【課題】
高速で走行しているガラス繊維物品において、被覆層の付着不良欠陥を検出する。
【解決手段】
連続的に走行しながら同時に表面処理される複数本のガラス繊維物品の表面欠陥を、ガラス繊維物品に照射した光の反射光の輝度情報からラインセンサーを用いて判定する欠陥検出方法において、ガラス繊維物品の走行方向に対し直交方向にラインセンサーを配置し、それぞれのガラス繊維物品に対してラインセンサーの検知子に連続的に入力される輝度情報の内、連続した３個以上の輝度異常情報か又は連続的に検知子に入力された５個以上の輝度情報中、輝度異常情報である割合が、予め定められた値以上である場合に第１ステップでの輝度異常情報として処理することを特徴とするガラス繊維物品の表面欠陥検出方法。 （もっと読む）

【課題】小型の装置構成で、高精度に、被検体（ワーク）の欠陥検査を行うことを可能にする。
【解決手段】複数のレンズがアレイ配列されてなるレンズアレイ１１と、該レンズアレイの複数のレンズのそれぞれにより略結像される被写体の縮小像（個眼像）の集合である複眼像を撮像する撮像素子１４とを備える撮像装置１０を使用する。処理装置２０は、該撮像装置１０により被写体を撮影して得られる複眼像を処理して被検体の欠陥を判定する。ここで、処理装置２０は、撮像装置１０により得られる複眼像を複数の個眼像に分離する画像キャプチャ部２１、分離された複数の個眼像それぞれを歪み補正する画像補正部２２、歪み補正された複数の個眼像に基づいて被検体の欠陥を判定する欠陥判定部２３からなる。 （もっと読む）

【課題】検査時間および労力を低減できるマスク検査方法およびその装置を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、マスク検査方法は、半導体露光用マスクに任意波長の光を入射させ撮像部にて像を取得する光学系を用いて、前記マスクの欠陥の有無を検査する方法であって、予め前記光学系による点像を、前記撮像部の読み出し方向に伸長される制御条件を取得する第１ステップ（Ｓ２０３）と、前記制御条件により、マスクの所望の領域の像を取得する第２ステップ（Ｓ２０５）と、取得した前記所望の領域の像において、信号強度が予め定めておいた第１閾値以上であり、前記信号強度の前記読み出し方向における差分が予め定めておいた第２閾値以下であるピーク信号が存在する場合、前記ピーク信号の座標を欠陥として判定する第３ステップ（Ｓ２０６）とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 導光板を作製するときに用いられる導光板用シートや導光板自身の黄色味または透明度の程度を、効率よく検査することができる検査装置を提供する。
【解決手段】 光照射部２は、導光板用シート６の端面に光を照射する。受光部３は導光板用シート６を透過した透過光を受光しＸ値および輝度値を検出する。判定部４２の第１判定部４２１は、第１記憶部４１１に記憶される相関関係αに基づいて受光部３により検出されたＸ値に対応するＹＩ値が所定の閾値を超えているか否かを判定し、第２判定部４２２は、第２記憶部４１２に記憶される相関関係βに基づいて受光部３により検出された輝度値に対応する全光線透過率が所定の閾値未満であるか否かを判定する。出力部４３は、判定部４２による判定結果を出力する。 （もっと読む）

【課題】積層体の切断端面に沿って上向きおよび下向きのバリなどの欠陥部位を精度よく求める。
【解決手段】積層体の端面を撮影し、取得した画像データから積層体の領域を求め、積層体の領域の画像データを利用して当該領域に近似する矩形を求め、積層体の領域から矩形の領域の差分をとり、余った領域を予め決めた基準値との比較から塗布物質の欠陥部位を求め、取得した画像データから積層体の総厚みよりも薄い芯材の領域を算出し、求めた芯材の領域から予め決めた芯材の厚み分をノイズとみなして除去し、芯材の欠陥部位を求める。 （もっと読む）

【課題】透明樹脂フィルムのキズ、あるいはその上に透明樹脂層が積層された透明樹脂フィルムの微細な表面欠陥を、片側表面のみ効率よく検出する。
【解決手段】波長３５０〜３８０ｎｍの紫外線の照射装置１と、当該波長に検出能力を有する検出装置５からなる反射光学系を用い、可視光において透明な樹脂フィルム２であって当該波長において不透明な樹脂フィルムの紫外線照射側表面にある欠点を検出する透明樹脂フィルムの表面欠陥の検査方法。 （もっと読む）

【課題】短時間で、検査精度の高い検査を行うことができる穴内検査装置を提供する。
【解決手段】穴内検査装置１００は、複数の穴２を有する被検査物１の穴２の内部の異物を検査する穴内検査装置１００であって、被検査物１の穴２の内部を撮像する撮像部１０と、撮像部１０を制御する制御部２０と、を含み、制御部２０は、穴２の内部を撮像部１０に撮像させて、第１画像を取得する第１画像取得処理と、第１画像に基づいて異物を検出し、異物の大きさが所与の値よりも大きいか否かを判定して、前記所与の値よりも大きい異物がある穴２を選択する選択処理と、選択処理において選択された穴２の内部を、撮像部１０に複数回撮像させて、複数の第２画像を取得する第２画像取得処理と、を行い、複数の前記第２画像は、互いに異なる焦点位置で撮像される。 （もっと読む）

【課題】基板装置表面のパターン欠陥の致命度をより信頼度高く判定する。
【解決手段】データ処理部１０は、欠陥レビュー部１２を介して基板装置のパターン欠陥を含んだレビュー画像を取得し（レビュー画像取得部１０４）、そのレビュー画像と欠陥のない参照画像とを比較することにより欠陥画像を抽出するとともに、前記レビュー画像とそのレビュー画像に対応する領域の同じレイヤの設計データから生成した自レイヤ設計パターン画像との位置合わせを行う（画像位置合わせ部１０５）。そして、その位置合わせの結果に基づき、前記レビュー画像に対応する領域の他のレイヤの設計データから他レイヤ設計パターン画像を生成し、前記欠陥画像と他レイヤ設計パターン画像との合成画像に基づき、前記欠陥と他レイヤのパターンとの相対位置関係を求め、その相対位置関係に基づき致命度を判定する（致命度判定部１０６）。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の表裏を一台のカメラで一度に検査できるようにすること。
【解決手段】外観検査装置１は、カメラ４と、光学系１５とを具備する。検査対象物２０の正面２０ａがカメラ４の視野４ｂに配置される。光学系１５は、検査対象物２０の正面２０ａ及び背面２０ｂをカメラ４が同時に撮影することが可能なように背面２０ｂからの光線１０２の向きを変更する。 （もっと読む）

【課題】試料表面の面粗さや正常な回路パターンからの散乱光の影響を抑制し、かつ、欠陥や異物からの散乱光の利得を高くして、高感度に試料表面の欠陥等を検出することが可能な欠陥検査装置を実現する。
【解決手段】ＮＡ値が大きいレンズを使用するとレンズ外径は１０ａとなり斜方光学系とウエハとの角度はα１である。ウエハ表面粗さや酸化膜下の面粗さ、回路パターンからの散乱光を低減して、欠陥散乱光を多く検出するために斜方検出系の仰角を下げると仰角α２＜α１となるがレンズの外径１０ｂはレンズ外径１０ａより小となり散乱光の集光能力が低下する。集光能力を向上するためレンズ径を広げた１０ｃとするとレンズとウエハ７とが干渉を起こす。干渉部分を削除したレンズの創作により低仰角α２を保持してレンズの開口寸法を１０ｂより大とすることができ欠陥検出能力の向上とレンズ性能の向上が同時に成立する。 （もっと読む）

【課題】欠陥検査装置のレシピで設定するセル領域の設定を自動化する方法を提供する。
【解決手段】CellMatAreaの区別をCellMatAreaと非CellMatAreaのGrayLevelの分布特徴の差を用いてイメージをスキャンして、その結果からCellMatAreaと非CellMatAreaを分ける方法を取った。具体的にはCellMatの始点と終点を区別するための基準になる閾値をMemoryCellだけあるAreaで計算した後、その閾値を適用して始点と終点を探してそのそれぞれを繋げてCellAreaを作成した。 （もっと読む）

【課題】微小な表面欠陥を検査する表面検査装置に対して適切な校正を行うべく、信頼性の高い性能評価を行うことができる表面検査装置の評価装置及び表面検査装置の評価方法を提供する。
【解決手段】校正装置３０は、表面検査装置１０のリング照明１１及びカメラ１３を検査時の相対位置関係を保ったまま後退させて検査面１ａから離反させ、そこに校正板４０を配置する。このとき、校正板４０からリング照明１１までの距離を、検査時における検査面１ａからリング照明１１までの距離と同じにする。また、校正板４０には、検査対象の微小表面欠陥と同等レベルの穴４１を形成しておく。この状態で、カメラ１３によって校正板４０の表面画像を撮像し、検査時と同様の画像処理を行って、校正板４０の穴４１を適切に検査できているか否かを確認することで、表面検査装置１０の検査性能を評価する。 （もっと読む）

【課題】過度の欠陥検出を抑制することにより、不必要な欠陥修正を低減することのできる検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】センサ１０６からマスク１０１の光学画像を取得するし、光学画像におけるパターンの寸法と、判定の基準となる基準画像におけるパターンの寸法とを測定し、これらから第１の誤差を求める。マスク１０１上の光学画像と基準画像について各転写像を推定し、これらの転写像におけるパターンの寸法を測定して第２の誤差を求める。各転写像を比較し、差異が閾値を超えた場合に欠陥と判定する。欠陥と判定された箇所における第２の誤差を第１の誤差で補正する。 （もっと読む）

【課題】
欠陥の種類を正確に判別することができる欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】
被検査体を撮像して得られる画像データに基づいて欠陥を検査する方法であって、
被検査体に対して複数の種粳の画像データを取り込み、
これら複数の種類の画像データのそれぞれについて欠陥の検出を行い、
１つの欠陥に対して欠陥を検出した画像データの組み合わせに応じて、その欠陥の種類を判別することを特徴とする、欠陥検査方法。 （もっと読む）

【課題】パターンの形成状態を高コントラストで検査可能にする。
【解決手段】カラーフィルタ基板４上に線状に形成されたシールライン５の形成状態を検査するパターン検査装置であって、シールライン５を撮影する検査カメラ２と、検査カメラ２の撮影領域を照明する照明光学系３と、を備え、照明光学系３によりカラーフィルタ基板４に照射される照明光の光線の光軸Ｌ_axに対する最大角度θ₁が検査カメラ２の画角θ₂の半角θ₂／２に略等しくなるようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】検査対象領域を撮像して取得した多値画像の明暗が変化した場合であっても、非検出対象物であるノイズを効果的に除去し、検出対象物であるブロブ（集合体）状の傷、汚れ等の欠陥の有無、大きさ、形状等を検査する画像検査装置、画像検査方法、及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】検査対象領域の多値画像を取得し、取得した多値画像の濃度情報に基づいて基準濃度値を算出する。多値画像の各画素の濃度値と算出した基準濃度値との差分を画素ごとに算出し、基準濃度値の変化に追従して変化するように基準濃度値に対して相対的に閾値を設定して記憶する。算出した差分が閾値より大きい複数の画素を抽出し、抽出された複数の画素の輝度値の連結性に基づいて画素の集合体を特定し、特定された画素の集合体に対して、差分を用いた特徴量を算出する。算出した特徴量に基づいて、特定された画素の集合体の欠陥を判別する。 （もっと読む）

【課題】シート状物に発生した周期性の凹凸状欠陥を安価な装置構成で比較的単純な信号処理によってリアルタイムに判定し、信頼性の高い周期性欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】走行するシート状物の幅方向を照明する照明手段と、反射光を検出する撮像手段と、検出した欠陥を画像判定してシート状物の幅方向の位置情報を演算し、その幅方向の位置情報に基づいて複数の領域に分別する幅方向領域分別手段と、該幅方向領域分別手段から欠陥検出のタイミングで外部へ電気信号として出力する信号出力手段と、特定の周期性欠陥判定処理手段とを具備ことを特徴とするシート状物の周期性欠陥検査装置により、上記課題を解決しえる。 （もっと読む）

【課題】レンチキュラシートの微細な欠陥までを検出する。
【解決手段】光源部１５は、レンチキュラシート１１に対して、直線偏光された照明光をレンチキュラシートの幅方向と平行な線状にして照射する。撮影装置２１，２２は、照明光の照射方向に対して所定の角度で傾けられた方向から第２偏光板２３を介して照明光の照射領域Ｒを撮影する。第２偏光板２３は、その偏光方向が照明光の偏光方向と直交するものとされている。欠陥は、正常部分よりも輝度が高い部分として検出される。 （もっと読む）

【課題】管状体の内表面に発生しうる凹凸疵及び模様系の疵を同時に検出すること。
【解決手段】本発明に係る欠陥検出装置は、管状体の軸方向に沿って移動しながら管状体の内表面に対して環状のレーザ光を照射して環状ビーム画像を複数生成する管状体撮像装置と、生成された環状ビーム画像に対して画像処理を行い、管状体の内表面に欠陥が存在するかを判断する演算処理装置とを備え、演算処理装置は、各環状ビーム画像における環状のレーザ光の照射部分の重心位置を算出する環状ビームセンター算出部と、環状ビーム画像の座標系を変換して光切断画像を複数生成する座標変換部と、各光切断画像から生成された縞画像フレームに基づき管状体の内表面の凹凸状態を表す深さ画像及び管状体の内表面でのレーザ光の輝度分布を表す輝度画像を算出する画像算出部と、算出された深さ画像及び輝度画像に基づき内表面に存在する欠陥を検出する欠陥検出部とを有する。 （もっと読む）

【課題】缶の巻締め部の巻締め厚さを全周にわたって精度よく計測でき、全数の缶の巻締め部の部位毎、巻締機のヘッド毎にＴ寸法のばらつきや推移を管理することができる缶の管理装置を提供する。
【解決手段】巻締め部を有する缶の管理装置１００は、巻締め部２０の上方に配設したリング照明装置２と、リング照明装置２からの照明光により巻締め上端両側の反射映像をリング照明装置２の中心と同軸上に配設し撮像するカメラ４と、入力映像をディジタル多階調画像に変換し、巻締め上端両側の二重のリング状画像を得、リング状画像の中心から放射状に二重のリング外側端とリング内側端とのリング幅を、プルトップ方向の基準線から適宜な間隔で全周にわたって計測し、該計測値を記憶部に記憶するＴ寸法管理装置６とを有する。缶の管理装置１００は、缶の全数について巻締機のヘッド毎の各計測値を管理する。 （もっと読む）