像データを解析する画像解析ユニット１０２と、を備え、撮像装置２０１は、有効撮像領域の所定領域に入射した光の分光情報を取得するためのカラーセンサを有し、画像解析ユニット１０２は、前記分光情報に光源２０２からの光の波長情報が含まれているか否かを判定することにより、撮像画像データからフロントガラス１０５に付着した雨滴２０３などの異物を検出する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で大面積の積層基板を高速で高精度に検査できる検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板Ｋ０上にモリブデン層Ｋ１が形成されると共にモリブデン層Ｋ１上に薄膜Ｋ２，Ｋ３が形成された基板Ｋの、薄膜Ｋ２，Ｋ３側から形成されたパターニングを検査する検査装置１であって、移送中の基板Ｋのガラス基板Ｋ０側に光を照射する下部照明１０と、移送中の基板Ｋの薄膜Ｋ２，Ｋ３側に光を照射する上部照明２０とを設けると共に、基板Ｋを透過する下部照明１０の光軸Ｐ上で且つ基板Ｋで乱反射する上部照明２０の光軸Ｄ上に配置された第１ラインセンサカメラ１１と、基板Ｋで正反射する上部照明２０の光軸Ｓ上に配置された第２ラインセンサカメラ２１とを設け、ラインセンサカメラ１１，２１で検知した光の状態に基づいてパターニングの良否を判断する突き抜け検査用パソコン１２及び擦れ検査用パソコン２２を具備する。 （もっと読む）

【課題】全て自動的に周期性パターンの欠陥検査方法および欠陥検査装置を提供すること。
【解決手段】取得した画像データについて濃度比較差分処理と２値化処理を行い、２値化処理工程で得た２値化画像から欠陥のサイズと位置情報を決定することで欠陥点の抽出を行う欠陥抽出処理をこの順に全ての画素について実施する事によって抽出された欠陥について、特定の方向の任意のピッチだけ離れた複数の画素の画像との輝度値を比較し、予め決めた判定基準に従って欠陥の種類である欠陥モードを選別する欠陥選別工程と、前記欠陥選別工程で選別された欠陥ごとに、輝度値の差分をクラス分けする欠陥種別クラス分け工程と、前記欠陥モード別クラス分け工程で得られた全ての欠陥についての判定結果を、予め設定した良否判定基準に従って、良否判定を行う良否判定工程と、から構成されていることを特徴とする周期性パターンの欠陥検査方法および欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】物体の表面を撮像して生成される画像に基づいてその表面の荒れ具合を判定する表面検査装置を提供すること。
【解決手段】匣鉢２０の内側底面２０Ｂを検査する表面検査装置１００は、内側底面２０Ｂを撮像して処理対象画像を生成する処理対象画像生成部１０と、処理対象画像の濃度ヒストグラムを生成する濃度ヒストグラム生成部１１と、濃度ヒストグラム生成部１１が生成する濃度ヒストグラムに基づいて内側底面２０Ｂの荒れ具合を判定する荒れ具合判定部１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】
半導体等の製造工程で用いられる欠陥検査において、微弱な欠陥散乱光をもとに高速に検査するためにはゲインの高い検出器が必要であるが、一般的な検出器、典型的には光電子増倍管ではゲインを高くするに従い、暗電流ノイズが大きくなり、欠陥検出感度が低下する。
【解決手段】
試料からの反射散乱光を検出する検出光学系に複数の検出器を備え、弱い背景散乱光量を検出する検出器で画素数の少ない光子計数型検出器を適用するとともに、強い背景散乱光量検出する検出器で画素数の多い光子計数型検出器か、あるいはアナログ型の検出器を適用し、更に光子計数型検出器の適用によって発生する散乱光検出強度の非線形性を補正して欠陥散乱光検出信号を補正する。 （もっと読む）

【課題】フィルムの蛇行とカールとを監視し、未塗工不良や塗工不良の発生や、塗工のエッジ部分に発生する塗工抜け不良を検出することを可能とし、更にシワの発生を検出可能としたフィルム検査装置を提供する。
【解決手段】長尺のフィルムに塗液を塗工する工程でフィルムを検査する装置であって、塗工部の直後に設けられ、第一の端辺と第一の塗工エッジを検出するための第一の検出部と、第二の端辺と第二の塗工エッジを検出するための第二の検出部と、第一の端辺と第一の塗工エッジの位置算出部と、第二の端辺と第二の塗工エッジの位置算出部と、フィルムの蛇行またはカールの発生を判別する蛇行・カール判別部と、塗工エッジに発生した塗工抜け不良を判別する塗工抜け不良判別部と、硬化処理される硬化処理部の直後に設けられた第三の検出部と第四の検出部と、第三の端辺位置算出部と第四の端辺位置算出部と、を備えたことを特徴とするフィルム検査装置。 （もっと読む）

【課題】 印刷不良であるか否かをシートごとに判定して、シートごとの判定結果に基づいて印刷装置を制御する場合、印刷不良の種類によっては、適切な制御が行えないことがある。
【解決手段】 本発明は、印刷不良の発生箇所の特徴に基づいて印刷不良の種類を判定し、判定された印刷不良の種類に応じた印刷装置の制御を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の表面の彩度、色相等をより正確に再現することができ、欠陥検出精度の低下を防止することができる画像処理装置、該画像処理装置で実行する画像処理方法及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】検査対象物を撮像する撮像素子を有する撮像部と、該撮像部で取得した画像データに対して画像処理を実行する画像処理部とを備える。撮像部は、撮像素子で撮像されたカラー画像を、ダイナミックレンジを広げる変換特性に基づいてＨＤＲ画像に変換して出力する。画像処理部は、撮像部から出力されたＨＤＲ画像の画素ごとの色成分値を変換特性に基づいて逆変換し、逆変換された色成分値から、画素ごとに明度及び色成分値の比を算出し、算出した明度を変換特性に基づいて変換し、変換された明度と算出した色成分値の比とに基づいて、補正後ＨＤＲ画像を生成する。 （もっと読む）

【課題】基板の欠陥部の候補を適切に絞り込むことができ、さらに検査時間の短縮でき、且つ検査回数を低減できる検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】検査装置１００は、基板７上の複数の配線６と電気的に接触する複数のプローブ５と、正極及び負極を有し配線６間の電気特性値を測定する電気特性測定器１と、温度または赤外線により基板７の欠陥部を検出する赤外線カメラ８と、電気特性測定結果に基づき配線６間に係る電気特性の良否を判別して欠陥部の候補を絞り込み、絞り込んだ欠陥部の候補を含むプローブ群に関する赤外線カメラ８の検出結果に基づき欠陥部を特定する制御部３とを備えた。制御部３は、複数のプローブ５を２つのプローブ群に分割し、分割後のプローブ群間における電気特性測定を行い、分割されたプローブ群間に欠陥があると判定された場合には、分割されたプローブ群間については接続及び電気特性測定を行わない。 （もっと読む）

【課題】透明な粒状体群を検出対象物とするような場合であっても、正常物であるか異常物であるかの判別を良好に行うことが可能な粒状体検査装置を提供する。
【解決手段】粒状体群を検出箇所を通過させるように移送する移送手段Ｓと、検出箇所からの光を受光する受光手段１０と、受光手段１０の受光量が正常物に対応する適正光量範囲を外れているか否かにより正常物であるか異常物であるかを判別する判別手段とが備えられ、検出箇所Ｊを照明する照明手段９が、照明用光源２０，２４から検出箇所Ｊに向けて出射された光を拡散光として透過させる拡散透過部材２１，２５を検出箇所から離れる外方側に向けて凸状に湾曲する凸状曲面Ｑに形成する状態で備えるとともに、照明用光源２０，２４を拡散透過部材２１，２５よりも外方側の箇所に凸状曲面Ｑに沿って位置する状態で備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】 リファレンス画像に基づき印刷した印刷物を検査する際に、印刷物を読み取った印刷画像とリファレンス画像との位置合わせを行うと、リファレンス画像によっては位置合わせの精度が低い場合があり、検査精度が低下する。
【解決手段】 リファレンス画像と印刷画像との位置合わせを行って印刷物の検査を行う処理、または、位置合わせを行わずに印刷物の検査を行う処理を、リファレンス画像の特性に基づいて選択する。 （もっと読む）

【課題】暗視野方式の検査装置などにおいて、信号を実測しながら検査条件を決める方法では時間がかかることと、設定した感度条件が適切か否かの判断が作業者の裁量に左右されることが課題である。
【解決手段】検査装置において、試料を保持するステージと、前記ステージ上に保持された試料の表面に照明光を照射する照明光学系と、前記試料に照射された照射光によって発生した散乱光を検出する暗視野光学系と、前記暗視野光学系にて検出された散乱光を電気信号に変換する光電変換部と、前記光電変換部によって変換された電気信号をデジタル信号に変化するＡＤ変換部と、前記試料表面上の異物からの散乱光の大きさから異物の大きさを判定する判定部と、前記試料面からの散乱光情報を用いて、検査条件を決定する信号処理部とを有する。 （もっと読む）

【課題】検査対象の穴径が数百ミクロン以下であっても穴の内部を簡便に、短時間で検査することが可能な穴の内部検査装置を提供する。
【解決手段】穴の内部検査装置１００は、カメラ１０と、カメラ１０に対向して設けられた光源２０と、カメラ１０が取得した画像を処理する制御部３０と、を備え、カメラ１０は、カメラ１０と光源２０との間に置かれた被検査物２に貫通して形成された穴１の内部を、光源２０から照射される光によって得られる画像によって穴１の一方の端から他方の端までを所定の間隔で走査することで複数の走査画像Ｉｓを取得し、制御部３０は、複数の走査画像Ｉｓに分布する輝度に基づいて被検査画像を選択し、被検査画像に対して画像処理を行うことで所望の検査を行う。 （もっと読む）

【課題】 汚れに強く、段取りやメンテナンスを容易化すると共に、コスト低減を図ることができる円筒形状物の外観検査装置を提供する。
【解決手段】 この外観検査装置は、円筒形状物である被検査物の外観を検査するものである。外観検査装置は、回転自在に設置され回転中心軸Ｌ１と同心に配置した軸受１の端面を接触させる端面治具５と、端面治具５の軸受１を接触させる側面に回転中心軸Ｌ１と同心に設けられた円錐面状の照明反射部６と、外輪３を回転させる駆動装置１８と、外輪押えローラー１９と、内輪押えローラー２０と、照明反射部６に照射する照明装置８と、この照明装置８で照射され照明反射部６および内輪２の内周面２ａで順次反射された反射光により内輪２の内周面２ａを撮像する撮像装置１１とを備えた。 （もっと読む）

【課題】少ない光源による照明装置を用いて、構造物の表面の欠陥に発生する陰影を確実に認知できるようにする。
【解決手段】
複数の光源121-124から、各光源による光線の主要な照明領域が重複しないよう撮影領域を照射して撮影し、補正データ取得手段103が、欠陥のない撮影領域の撮影結果から、明度のムラを補正する補正データを取得し、欠陥を調査すべき撮影領域の撮影結果を、補正データを用いて補正し、撮影結果の明度のムラを平準化し、撮影結果に含まれる欠陥の影が、明度のムラにまぎれることなく、はっきり認識できるようにする。 （もっと読む）

【課題】車両用部品の表面検査において、検査時間の短縮と検査精度の向上を図る。
【解決手段】車両用部品２０の表面に設定される第１領域を１つの画素で検出する第１画像取得手段によって取得する第１画像取得工程と、取得した第１画像の第１領域の欠陥強度が所定の閾値以上の場合に第１領域を各欠陥検出領域３５１と設定する欠陥領域設定工程と、第２領域４１−４９を１の画素で検出する第２画像検出手段によって欠陥検出領域３５１と欠陥検出領域３５１の周辺を含む欠陥判定領域４０の複数の第２領域４１−４９の画像を取得する第２画像取得工程と、各第２領域の欠陥強度が所定の閾値以上と判定された各第２領域４１−４９の欠陥強度の平均値を計算し、平均値が欠陥強度の所定の閾値以上である場合、その車両用部品は欠陥品であると判断する欠陥品判断工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】スペックルパターンの明暗模様の時間変化の測定に基づくひび割れの検出方法において、その検出感度を向上する。
【解決手段】検査対象物Ｍの表面で反射されて位相変調された信号光２と、この検査対象物Ｍの表面で位相変調されていない参照光３との干渉によってフォトリフラクティブ結晶４中に生じたダイナミックホログラムで参照光３を回折し、この回折した参照光３を複数の検出チャンネル５を備えたマルチチャンネル検出器６で受光する。複数の検出チャンネル５のうち受光強度が最も高い受光強度を検出した検出チャンネル５から、予め決めた順番に相当する受光強度を検出した検出チャンネル５をディスクリミネータ７で弁別し、この弁別された検出チャンネル５の受光強度をマルチプレクサ８で積分してノイズを除去する。このノイズ除去によって位相変調を明確にとらえることができ、深いひび割れを高感度に検出できる。 （もっと読む）