【課題】外光の影響を抑えて、雨滴検出の精度を向上させた画像処理システム及びそれを備えた車両を提供する。
【解決手段】フロントガラス１０５の内壁面１０５ａ側からフロントガラス１０５に向けて光を照射する光源２０２と、フロントガラス１０５の外壁面１０５ｂに付着した雨滴２０３などの異物によって反射された光源２０２からの光、及び、外壁面１０５ｂ側からフロントガラス１０５を透過した光を撮像する撮像装置２０１と、撮像装置２０１で撮像された撮像画像データを解析する画像解析ユニット１０２と、を備え、撮像装置２０１は、有効撮像領域の所定領域に入射した光の分光情報を取得するためのカラーセンサを有し、画像解析ユニット１０２は、前記分光情報に光源２０２からの光の波長情報が含まれているか否かを判定することにより、撮像画像データからフロントガラス１０５に付着した雨滴２０３などの異物を検出する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、表面欠陥を検出する技術に関し、主として塗装表面のブツ欠陥やキズ欠陥の検出を確実に検出する表面欠陥検査装置および表面欠陥検査方法に関するものである。
【解決手段】 発明の表面欠陥検査装置は、色相が平面において少なくとも２方向に周期的に変化した照明パターンを、基準面と検査面とに照射する照明部と、前記照明パターンが照射された前記基準面と前記検査面とを撮像する撮像部と、前記撮像部で撮像された両画像の色相の差に基づいて、前記検査面の欠陥の有無を検出する欠陥検出部と、を有するよう構成する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の種類に応じてプログラムを切り換えるのみで、フォーカス調整を容易に行うことができる画像処理装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る画像処理装置は、検査対象物を含む撮像領域を撮像する撮像部と、検査対象物に対する前記撮像部のフォーカス位置を調整するフォーカス調整機構と、該フォーカス調整機構の動作を制御する制御部とを備える。フォーカスが合う位置を示すフォーカス位置データを含む複数の設定項目から構成され、検査対象物を検査する条件に関する検査条件データを、複数設定する。一の検査条件データから他の検査条件データへの切換指示を受け付けた場合、切換後の他の検査条件データに含まれるフォーカス位置データに基づいて、フォーカス調整機構の動作を制御する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の表面の彩度、色相等をより正確に再現することができ、欠陥検出精度の低下を防止することができる画像処理装置、該画像処理装置で実行する画像処理方法及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】検査対象物を撮像する撮像素子を有する撮像部と、該撮像部で取得した画像データに対して画像処理を実行する画像処理部とを備える。撮像部は、撮像素子で撮像されたカラー画像を、ダイナミックレンジを広げる変換特性に基づいてＨＤＲ画像に変換して出力する。画像処理部は、撮像部から出力されたＨＤＲ画像の画素ごとの色成分値を変換特性に基づいて逆変換し、逆変換された色成分値から、画素ごとに明度及び色成分値の比を算出し、算出した明度を変換特性に基づいて変換し、変換された明度と算出した色成分値の比とに基づいて、補正後ＨＤＲ画像を生成する。 （もっと読む）

【課題】背景が含まれる場合であっても、背景の明るさの影響を低減して検査対象物表面の明るさを自動的に調整することができる画像処理装置、該画像処理装置で実行する画像処理方法及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】検査対象物を含む撮像領域を撮像する撮像部と、撮像領域を前記撮像部で撮像した画像に対して画像処理を実行する画像処理部とを備える。画像処理部は、撮像部から出力された画像の撮像領域内に設けられ、各々が複数の画素を含む複数の小領域ごとに、検査対象物が存在する可能性を示す特徴量を算出する。算出した特徴量に基づいて、少なくとも検査対象物を含む画像の明るさの評価値を算出し、算出した評価値に基づいて、画像の明るさを調整するための調整信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】透過率が高い導電性透明電極パターンや微細な金属配線のパターンを、インライン検査で行うための検査システムを提供する。
【解決手段】検査ワーク１１を第１の方向Ｘに搬送するワーク搬送装置２０と、検査ワーク上に形成されたパターンの光学情報を取得する撮像装置３０と、第１の方向と直交する第２の方向Ｙに撮像装置を移動させる移動装置４０と、ワーク搬送装置、撮像装置及び移動装置を制御するとともに、光学情報に基づいてパターンを検査する制御部５０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、基板検査システム及び基板検査方法に関する。
【解決手段】本発明の一実施例による基板検査システムは、基板が配置される第１検査テーブルと、前記第１検査テーブルに配置された基板が再配置される第２検査テーブルと、前記第１検査テーブルに配置された前記基板を撮像する第１撮像手段と、前記第２検査テーブルに再配置された前記基板で、不良が疑われる位置に該当する領域を撮像する第２撮像手段と、前記第１撮像手段により撮像した前記基板映像から不良が疑われる位置を検出し、検出された不良が疑われる位置に対する座標データを演算して前記第２撮像手段に伝送する制御部と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 ウェハを検査する際の下地の影響を低減させた検査装置を提供する。
【解決手段】 検査装置１は、複数種の波長を有する照明光でウェハを照明する照明部３０と、照明光により照明されたウェハを撮影する撮影部４０と、複数種の波長毎に所定の重み付けを行って撮影部４０により撮影されたウェハの検査用撮影像を生成するとともに、生成した検査用撮影像に基づいてウェハにおける欠陥の有無を判定する画像処理部２７とを備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】目視による外観検査を不要としながら、高精度に効率よく半導体ウエハの外観異常を検出する。
【解決手段】検査装置により、欠陥の検出感度を標準感度にして半導体ウエハの欠陥箇所を検出する。これにより、欠陥箇所Ｆ１，Ｆ２が検出される。続いて、検出感度を標準感度よりも検出感度が高い高感度に設定して、半導体ウエハの欠陥箇所を検出する。これにより、欠陥箇所Ｆ３〜Ｆ６（図中、点線で示す）が得られる。そして、標準感度にて検出された欠陥箇所と高感度にて検出された欠陥箇所とが重複している欠陥箇所において、高感度にて検出された欠陥箇所（欠陥箇所Ｆ６，Ｆ３）を欠陥箇所エリアと決定し、該欠陥箇所エリアに該当する半導体チップを不良チップとする処理を行う。 （もっと読む）

【課題】画面の異物付着及び画素欠陥を識別できる画質検査装置を提供する。
【解決手段】画質検査装置２は、ＬＣＤ３１に白色パターンを指示し、撮像画面の白色パターンから候補エリアを抽出する候補エリア抽出部２１を有する。画質検査装置は、ＬＣＤに黒色パターンを指示し、撮像画面の黒色パターンから輝点異常の画素を含む候補エリアがある場合に、候補エリア周囲の輝点異常検出時のＲＧＢ値差を取得する輝点異常検出部２２を有する。画質検査装置は、黒色パターンを表示させたまま、候補エリア内の画素の白表示を指示し、撮像画面から候補エリア周囲の今回のＲＧＢ値差を取得する暗点異常検出部２３を有する。画質検査装置は、今回のＲＧＢ値差が輝点異常検出時のＲＧＢ値差を超えた場合、異物付着による異常と識別し、今回のＲＧＢ値差が輝点異常検出時のＲＧＢ値差を超えなかった場合、暗点の画素欠陥による異常と識別する異常識別部２４を有する。 （もっと読む）

【課題】異品種の混入に対して高精度かつ安価な異品種混入検査方法および異品種混入検査装置を提供する。
【解決手段】被検査対象物の画像を取得し、マスターデータとの比較を行うことにより、前記被検査対象物を正規品種もしくは異品種と判定する異品種混入検査方法であって、
前記被検査対象物のパターンから特徴あるパターンを有するマスターデータ領域により、被検査対象物の全画像領域に対して、輝度値を用いたパターンマッチングをして、パターン一致領域を探索し、
前記パターン一致領域内の平均色相と前記マスターデータ平均色相とのマッチングにより、正規品種もしくは異品種と判定する異品種混入検査方法および異品種混入検査装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】研磨部及び再研磨部の仕上がり具合を簡単な手法で定量的に評価できる金属板の外観評価方法を提供する。
【解決手段】この金属板の外観評価方法では、金属板１の表面のデジタル画像１０をスキャナ４によって取得し、デジタル画像１０の一部画像１１に含まれる各ピクセルのＲＧＢ値をグレースケール変換して得られるＡｃ値の波形パターンに基づいて研磨部２及び再研磨部３の外観の可否を判断する。波形パターンを用いることで、研磨部２及び再研磨部３の外観を容易かつ定量的に判断できる。また、この方法では、波形パターンに基づいて、研磨部２及び再研磨部３の研磨方向がスキャナ４の走査方向と一致しているデジタル画像１０を判断対象として選別する。この前処理により、外観判断工程で用いる波形パターンのＳ／Ｎ比が向上し、判断精度が高められる。 （もっと読む）

【課題】生理用ナプキン等の吸収性物品に係る積層体の圧搾部の穴あき異常や接合異常を検査可能な検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】積層体３の片面のうちで圧搾部が形成された領域を撮像して前記領域の平面画像のデータを平面画像データとして生成する撮像処理部３６と、第１二値化処理部で生成された二値化画像に基づいて、穴あき異常の有無の判定を行う第１異常判定処理部と、第２二値化処理部で生成された二値化画像に基づいて、接合異常の有無の判定を行う第２異常判定処理部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ウエハの構造や欠陥がばらついて適切な波長が変化しても欠陥を精度よく検出でき、かつ、スループットが速いパターン検査装置を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、パターン検出装置は、光を発生する光源と、前記光をラインビームに整形してウエハ上に照射する集光器とを備える。さらに、前記装置は、前記ウエハで反射した前記ラインビームを分光する分光器を備える。さらに、前記装置は、前記分光器により分光された前記ラインビームを検出し、前記ラインビームのスペクトル情報を保持する信号を出力する二次元検出器を備える。さらに、前記装置は、前記ウエハ上の繰り返しパターンの対応箇所から得られた前記スペクトル情報を比較する比較部と、前記スペクトル情報の比較結果に基づいて、前記ウエハの欠陥の有無を判定する判定部とを備える。 （もっと読む）

【課題】光学部品に対する接合用材料の塗布量の適否を検査する。
【解決手段】光源１５０を制御して光学部品に光を入射させる入射光制御部１３１と、センサー１５１を制御して光学部品における接合用材料が塗布された面からの出射光の光学特性を検出する光学特性検出部１３２と、検出された光学特性と適正範囲記憶部１５２に予め記憶している適正範囲とを比較することにより、接合用材料の塗布量の適否を判定する適否判定部１３３とを備える。 （もっと読む）

【課題】出力結果を読み取った画像と検査用画像とを比較することによる画像の検査において、モノクロ出力の場合や画像にスキューが発生している場合であっても画像の位置あわせを可能とすること。
【解決手段】検査用画像に含まれる形状のコーナーを抽出して検査用画像と読み取り画像との位置合わせ用の基準点として設定するマスター画像生成部４０２と、読み取り画像に含まれる形状のコーナーを抽出して検査用画像と読み取り画像との位置合わせ用の基準点として設定し、検査用画像について設定された基準点の位置と読み取り画像について設定した基準点の位置との差異に基づいて検査用画像と前記読み取り画像との位置合わせを行った後に、検査用画像と読み取り画像とを比較して検査を行う比較検査部４０５とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】照明光学系を用いた検査で表面の透明薄膜状異物を容易に検査することができる表面異物検査方法を提供する。
【解決手段】白色光光源３からウエーハ１０の上面に白色光を照射し、前記ウエーハ１０の前記上面のうち前記白色光が照射される領域内に透明異物１２ａが存在する場合に、透明異物１２において光干渉による暗部を生じさせる入射角θで単色光を単色光光源４から前記ウエーハ１０に照射し、前記ウエーハ１０の前記上面のうち前記単色光の前記暗部において反射する白色光と、前記上面において反射する前記単色光を共通の受光素子５で受光することを特徴とする表面異物検査方法。 （もっと読む）

【課題】試料位置と合焦位置との間の差分を求める方法を提供する。
【解決手段】試料を示す画像データを獲得するステップと、獲得データから特徴セットを抽出するステップと、画像データ特徴を位置差分値に関連付けるように教え込まれた機械学習アルゴリズムを用いることにより、特徴セットを位置差分値に分類するステップとを含み、位置差分値が差分に対応する。任意に、特徴セットは対比特徴のサブセットを含みうる。任意に、対比特徴のサブセットは、画像データに基づく二乗勾配関数、画像データに基づくウェーブレット関数及び画像データに基づく自己相関関数、例えば、ＶｏｌｌａｔｈのＦ４関数若しくはＶｏｌｌａｔｈのＦ４関数とＶｏｌｌａｔｈのＦ５関数との組合せ、全画像データの分散及び並びにＬａｐｌａｃｅベースの焦点測定からなる群より選択されうる。 （もっと読む）