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Fターム[2G051EB01]の内容

光学的手段による材料の調査の特殊な応用 (70,229) | 信号の比較、判別 (2,683) | 基準値、閾値の設定 (1,856)

Fターム[2G051EB01]に分類される特許

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【課題】管状体の内表面に発生しうる凹凸疵及び模様系の疵を同時に検出すること。
【解決手段】本発明に係る欠陥検出装置は、管状体の軸方向に沿って移動しながら管状体の内表面に対して環状のレーザ光を照射して環状ビーム画像を複数生成する管状体撮像装置と、生成された環状ビーム画像に対して画像処理を行い、管状体の内表面に欠陥が存在するかを判断する演算処理装置とを備え、演算処理装置は、各環状ビーム画像における環状のレーザ光の照射部分の重心位置を算出する環状ビームセンター算出部と、環状ビーム画像の座標系を変換して光切断画像を複数生成する座標変換部と、各光切断画像から生成された縞画像フレームに基づき管状体の内表面の凹凸状態を表す深さ画像及び管状体の内表面でのレーザ光の輝度分布を表す輝度画像を算出する画像算出部と、算出された深さ画像及び輝度画像に基づき内表面に存在する欠陥を検出する欠陥検出部とを有する。 (もっと読む)


【課題】缶の巻締め部の巻締め厚さを全周にわたって精度よく計測でき、全数の缶の巻締め部の部位毎、巻締機のヘッド毎にT寸法のばらつきや推移を管理することができる缶の管理装置を提供する。
【解決手段】巻締め部を有する缶の管理装置100は、巻締め部20の上方に配設したリング照明装置2と、リング照明装置2からの照明光により巻締め上端両側の反射映像をリング照明装置2の中心と同軸上に配設し撮像するカメラ4と、入力映像をディジタル多階調画像に変換し、巻締め上端両側の二重のリング状画像を得、リング状画像の中心から放射状に二重のリング外側端とリング内側端とのリング幅を、プルトップ方向の基準線から適宜な間隔で全周にわたって計測し、該計測値を記憶部に記憶するT寸法管理装置6とを有する。缶の管理装置100は、缶の全数について巻締機のヘッド毎の各計測値を管理する。 (もっと読む)


【課題】試料を検査するために使用される検査システムの欠陥検出を強化する。
【解決手段】光電子増倍管(PMT)検出器の測定検出範囲の制限要因として陽極飽和に対処することによって欠陥検出を強化するための検査システム、回路、方法が提供される。検査システムの測定検出範囲の制限要因として増幅器及びアナログ・デジタル回路の飽和レベルに対処することによって欠陥検出を強化するための検査システム、回路及び方法も提供される。加えて、表面検査の走査の間に試料に供給される入射レーザ・ビームパワー・レベルを動的に変更することによって大きな粒子に対する熱破損を削減することにより欠陥検出を強化するための検査システムや回路、方法が提供される。 (もっと読む)


【課題】搬送時に得られた画像を基準画像として高速処理を単独カメラユニット毎に実現する通常検査処理と、予め製作してある画像を基準画像として複数カメラユニットの画像を合成処理する版検査処理を併用する検査方法を提供する。
【解決手段】表面、又は裏面、又はその両面に印刷が施され、搬送される印刷物の検査方法であって、印刷物表面または/および印刷物裏面に照明を照射する照明段階と、前記印刷物の搬送と同期を取るかまたは所定時間間隔で、前記印刷物を撮像する撮像段階と、前記撮像段階にて得られた前記印刷物の画像データを用いて、前記印刷物に存在する欠陥を判定する画像処理・欠陥判定段階と、を有し、前記画像処理・欠陥判定段階は、搬送時に得られた画像を基準画像として処理を実現する通常検査段階と、予め製作してある画像を基準画像として処理を実現する版検査処理段階と、を有することを特徴とする印刷物の検査方法。 (もっと読む)


【課題】ICのリード端子上に付着した異物が透過率の高い物の場合には、リード端子と異物との濃淡値の差が小さく判別し難い。濃淡値の差が少ない異物でも検出可能な検査装置を提供する。
【解決手段】 複数のリード端子を有するICをワーク台にセットし、カメラおよび照明光源をリード端子上に設置する。照明光源は、矩形の開口部と開口部を挟んで対向する一対の第1光源列および一対の第2光源列とを備えており、点灯制御装置にて第1光源列と第2光源列の点灯が切換え可能とする。また、画像処理装置は第1光源列を点灯し第2光源列を非点灯としたときのリード端子列の撮像画像を記憶する第1メモリ、第2光源列を点灯し第1光源列を非点灯としたときのリード端子列の撮像画像を記憶する第2メモリを備え、それらの合成画像と異物が無い状態の画像のメモリ回路とを照合する判定することで、異物の有無を検出する。 (もっと読む)


【課題】本発明は、線材製造工程のうち圧延、引抜、及び射出工程で線材を生産する過程で線材の表面に発生する表面欠陥を光学センサを用いて非接触式でリアルタイムに検出する装置及び方法に関する。
【解決手段】本発明による円形線材の光学欠陥検出装置は、円形面状の光を照射する照明装置と、移送されている円形線材で反射された前記照明装置の反射光を受光して光信号を生成し、前記生成された光信号を映像信号に変換する光学センサと、前記光学センサから映像信号を受信して前記円形線材の表面情報を取得する信号処理手段とを含む。 (もっと読む)


【課題】
検査装置の感度設定にかかる処理時間とユーザ負担を低減すると共に、LSIテスタによる電気的特性検査にかかるコストの増加、及び、電気特性検査が困難な領域の発生に対処する。
【解決手段】
パターンが形成された試料に光源から発射された光を照射し、この光が照射された試料からの反射光を検出器で検出して画像を取得し、この取得した画像を処理して該画像の特徴量を抽出し、この抽出した画像の特徴量を予め設定した基準値と比較して試料上の欠陥を検出する欠陥検査方法において、予め設定した基準値をパターンが形成された試料を別の検査装置で検査して得た試料の検査結果を用いて作成するようにした。 (もっと読む)


【課題】仮に試験サンプルが良品側へ混入することがあっても、人への健康被害を起こす可能性が極めて小さい光学式粒状物選別機における試験サンプル及びその製造方法を提供する。
【解決手段】小石粒を不良品試験サンプルとなし、予め整粒された米粒を良品試験サンプルとなして、これら不良品試験サンプルと良品試験サンプルとを所定割合で混合して調製した。小石粒を原料とし、該小石粒を篩機に通して粒径選別するとともに、該粒径選別された小石粒を光学式粒状物選別機に通して光学的に複数群に選別し、さらに、該複数群に選別された小石粒を粒状物品位検査装置に供給して小石粒の特徴づけを行う一方、該特徴づけられた小石粒を拾い集めて不良品試験サンプルを作製し、該不良品試験サンプルを、予め整粒された米粒からなる良品試験サンプルと所定割合で混合し調製した。 (もっと読む)


【課題】ガラス基板の内部欠陥による蛍光部画像がモヤ状画像でもそのエッジを検出して内部欠陥の検出精度を高める。
【解決手段】マスクブランク用ガラス基板の製造時に、2つの主表面と4つの端面を有するガラス基板を準備する基板準備工程と、いずれかの面から波長200nm以下の検査光をガラス基板内に導入して内部欠陥を検出する欠陥検査工程とを有するマスクブランク用ガラス基板の製造方法であって、欠陥検査工程は、いずれかの面から前記ガラス基板を撮影し、当該撮影画像に対して遠隔差分により光量差を求める処理を含む画像処理を行うことで、検査光によって、ガラス基板の内部欠陥から発生する蛍光の有無を判定し、蛍光が無いと判定されたガラス基板を選定する。 (もっと読む)


【課題】照明光を短波長化しなくても、確実に繰り返しピッチの微細化に対応できる表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置10は、被検物体20に形成された繰り返しパターンを直線偏光により照明する照明手段13と、前記直線偏光の入射面の前記表面における方向と前記繰り返しパターンの繰り返し方向とのなす角度を0以外の所定値に設定する設定手段11と、繰り返しパターンからの正反射光のうち、前記直線偏光の振動面に垂直な偏光成分を抽出する抽出手段38と、受光手段39から出力される前記正反射光の光強度に基づいて、前記繰り返しパターンの欠陥を検出する検出手段15とを備え、前記設定手段は、前記直線偏光の入射面の前記表面における方向と前記繰り返しパターンの繰り返し方向とのなす角度を、前記表面の正常部分からの光強度と前記表面の欠陥部分からの光強度との差が最大となるように設定する。 (もっと読む)


【課題】検出感度の向上には、画素の検査サイズを小さくしてS/N比を向上させることや、領域別に最適なアルゴリズムを用いて処理する方法が有効である。しかし、処理データ量が増加するため、処理時間増加によるスループットの低下、処理回路の並列化による回路規模増加およびコストが増加する、という課題がある。
【解決手段】検査領域の量から処理時間が最短、および回路規模が最小のうち少なくとも1つの条件を満たす処理基板とアルゴリズムとの組み合わせを得る。 (もっと読む)


【課題】 本願発明の課題は従来技術の問題を解決するものであって、多数の果菜の検査が可能であって、虫害を受けた果菜を不良品として確実に検出することができる果菜の検出方法及びその検出装置を提供することにある。
【解決手段】 本願発明の果菜の検出方法は、果菜のうち蔓付近の部分、又は蔓のうち果菜付近の部分、を切断し、果菜の切断面画像、又は蔓の切断面画像、を画像取得手段によって取得し、画像判別手段に切断面画像を入力し、且つこの画像判別手段に切断面画像を画像処理させることで、切断面における虫害痕の有無を判別し、切断面に虫害痕を有する果菜を、不良品として検出する方法である。 (もっと読む)


【課題】不良を示す実際の計測値が少ない場合でも、中間検査の判定基準値の適否の判定や判定基準値の適正値を特定する処理を精度良く実施する。
【解決手段】中間検査の対象とした計測値Xと最終検査の対象とした計測値Yとの相関関係を導出した後に、その相関関係に基づき、X軸に設定された複数の演算対象点毎に、その点が示す計測値Xnに対する計測値Yの分布パターンを特定し、その分布のうち最終検査の判定基準値Ysにより良と判定される範囲WOKおよび不良と判定される範囲WNGの確率を算出する。さらに、中間検査の判定基準値Xsにより計測値Xの不良と判定される範囲および良と判定される範囲のそれぞれについて、その範囲に含まれる演算対象点につき求めた確率を用いて、各検査結果が整合する度合いおよび整合しない度合いとを求め、双方の度合いに基づいて判定基準値Xsの適否を判定する。 (もっと読む)


【課題】ウエーハ等の表面欠陥検査装置において、前方散乱光を高感度で検出し、正反射光をも同時に高感度検出可能とすることで、欠陥捕捉率の高い高効率の欠陥検査を実現。
【解決手段】前方散乱光検出手段20は、ベアウエーハ1の前方散乱光を受光する光学系であり、照明手段10よりベアウエーハ1に照射された検査光3による欠陥2からの散乱光を受光する検出レンズ21と全反射ミラー22とで構成され、その中央部(検査光入射平面と直行した方向)で分割した特徴を持つ。この全反射ミラー22で側方に分離された前方散乱光は光電変換素子23で検出され、中央の分割領域を直通する正反射光7は正反射光検出手段30で検出されるので、前方散乱光と正反射光とで互の影響を抑制しつつ同時に検出することできる。 (もっと読む)


【課題】半導体装置の歩留りを効率的に、かつ高精度に算出する。
【解決手段】薄膜を一様に形成した半導体ウェハ2の画像データを取得し、品種ごとに形成された欠陥識別データ38と製品パターン39とを用いて、薄膜に形成された欠陥を抽出する。欠陥識別データ38は、半導体装置の電気特性に影響を与える欠陥サイズの情報であり、製品パターン38は、回路パターンが疎な領域をマスクしたパターンである。さらに、抽出した欠陥が存在するチップの数から歩留り率の予想値を算出し、その品種に必要とされる規定の歩留り数と比較して半導体ウェハ2の良否を判定する。 (もっと読む)


【課題】従来よりもガラス基板の欠陥の検査感度を向上可能であり、かつ、欠陥を検査する時間を短縮できるガラス基板の欠陥検査方法及び欠陥検査装置、並びに、前記欠陥検査方法又は前記欠陥検査装置を用いたガラス基板の製造方法を提供する。
【解決手段】本ガラス基板の欠陥検査方法の一形態は、第1主平面及びその対向面である第2主平面を有するガラス基板に、複数方向から光を順次照射し、前記ガラス基板の画像を順次撮像する順次撮像工程と、前記順次撮像工程で順次撮像した各ガラス基板の画像に基づいて、前記ガラス基板の前記第1主平面及び前記第2主平面の欠陥の有無を検査する欠陥検査工程と、を有する。 (もっと読む)


【課題】被検査面の微小な表面欠陥を地合ノイズの影響を受けずに安定して検査することのできる表面検査装置を提供する。
【解決手段】光源2から鋼板1の表面に照射された照明光の反射光を受光して鋼板表面の画像信号を得る撮像装置3の空間分解能を0.2mm以下にするとともに、照射位置での鋼板1の法線方向1aを基準として撮像装置3を光源2と同じ側に配置し、かつ光源2から鋼板表面への照明光の入射角度αを60°〜80°の間の角度に設定するとともに、撮像装置3の受光角度β1を20°〜αの間の角度に設定した。 (もっと読む)


【課題】物体の表面を撮像して生成される画像に基づいてその表面におけるクラックの有無を判定する表面検査装置を提供すること。
【解決手段】匣鉢の表面を検査する表面検査装置100は、その匣鉢の表面を撮像して処理対象画像を生成する処理対象画像生成部10と、その処理対象画像に対して画像処理を施し、その処理対象画像において所定方向に延びる線状オブジェクトを顕在化させた顕在化画像を生成する顕在化画像生成部11と、その顕在化画像における線状オブジェクトによって形成されるクラック候補の端部位置に基づいてその匣鉢の表面におけるクラックの有無を判定するクラック有無判定部12と、を備える。 (もっと読む)


【課題】ウェーハ上の欠陥の誤検出を抑制する欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】ウェーハの表面全体に照射光を走査し、該照射光の散乱強度にて前記ウェーハの表面上の欠陥をLPDとして検出するに当たり、散乱強度に関して初期値を設定し、該初期値の下でLPDの数を検出し、該検出数が基準値以下であれば初期値を閾値とする一方、検出数が基準値を超える場合は、初期値を増加させてLPDの検出を繰り返し、LPDの数が基準値以下となった際の当該初期値を閾値とし、次いで、該閾値の下でLPDの数の検出を繰り返し行い、ウェーハ表面への照射光の散乱強度が閾値以上であり、かつウェーハの同一位置にて2回以上検出された、LPDの数および位置を以て、ウェーハにおける欠陥の数および位置を判定する。 (もっと読む)


【課題】簡易迅速に潤滑油中の異物の性状、大きさを検出することができるエンジン用潤滑油の異物検出装置およびエンジンシステムを提供する。
【解決手段】本実施例に係るエンジン用潤滑油の異物検出装置40Aは、ディーゼルエンジン10に供給される潤滑油32の一部を新油32Aとして抜き出す新油分取ラインL11と、ディーゼルエンジン10から排出される潤滑油32の一部を使用油32Bとして抜き出す使用油分取ラインL12と、新油分取ラインL11および使用油分取ラインL12から抜き出した新油32A、使用油32B中に含まれる異物の外形を画像により検出する検出装置41と、を有し、検出装置41で得られた検出結果から使用油32B中に含まれる異物を検出し、かつディーゼルエンジン10の運転継続の可否を判断する。 (もっと読む)


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