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Fターム[2G051EB02]の内容

光学的手段による材料の調査の特殊な応用 (70,229) | 信号の比較、判別 (2,683) | 基準値、閾値の更新 (260)

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【課題】欠陥検出速度を犠牲にすることなく高い欠陥検出精度でフラットパネルの欠陥を検出し得る欠陥検出装置を実現することにある。
【解決手段】欠陥検出装置としてのフラットパネル検査システム100は、フラットパネル200を撮像して得られた画像データに基づいてフラットパネル200の欠陥領域を特定する画像処理部104を備えている。画像処理部104は、上記画像データにおける各画素の濃淡値から、画素列毎の平均濃淡値を減算し、得られた差分値に対して閾値処理を行って欠陥領域を特定する。 (もっと読む)


【課題】熟練者でなくとも物品の外観検査用の感度ファイルが作成できる感度ファイル自動設定装置及びそれを備えた物品の外観検査装置の提供にある。
【解決手段】物品の外観検査のため予め熟練者により設定された感度基準ファイルが記憶された記憶装置13と、入力された物品の外観情報に基づき前記記憶装置から最も近い感度基準ファイルを選択する選択手段12aと、該選択手段により選択された感度基準ファイルにより検査して搬入された物品が予め設定された良品率又は不良品率になるように前記感度基準ファイルのパラメータを自動感度微調整する自動感度微調整手段12cとを備えた。 (もっと読む)


【課題】電線異常検出の高精度化及び異常点検における検査員の労力を軽減する。
【解決手段】電線が撮影された原画像から電線が撮影されている部分を対象画像として検出する電線検出処理と、対象画像から求めた電線の2本の理想輪郭線に挟まれる垂直方向の各画素列の色情報値から各水平方向の画素位置での代表値を求め、代表値の平均値を基準とする上限閾値及び下限閾値を予め設定し、代表値が上限閾値または下限閾値を超える水平方向の画素位置を異常箇所として検出する電線異常検出処理を行う画像処理による電線異常検出方法において、電線異常検出処理は、代表値が下限閾値以下である場合でも、更に下限閾値よりも低い値に予め設定された第二の下限閾値以下である水平方向の画素位置については異常箇所として検出しないものである。 (もっと読む)


【課題】スジなどの表示欠陥を精度良く検出できる欠陥検出方法を提供すること。
【課題手段】スジ欠陥検出方法は、撮像画像に対してスジ成分強調フィルタ630を適用するスジ成分強調処理工程と、スジ成分強調処理工程で得られたスジ成分強調値に基づいてスジ欠陥を検出するスジ欠陥検出処理工程とを有する。スジ成分強調処理工程は、略円状に配置された複数の比較画素のうち、対象画素Oを挟んで点対称位置に配置された各比較画素と対象画素とで各比較画素を結ぶ方向のスジ成分を強調するスジ成分強調画素を複数組設定し、スジ成分強調方向に平行にかつ各スジ成分強調画素の比較画素および対象画素に関して点対称位置に配置された画素を各スジ成分強調方向の比較画素に設定する画素設定工程と、各スジ成分強調画素の輝度値と比較画素の輝度値に基づいて対象画素の強調値を求める強調値算出工程とを備える。 (もっと読む)


【課題】複雑・面倒な設定や調整を行うことなく周期性疵有無を高精度・迅速に判定する帯状体等の周期性疵検出技術を提供すること。
【解決手段】被検査体の表面を連続的に撮像する撮像手段と、撮像された画像を記憶する手段と、記憶された撮像画像から画像を切り出してパターンマッチングにより周期性疵の周期Lrを求める基準周期疵検出手段と、周期Lrを基に複数の所定のピッチLt(長さ)で、記憶された撮像画像を長手方向に切り出して、複数パターンの画像の組Ptを生成する複数パターン作成手段と、画像の組Pt切り出した各画像の輝度値を加算して合成画像を生成する合成画像生成手段と、画像の組Ptの各合成画像のうち最大の分散値を与える合成画像を選択する画像選択手段と、最大の分散値の合成画像を基にして、疵の周期性や周期性疵を検出する主周期疵検出手段とを有すること帯状体や柱状体の周期性疵検出装置。 (もっと読む)


検査データと組み合わせて設計データを使用するためのさまざまな方法及びシステムが実現される。設計データ空間における検査データの位置を決定するための一コンピュータ実施方法は、ウェハ上のアライメント部位に対する検査システムにより取り込まれたデータを所定のアライメント部位に対するデータにアラインさせることを含む。この方法は、さらに、設計データ空間における所定のアライメント部位の位置に基づいて設計データ空間におけるウェハ上のアライメント部位の位置を決定することを含む。それに加えて、この方法は、設計データ空間におけるウェハ上のアライメント部位の位置に基づいて設計データ空間における検査システムによりそのウェハについて取り込まれた検査データの位置を決定することを含む。一実施形態では、検査データの位置は、サブピクセル精度で決定される。
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【課題】空間フィルタを備えたDF欠陥検査装置において、事前に空間フィルタの設定状態を把握して補正し、欠陥検査精度を格段に向上させて信頼性の高い欠陥検査を実現することを可能とする。
【解決手段】空間フィルタ部12を有するDF欠陥検査装置1及び欠陥検査補正装置2を含み欠陥検査システムが構成される。欠陥検査補正装置2は、光強度の閾値THを設定する閾値設定部21と、閾値THが設定されており、補正用反射光の強度の閾値THとの大小を判定する判定部22と、判定部21により補正用反射光が閾値TH以上と判定された場合に、補正用反射光が閾値THより小さくなる空間フィルタ12aの設定状態を決定する決定部23とを含む。 (もっと読む)


【課題】本発明は、検査条件及び検査領域毎に検出感度を表示することが可能となり、さらに検査領域毎に管理基準を設定することができ、歩留り管理の精度を上げることが可能となる異物検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、検査光を被検査物の検査領域へ照射する照射手段と、前記検査光の照射により前記検査領域から発生した反射光又は散乱光の強度を検出する強度検出手段と、反射光又は散乱光の検査領域内での位置を検出する位置検出手段と、分割された検査領域毎に設定されたしきい値とを比べて前記検査領域に存在する異物の有無を判定する判定手段とを有する異物検査装置において、前記しきい値を前記検査領域の全域に亘って表すしきい値画像と、前記しきい値画像から変換する検出感度画像とが表示できる表示手段を有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 検査対象箇所の表面色をいくつかの構成色に分離し、それぞれの構成色の統計量及び構成色間の色の類似度を算出して、最適な検査データの設定を行う。
【解決手段】 認識対象物の画像認識時に用いる情報を設定するプログラムにおいて、認識対象物の画像内における所定の領域ごとに、認識対象物の色を判別するステップと、判別された色に関する統計量を算出するステップと、算出された統計量に基づいて、認識対象物を構成する構成色として設定するステップを実行し、色を判別するステップでは、出現頻度の高い色の領域を抽出するステップを実行し、設定ステップでは、算出された統計量に基づいて、出現頻度の高い色を構成色として設定するステップを実行し、色判別ステップでは、出現頻度の高い色に類似する領域を抽出するステップを実行し、統計量を算出するステップでは、出現頻度の高い色と、類似色との統計量を算出するステップを実行する。 (もっと読む)


【課題】表面に微小な濃淡が存在する平版印刷版材料の塗布欠陥を迅速に検出する故障検出方法を提供することである。
【解決手段】プラスチック支持体上に少なくとも1層の親水性層及び少なくとも1層の画像形成層を有する平版平版印刷版材料の故障検出方法において、該平版平版印刷版材料を透過で撮影した画像データから、特定濃度以上の部分を抽出し、該当部分の面積及び積算濃度から算出される式から故障部分を抽出することを特徴とする故障検出方法。 (もっと読む)


【課題】CCDカメラにて射出成形製品の1つ1つを撮像してその良否を検査するに際して、検査を速い速度で速やかに行い得て検査能力を高めることのできる射出成形製品の検査方法を提供する。
【解決手段】多数個同時に射出成形したゴム製品32を型開き後に成形型28に露出状態に保持させ、その状態でCCDカメラ64を成形型28に対し相対移動させて、各ゴム製品32の1つ1つを撮像し、その良否を判定する検査方法において、成形型28に対するCCDカメラ64の位置決めを、光電センサ66にて撮像すべき対象ゴム製品32の位置を間接的に検出することにより行う。 (もっと読む)


【課題】撮像装置にて射出成形製品の1つ1つを撮像してその良否を検査するに際し、検査を速やかに行い得て検査能力を高めることのできる射出成形製品の検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】射出成形したゴム製品15を中型28に露出状態に保持させ、CCDカメラ36を移動させてゴム製品15の1つ1つの撮像を行って良否を判定する検査方法において、縦方向に所定間隔で配列されているゴム製品15の配置間隔と等しい間隔で配置された孔48を有する基準部材46と、孔48を検知することでCCDカメラ36による撮像位置を位置決めする光電センサ50を設け、ゴム製品15毎にCCDカメラ36による撮像を行う。 (もっと読む)


【課題】様々な領域を有する様々な被検査対象基板上に存在する微小な粒状異物や薄膜状の異物やスクラッチ等のキズ等などの欠陥を簡単な構成で、高速で、しかも高精度に検査できるようにした欠陥検査装置およびその方法を提供することにある。
【解決手段】照射光学系20と、検出光学系30と、画像処理部40とを備え、前記照射光学系において、第1又は第2の光路に導かれたビーム光束を反射して下方に向けるミラー2603と、該ミラーで下方に向けられたビーム光束を平面上所定の傾き方向から傾斜角で被検査対象基板1上にスリット状ビーム90として集束させるシリンドリカルレンズ251及び傾斜ミラー2604とを備えた欠陥検査装置。 (もっと読む)


【課題】半導体製造工程の所定の工程の前後で増加又は消失した欠陥を特定することが可能な半導体製造装置を提供する。半導体外観検査装置、外観検査方法及び半導体製造装置を提供する。
【解決手段】半導体製造装置1に半導体外観検査手段20を設け、半導体外観検査手段20を、半導体製造装置1による処理の前後において試料3の表面を各々撮像する撮像部24と、この処理の前後において各々撮像された試料3の撮像画像に基づいて、これら撮像画像における欠陥を各々検出する欠陥検出部28と、この処理の前後において検出される欠陥の増減を検出する欠陥増減検出部32と、を備えて構成する。 (もっと読む)


【課題】半導体製造工程の所定の工程の前後で増加又は消失した欠陥を特定することが可能な半導体外観検査装置、外観検査方法及び半導体製造装置を提供する。
【解決手段】半導体製造装置1において所定の処理が施される試料2の表面を撮像した画像に基づいてこの試料2上に存在する欠陥を検出する半導体外観検査装置20を、所定の処理の前後の一方で撮像された画像における欠陥の検出を行う欠陥検出部28と、所定の処理の前後の他方で撮像された画像のうち、欠陥検出部28により検出された欠陥箇所の画像を抽出する画像抽出部32と、を備えて構成する。 (もっと読む)


【課題】ウェハの表面の膜厚のムラや膜の欠損等の異常を高速度で検査でき、かつ安価なウェハ検査装置を提供する。
【解決手段】ウェハ10に形成された膜の検査方法において、所定の位置にウェハ10を載置し、ウェハ10に対し垂直に置かれた平板光源19で、ウェハ10の全体を含みウェハ10の幅より大きい領域を略均一に照射し、ウェハ10の領域外に位置するカメラ18で、ウェハ10の全体より大きい視野でウェハ10の表面を撮影し、ウェハ10の表面の色が変化している部分を膜のムラがある部分や膜の欠損している部分と判断した。 (もっと読む)


【課題】 検査対象を撮像した検査画像と、この検査画像と本来同一であるべき参照画像とを比較して、お互いに異なる部分を欠陥として検出する画像欠陥検査において、検査画像に生じる色ムラにより生じる疑似欠陥を低減する。
【解決手段】 画像欠陥検査装置を、検査対象上の所定の大きさの領域毎にこれら各領域を撮像した画像に含まれる画素の画素値に応じて参照値をそれぞれ決定する参照値決定部21と、この所定の大きさの領域を複数含んで構成されるマクロ領域について、マクロ領域に含まれる上記所定の大きさの領域毎に決定された参照値の分布情報を決定する分布情報決定部22と、を備えて構成し、マクロ領域において算出された分布情報に応じて欠陥検出条件を変えて欠陥検出を行う。 (もっと読む)


【課題】クラックと異物とを容易に識別できる外観検査方法を提供する。
【解決手段】被検査物1をTVカメラ2で撮像することにより得られた濃淡画像である原画像から、エッジ抽出部4においてエッジ画像が生成される。エリア設定部6は、エッジ画像の中で検査領域の境界線上に複数個の検査スタートポイントを設定し、かつ各検査スタートポイントごとに直線状かつ一定幅である検出エリアを設定する。また、それぞれの検査スタートポイントを中心とし検出エリアが検査領域の範囲内で回転走査される。欠陥候補抽出部は、検出エリアの各位置において、クラックのエッジ上の画素である条件が満たされるときに当該画素を欠陥候補点とし、クラック判定部8は、欠陥候補点の総数と欠陥候補点の微分絶対値の総和とが規定したしきい値を超える場合に、当該検出エリアにおいて被検査物の表面にクラックが存在すると判別する。 (もっと読む)


【課題】木材の品質に影響を及ぼす木材表面の変色による欠陥部分を色分布を利用して正確に検出すること。
【解決手段】撮影手段8で木材9のカラー撮影を行い、画像処理手段1で前記撮影手段8により撮影されたカラー画像の色分布を求め、該求めた色分布を予め定めた正常な木材の色分布と比較し、該求めた色分布が前記正常な木材の色分布から所定値以上離れたものを異常色分布とし、該異常色分布が前記撮影手段により撮影された木材面上での領域で所定値より大きいものを木材の欠陥として検出する。 (もっと読む)


【目的】 適正な精度で試料検査を行う装置、方法およびプログラムを提供することを目的とする。
【構成】 パターン形成された同一被検査試料の、複数の部分光学画像データ同士を比較する試料検査装置において、前記被検査試料の、光学画像データを取得する光学画像データ取得部150と、前記複数の部分光学画像データ同士の比較を行なう比較回路108とを備え、比較回路108において、所定の領域を示す領域パターンの情報に基づいて生成される領域画像データを入力し、前記複数の部分光学画像データ同士の比較を行なう場合に、前記領域画像データを参照して判定条件を変更し、試料上の欠陥の有無を判定することを特徴とする。 (もっと読む)


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