【課題】マスク上での欠陥と、そのウェハへの波及の程度を推定しながら、効率的に欠陥判定処理を行うことのできる検査措置と検査方法を提供する。
【解決手段】各転写像を次の（１）〜（３）の順にレビューする。
（１）第１の比較部で判定された欠陥の程度が第３の閾値以上であって、第２の比較部で判定されたこの欠陥に対応する欠陥の線幅または線間距離の誤差比率が第４の閾値以上である場合、（２）第１の比較部で判定された欠陥の程度が第３の閾値未満であって、第２の比較部で判定されたこの欠陥に対応する欠陥の線幅または線間距離の誤差比率が第４の閾値以上である場合、（３）第１の比較部で判定された欠陥の程度が第３の閾値以上であって、第２の比較部で判定されたこの欠陥に対応する欠陥の線幅または線間距離の誤差比率が第４の閾値未満である場合 （もっと読む）

【課題】検査品の画像のマハラノビス距離に基づいてその検査品の良否判定を行う技術において、良否判定をするための処理時間を短縮し、なおかつ画像の写り具合に関わらず精度良くその判定を行うこと。
【解決手段】マハラノビス距離を算出するためのマハラノビス基準空間の生成にあたり、先ず、良品か否かの区別が付きにくい良品グレー領域を含む良品サンプルの良品画像を取得する（Ｓ１）。次いで、その良品画像に対して、２値化処理→平滑処理→差分処理の画像処理を施して、良品画像に含まれる良品グレー領域を検出する（Ｓ２）。次いで、検出した良品グレー領域の周辺領域の輝度情報を基準として、その良品グレー領域の輝度情報の特徴量を算出する（Ｓ３）。次いで、その特徴量に基づいて、マハラノビス基準空間を生成する（Ｓ４）。 （もっと読む）

【課題】各貫通穴の形状が異なっていても貫通穴の大きさが所定値以内であれば良品とするような良否判定を行える穴検査対象物の検査装置を提供する。
【解決手段】貫通穴が形成された後に搬送路の所定の位置を通過する穴検査対象物の一方の面に光を照射する光照射手段１１と、前記所定の位置を通過する際に光が照射された穴検査対象物の一方の面の裏側である他方の面を所定時間間隔で撮像する撮像手段１２と、良否判定装置１３とを備え、良否判定装置１３は、撮像手段により所定時間間隔で撮像された前後の各画像データにおける輝度のピークツウピーク値の平均値を求める輝度演算処理手段２１と、Ｘ＝（ＡＬ_ｐ−ｐ−ΣＡ_ｐ−ｐ）^ｎ−（ＡＬ_ｐ−ｐ−ΣＢ_ｐ−ｐ）^ｎに基づいて判定値Ｘを算出する判定値算出処理手段２２と、判定値Ｘに基づいて穴検査対象物の貫通穴の良否を判定する判定処理手段２３とを備えた。 （もっと読む）

【課題】
検査対象基板において不規則な回路パターン部分では、パターンからの散乱光によって欠陥信号が見落とされ、感度が低下する課題があった。
【解決手段】
光源から出射した光を検査対象基板上の所定の領域に所定の複数の光学条件をもって導く照明工程と、前記所定領域において、前記複数の光学条件に対応して生じる複数の散乱光分布の各々につき、所定の方位角範囲および所定の仰角範囲に伝播する散乱光成分を受光器に導き電気信号を得る検出工程と、該検出工程において得られる複数の電気信号に基づいて欠陥を判定する欠陥判定工程とを有することを特徴とする欠陥検査方法を提案する。 （もっと読む）

【課題】溶接ビードの幅方向の位置ずれ量を算出するためのコストを抑えることができる溶接ビードの品質検査方法を提供する。
【解決手段】溶接ビードの品質検査方法は、床小梁との結合部分と端板の溶接ビード側端、溶接ビードの端板との結合部分にそれぞれ影ができるように光を当て、モノクロＵＳＢＣＣＤカメラで撮像する。得られた２つのモノクロ画像データを二値化し、端板の溶接ビード側端に相当する基準線ａ、溶接ビードの床小梁との結合線ｂ、溶接ビードの端板の結合線ｃをそれぞれ設定する。次に、双方の結合線ｂ、ｃの間に中間線ｄを設定し、基準線ａから仮想溶接線ｅを設定する。そして、仮想溶接線ｅの垂直方向Ｙの位置に対する中間線ｄの垂直方向Ｙの位置のずれ量Ｙａを算出する。 （もっと読む）

【課題】化成被覆率を高精度・短時間で測定が可能な車両鋼板における化成被覆率の簡易計測方法及びその装置を提供する。
【解決手段】化成被膜が表面に被覆された車両鋼板の化成被覆率を計測する簡易計測方法であって、前記車両鋼板表面に光を所定の照射角度で照射し、当該車両鋼板表面から所定の受光角度で反射される正反射成分を用い、前記正反射成分を含む反射強度と前記正反射成分を含まない反射強度の比を得ることにより、前記車両鋼板における化成被膜の被覆率を計測する。 （もっと読む）

【課題】
光学式の磁気ディスク欠陥検査装置で、基板表面のより微細な欠陥、例えば浅い傷欠陥（シャロー欠陥）や基板内部の欠陥を他の欠陥と弁別して検出することを可能にする。
【解決手段】
光学式欠陥検査方法において、試料を回転させて一方向に連続的に移動させながら試料の表面に対して傾いた方向から照明光を入射させて試料の表面に照明光を照射し、この照明光が照射された試料の表面からの正反射光と正反射光の光軸の周辺の前方散乱光とを含む反射光のうち正反射光を除いて正反射光の光軸の周辺の前方散乱光の像を検出し、照明光が照射された試料の表面からの散乱光のうち照明光の入射方向に対して側方へ散乱した側方散乱光を集光して検出し、正反射光の光軸の周辺の前方散乱光の像を検出して得た信号と側方散乱光を集光して検出して得た信号とを処理して試料上の任意の方向のスクラッチ欠陥を含む欠陥を抽出するようにした。 （もっと読む）

【課題】高精度な組付判定を効率的に行える組付検査装置を提供する。
【解決手段】組付検査装置は、本体品の空画像を記憶する空画像記憶手段と、被組付品を本体品へ組付けた組付完了品の組画像を記憶する組画像記憶手段と、組付状態を検査する検査品の検査画像を記憶する検査画像記憶手段と、検査領域を記憶する検査領域記憶手段と、検査領域内の空画像の複数の色要素の輝度からなる空輝度群および／または検査領域内の組画像の複数の色要素の輝度からなる組輝度群と検査領域内の検査画像の複数の色要素の輝度からなる検査輝度群とに基づき、検査画像の検査領域内にある画素の特性を指標する指標値を算出する指標値算出手段と、指標値の閾値であり検査領域に対応して設定される指標閾値を記憶する指標閾値記憶手段と、指標値と指標閾値に基づいて検査品の組付の良否を判定する組付判定手段と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】単一ビームや単針を走査する方法と比べて短時間にパターンを検査することができるパターン形成部材の検査方法及び装置、並びにパターン形成部材を提供する。
【解決手段】被転写材料に転写すべきパターン３とプラズモン共鳴構造体４とを有するパターン形成部材１を準備し、プラズモン共鳴構造体４に光を照射してプラズモン共鳴構造体４のプラズモン共鳴の吸収特性を計測し、吸収特性に基づいてパターン３を検査する。 （もっと読む）

【課題】コンクリート構造物を撮像した画像を画像処理によって自動検知するひび割れ検知装置を提供する。
【解決手段】ひび割れ検知装置１００は、最大の画素値をひび割れ特徴量として選定するひび割れ特徴量抽出部２０１と、ひび割れ特徴量からなる画素値を有する処理対象画像に対してニューラルネットの動作式を用いてニューラル収束演算を実行し、ひび割れ候補画素中の判定対象画素に対して所定の近傍範囲内にある画素についてひび割れと判定する近傍連結判定部３０１と、ひび割れ候補画素の特徴量を合計した値に基づいてひび割れを判定する特徴量判定部３０２と、ひび割れ候補画素中の前記判定対象画素に対して隣接する画素のユークリッド距離に基づいてひび割れと判定する飛び地判定部３０３と、近傍連結判定部３０１、特徴量判定部３０２及び飛び地判定部３０３にて判定された結果の論理積を行う論理積演算部３０４とを備える。 （もっと読む）

【課題】 被検対象の物体にはない特定成分を確実に選択できるようにして異物を確実に特定できるようにし、物体中に異物が混入しているか否かを確実に判別できるようにして判別精度の向上を図る。
【解決手段】 被検対象の物体に、物体を構成する成分以外の特定成分を含む異物が混入しているか否かの判別を行なうものであって、予め、異物有りのサンプル物体と異物無しのサンプル物体とに近赤外線を照射し、サンプル物体からの反射光あるいは透過光を受光し、受光した光の吸光度における二次微分スペクトルの統計学的解析により特定成分に起因する帰属波長に係る判別式を算出しておき、被検対象の物体に近赤外線を照射し、被検対象の物体からの反射光あるいは透過光を受光し、受光した光の吸光度を測定し、これらの吸光度と判別式とから算出された算出結果から物体中の異物の有無を判別する。 （もっと読む）

【解決手段】 物品の表面に平行に所定間隔で形成されたライン２Ａを撮影して、該ライン２Ａの欠け２Ｂを検査する物品検査方法に関する。
カメラ５が撮影した検査画像Ｇからライン２Ａを示すライン領域Ａを抽出したら、上記ライン領域Ａの外郭となる輪郭線をその形状を保ったまま所定の方向に移動させて、隣接するライン領域Ａとの隙間がなくなるように該ライン領域Ａを拡張させる。
そして上記検査画像Ｇに、拡張させたライン領域Ａに該当しない空白領域Ｂが存在する場合、ライン２Ａに欠け２Ｂが存在すると判定する。
【効果】 物品の表面に平行に所定間隔で形成されたライン２Ａの欠け２Ｂを検査する場合に、モデルデータと撮影した検査画像Ｇとの位置合せを不要とすることができる。 （もっと読む）

【課題】計測した光学検出器の光電子増倍係数を基に計算した補正印加電圧を用いて光学検出器を駆動して補正値を検査することにより、基準となる試料を必要とすること無く、光学検出器の出力値を補正することが可能な表面検査装置を実現する。
【解決手段】表面検査装置において、個々の光学検出器８ａ〜８ｃの光電子増倍係数を計測し、計測した光電子増倍係数を基に制御部１１が補正印加電圧を計算する。表面検査装置に組み込まれた検出器８ａ〜８ｃのそれぞれについて、計算した補正印加電圧を用いて光学検出器８ａ〜８ｃを駆動して補正値を検査する。これにより、基準となる試料を必要とすること無く、光学検出器の出力値を補正することが可能な表面検査装置を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、分光反射強度に含まれる迷光成分を低減し、パターンドディスク表面のパターン形状を精度よくまたはパターン欠陥を確実に検出できるハードディスクメディアの検査装置または検査方法を提供することである。
【解決手段】本発明は、パターンが形成されたハードディスクメディアの表面に複数の波長を含む光を照射し、波長毎に検出される反射光の強度を前記ハードディスクメディアからの反射光を検出する検出器に発生する迷光成分の強度で補正し、前記補正された反射光の強度から分光反射率を算出することを第１の特徴とする。前記補正は、前記ハードディスクメディアからの反射光の強度を前記反射光の短波長領域をカットした状態とカットしない状態で波長毎に検出し、両者の前記反射光の強度との差に基づいて行なうことを第２の特徴とする （もっと読む）

【課題】多層に構成された部分を有する透明な成形物について、多層中の特定の層の有無や、層構成の異なる位置、または層のムラを安定的に精度よく検出可能な検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】少なくとも２層に構成された部分を有する、透明な検査対象物１を検査する検査装置２０は、検査対象物１に照射する、第１の波長λ１の光と第１の波長λ１とは異なる第２の波長λ２の光を放射する面光源３１と；第１の波長λ１と第２の波長λ２の光が照射された検査対象物１を撮影する撮像装置４１と；第１の波長λ１と第２の波長λ２の光のそれぞれについて、撮像装置４１により撮影された画像データから各画素の濃度値を抽出し、画素毎に第１の波長λ１の光と第２の波長λ２の光について画素濃度の比を求める演算装置５１とを備える。さらに検査装置２０では、演算装置５１が前記画素濃度の比の変化量に基づいて、検査対象物１の良／不良を判断する。 （もっと読む）

【課題】検査対象に異物がある場合でも光源装置の光源設定値を適切に調整可能な光源設定値調整方法、検査方法および検査装置を提供すること。
【解決手段】検査対象は複数の検査領域を有し、各検査領域は複数の輝度検出領域を有する。検査領域に対して光源設定値の異なる複数の光を順次照射する光照射工程と、当該検査領域の１つの輝度検出領域を撮像する撮像工程と、撮像された画像データに基づいて異物の有無を判定する異物判定工程と、異物がないと判定された場合は当該輝度検出領域の輝度を測定し、異物があると判定された場合は他の輝度検出領域に対して光照射工程、撮像工程、および異物判定工程を、異物がないと判定されるまで繰り返し実施する輝度測定工程と、各光源設定値と各光源設定値における輝度との関係式を演算する関係式演算工程と、関係式に基づいて光源設定値を設定する光源設定値設定工程と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】鋼板の表面品質を鋼板全長に亘って正確に判定可能な、鋼板の表面品質判定方法および装置を提供することを課題とする。
【解決手段】搬送中の鋼板の板幅を測定するとともに、前記鋼板の表面の幅方向両端エッジ部をカメラで撮影する、板幅測定・エッジ撮影ステップと、撮影した画像を画像処理して、板幅方向のエッジおよびシーム疵を検出し、検出したシーム疵とエッジとの距離を算出する、シーム回り込み量算出ステップと、算出したシーム回り込み量と測定した板幅に基づいて、最終製品として有効な板幅を算出する、有効板幅算出ステップと、該有効板幅に基づいて、前記鋼板の表面品質の良否を判定する、表面品質判定ステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】ＰＴＰシートの製造過程における錠剤の外観検査に際し、検査精度の飛躍的な向上を図ることのできる錠剤検査装置及びＰＴＰ包装機を提供する。
【解決手段】錠剤検査装置２１は、容器フィルムのポケット部に収容された錠剤に対し光を照射可能な照明装置２２と、光の照射された錠剤からの反射光を撮像可能なカメラ２３と、カメラ２３から出力される画像信号を処理する画像処理装置２４とを備えている。画像処理装置２４は、画像信号から得た画像データに基づき、錠剤に相当する錠剤領域を特定し、当該錠剤領域の各画素の濃度勾配方向を算出し、当該濃度勾配方向が予め設定された予定勾配方向か否かを判定することにより、錠剤の外観検査を行う。 （もっと読む）

【課題】信頼性が高い線形判別分析の判定結果を距離判別分析に反映させることにより、距離判別分析の閾値決定に対する収斂性を高め、距離判別分析の持つ簡便な判定性能を向上させるとともに、線形判別分析と距離判別分析とを共用することにより、優れた判定精度を実現できる良否判定装置、良否判定方法および良否判定プログラムを提供する。
【解決手段】検査対象から複数のパラメータを取得するパラメータ取得手段と、サンプルデータに基づいて算出した判別関数に検査対象に対応するパラメータを代入して得られる変数と閾値とを比較する線形判別分析手段と、パラメータ空間において良サンプルデータに対応する良クラスターの中心位置から検査対象に対応する要素の位置までの距離と閾値とを比較する距離判別分析手段と、線形判別分析手段および距離判別分析手段のいずれにおいても良のカテゴリーに判別された場合に良判定する良否判定手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】検査対象物を透過した光を受光して欠陥部分を判定する場合に、エッジ部分を誤って欠陥部分として判定してしまうことを抑止すること。
【解決手段】欠陥部分を判定するために設定された第一閾値と、検査対象物がない部分を判定するために設定された第二閾値とを予め記憶し、検査対象物を撮像して得られる輝度情報から、第一閾値に基づいて検査対象物の欠陥部分又はエッジ部分の候補となる第一閾値部分を判定し、第二閾値に基づいて検査対象物が存在しない第二閾値部分を判定し、第一閾値部分のうち、第二閾値部分との距離が所定の閾値よりも短いものをエッジ部分と判定し、第二閾値部分との距離が所定の閾値よりも長いものを欠陥部分と判定する。 （もっと読む）