【課題】３次元色空間を使用して良否判定を行なう場合に、判別条件の設定を精度良くに行なうことができる色空間判別条件生成装置及びこれを使用した画像検査装置を提供する。
【解決手段】正常な背景のみの色空間データが分布する領域を統計解析すると共に、正常な検査対象物のみの色空間データが分布する領域を統計解析し、これらの統計解析結果に基づいて、検査対象物と背景との境界面に現れる中間色の色空間データが分布する領域を決定する。そして、背景色空間データ、対象物色空間データ及び中間色色空間データの各分布をそれぞれ包含するモデル図形領域を設定し、当該モデル図形領域に基づいて判別条件テーブルを生成する。この判別条件テーブルを使用して画像検査を行う。 （もっと読む）

【課題】錠剤表面に付着している異物や、錠剤のチッピングの有無の検査精度を向上させる錠剤包装検査装置を提供する。
【解決手段】錠剤包装検査装置であって、凹部に錠剤が一つまたは複数供給されたプラスチックシートを撮像するＣＣＤカメラ８０と、撮像された画像から錠剤一つが撮像されている領域をそれぞれ切り出す錠剤切り出し部２と、切り出された一つの錠剤が撮像された画像から、前記錠剤の中心を極とした極座標に変換した画像であって、中心からの距離、および偏角をそれぞれ軸とした画像を作成する座標変換部４Ａと、作成された画像から、偏角ごとに濃度値をそれぞれ集計する射影データ算出部５と、偏角ごとに集計された集計値のうち、錠剤に入っている割線の濃度値に基づき決定された値よりも下回る集計値をマスクするマスク処理部６と、偏角ごとに集計された集計値のうち、かつマスクされた集計値以外の集計値のうちで、閾値を下回る値があるかを判定する判定部７Ａとを有する錠剤包装検査装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】欠陥が多くても検査対象面の全体についての欠陥の検査結果を出力可能な欠陥検査装置および欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】欠陥検査装置１は、設定部２と検査部３を含む。設定部２は、予め定められた欠陥サイズごとに、目標となる検査カバレッジを示す目標検査カバレッジを設定する。検査部３は、欠陥サイズごとに、その欠陥サイズの欠陥についての検査カバレッジが、その欠陥サイズの目標検査カバレッジとなるように、基板４の検査対象面４ａ上の欠陥の中から検査対象となる欠陥を特定し、その特定された欠陥についての情報を、検査対象面４ａの全体についての検査結果として出力する。 （もっと読む）

【課題】海島型複合繊維を溶融紡糸する紡糸口金の内部に装着された数万本にも及ぶパイプに関して、少なくともパイプ曲りの発生を自動で検出することができる紡糸口金の異常検査装置及び異常検査方法を提供する。
【解決手段】直管型パイプが口金板に対して垂直に多数立設された口金板を装着する紡糸口金に対して各パイプのポリマー流路である貫通孔を通過した検査光をカメラで撮影して、撮影した画像データを二値化処理などの画像処理を行って各パイプの先端部のポリマー流路の中心座標を算出し、算出した中心座標が設計時の値よりもずれているかどうかを判断して、パイプ曲りの有無を検出する紡糸口金の異常検査装置及び異常検査方法とする。 （もっと読む）

【課題】判定サイズの再設定作業を行うこと無く、判定サイズの設定を自動的に行うことが可能な欠陥検査装置における判定条件設定方法及び欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】フラットパネル表示装置に用いられるカラーフィルタの欠陥を検出するための判定条件設定方法であって、カラーフィルタ基板に設けられた判定サイズ調整パターンを撮像部で撮像し、撮像された判定サイズ調整パターンを二値化し、判定サイズ調整パターンの実サイズと、二値化された調整パターンの撮像部のピクセル数との間の散布図による近似直線より、判定サイズの設定を行うことを特徴とする判定条件設定方法。 （もっと読む）

【課題】欠陥の発生数などの欠陥情報を分かり易く伝えることで、問題点の検知を迅速に行うことができる外観検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象物１０の検査対象面を撮像するカメラ２と、カメラ２に接続され、カメラ２からの映像信号に基づいて検査対象物１０の良否判定を行う画像処理装置１とを備える。画像処理装置１は、画像データを画像処理することで欠陥画素を検出して検査条件Ｃ１に基づいて良否判定を行うとともに、欠陥画素の位置情報、画像データ、及び、良否判定結果を記憶する。画像処理装置１は、装置本体１ｂ及びモニタ１ａを備え、記憶した欠陥がその位置情報に基づいて欠陥の発生頻度を装置本体１ｂが算出し、指定した欠陥発生頻度の画素領域を、画素の濃淡または色相のうち少なくともいずれか一方を変化させて、検査対象物１０の画像と重ねて表示する。 （もっと読む）

【課題】被検体を撮影する際に自動的に焦点を合せ、得られた画像から欠陥の有無を判断する欠陥検査方法及び欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】撮影して得られた画像から欠陥の有無を判断する欠陥検査方法において、撮像手段２の焦点を合せる自動焦点調節ステップと、被検体における欠陥の有無を判断する画像解析ステップとを具備し、自動焦点調節ステップは、被検体と撮像手段２との距離又は撮像手段２の焦点距離を複数回変更して撮影し、得られた各画像から被検体の輪郭を抽出処理し、各輪郭抽出画像に対して離散フーリエ変換処理を用いることで周波数領域に変換し、周波数領域における輝度値の総和を算出し、輝度値の総和が最大となる被検体と撮像手段２との距離又は撮像手段２の焦点距離を特定し、特定された被検体と撮像手段２との距離又は撮像手段２の焦点距離に調節する、とした。 （もっと読む）

【課題】露光用マスク上に存在する位相欠陥の表面形状を効率的に測定することができ、露光用マスクの生産効率向上に寄与する。
【解決手段】露光用マスク上に存在する位相欠陥の形状を測定する方法であって、マスクに検査光を入射し、位相欠陥上における散乱領域の幅を予測可能な角度範囲に散乱する光の強度を測定する第１ステップ（Ｓ２）と、測定された散乱光強度から位相欠陥の径を算出する第２ステップ（Ｓ３）と、測定する散乱光の角度範囲を変更し、散乱光強度を測定する第３ステップ（Ｓ４，Ｓ５）と、得られた散乱光強度から散乱断面積を算出する第４ステップと、第３及び第４ステップを散乱光強度が飽和するまで繰り返す第５ステップ（Ｓ６，Ｓ７）と、第２ステップで得られた位相欠陥の径と第４ステップで得られた各散乱断面積を用いて位相欠陥の形状を決定する第６ステップ（Ｓ８）とを含む。 （もっと読む）

【課題】検査性能が安定したパターン欠陥検査装置を実現すること。
【解決手段】複数の構成ユニットを有し試料面上の欠陥を検査する欠陥検査装置において、一部または全部の構成ユニットの経時変化や故障をモニタリングするモニタリングする手段とモニタリングした結果をユーザに通知する手段を備える。また、補正が可能であるユニットに関しては、補正を行う手段を備える。また、故障した部品を、装置内に用意しておいた予備部品と交換する手段を備える。 （もっと読む）

【課題】被検査体が所定の形状および寸法よりもわずかでも小さい場合には寸法不足を確実に検出して欠陥であると判定できる形状検査装置および形状検査方法を提供すること。
【解決手段】被検査体であるスパイダの素形材２の突起部２２，２３の形状を測定してその断面形状を示す「形状データ」を作成し、作成した「形状データ」からスパイダの素形材２の突起部２２，２３の軸線方向の全長にわたって最も外側に位置する部分の抽出することにより得られる形状を「基準形状」としてこの「基準形状」をデータ化した「基準形状データ」を作成し、「基準形状データ」と「形状データ」との差分を算出し、算出した差分に基づいてスパイダの素形材２の突起部２２，２３に欠陥があるかを判定する。 （もっと読む）

【課題】少ない数の入力画像により高精度に画像検査を行うことができ、かつデータ処理の負担を低減することのできる画像検査装置を提供する。
【解決手段】基準空間の算出に利用する基準画像を複数の分割基準画像に分割する第１分割部１０４と、分割基準画像それぞれのマハラノビス距離に基づいて、画像検査の対象となる被検査画像の良否判定に利用する閾値を決定する閾値決定部１１０と、被検査画像を、複数の分割被検査画像に分割する第２分割部１２４と、分割被検査画像それぞれのマハラノビス距離に基づいて、代表値を決定する代表値決定部１２８と、代表値が閾値よりも大きい場合に、被検査画像に異常があると判定する良否判定部１３０とを備えた。 （もっと読む）

【課題】高精度な試料の回転合わせや画像の位置合わせができ、高感度な検査を実現する高感度なパターン欠陥検査装置および方法を提供すること。
【解決手段】ウェハの回転合わせや画像の位置合わせにロバスト画像照合を用いることによって、高精度な位置合わせを行い高感度に欠陥を検出する。例えば、試料を載置して少なくとも一方向に移動可能な走査手段と、前記試料の回転方向を合わせる手段と、前記試料上を照明する照明手段と、該照明手段で照明された前記試料の光学像を形成する結像手段と、該結像手段で結像された光学像を検出して信号に変換する検出器を有する検出手段と、該検出手段で検出した信号を処理して前記試料上の欠陥を検出する欠陥検出手段と、該欠陥検出手段で検出した結果を表示する結果表示手段とを備え、前記回転方向を合わせる手段はロバスト画像照合を用いることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】物体表面の検査面において光沢度の差を明瞭に検出できる物体表面検査装置を提供する。
【解決手段】物体表面検査装置は、検査対象物５０の検査面５１の法線方向Ｌ１と斜めに交差する方向からライン状の検査光を検査面５１に照射する照明装置２と、ライン状に配置された受光素子を具備し受光素子の受光光軸Ｌ３と検査面５１の法線方向との為す角度δ２が照明装置２の投光光軸Ｌ２と検査面５１の法線方向Ｌ１の為す角度δ１と同じ角度になるように配置されて検査面５１を撮像する撮像装置３と、撮像装置３が撮像した画像を解析することによって検査面の検査を行う画像処理装置１とを備え、照明装置２及び撮像装置３は、ライン状の検査光の延びる方向およびライン状の視野Ａの延びる方向Ｌ４が、搬送装置４による検査対象物５０の搬送方向Ｌ５に対して、それぞれ同じ角度θ１，θ２で斜めに交差するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】基板上の異物の検出・除去にかかる時間を短縮することができる検査分析装置を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様に係る検査分析装置は、基板上に付着した異物を検出し、当該異物を除去して分析する検査分析装置であって、基板上の異物を検出する検出部２２と、検出部２２により検出された異物の撮像データを記憶する記憶部１２と、撮像データに基づいて、異物をその形態により分類・整理する分類部１３と、基板上に付着した異物を捕獲除去する異物捕獲部２３と、異物捕獲部２３により捕獲された異物を同定する分析部１１とを備える。 （もっと読む）

【課題】 透明体シート状物の有害な実欠陥と表面に付着した異物との判別を、１つの投光部と２つの受光部から構成された装置によって、比較的単純な検出データの照合で実現し、信頼性の高い欠陥管理を行う欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】 走行する透明体シート状物の走行方向に対して斜めからシート状物の幅方向をライン状に照明する投光部と、シート状物を透過した照明光を投光部と反対側に配置して検出する第１受光部と、投光部から照明された照明光によって拡散または散乱した光を暗視野の方向に配置して検出する第２受光部と、第１受光部の検出データと第２受光部の検出データとを照合することによって、シート状物の欠陥が表面に付着した異物であるか、その他の欠陥であるかを判別する信号処理部とを具備する装置により、上記課題を解決し得る。 （もっと読む）

【課題】検査対象物について検査装置を用いて得た検査計量値を基に検査対象物の良否を判定する検査装置において、検査を行っている過程で初期に設定された判定制度が維持されているかどうかを判定する判定処理の精度判定方法及び判定処理精度判定装置を提案する。
【解決手段】検査対象物について検査装置を用いて得た検査計量値を基に検査対象物の良否を判定する検査装置において、前記判定処理の精度を判定する方法であって、複数の良品について、当該検査装置を用いて得た複数の良品計量値が正規分布で表されると仮定して、良品平均値Ｍ_Ｇと、良品標準偏差σ_Ｇとを求め、複数の検査対象物について、当該検査装置を用いて得た複数の検査計量値が正規分布で表されると仮定して、検査平均値Ｍ_Ｓと、検査標準偏差σ_Ｓとを求め、前記良品平均値Ｍ_Ｇを中心として予め定められている範囲に設定されている良品平均範囲と、前記検査平均値Ｍ_Ｓとを比較する。 （もっと読む）

【課題】 ホトリソグラフィ・マスクに関連したエラー源を評価するシステム及び方法を提供する。
【解決手段】 マスクに関連したエラー源の評価は、（ｉ）異なる露光条件で得られたマスクの複数の画像を表すデータを受け取り、（ii）マスクの各画像の複数のサブフレームに対し、各サブフレームのピクセルの強度の関数の値を計算して、複数の計算値を与え、（iii）それらの計算値に応答し且つ各エラー源に対する関数の感受性に応答してエラー源を検出する、ことを含む。 （もっと読む）

【課題】検査対象とする欠陥に対して検出するに十分な感度を持つよう光学系を自動調整できるようにしたディスク表面検査装置を提供することにある。
【解決手段】本発明は、欠陥形状とその形状を高感度に検出可能な光学系の配置との関係をデータベース化しておき、さらに光学系の配置を自動で調整できる機能を有する。データベース化の手法としては光学シミュレーションを用いた手法や、任意形状を有するサンプルを用いた実験的手法を適用する。入力した欠陥形状に対してデータベースに基づき、最適な光学系の配置になるよう自動的にピンホール位置、ビームサイズの調整が行われる。 （もっと読む）

【課題】基板上の微小な直線状微小明部を感度良く検査できる。
【解決手段】ラインカメラにより取得した画像データをストライプ方向と平行なｘ方向とは垂直なｙ方向にＲＧＢ各色ごとに加算してＲＧＢ各色別に輝度投影データを得、輝度投影データ中の着目データＤ（ｘ）とその近傍データＤ（ｘ−ｍ）、Ｄ（ｘ＋ｍ）を用いて、Ｈ（ｘ）＝（（Ｄ（ｘ）−Ｄ（ｘ−ｍ））＊（Ｄ（ｘ）−Ｄ（ｘ＋ｍ））（Ｄ（ｘ）＞Ｄ（ｘ−ｍ）かつＤ（ｘ）＞Ｄ（ｘ＋ｍ）の場合）、Ｈ＝０（前記に該当しない場合）という評価値Ｈ（ｘ）を得て、あらかじめ設定した閾値Ｈｔｈに対してＨ（ｘ）＞Ｈｔｈが成立したときにこの座標ｘを輝度異常と判定する。 （もっと読む）

【課題】 入力データから抽出される複数の特徴量から、当該入力データの分類に用いる特徴量を選択するための情報処理装置において、特徴量間の組合せの相性を考慮し、入力データの分類に適した特徴量を選択すること。
【解決手段】 入力データから抽出される複数の特徴量から、当該入力データの分類に用いる特徴量を選択するための情報処理装置であって、
前記複数の特徴量を組合せることにより複数の組合せを生成する生成手段と、前記複数の組合せそれぞれに対して前記入力データの分類への適合を評価する第一の評価値を算出する第一の算出手段と、前記第一の評価値に基づき、前記複数の特徴量それぞれに対して前記入力データの分類への適合を評価する第二の評価値を得る第二の算出手段とを有することを特徴とする。 （もっと読む）