【課題】基板上の欠陥を分類する分類器の学習に使用される教師データの作成において、教師データに利用される欠陥画像のカテゴリの決定を高速かつ適切に行う。
【解決手段】カテゴリが未決定の対象欠陥画像７から一の種類の特徴量Ｕ_ｘおよび２つのカテゴリ８１，８２の典型的な欠陥を示す典型画像８１１，８１２，８２１から当該一の種類の特徴量Ｔ_ｘ１１、Ｔ_ｘ１２、Ｔ_ｘ２１が取得される。次に、特徴量Ｕ_ｘと特徴量Ｔ_ｘ１１、Ｔ_ｘ１２、Ｔ_ｘ２１との３つの特徴量差が求められ、特徴量差が最も小さい典型画像８１１が属するカテゴリ８１に１票が投票される。同様の処理が特徴量の残りの種類についても行われ、カテゴリ８１，８２のうち得票数が多いカテゴリ８１が対象欠陥画像７が属するカテゴリとして決定される。このように、特徴量の種類毎に特徴量差を求めて投票を行うことにより、対象欠陥画像のカテゴリの決定が高速かつ適切に行われる。 （もっと読む）

【課題】自動外観検査において被検物に接触することなく適切な光学条件を容易に特定する。
【解決手段】光学条件を変更しながら、露光部分と未露光部分とを含む検査対象に照明光を照射して検査対象の画像を前記光学条件毎に取得し、取得された画像内の輝度差を算出し、露光の有無に起因する程度の輝度差が算出された場合に、そのときの光学条件を検査用光学条件として特定する。 （もっと読む）

【課題】パターン検査装置において、パターンの明るさむらの影響を低減して、高感度な欠陥検査を実現する。
【解決手段】被検査対象物上の欠陥を検査する欠陥検査方法であって、前記被検査対象物を所定の光学条件で照射して前記被検査対象物のパターンの画像データを取得する工程と、前記画像データから算出される特徴量に基づいて形成されるしきい値面関数のパラメータを決定する工程と、前記パラメータに基づいて形成された前記しきい値面関数を用いて、前記被検査対象物上の欠陥を検出する工程と、を有し、前記パラメータを決定する工程では、任意のパラメータを設定した前記しきい値面関数を用いて前記被検査対象物上の欠陥候補を抽出する工程と、前記工程により抽出された前記欠陥候補に関する欠陥情報の教示に基づき、前記しきい値面関数のパラメータを自動的に更新する工程と、を有することを特徴とする欠陥検査方法。 （もっと読む）

【課題】検査対象について所定の画像生成手段により生成された検査画像を検査することにより検査対象の表面に存在する欠陥を検出する画像検査において、撮像画像に現れる明度ムラに起因するノイズの影響を低減する。
【解決手段】画像検査装置１は、検査対象２に関する所定の画像５１中の欠陥有無の判定の対象となる検査画素６０と、その周囲にある複数の画素６１〜６８のうち検査画素６０と最もグレイレベル値が近い画素との間のグレイレベル差である最小グレイレベル差を検出する最小グレイレベル差検出部（２１、２２、２５、２６）と、最小グレイレベル差が所定の検出閾値を超えるとき画素６０の位置に欠陥が存在すると判定する欠陥検出部２４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 層間導通用ビアの外観検査の際に、種々の計測条件が変化しても、常に信頼性の高い検査結果を得ることができ、またその検査結果の信頼性を随時確認することのできるプリント配線板およびその製造方法ならびにプリント配線板のフィリングビアの外観検査方法を提供する。
【解決手段】 このプリント配線板は、絶縁性基板２に設けられたビア穴に層間導通用のめっき導体７を充填してなるフィリングビア４を有するプリント配線板であって、フィリングビア４とは別に、絶縁性基板２の各個片１の所定位置ごとに、めっき導体７を意図的に充填不良の状態とした充填不良サンプルビア６を形成してなることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】成形むらを欠けと区別できるようにし、良品である成形むらの無駄ばねを抑制することを可能にする。
【解決手段】検査領域生成部１６は、検査対象である物品Ｇの濃淡画像について指定した着目領域から検査領域を生成する。方向値画像生成部１４は、検査領域に含まれる画素の濃度勾配に対応付けた方向値を各画素の画素値とする方向値画像を生成する。着目画素抽出部１７は、方向値画像のうち物品の成形むらに相当する特定の方向値を持つ画素を着目画素として抽出する。演算部１８は、検査領域において方向値を持つすべての画素の画素数に対する着目画素の画素数の割合を算出する。判定部１９は、演算過程において求めた割合を欠けに対する範囲として規定した数値範囲と比較し前記割合が当該数値範囲を逸脱しているときには成形むらであると判定する。 （もっと読む）

【課題】物品の欠けを不良品とし異物の付着を良品として良否判定を行うにあたり、良否判定の誤認を防止し、無駄ばねを抑制する。
【解決手段】検査領域生成部１６は、検査対象である物品Ｇの濃淡画像について指定した着目領域から検査領域を生成する。方向値画像生成部１４は、検査領域に含まれる画素の濃度勾配に対応付けた方向値を各画素の画素値とする方向値画像を生成する。着目画素抽出部１７は、方向値画像のうち物品の欠けに相当する特定の方向値を持つ画素を着目画素として抽出する。演算部１８は、検査領域において方向値を持つすべての画素の画素数に対する着目画素の画素数の割合を算出する。判定部１９は、演算過程において求めた割合を正常範囲として規定した数値範囲と比較し前記割合が当該数値範囲を逸脱しているときに物品に欠けが存在すると判定する。 （もっと読む）

【課題】高い検査精度の外観検査を短時間で実現する。
【解決手段】色抽出部５は、正常状態の検査対象物を撮像したＲＧＢカラー画像について、ＲＧＢの各座標値を特徴量とする学習データを画素ごとに作成する。分類部２は、各学習データを競合学習型ニューラルネットワーク１に入力して学習させ、クラスタリングマップを作成する。学習後、分類部２は、競合学習型ニューラルネットワーク１に再度入力させた学習データごとに、クラスタリングマップ上の各ニューロンにおいてユークリッド距離を求め、各ニューロンについてユークリッド距離のリストを作成する。その後、分類部２は、各ニューロンについて、上記リストの最大値を分散とし、重みベクトルを平均ベクトルとして定義したガウス関数を設定する。その後、分類部２は、学習データごとに全ニューロンのガウス関数値総和を求め、全学習データに関するガウス関数値総和の最小値を下限閾値に設定する。 （もっと読む）

【課題】微小な重欠陥を検出可能でありながら、不良とはならない程度の微小な差異を検出することがないカラーフィルタ欠陥検査方法、及びカラーフィルタ欠陥検査装置を提供すること。
【解決手段】着色層のパターンが形成されたカラーフィルタの欠陥検査方法であって、カラーフィルタの撮像画像から着色層端部のテーパー形状部を抽出し、該抽出した領域と、該抽出した領域以外の領域とで異なる検査閾値を設定し、欠陥を検出することを特徴とするカラーフィルタ欠陥検査方法とする。 （もっと読む）

【課題】欠陥として抽出する画素の明るさの閾値を決めることを容易にして、真の欠陥を検出できる精度の高い検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】半導体ウェハ全体分の欠陥候補の数がわかっている参照画像を予め記憶し、検査画像を取得して画像比較検査により検出された検査画像の欠陥候補の数を記憶し、検査画像の欠陥候補の数より予め記憶された参照画像の欠陥候補の数の方が多い場合は、参照画像を検査画像で置き換え、これを半導体ウェハ全体分について実行して置き換えられた検査画像を参照画像として記憶し、次の半導体ウェハについては、記憶された参照画像と取得した検査画像とを比較して欠陥候補を検出する。 （もっと読む）

【課題】従来の構成では検査できなかった、ＣＣＤセンサ表面における一様な検査を可能とすることを目的とする。
【解決手段】前述の課題を解決するために、本発明では、イメージセンサ（ＣＣＤセンサ）表面上に付着した異物としてダイシングによって生じたシリコン破片と有機物を対象とし、それらを検出する検査を行う。また、検査方法としては、検査対象の品種ごとにマスターサンプルを用意し、そのマスターサンプルの輝度分布との差を求めることで検査を行う方法を用いる。そのための検査装置１３は、光源部１４、補助光源部１５、ステージ部１６、光学系１７、画像処理系１８、で構成する。 （もっと読む）

【課題】製品品質の検査システム及びその方法を提供する。
【解決手段】製品品質の検査システムは、検査機具と、撮影装置及び検査モジュールを含む。前記検査機具は検査対象としての完成品を位置決めするためであり、撮影装置をその上に架設し、両者の位置の対応関係を恒に変わらぬよう保持し、検査モジュールはデジタル信号の処理を行う。 （もっと読む）

【課題】 表面の荒れ等による差分出力のオフセットの影響を排除して正確な欠陥検査が行えるような表面検査方法を得る。
【解決手段】 表面検査方法が、撮像装置を被検物に対して相対移動させながら被検物の表面を撮像するステップと、被検物の表面の撮像画像から、被検物の表面を相対移動方向に沿って複数の分割して得られた複数の領域毎において所定の検査項目に対応する検査信号値を抽出するステップと、相対移動方向における検査信号値の移動平均値を複数の領域毎について算出するステップと、複数の領域毎について検査信号値から移動平均値を減じて補正検査信号値を求めるステップと、補正検査信号値に基づいて所定の検査項目についての検査を行うステップとから構成される。 （もっと読む）

【課題】 検査対象領域のサイズがばらつきに対応して画像抽出を行い、十分な検査精度が得られる外観検査システムを提供する。
【解決手段】 画像処理を用いた外観検査システムであって、検査対象の撮像画像の回転補正を行った後、回転補正画像の加工部測定を行い、その測定結果に合わせてサイズを調整した良品画像とのパターンマッチングによって検査対象領域の抽出を行い、抽出された検査対象領域を２値化することにより、検査を行うようにした外観検査システム。 （もっと読む）

【課題】 打ち抜き加工品の重なりが発生した場合や、打ち抜き加工品に除去残り或いはカス残りと呼ばれる欠陥が発生した場合でも、それらの不具合を検出することが可能な品質検査装置及び品質検査方法を提供する。
【解決手段】 打ち抜き加工品４０及びその近傍を撮像することにより得られた画像を基準画像と比較し、双方の画像が一致する場合には良、一致しない場合には不良と判定する検査手段８，９，１０を備える。検査手段８，９，１０は、打ち抜き加工品４０の近傍の画像については、打ち抜き加工品４０の画像よりも判定基準が甘い検査を行うか、又は、打ち抜き加工品４０における要部Ｒ１、Ｒ２の画像よりも判定基準が甘い検査を行う。 （もっと読む）

【課題】蛍光性の汚染物質マーカーを利用して機械部品の汚染を光学的に監視するシステムを提供する。
【解決手段】システムは、汚染物質マーカーが少なくとも１つの蛍光発光周波数を発するように構成された、少なくとも１つの照射周波数を発するように構成されると共に、少なくとも部分的に汚染されると汚染物質マーカーを含む、機械部品を少なくとも部分的に照射するように構成された、照明光源（１１４）と、少なくとも１つの蛍光発光周波数に反応すると共に、汚染された機械部品から発する少なくとも１つの蛍光発光周波数を検出するように構成された、光検出器（１１８）と、光検出器と動作連通しており、光検出器から信号を受信するように構成されると共に、光検出器からの信号の関数として機械部品の汚染を推定するように構成された、分析モジュール（１２０）とを備える。 （もっと読む）

【課題】 実機による欠陥検査の作業工数を低減させ、欠陥検査装置のスループットを向上させる欠陥検出レベル調整方法および欠陥検査システムを提供することを課題とする。
【解決手段】 欠陥検査装置で、欠陥検出アルゴリズムに対して高感度パラメータを設定し、実検出データを取得した後は、前記欠陥検査装置に対してオフライン上で、所望の検出レベルを達成するまで、感度パラメータの再設定とシミュレーション検出データの取得及び／またはレビュー用データ生成を繰り返す欠陥検出レベル調整方法およびこの調整方法の実行可能な欠陥検査システムを提供する。
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【目的】より実画像に近い参照画像を生成可能なパターン検査を行う装置を提供することを目的とする。
【構成】パターン検査装置１００は、サンプル光学画像データをＮ倍の解像度に変換する倍率変換部５０と、サンプル光学画像データのＮ倍の解像度で対応する階調値を定義した設計画像データと所定の低域ろ過関数とを畳み込み積分するＬＰＦ５４と、この設計画像データと所定の光学モデル関数とを畳み込み積分するＰＳＦ５６と、これらの画像データを用いて光学モデル関数の係数を取得する係数取得部１４２と、パターン形成された被検査試料の実光学画像データを取得する光学画像取得部１５０と、係数を用いて、前記被検査試料の実光学画像データに対応する参照画像データを作成する参照回路１１２と、実光学画像データと参照画像データを比較する比較回路１０８と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】線形状物の反射光を取り込んで作成した画像データから背景の影響を受けずに線形状物のみを正確に検出する線形状物検出装置を提供する。
【解決手段】照明１２の光源により線形状物１１に照明光（入射光ｉ）が照射され、線形状物１１で反射された反射光ｊをカメラ１３で取り込んで画像データｖｄが生成される。画像データｖｄは、濃淡値で表した濃淡画像データｖｅとして濃淡画像データ記憶部１５に記憶され、濃淡画像データｖｅに基づいて濃淡プロファイル作成部１６で濃淡プロファイルｖｐが作成され、濃淡プロファイルｖｐに基づいて、線形状物検出部１７で線形状物１１の特徴ｖｃを持つ部分が線形状物１１として検出される。線形状物１１は、検出結果結合部１８で結合され、線形状物１１が軌跡として検出される。 （もっと読む）

【課題】人手によらずプレス鋼板における微小な凹凸を検出することのできる、表面検査システム及びこれを用いた表面検査方法を提供する。
【解決手段】プレスされた鋼板に向けて赤外光を含む光を照射するライト２1と、鋼板に反射した赤外光を含む光を検知するカメラ２２と、このカメラ２２により撮像された画像から凹凸を検出する画像処理装置３と、この画像処理装置３により算出された情報を出力する出力装置としての表示装置４及び記録装置５とを有する表面検査システム１を構成する。 （もっと読む）