【課題】複雑な形状の検査対象物を精度よく外観検査可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置１００は、検査対象物１０に対し傾斜配置され所定回転角度毎に検査対象物１０を撮像する撮像部４０と、撮像部４０の画像信号を処理し輝度画像データＧ１〜Ｇ２４を生成する輝度画像生成部Ｓ１２と、輝度画像データＧ１〜Ｇ２４において同位置の画素を輝度値の大きさ順に並び変え輝度画像データＧ１〜Ｇ２４を変換画像データｇ１〜ｇ２４に変換する画像変換部Ｓ１４と、変換画像データｇ１又は変換画像データｇ２４の各画素の輝度値から、変換画像データｇ２〜ｇ２３のうちの一つの変換画像データの各画素の輝度値を差し引くことで、判定用画像データｇ’を生成する判定用画像生成部Ｓ１５と、判定用画像データｇ’の各画素の輝度値に基づいて、検査対象物１０の外観異常を判定する異常判定部Ｓ１６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】傷検査装置、傷検査システム、及び傷検査方法において、検査対象の表面を短時間で検査すること。
【解決手段】移動途中のフィルム２の表面に、強度が所定の周波数で変化する検査光Lをライン状に照射する光照射部８と、検査光Lの照射によりフィルム２から出た散乱光Mを集光する鏡１２と、鏡１２で集光された散乱光Mの強度に応じた出力信号S_Mを出力する光電変換部１５と、出力信号S_Mの周波数と検査光Lの周波数とが同一であるか否かを示す周波数比較信号S_Fを出力する周波数比較部３２とを有する傷検査装置による。 （もっと読む）

【課題】長い距離にわたるコンクリート壁面などのコンクリート構造物の診断を、安価にしかも短時間で行うことが可能な画像データ処理システムを提供する。
【解決手段】移動式架台１０に搭載された可視画像撮影用カメラ６０と赤外線カメラ７０と、最初の可視画像データ及び赤外線画像データに撮影された対象物上の基準点に基づいて、前記複数の可視画像データ及び赤外線画像データの位置関係を求め、前記最初の可視画像データ及び赤外線画像データに対して、あおり補正を施した上で、２番目以降の規格化可視画像データ及び規格化赤外線画像データを、前記位置関係に基づいて重畳し２番目以降の重畳データとし、前記最初の重畳データと前記２番目以降の重畳データとを連結することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】パターンドメディアディスク上に繰り返し発生した欠陥をスタンパの経時的変化による劣化により発生した欠陥と、プロセスの不良により発生した欠陥とを識別して、スタンパの経時変化により発生した欠陥を検出する。
【解決手段】試料上に塗布されたレジストに微細なパターンを転写するためのスタンパの不良を検出するパターンドメディア用スタンパの検査方法において、表面に塗布されたレジスト膜にスタンパの微細なパターンが転写された試料に光を照射し、光が照射された試料からの反射光を分光検出し、分光検出して得た検出波形から欠陥を抽出し、抽出した欠陥のうち複数の試料上の同じ位置に発生した欠陥についてスタンパに起因する欠陥と、レジスト膜のパターンを形成するプロセスに起因する欠陥とを弁別し、スタンパに起因する欠陥の個数が予め設定した個数を超えたときに警告を通知するようにした。 （もっと読む）

【課題】基板の欠陥を検査する際に、検査レシピを効率よく更新する。
【解決手段】ウェハを撮像して基準画像を取得し（工程Ｓ１）、当該基準画像を含む検査レシピを記憶部に記憶する（工程Ｓ３）。検査レシピに基づいてウェハを撮像して検査対象画像を取得し（工程Ｓ４）、検査レシピと検査対象画像に基づいてウェハの欠陥を検査する（工程Ｓ１０）。検査対象画像や検査結果等を含むレシピを記憶部に記憶する（工程Ｓ１１）。工程Ｓ４〜Ｓ１１を繰り返し行い、記憶部に所定の条件を満たす検査対象画像が記憶された際、当該検査対象画像を含むレシピに基づいて記憶部に記憶された前記検査レシピを更新する（工程Ｓ１２）。以後、更新された検査レシピに基づいて工程Ｓ４〜Ｓ１１が行われ、ウェハの欠陥が検される。 （もっと読む）

【課題】メタリック塗膜の色ムラを目視評価と相関の高い定量値として得ることができるメタリック塗膜の色ムラ評価装置を提供する。
【解決手段】メタリック塗膜１０の色ムラ評価装置１００は、メタリック塗膜１０の色ムラを評価する装置であって、載置部１０１と、測定部１１０とを備える。載置部１０１は、メタリック塗膜１０を載置するための載置面１０２を有する。測定部１１０は、メタリック塗膜１０上の測定点に光を入射し、測定点から反射する光を測定する。測定部１１０では、複数の測定点に対して、入射光軸と受光光軸とを含む測定面が２以上存在するように、２以上の光軸の光を異なったタイミングで入射する。載置部１０２は、測定部１１０に対して相対的に移動可能である。 （もっと読む）

【課題】ウェハ上に存在する多種多様なパターン上においても欠陥を高感度且つ高捕捉率で検出する欠陥検査方法および欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】欠陥検査装置において、照明光学系をレーザ５によるコヒーレント照明とＬＥＤ６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄによるインコヒーレント照明の２系統とし、検出系ではそれぞれの照明光に対応した光路に分岐し、それぞれの検出光路に空間変調素子５５ａ、５５ｂを配置し、それぞれ空間変調素子５５ａ、５５ｂにて感度を阻害する散乱光を遮光し、空間変調素子５５ａ、５５ｂを透過した散乱光をそれぞれの光路に配置したイメージセンサ９０ａ、９０ｂにて検出し、これら、２つのイメージセンサ９０ａ、９０ｂにて検出した画像を比較処理して、欠陥候補を判定する。 （もっと読む）

【課題】高い検査精度の外観検査を短時間で実現する。
【解決手段】色抽出部５は、正常状態の検査対象物を撮像したＲＧＢカラー画像について、ＲＧＢの各座標値を特徴量とする学習データを画素ごとに作成する。分類部２は、各学習データを競合学習型ニューラルネットワーク１に入力して学習させ、クラスタリングマップを作成する。学習後、分類部２は、競合学習型ニューラルネットワーク１に再度入力させた学習データごとに、クラスタリングマップ上の各ニューロンにおいてユークリッド距離を求め、各ニューロンについてユークリッド距離のリストを作成する。その後、分類部２は、各ニューロンについて、上記リストの最大値を分散とし、重みベクトルを平均ベクトルとして定義したガウス関数を設定する。その後、分類部２は、学習データごとに全ニューロンのガウス関数値総和を求め、全学習データに関するガウス関数値総和の最小値を下限閾値に設定する。 （もっと読む）

【課題】表示パネルの検査において、表示パネルの表面に付着した異物と滅点とを区別して検出すること。
【解決手段】液晶表示パネル１００の表面を異なる２つの視角からカメラ１１を用いて撮像する。視角の切り替えは、反射鏡１ａ〜２ｂを備えた光学系１８の遮光板３ａ、３ｂを用いて行う。得られた画素画像から、輝度が低下した欠陥部位を検出し、この欠陥部位の周辺画素の色配列が異なる視角で撮像した画素画像間で一致するか否か比較する。欠陥部位が表面に付着した異物の場合には、視角によって背景に写り込む画素の色配列が変わるため、滅点と異物とを区別することができる （もっと読む）

【課題】基準対象物から基準データを作成する場合、低コストで、かつ、簡単な操作で全体像を把握しながら、基準データを作成できるようにする。
【解決手段】基準対象物から取得された画像に基づいて基準データ作成する場合、ディスプレイに、基準対象物から取得された広域画像を表示させる第一表示領域と、当該広域画像の一部の領域を表示させる第二表示領域と、当該第二表示領域に表示された画像に基づいて基準データを作成する基準データ作成領域とを設ける。そして、第二表示領域に表示された画像に基づいて基準データの作成を受け付け、また、その第二表示領域に表示された画像の一部の選択を受け付け、当該選択された領域の画像を前記第一表示領域に表示させるとともに、当該選択された一部の領域の画像を前記第二表示領域に表示させて基準データの作成を受け付ける。 （もっと読む）

【課題】高密度実装基板上の実装部品の実装状態の良否の検査を、より正確かつ容易に行うことを可能にする。
【解決手段】撮像データを取得する撮像データ取得部１２と、取得した撮像データから、対象とする複数個の実装部品に関する画像データをそれぞれ抽出する解析領域抽出部１４と、抽出した各画像データから、上記複数個の実装部品のそれぞれについての、上記異なる色の光ごとの画素値ヒストグラムを作成するヒストグラム作成部１５と、作成した各分布データの、上記複数個の実装部品のそれぞれの間での差異に応じて、上記複数個の実装部品を、同じ検査パラメータを利用する実装部品ごとに区分するヒストグラム解析部１６およびバリエーション分割処理部１８とを備える。 （もっと読む）

【課題】 コンクリート構造物に対して検査による損傷を最小限に止め、高精度にコンクリートの劣化を検査することを可能とし、検査後の補修も容易なコンクリート構造物の検査方法及び測定治具を提供する。
【解決手段】 コンクリート構造物に穿孔部を形成する工程と、該穿孔部に内視鏡を挿入する工程と、前記内視鏡を通して穿孔部内部の劣化を観測する工程とを含むコンクリート構造物の深さ方向劣化の検査方法である。 （もっと読む）

【課題】余分な工程を必要とせず、一連の製造工程中において、基板の表面上の欠陥又は基板処理装置の装置性能の検査を行うことができる。
【解決手段】基板Ｗを基板処理装置１Ａ、１Ｂへ搬入する搬入路及び前記基板Ｗを前記基板処理装置１Ａ、１Ｂから搬出する搬出路において、前記基板Ｗの被検面Ｗ１に検査光Ｌを照射する光照射部４と、前記検査光Ｌが照射された被検面Ｗ１からの反射、回折及び／又は散乱光Ｌを検出して、搬入時に検出した搬入時光強度信号及び搬出時に検出した搬出時光強度信号を出力する光検出部５と、前記光検出部５から搬入時光強度信号及び搬出時光強度信号を受信し、前記被検面Ｗ１の欠陥Ｓを検出する情報処理装置６と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】上工程における疵検出について、適切な学習データを用いて、完成品で最終的に有害となる疵を高精度に検出する疵検出装置及び疵検出方法を提供することを目的とする。
【解決手段】判定精度の高い下工程における疵検査で撮像された疵画像データと、上工程における疵検査で撮像された疵画像データとを対比させて、最終的に有害疵となる疵画像データに対応する上工程における有害な疵画像データを、上工程の疵検出装置に学習データとして蓄積するようにすることにより、上工程における疵検査の精度を格段に向上させることができるようにして、上工程において有害となる疵が検出された場合は、不良品を下工程に流さないようにしたり、生産計画を変更したりするなど早期に対応することができるようにする。 （もっと読む）

【課題】ウェーハなどの半導体検査装置において、テンプレートマッチングが失敗したとき、なぜ失敗したかが判る情報を提供する。
【解決手段】パターンマッチングのためのテンプレートと呼ぶ予め定められた第一の画像と、そのテンプレートより大きい第二の画像（即ち、被検体の画像）の中からオペレータが、テンプレートと同じ大きさの第三の画像１８０３領域を選択し、第一の画像と第三の画像とのテンプレートマッチングをテンプレートを半透明表示しながら行い、その類似度差分情報を表示する。 （もっと読む）

【課題】 観察すべき検査対象欠陥を簡単、かつ、迅速に抽出することができる欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供すること。
【解決手段】 ＧＵＩ画面１３は、欠陥情報として欠陥表示付きウェハマップ１５と、観察範囲を設定するための所望の領域を特定するための図形を選択する図形指定部１６と、特定した領域内を観察範囲とするか否かを選択する検査対象欠陥設定部１７と、例えば、複数の領域１８、２０、２１を特定した際にそれらの間で重複する部分がある場合、何れか一の領域を観察範囲として選択するために領域の優先順位の付け方を選択する領域優先設定部２２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】基板の導通貫通孔の信頼性を確保するため、電気を用いた導通検査のみでなく、画像処理を用いた外観検査を行うことで、欠損や断線しかかり等の異常の検出を行い、信頼性の高い導通貫通孔を備えた基板を選別して提供する。
【解決手段】基板の貫通孔の形成方向に対して所定角度から前記貫通孔へ光を照射する照明手段と、前記照明手段の反対側に貫通孔の形成方向に対して所定角度で設置された撮像手段と、画像処理手段とを備えた外観検査装置を用いてスルーホール等の貫通孔の外観検査を行う。 （もっと読む）

【課題】 擬似欠陥を除外して高い検査感度で欠陥検査が可能な欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】 欠陥検出手段２は、所定の検査感度で試料表面の欠陥検出を行い、擬似欠陥特定手段４は、欠陥検出により得られた欠陥情報から擬似欠陥を特定し、非検査領域設定手段５は、特定した擬似欠陥の検出箇所を非検査領域に設定する。そして、欠陥検出手段２は、設定された非検査領域を検査せずに欠陥検出を繰り返すので、検査感度を高められる。 （もっと読む）

【課題】原稿画像データに基づき１次元バーコードを含む原稿画像が印刷された用紙の印刷結果の品質検査を行う印刷結果検査装置において、適切に品質検査を行う。
【解決手段】原稿画像データに基づき１次元バーコードを含む原稿画像が印刷された用紙の印刷結果の品質検査を行う印刷結果検査装置であって、画像読取調整部３２が、用紙に印刷される一次元バーコードを構成するバーの横方向の解像度が縦方向の解像度よりも高くなるように、主走査方向と副走査方向とで異なる解像度により光学的に用紙の印刷結果を読み取る画像読取部２０での用紙印刷結果の読み取りを調整し、その調整後に照合部３１は、画像読取部２０において用紙の印刷結果を読み取ることで得られる検査画像データを取得し、取得した検査画像データとそれに対応する原稿画像データとを比較することで、その用紙の印刷結果の品質検査を行う。 （もっと読む）

【課題】 固定パラメータによらないで、機器や部品の諸特性の経時的変動に追従してホワイトバランスパラメータをリアルタイムで調整する欠陥検査装置を得る。
【解決手段】 検査対象に隣接して基準板１１を設け、この基準板の白領域と黒領域を検査対象の撮像と同時に撮像し、基準板の画像データをＲＧＢ毎に抽出して、基準板画像入力部１２を介してホワイトバランスパラメータ算出処理部１３にてホワイトバランス補正データを生成し、ＲＧＢ濃度変換部にて各色信号のホワイトバランスを調整する。 （もっと読む）