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Fターム[2G051EA24]の内容

Fターム[2G051EA24]に分類される特許

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【課題】光特性ムラを短時間で高精度に測定することができる光特性ムラ測定装置を提供する。
【解決手段】撮像部110は、LED実装基板200−1に配列されたLED光源211を同時に撮像すると共に、各測定点Pから入射された光の特性値として、XYZ表色系のx値及びy値をそれぞれ検出する。パーソナルコンピュータは、光放射角に応じて定められた角度補正マトリクスを用いて、それぞれのLED光源211に対応する光特性値を、基準となる放射角に対応する値に補正する。LED光源211の特性値を放射角に応じて補正するため、複数のLED光源211を同時に撮像するにも拘わらず、正確な光特性値を得ることができる。 (もっと読む)


【課題】 発光ダイオードを多数配列した面照明を使用した場合であっても、LEDの全点灯までの時間遅れの影響を受けることなく、検査時の照明光量を一定に保ちつつ、短時間で検査を行うことができる、膜厚むらの検出装置並びに当該装置を具備した塗布装置を提供する。
【解決手段】 基板上に形成された皮膜の膜厚むらを検出する装置で、
基板保持部と、光源部と、撮像部と、制御部と、検査部とを備え、
光源部は複数の発光ダイオードを配置して構成された面照明であり、
制御部は、発光指令信号を出力してから複数の発光ダイオードが全点灯状態になるまでの点灯遅れ時間を登録する点灯遅れ時間登録部と、発光指令信号を入力してから登録された点灯遅れ時間経過後に、撮像部に対して撮像指令信号の出力を行う撮像ディレイタイマ部とを備えたことを特徴とする、膜厚むら検出装置。 (もっと読む)


【課題】 リファレンス画像に基づき印刷した印刷物を検査する際に、印刷物を読み取った印刷画像とリファレンス画像との位置合わせを行うと、リファレンス画像によっては位置合わせの精度が低い場合があり、検査精度が低下する。
【解決手段】 リファレンス画像と印刷画像との位置合わせを行って印刷物の検査を行う処理、または、位置合わせを行わずに印刷物の検査を行う処理を、リファレンス画像の特性に基づいて選択する。 (もっと読む)


【課題】暗視野方式の検査装置などにおいて、信号を実測しながら検査条件を決める方法では時間がかかることと、設定した感度条件が適切か否かの判断が作業者の裁量に左右されることが課題である。
【解決手段】検査装置において、試料を保持するステージと、前記ステージ上に保持された試料の表面に照明光を照射する照明光学系と、前記試料に照射された照射光によって発生した散乱光を検出する暗視野光学系と、前記暗視野光学系にて検出された散乱光を電気信号に変換する光電変換部と、前記光電変換部によって変換された電気信号をデジタル信号に変化するAD変換部と、前記試料表面上の異物からの散乱光の大きさから異物の大きさを判定する判定部と、前記試料面からの散乱光情報を用いて、検査条件を決定する信号処理部とを有する。 (もっと読む)


【課題】少ない光源による照明装置を用いて、構造物の表面の欠陥に発生する陰影を確実に認知できるようにする。
【解決手段】
複数の光源121-124から、各光源による光線の主要な照明領域が重複しないよう撮影領域を照射して撮影し、補正データ取得手段103が、欠陥のない撮影領域の撮影結果から、明度のムラを補正する補正データを取得し、欠陥を調査すべき撮影領域の撮影結果を、補正データを用いて補正し、撮影結果の明度のムラを平準化し、撮影結果に含まれる欠陥の影が、明度のムラにまぎれることなく、はっきり認識できるようにする。 (もっと読む)


【課題】オペレータが表面検査装置を調整する際に、基準板等の特殊な道具を用いることなく、調整を容易に行うことが可能な調整データを出力する。
【解決手段】調整部51の分散値算出部11は、カメラ3のレンズ位置を所定位置に設定するための位置指令をレンズ位置設定部12に出力し、レンズ位置設定部12から所定位置への移動の完了を入力すると、カメラ3から反射光の強度を入力し、反射光の強度の分布に基づいて分散値を算出する。最大位置決定部13は、分散値算出部11からレンズ位置及び分散値を入力し、全てのレンズ位置及びそれに対応する分散値を得た後、全ての分散値のうち分散値が最大となるレンズ位置を最大レンズ位置として決定する。調整データ出力部14は、レンズ位置、反射光の強度の分布、分散値及び最大レンズ位置を調整データとして出力する。 (もっと読む)


【課題】 より高い精度で紙葉類を処理することが出来る紙葉類処理装置、及び紙葉類処理方法を提供する。
【解決手段】 一実施形態に係る紙葉類処理装置は、紙葉類を搬送する搬送手段と、搬送される前記紙葉類に対して光を照射する照明手段と、前記紙葉類から画像を取得する画像取得手段と、搬送される前記紙葉類の深度と前記照明手段から放射される光の照度分布とに基づいて予め算出される補正係数を格納する補正係数格納手段と、前記補正係数により、前記画像取得手段により取得された前記画像を補正する補正処理手段と、を具備する。 (もっと読む)


【課題】 ワインダー工程で形成された巻取の端面の良否を機械的に検査し、迅速な検査を図り、作業者の熟練に負うことがない巻取の端面検査装置を提供する。
【解決手段】 ワインダー工程で形成された巻取Rを次工程へ搬送する搬送路Tを挟んで照明手段21とラインレーザー装置31とを有する投光機器2f、2b及び撮影手段4f、4bを一対ずつ配設し、投光機器2fと撮影手段4fとで搬送路Tを搬送される巻取Rの前側の端面Fの検査を、投光機器2bと撮影手段4bとで巻取Rの後側の端面Bの検査をそれぞれ行わせる。検査は端面Fを検査した後に搬送路Tを移動させて端面Bの検査を行う。検査はこれら端面F、Bの画像を撮影手段4f、4bで取得し、該画像に対してグレースケール処理を施して、欠陥となる対象物11、12、13の存否を確認する。 (もっと読む)


【課題】ウェハ上の欠陥によって散乱される光は非常に弱く、その微弱光を高速かつ高感度に測定する検出方法としてはPMTやMPPCがある。上記検出方法では、微弱光を光電変換して、電子を増倍する機能があるが、光電変換の量子効率が50%以下と低いため、信号光を損失し、S/N比を低下させるという課題がある。
【解決手段】そこで、本発明では、光電変換をする前に直接光を増幅する光増幅に着目した。光増幅とは、信号光と励起用光源の光とを希土類を添加したファイバに導入し、誘導放出を起こして信号光を増幅する増幅方法である。本発明は、この光増幅を利用することを特徴とする。また、本発明は、この増幅率を様々な条件により変えることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】画像検査の検査精度を向上する。
【解決手段】画像検査装置では、撮像部により画像が撮像されて検査画像が取得されるとともに、元画像データに基づいて基準画像が生成される。第1積算部では、基準画像中の画像記録方向に並ぶ画素の値が積算されて基準積算値分布が取得される。第2積算部では、検査画像中の画像記録方向に並ぶ画素の値が積算されて検査積算値分布が取得される。感度補正部では、検査積算値分布の局所ピークを除去した後の検査積算値分布と基準積算値分布との比に基づいて、検査積算値分布60の局所ピーク以外の複数の積算値を、基準積算値分布の対応する複数の積算値に相対的に近づける感度補正が行われる。比較部では、感度補正後の検査積算値分布62から基準積算値分布が減算され、欠陥の検出が行われる。このように、画像検査部では、検査積算値分布60に対して感度補正を行うことにより、検査精度が向上される。 (もっと読む)


【課題】構造の異なる新たなセンサに変更した場合でも変更前のセンサ用基準データを利用して印刷物を検査する。
【解決手段】ラインセンサによって計測したデータ上に、ポイントセンサによる検査領域の計測を再現する領域を設定し、設定された領域に含まれる画素値を重み係数によって変換して検査データを生成し、当該検査データをポイントセンサ基準データと比較して印刷物検査を行う。検査に利用する重み係数は、基準媒体をラインセンサによって計測したデータとポイントセンサ基準データとが所定の類似性を満たすように、投受光される光や、投受光素子の取り付け状態を考慮して決定される。重み係数の決定と当該重み係数を用いた印刷物評価とを同じ印刷物検査装置によって行う。 (もっと読む)


【課題】検査用基板を用いることなく照明部の照度の低下による検査の不具合が発生することを防ぐことができる技術を提供すること。
【解決手段】筐体内に設けられた載置台に載置された基板を被写体として撮像して検査を行う検査モードと、照明部の照度を確認するためのメンテナンスモードとの間でモードを選択するためのモード選択部と、前記筐体内に設けられ、前記照明部の光を撮像部の撮像素子に導光するための導光部材と、メンテナンスモード実行時に前記導光部材を介して撮像素子により取得した照明部の光の輝度が、予め設定された許容範囲内であるか否かを判定する判定部と、前記判定部により前記輝度が前記許容範囲から外れていると判定されたときに照明部の交換を要することを報知するための報知部と、を備えるように基板検査装置を構成する。 (もっと読む)


【課題】装置を複雑化することなく、高速に処理することができ、かつ、外乱光による誤認識の発生を防止することができる塗布状態検査装置を提供する。
【解決手段】塗布状態検査装置1は、シール剤Sが塗布されたワークWの上方に、撮像装置3に近接して設置された照明装置2と、該照明装置2の照明状態・消灯状態の各々でシール剤S及びワークWを撮像する撮像装置3と、シール剤Sが正常に塗布されているか画像検査を行う処理装置4とを備える。画像生成部5−1は、照明装置2の点灯状態・消灯状態で撮像装置3により撮像された各画像の輝度値を減算することにより、外乱光の影響を除去した検査画像を生成する。画像判定部5−2は、検査画像からシール剤Sの塗布状態が正常であるか否かを判定する。 (もっと読む)


【課題】貼り合わせた2つの基板層のいずれかに検査光の透過しない部分があっても、貼り合わせ界面に発生し得る微小空洞を検査することのできる基板検査装置を提供することである。
【解決手段】基板100の表面に対して斜めに入射するように検査光を帯状に照射する光源ユニット30と、前記検査光により前記基板の表面に形成される帯状照明領域を挟んで光源ユニット30と逆側の所定位置に配置されるラインセンサカメラ20とを有し、照明ユニット30及びラインセンサカメラ20と基板100とが相対移動している際にラインセンサカメラ20から出力される映像信号に基づいて基板画像情報を生成し、基板画像情報に基づいて基板100の第1基板層101と第2基板層102との界面に生じ得る微小空洞についての検査結果情報を生成する構成となる。 (もっと読む)


【課題】マスク基板に形成された光学歪みによる不具合が解消され、欠陥検出の感度を高くできる検査装置を提供する。
【解決手段】光源装置1から出射した照明光をフォトマスク8に向けて透過検査用として投射する第1の照明光学系(4〜7)と、前記フォトマスク支持すると共に第1の方向及び第1の方向と直交する第2の方向に移動可能なステージ9と、フォトマスクを透過した透過光を対物レンズ11及び偏光分離手段13を介して受光する光検出手段(17,18)と、光検出手段から出力される輝度信号を受け取り、フォトマスクに存在する欠陥を検出する信号処理装置19とを具える。信号処理装置は、マスクパターンが形成される前のマスク基板の透過光の輝度分布データを記憶したメモリと、前記輝度分布データに基づいて前記光検出手段から出力される輝度信号又は光源装置から放出される照明光の強度を補正する補正手段を有する。 (もっと読む)


【課題】光学的手法を用いて被処理基板の構造をより高精度に評価することができるプロセスモニター装置を提供する。
【解決手段】プロセスモニター装置11は、光を出射する光源部と、光の強度を検知可能な光検知部と、光源部から出射された光をウェハWまで導き、ウェハWから反射した反射波を光検知部まで導く第一光経路21と、第一光経路21と同等の光伝搬特性を有するように構成され、光源部から出射された光を、ウェハWを経由することなく光検知部まで導く第二光経路と、第二光経路を通して光検知部により検知された光の強度情報に基づいて、第一光経路21を通して光検知部により検知された光の強度情報を補正し、ウェハWの構造を解析するコントローラ17とを備える。 (もっと読む)


【課題】化粧材1の色判別を簡単に精度よく行うことのできる塗装色検出方法を提供する。
【解決手段】縦横に延伸する目地2によって凸部3が基材表面に形成され、凸部3が塗装された化粧材1の塗装色を搬送しながら検出する。化粧材1の所定範囲をカメラ4で撮影するとともに目地2を含む削除領域を検出して設定する。撮影データから削除領域を除外して加工撮影データを作成し、この加工撮影データに基づいて色判別処理を行う。好ましい形態では、化粧材1を3次元計測し、表面高さが閾値以下の領域を低位領域20として検出して削除領域に設定する。別の好ましい形態では、撮影データ5において幅方向に所定長さ以上で略同色が続く色領域を幅方向の目地色領域21として検出して削除領域に設定する。 (もっと読む)


【課題】検出系からの検出画像信号を補正することにより、複数の検査装置(機体)間での検査感度の機体差を低減することにある。
【解決手段】被検査対象001に光束を照射する光源と、被検査対象から反射する反射散乱光を導く光学系100と、導かれた反射散乱光を電気の検出信号に換える複数の光電セルが配列されている光電イメージセンサ400と、前記光電イメージセンサを分割した複数の領域ごとに、それぞれに対応する信号補正部、A/D変換器および画像生成部から構成される検出信号伝送部と、前記検出信号伝送部が出力する部分的な画像を合成する画像を作成する画像合成部と、合成された画像を処理することで被検査対象表面の欠陥あるいは異物の検査を行なう検査装置において、検出信号伝送部は、光電セルからの検出信号を各チャンネル毎に定めた基準検出信号強度の基準目標値に近づけるように補正できる検出信号補正機能を有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】外観検査の欠陥分類において、重要欠陥のピュリティまたはアキュラシーまたはその両方が目標値以上になるように調整するなどのニーズがあるが、教示型の欠陥分類は平均的に分類正解率が高くなるよう条件設定されるため、そのようなニーズに応えられないという問題があった。
【解決手段】特徴量抽出部、欠陥分類部、分類条件設定部を含み、分類条件設定部は、欠陥の特徴量と正解のクラスを対応づけて教示する機能と分類の優先順位を指定する機能を有し、優先順位の高い分類の正解率が高くなるよう条件設定を行う。 (もっと読む)


【課題】透明樹脂フィルムのキズ、あるいはその上に透明樹脂層が積層された透明樹脂フィルムの微細な表面欠陥を、片側表面のみ効率よく検出する。
【解決手段】波長350〜380nmの紫外線の照射装置1と、当該波長に検出能力を有する検出装置5からなる反射光学系を用い、可視光において透明な樹脂フィルム2であって当該波長において不透明な樹脂フィルムの紫外線照射側表面にある欠点を検出する透明樹脂フィルムの表面欠陥の検査方法。 (もっと読む)


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