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Fターム[2G051EB03]の内容

光学的手段による材料の調査の特殊な応用 (70,229) | 信号の比較、判別 (2,683) | 基準値、閾値の更新 (260) | 入力信号の遅延によるもの (8)

Fターム[2G051EB03]に分類される特許

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【課題】検査感度を向上させることができるパターン検査装置を提供する。
【解決手段】第1の検出データと前記第1の遅延データとから解像限界以下のパターンのデータを抽出する第1の抽出部33と、前記抽出された第1の検出データに係るデータの注目画素に対する周辺領域の出力レベルの平均値を演算し、前記抽出された第1の検出データに係るデータの出力レベルと前記平均値との差を演算する第1の出力変位演算部34aと、前記抽出された第1の遅延データに係るデータの注目画素に対する周辺領域の出力レベルの平均値を演算し、前記抽出された第1の遅延データに係るデータの出力レベルと前記平均値との差を演算する第2の出力変位演算部34bと、前記第1及び第2の出力変位演算部による演算結果に基づいて、パターン欠陥を検出する。 (もっと読む)


【課題】繰り返しパターン上に存在する凹み状欠陥と突起状欠陥を識別する方法を提供する。
【解決手段】繰返しパターンを有する基板を撮像して得られる濃淡画像中に含まれる欠陥を識別する方法であって、注目画素と代表的な繰返しピッチ分だけ離れた比較画素群の輝度を比較演算する比較演算処理を行う事により、パターン背景が除去された比較処理画像を取得し、該比較処理画像に2値化処理を施して明欠陥および暗欠陥の2値画像を得、得られた明欠陥2値画像と暗欠陥2値画像に膨張処理を施し、前記膨張処理を行った2つの画像のAND演算処理を行い,前記AND演算処理を行ったAND演算処理画像から凹み状欠陥と突起状欠陥を識別することを特徴とする欠陥識別方法。 (もっと読む)


【課題】透明板状体の光学的歪を測定する際に生じるノイズ成分を削減し、微小な歪量も検出することを可能とする光学的歪検出装置および検出方法を提供することを目的とする。
【解決手段】CCDラインセンサーを用いて撮像する撮像手段と、検査対象物をCCDラインセンサーの画素が配列されている方向と平行に前記検査対象物を搬送する搬送手段と、
撮像手段が撮像した画像データを処理する画像処理手段と、を備えた検査対象物の欠陥を検出する欠陥検出装置において、検査対象物が搬送される速度と画像をスキャンするタイミングとを同期させながら検査対象物を撮像して、検査対象物の同じ位置について、複数のCCD画素により複数回撮像された複数の画像データを積算して平均化することにより、画像データに含まれるノイズ成分を軽減して、信号レベルの低い欠陥まで検出する。 (もっと読む)


【課題】表面に透明薄膜が形成された基板等の試料において、透明薄膜の上面の微小な異物、キズ等の欠陥を高感度且つ高速に検査することができる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の欠陥検査装置によると、照明光学系は、試料の表面の法線に対して所定の入射角を有する検査用照明光を試料表面に照射し、試料表面にスリット状のビームスポットを生成する。試料の表面に対して所定の傾斜角にて傾斜した光軸を有する斜方検出系と試料の表面の法線に沿った光軸を有する上方検出系によって、ビームスポットからの光を検出する。斜方検出系と上方検出系の出力によって、試料の表面の透明薄膜上の欠陥を検出する。検査用照明光の入射角は、試料の表面の透明薄膜下面にて反射した反射光が透明薄膜上面にて全反射するときの入射角より僅かに小さい角度である。 (もっと読む)


【課題】 パネルの輝点等を容易に且つ正確に一致させて高精度の欠陥検出を可能にする。
【解決手段】 表示面に輝点2が規則的に並んだLCDパネル1等の表示面の画像を処理して欠陥を検出する欠陥検出方法である。LCDパネル1の表示面の画像を基準画像25として取り込んで、当該基準画像25を1ピッチ分だけシフトさせた画像26を上記基準画像25から減算する第1工程と、上記基準画像25を3ピッチ分だけシフトさせた画像26を上記基準画像25から減算する第2工程とを備えて構成した。上記各工程においては、上記基準画像25を一定方向に沿ってそのプラス方向とマイナス方向に同じピッチ数だけそれぞれシフトさせた各画像26を、上記基準画像25からそれぞれ減算する。 (もっと読む)


【課題】 ウェハ上の多様な欠陥を高速、高感度に検出するパターン欠陥検査装置および方法を提供する。
【解決手段】 パターン欠陥検査装置において、複数の波長を出力可能な照明光源3から射出された光を、照明光学系4で線状に照明する。ウェハ1上の回路パターンや欠陥により回折、散乱された光は、結像光学系5でラインセンサ6に集光され、ディジタル信号に変換され、信号処理部7で欠陥が検出される。このとき、照明光学系4の光軸101と結像光学系5の光軸102でなす面と配線パターンの方向をほぼ平行にし、さらに、結像光学系5の光軸102とウェハ1とのなす角度を、パターンからの回折光が少なくなる角度に設定することにより、高感度に欠陥を検出する。 (もっと読む)


【課題】半導体回路パターン形成工程において、レビュー装置による目視再検査を省略して、検出したパターン欠陥の詳細な解析を迅速化する。
【解決手段】高速のパターン欠陥検査装置に、欠陥の検出に同期して欠陥の画像的特徴量を計算する手段と、計算された特徴量によって欠陥をクラスタに分類する手段とを付加する。 (もっと読む)


【課題】 液体充填時に生じた微細な気泡を効果的に除去でき、液体充填工程から異物検出工程までキャップを保持した状態のまま溶液内の異物検出を行なう方法を提供する。
【解決手段】 この方法は、液体充填後の透明容器1の上部側の開口部を閉栓した後、透明容器の上部側の位置をチャック3でつかみ、この状態のまま透明容器を振動板4に密接させた状態で載置し、振動板を超音波振動させて気泡を除去する工程Aと、気泡除去後の透明容器を、容器の上部側の位置をつかんだ状態のまま、ライン状に配列された複数のセンサで画像情報として検知して複数の画像情報信号を出力して処理する異物検出センサ5を用いて時間をずらして少なくとも2回撮影し、先に撮影された画像と後で撮影された画像を比較することにより異物の移動の有無を検知する工程Bとを含む。本発明では、液体の入った液槽内に容器を浸漬させた状態で超音波振動を伝達させても良い。 (もっと読む)


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