【課題】 発光ダイオードを多数配列した面照明を使用した場合であっても、ＬＥＤの全点灯までの時間遅れの影響を受けることなく、検査時の照明光量を一定に保ちつつ、短時間で検査を行うことができる、膜厚むらの検出装置並びに当該装置を具備した塗布装置を提供する。
【解決手段】 基板上に形成された皮膜の膜厚むらを検出する装置で、
基板保持部と、光源部と、撮像部と、制御部と、検査部とを備え、
光源部は複数の発光ダイオードを配置して構成された面照明であり、
制御部は、発光指令信号を出力してから複数の発光ダイオードが全点灯状態になるまでの点灯遅れ時間を登録する点灯遅れ時間登録部と、発光指令信号を入力してから登録された点灯遅れ時間経過後に、撮像部に対して撮像指令信号の出力を行う撮像ディレイタイマ部とを備えたことを特徴とする、膜厚むら検出装置。 （もっと読む）

【課題】解決しようとする課題は、面積が広くなり高密度化された試料の表面形状の測定に際して、高速化及び高精度化である。
【解決手段】表面検査装置は、第１照射部から照射される第１の照射方向からの照射光と、第２照射部から照射される第２の照射方向からの照射光とを照射方向を切り替えて、それぞれの照射部から照射された第１波長の光を試料の一面で反射させて、また、第２波長の光を試料保持部の一面側に取付け固定された光学部材で反射させ、双方から反射された光に基づいて生成された第１輝度データ及び第２輝度データを用いて試料表面の形状を算出するものである。 （もっと読む）

【課題】ラインセンサカメラのライン周期と比べてＰＷＭ周期が十分に短くなくても、所望の光量を各ライン周期に供給することができ、撮像された画像における明暗差が出るのを防ぐことができる光照射装置を提供する。
【解決手段】検査対象Ｗに光を照射する光照射機構１と、所定のＰＷＭ周期で点灯期間及び消灯期間を交互に繰り返すＰＷＭ制御により、前記光照射機構を所定の明るさに制御するＰＷＭ制御部２と、を備え、ラインセンサカメラの各ライン周期に含まれる前記点灯期間が、１期間分又は数期間分であり、前記ＰＷＭ周期が、前記ライン周期と同期しているとともに、受光素子が１ライン周期に撮像する１画素のアスペクト比が大きくなるほど、１ライン周期に含まれる前記点灯期間の数が多くなるように設定した。 （もっと読む）

【目的】経時的な、光量変化やセンサの各受光素子自体の感度変化に起因するセンサの出力レベル変化を補正する。
【構成】センサ出力データの補正装置は次回路を備える。オフセット回路は試料を照明して、透過或いは反射して得られる光を受光して画像データを出力するセンサからの出力データを入力し、オフセット補正を行う。ゲイン補正回路はゲイン補正係数を入力し、入力されたゲイン補正係数でゲイン補正を行う。平均値算出回路はオフセット補正とゲイン補正が行われたセンサの出力データのうち、透過の場合はパターンから光が透過する位置で、反射の場合はパターンから光が反射する位置で取得したセンサの出力データを用いて、各画素値の平均値を演算する。ゲイン補正係数算出回路は設定された基準値からの平均値の変化率を用いてゲイン補正に用いるゲイン補正係数を補正し前記ゲイン補正回路にフィードバックする。 （もっと読む）

【課題】ウェーハの画像から適切に欠陥を検出することができるようにする。
【解決手段】画像中のウェーハＷの検査対象の領域内の各画素について、所定の直線方向に並ぶ複数の画素中の当該画素を含む所定の範囲内の複数の画素の輝度を平均した移動平均輝度を算出し、各画素における移動平均輝度と、各画素の輝度との差分値を算出し、各画素についての差分値と、閾値とを比較することにより、各画素が欠陥候補画素であるか否かを判定し、欠陥候補画素に基づいて、ウェーハにおける欠陥を検査する画像処理部６ｂを有するように構成する。 （もっと読む）

【課題】基板の欠陥検査をより少ないスペースで行うことを可能とする検査装置を提供する。
【解決手段】欠陥検査装置１は、回転自在なチャック１３を備え、チャック１３の上方に、載置されたウエハＷの回転中心から外縁部に延在する直線領域と平行に配置された照明装置２１を設置し、この照明装置２１の真下にウエハＷの反射光を反射させるハーフミラー２２が固定され、さらにハーフミラー２２の対向側にハーフミラー２２からの反射光を取り込む撮像装置２０が設置され、ウエハＷの回転と共にウエハ表面を撮像する。 （もっと読む）

【解決手段】基板の画像を生成するための検査システム。光源は、基板上に入射光を方向付け、光源タイミング制御装置は、入射光のパルスタイミングを制御する。ステージは、基板を保持し、入射光下において前記基板を移動させ、これにより、基板は、入射光を反射光として反射する。ステージ位置センサーは、ステージの位置を記録し、ステージ位置制御装置は、ステージの位置を制御する。時間領域統合センサーは、反射光を受信し、時間領域統合センサータイミング制御装置は、時間領域統合センサーの線シフトを制御する。制御システムは、光源タイミング制御装置と、ステージ位置制御装置と、時間遅延統合センサータイミング制御装置とを制御し、入射光のパルスタイミングと、ステージの位置と、時間遅延統合センサーの線シフトとを設定して、時間領域統合センサーの単一の線が、光源からの入射光の１つより多くのパルスからの反射光を統合する。 （もっと読む）

【課題】設置環境に変動が生じても、表面形状の測定を高精度に行う。
【解決手段】表面検査装置１に、保持部材２（把持部２ａ）と、光学部材６０と、表側第１光源１１と、表側第２光源１２と、ミラー３０と、コリメータレンズ４０と、ミラー５０と、ハーフミラー７０と、ダイクロイックミラー８０と、表側第１撮像部９１と、表側第１撮像部９２と、画像処理プログラムと、を備え、第１波長の光を試料Ｗの表面の一面で反射させる一方で、第２波長の光を把持部２ａの一面側に取付け固定された光学部材６０で反射させ、画像処理プログラムにより、双方から反射された光に基づく輝度データを用いて試料Ｗの表面の形状を算出する。 （もっと読む）

【目的】軽量、安価かつ高効率な環境放射線耐性を備えたマスク検査装置を提供する。
【構成】本発明のマスク検査装置は、マスクの欠陥を検査するマスク検査装置であって、光源と、この光源から射出される検査光をマスクに照射する照明光学系と、マスクに照射された検査光を光学像として結像させる拡大光学系と、光学像を取得するイメージセンサ１０を備えている。そして、イメージセンサ１０が、センサチップの少なくとも受光面の反対面側にタンタル（Ｔａ）以上の比重を有する重金属の環境放射線遮蔽部材が有していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の搬送速度に変動が生じた場合であっても均一な表面画像データを得ること。
【解決手段】このカード印刷装置１は、媒体を搬送路Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３上を搬送させながら、媒体表面を検査する装置において、撮像部５ａの走査タイミングを制御すると同時に、撮像部５ａからの照明光の照明時間を、予め記憶した複数の走査ライン毎の照明時間データに基づいて、複数の走査ライン毎に制御する制御部１５を備え、制御部１５は、検査用試料を対象にして、撮像部５ａを制御することにより複数の走査ライン毎の撮像データの平均輝度を予め取得した後に、平均輝度が目標値に近づくような照明光の照明時間の補正値を算出し、補正値を反映した複数の走査ライン毎の照明時間データを予め記憶し、検査対象の媒体の撮像時には該照明時間データに基づいて照明光の照明時間を変更する。 （もっと読む）

【課題】自走車ユニットおよびＬＥＤ照明部を有するカメラユニットを備えた自走式管内検査カメラ装置と前記自走式管内検査カメラ装置を制御する制御装置との間を長距離ケーブルで接続した自走式管内検査カメラシステムに於いて、上記ケーブルの芯線からＬＥＤの点灯駆動に専用の電源供給用芯線をなくしてケーブルの小径化、軽量化を図るとともに、ＬＥＤを設定輝度に従い定電流制御して、長期に亘る安定したＬＥＤ照明を可能にした。
【解決手段】撮像部２１と照明部２２のカメラ電源を共通に用いて、照明部２２のＬＥＤを設定輝度に従い定電流制御する。 （もっと読む）

【課題】通常の計測状態と校正用の計測状態との切り換えを、大掛かりな操作を要せずに容易かつ迅速に行うことができる、透過光計測型の青果物の内部品質評価装置を提供する。
【解決手段】被計測対象である青果物６０に対して光を投射する投光装置１０の光学系の近傍に、リファレンス光取り出し部４０を固定配置して、投光装置１０の光源からの光の一部を校正用として取り出すと共に、リファレンス光取り出し部４０からの光を、光ファイバ等のリファレンス光導光部４２により導光して受光装置２０へ導くようにした。 （もっと読む）

【課題】 固定パラメータによらないで、機器や部品の諸特性の経時的変動に追従してホワイトバランスパラメータをリアルタイムで調整する欠陥検査装置を得る。
【解決手段】 検査対象に隣接して基準板１１を設け、この基準板の白領域と黒領域を検査対象の撮像と同時に撮像し、基準板の画像データをＲＧＢ毎に抽出して、基準板画像入力部１２を介してホワイトバランスパラメータ算出処理部１３にてホワイトバランス補正データを生成し、ＲＧＢ濃度変換部にて各色信号のホワイトバランスを調整する。 （もっと読む）