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Fターム[2G051EB02]の内容

光学的手段による材料の調査の特殊な応用 (70,229) | 信号の比較、判別 (2,683) | 基準値、閾値の更新 (260)

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【課題】 金属性キャップの下端縁に生じる不良を、精度良く検出できるようにする。
【解決手段】 リング状光源による照明部2により、検査対象のボトル缶を斜め上方から照明するとともに、4台のカメラ1A,1B,1C,1Dにより、キャップを含むボトル缶の上部を全周にわたって撮像する。画像処理装置3は、各カメラ1A,1B,1C,1Dから画像を取り込み、それぞれの画像の首部の部分に検査領域を設定して影領域を検出する。いずれかの画像において影領域が検出されると、検査対象のボトル缶は不良品であると判断される。 (もっと読む)


【課題】
欠陥を高い精度で分類することができる検査装置を提供することにある。
【解決手段】
明るさが近いダイ間の画像信号同士の差分画像信号に対して欠陥検出しきい値と該欠陥検出しきい値よりも低い特徴量抽出のしきい値とを設けることで、欠陥の各種特徴量を精度よく抽出する検査装置。 (もっと読む)


【課題】 試料の外観検査に使用された画像間の相違を表す情報を欠陥情報の他に報告することにより、従来の外観検査ではユーザが知り得なかった試料間の相違を示すことが可能な外観検査装置及び外観検査方法を提供する。
【解決手段】 外観検査装置を、試料3の表面を撮像する撮像手段4と、この撮像手段により得られた画像から試料3の欠陥を検出する欠陥検出手段5〜8と、さらに、撮像手段により撮像された画像における画素値の分布状態を示す分布情報を算出する分布情報算出手段10と、欠陥検出手段により検出された欠陥情報の出力の他に、分布情報を出力するための分布情報出力手段20と、を備えて構成する。 (もっと読む)


【課題】 欠陥検査において欠陥検出閾値及び欠陥検出フォーカス等のパラメータを高精度で且つ短時間に設定できるようにする。
【解決手段】 検査対象基板にエネルギービームを照射することによって、当該検査対象基板から反射されたエネルギービームをディジタル画像信号として取得し、取得されたディジタル画像信号の強度が閾値を超える場合に当該ディジタル画像信号を欠陥として検出する。閾値は、ディジタル画像信号に含まれるノイズ信号の最大強度に基づいて設定される。 (もっと読む)


【課題】 被検査体の表面の欠陥を検査する際に,輝度変化が大きくて面積の小さい欠陥と輝度変化が小さくて面積の大きい欠陥とを同時に検出することのできる計算負荷の低い欠陥検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】 被検査体表面の画像データの各画素の輝度を正規化した後に正規化基準値を用いて重み付けするようにしたので輝度変化が大きくて面積の小さい欠陥を消失させずに輝度変化が小さくて面積の大きい欠陥を検出することが可能となる。また,被検査体表面の画像データの輝度を正規化及び重み付けした値を各画素に対する有害度として定めた後,各画素を中心とする所定サイズの領域内の有害度を積分した値を各画素に対する有害度積分値として定めて,この有害度積分値を二値化処理するようにしたので,単一欠陥としての検出が困難な分断された欠陥や,集合して存在する欠陥を1つの欠陥として低い計算負荷で検出することが可能となる。 (もっと読む)


【課題】 アモルファスシリコンを固相結晶化した際に結晶化が充分進行したかどうかを簡単かつ確実に判定する。
【解決手段】 基板上の検査領域の画像を撮像し、前記画像から明度を基にグレースケール画像を作成し、前記グレースケール画像の明度の閾値を下記の式により定め、 閾値(Th) = 最小値 +(最大値 − 最小値)× A (ただし、A=0〜1) 前記グレースケール画像から前記明度の閾値を基に二値画像を作成し、前記二値画像を基に前記検査領域の良・不良を判定することを特徴とする。特に基板上の検査領域に固相結晶化によりアモルファス領域と多結晶領域が存在する場合において、固相結晶化の進行度を判定することができる。また、この判定結果をネットワークを通じて他の製造工程に反映させ、製品の品質を高いものにする。 (もっと読む)


【課題】照明光を短波長化しないで、繰り返しピッチの微細化に対応できる検査装置を提供する。
【解決手段】被検査基板20を照明するための直線偏光の発散光束を射出する光源手段Lsと、前記直線偏光の発散光束を、その光束の主光線が所定の入射角を有するように入射して、前記被検基板に導く光学部材35と、前記被検基板からの光束のうち前記直線偏光と偏光方向が直交する直線偏光成分を受光する受光手段38、39と、前記光源手段と前記受光手段との間の光路中に配置される補正部材に、応力歪を設定することにより、前記光学部材に起因して発生する偏光面の乱れを解消する補正手段10と、前記受光手段で受光した光に基づいて前記被検査基板の表面の欠陥を検出する検出手段15とを備える。 (もっと読む)


【課題】 画像判定の誤判定を防止して不良品の市場流出や目視検査員の削減などを実現できる画像判定装置および画像判定方法を提供する。
【解決手段】 被検査体の表面の明るさを示す画像情報を取得し、複数の閾値を用いて前記画像情報を予め定められた正常な段階を含む複数の明るさの段階毎に分類し、当該分類結果に基づいて前記被検査体の表面の欠陥画像を抽出し、抽出された前記欠陥画像の各々について、各欠陥画像が分類された段階の組み合わせに応じて予め設定された出現パターンを特定し、前記出現パターン毎に設定されたパラメータを予め記憶手段に記憶しておき、前記欠陥画像の各々の前記出現パターンとして特定された出現パターンに応じた各パラメータを用いて前記被検査体の表面の検査結果判定処理を実行する。 (もっと読む)


【課題】 限られたタクトタイムにおいても正確に判定できるようにすること。
【解決手段】 欠陥検査装置は、供試体の表面を撮像して原画像を取得し(ステップA1)、原画像に基づいて注目画素とその周辺画素の輝度値の平均値を算出し、算出した平均値と前記注目画素の輝度値とを入れ替えたフィルタ処理画像を作成し(ステップA2)、前記原画像の画素の輝度値から対応する前記フィルタ処理画像の画素の輝度値を減算した差分処理画像を作成し(ステップA3)、前記差分処理画像の画素の輝度値がしきい値以上の場合に当該画素の輝度値を1に入れ替えるとともに、前記差分処理画像の画素の輝度値がしきい値以上でない場合に当該画素の輝度値を0に入れ替えた2値化処理画像を作成し(ステップA4)、前記2値化処理画像に対して欠陥の有無を判定する(ステップA5、A6)。 (もっと読む)


【解決課題】 製品の品質のばらつきを抑えつつ、製品を構成するモジュールの歩留まりを向上させることができる検査装置、検査システム、検査方法及び検査プログラムを提供する。
【解決手段】 複写機10を構成する複数種類のモジュールの検査対象としないモジュールの特性を示す特性情報を予め記憶部46に記憶しておき、特性算出部44によって、検査対象とする前記モジュールの特性を示す特性情報が計測され、確率算出部50によって、記憶部46に記憶されている特性情報と特性算出部44により計測された特性情報とに基づいて複写機10全体としての特性を示す特性情報が算出され、合否判定部52によって、前記特性算出部44による算出結果に基づいて前記検査対象とするモジュールの合否を判定している。 (もっと読む)


【課題】認識エラーの少ないパターン認識装置およびパターン認識方法を提供することを目的とする。
【解決手段】透明基板に形成された透明電極のパターンを画像認識により検出するパターン認識において、読取画像の輝度分布をヒストグラム24aに表示させ、透明電極のパターン画像に対応する度数集積部25aと透明基板の背景画像に対応する度数集積部25bとを切り分けるための第1の設定値T1,第2の設定値T2を設定する。パターン検出に際しては、第1の設定値T1以上の輝度値を有する画素の輝度値を最大階調値255に変換し第2の設定値T2以下の輝度値を有する画素の輝度値を最小階調値0に変換した明るさ補正画像を対象として、パターンマッチングを行う。これにより、認識対象の読取画像中の画像ノイズや異物による影響を排除して、安定した認識を行うことができる。 (もっと読む)


【課題】 印刷装置から独立した外部に設けられ、デリバリユニットを設けることなく印刷ラインの途中に配設することができる品質検査装置を提供する。
【解決手段】 印刷装置9から独立して構成されており、前記印刷装置9に隣接して配置され、該印刷装置9より排出された段ボールシート6を上面61側から吸着保持して搬送する吸着搬送手段2と、搬送される段ボールシート6の下面側を照明する照明手段3と、段ボールシート下面側の被検査面60を撮像する撮像手段4と、撮像手段4からの出力をもとに前記被検査面60の欠陥の有無を判定する判定手段5とを備えた。 (もっと読む)


【課題】 複数枚同時にセットされるウエハのうちの1枚が外観検査を行っている間の他のウエハの待ち時間を有効に活用して、効率の良いウエハ検査を行うことが可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】 外観検査装置1は、試料23の表面を撮像して得た撮像画像からその外観を検査する外観検査手段2に加えて、この外観検査手段2が試料23の外観検査を行う前に試料23について所定の前検査を行う前検査手段3を備えて構成される。そして、外観検査手段1は、当該試料について行われた前検査の結果に基づき外観検査の検査条件を変更する一方で、前検査手段3は、当該試料23の前検査を、外観検査手段2が当該試料23以外の他の試料23の外観検査と平行して行う。 (もっと読む)


【課題】 高精度のマスタ画像を作成して正確にパターン検査を行うパターン検査方法およびパターン検査装置を提供する。
【解決手段】 ステップS51では、被検査物に形成されるパターンの設計データを用いて比較用画像を作成する。ステップS52では、被検査物を撮像して得られる画像を用いて仮マスタ画像を作成する。ステップS53では、仮マスタ画像と比較用画像との相違点を抽出する。ステップS54では、相違点を表示する。ステップS57では、ユーザの操作に応じて、表示した相違点について仮マスタ画像を修正する。ステップS59では、修正された仮マスタ画像をマスタ画像として登録する。そして、登録されたマスタ画像とオブジェクト画像とを比較して、被検査物のパターン形状を検査する。 (もっと読む)


【課題】 複数の検査装置で統一した判断でシミ欠陥を検出するための閾値を簡便に設定するシミ欠陥検出用閾値設定方法を提供する。
【解決手段】 モデル欠陥作成工程ST100においてシミ欠陥を検出する基準となるモデル欠陥の画像を作成する。モデル欠陥再現情報記憶工程ST200においてモデル欠陥作成工程ST100にて作成されたモデル欠陥の画像を再現するためのモデル欠陥再現情報を記憶する。モデル欠陥表示工程において、モデル欠陥再現情報に基づいて検査装置の駆動手段にてモデル欠陥を再現させて表示させる。撮像工程において、再現されたモデル欠陥を検査装置の撮像手段によって撮像した撮像データを取得する。画像処理工程では、撮像データを画像処理手段で画像処理してシミ欠陥を検出するパラメータを算出する。閾値設定工程では、画像処理工程にて算出されたパラメータをシミ欠陥検出用閾値として設定する。 (もっと読む)


【課題】 高い生産性を確保しつつ、製品基板の信頼性を向上させる。
【解決手段】 実装処理が施された基板をカメラにより撮像してその画像データに基づき実装処理の良否を検査する実装検査装置4において、画像データに基づいて処理の良否を判定する判定部612と、検査タイミングに関するパラメータおよび検査レベルに関するパラメータを記憶する記憶部613と、この記憶手段に記憶されたパラメータに基づいて検査タイミング等を設定可能とするキーボード68等の設定手段と、設定された検査タイミングおよび検査レベルに従って検査を実施すべくカメラ等を制御する主制御部611とを備える。前記設定手段については、複数の検査タイミングを設定可能に構成され、かつその設定タイミング毎に個別に検査レベルを設定可能に構成されている。 (もっと読む)


【課題】 予め教示用のサンプルを作成しなくて良否判定が実行できる形状良否判定装置および形状良否判定方法の提供を課題とする。
【解決手段】 本発明において、特徴値F,Gのうち不良品の特徴値Fを実際に撮像した撮像イメージ33aではなく、推定により生成された推定イメージ33bから算出しているため、大量の不良品を作為的に作成し、実際に撮像する必要がない。従って、不良品の特徴値Fを収集するための手間とコストをなくすことができる。また、不良品の形状を表す形状データ34dは、不良品の範囲内で無限に作成することができる。従って、形状データ34dに基づいて算出される特徴値Fも無限に用意することができる。 (もっと読む)


【課題】
農産物の予め定めた計測部位を計測するに適した投光手段と受光手段を複数採用して、例えば農産物の異なる内部品質を効率的に高精度で判定すると共に、各受光手段からの計測信号を単一の処理手段で処理して装置のコストの低減化を図る農産物の内部品質判定装置を提供する。
【解決手段】
搬送手段により一列で搬送される農産物に投光手段により光を照射し、該照射により農産物を透過した光を受光手段により受光し、該受光された光に基づいて農産物の内部品質を判定する農産物の内部品質判定装置において、前記搬送手段で搬送される農産物の異なる部位をそれぞれ独立して計測するために、対となった投光手段及び受光手段を搬送手段の搬送方向に沿って複数配置すると共に、各受光手段からそれぞれ得られた光情報に基づいて単一の処理手段により農産物の内部品質を判定することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】専用の騒音センサ及び振動センサを用いることなく、画像処理分析技術を用いて回転機械の故障診断を行う。
【解決手段】回転機械1の表面には評価用図形が表示されており、回転機械1から離れた位置に固定されているカメラ付き携帯電話機等の通信装置2が評価用図形の画像データを取得する。得られた画像データは、PC等からなるデータ処理分析装置3に伝送され、該装置3は、受け取った現在画像データから得られる現在画像パターンの面積と、予め記憶された回転機械の正常稼働状態での評価図形の基準画像データから得られる基準画像パターンの面積とを対比し、面積の差が所定値以上になったときに、回転機械1が故障であると判定する。回転機械1上にカメラ付き通信装置2を配置し、回転機械1から離れた壁面等に評価用図形を表示しても良い。評価用図形は、円形の内部に十字形を表した図形等の単純図形を採用することが好ましい。 (もっと読む)


【課題】検査計量値を基に検査対象物の良否を判定する検査装置において「不良品を良品であると判定してしまう」ことをなくすことが可能な良品判定基準設定方法及び良否判定基準設定装置、検査を行っている過程で初期に設定された判定制度が維持されているかどうかを判定する判定処理の精度判定方法及び装置。
【解決手段】検査装置を用いてあらかじめ良品計量値の分布と不良品計量値の分布とを把握し両者を同一の画面上に表示して比較し良品判定基準を設定する。あらかじめ複数の良品から良品平均値MGと良品標準偏差σGとを求めておき複数の検査対象物について検査平均値MSと検査標準偏差σSとを求め良品平均値MGを中心として予め定められている範囲に設定されている良品平均範囲と検査平均値MSとを比較する及び/または良品標準偏差σGを中心として予め定められている範囲に設定されている良品標準偏差範囲と検査標準偏差σとを比較する。 (もっと読む)


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