【課題】クリープ損傷を受ける金属の余寿命をＤパラメータ法で診断するに際し、余寿命診断処理を容易化する。
【解決手段】
診断用コンピュータ３に、金属表面における複数の粒界に対応する粒界画像データを取得させ（Ｓ３）、粒界画像データから、各粒界の始点座標と終点座標を含む粒界データを取得させ（Ｓ４）、配管の応力方向に垂直な参照方向を示す参照方向データを、粒界画像データに設定させ（Ｓ５）、参照方向データに基づいて、複数の粒界データの中から、参照方向を中心とする所定の角度範囲に属する垂直粒界データを抽出させ（Ｓ５）、垂直粒界データに対応する粒界上のボイド形成状態に基づいて、当該垂直粒界データが損傷粒界に対応する損傷粒界データか否かを判断させ（Ｓ６）、垂直粒界データに対応する粒界の数、及び、損傷粒界データに対応する粒界の数に基づき、Ｄパラメータ法を用いて金属の余寿命を診断させる（Ｓ８）。 （もっと読む）

【課題】異品種の混入に対して高精度かつ安価な異品種混入検査方法および異品種混入検査装置を提供する。
【解決手段】被検査対象物の画像を取得し、マスターデータとの比較を行うことにより、前記被検査対象物を正規品種もしくは異品種と判定する異品種混入検査方法であって、
前記被検査対象物のパターンから特徴あるパターンを有するマスターデータ領域により、被検査対象物の全画像領域に対して、輝度値を用いたパターンマッチングをして、パターン一致領域を探索し、
前記パターン一致領域内の平均色相と前記マスターデータ平均色相とのマッチングにより、正規品種もしくは異品種と判定する異品種混入検査方法および異品種混入検査装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】ワーク表面の凹凸状態をパワースペクトルの全座標点データを用いて定量的に評価することができる表面評価装置を提供する。
【解決手段】ワーク表面の凹凸データに基づいてワーク表面を評価する表面評価装置１０において、前記ワーク表面の凹凸データをフーリエ変換してパワースペクトルを求める手段と、当該パワースペクトルを相互相関関数を用いて数値化する手段と、当該数値化された値の最大値を用いて前記ワーク表面の評価を行う手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】検査画像の局所的な伸縮を補正してから基準画像と比較することで、高精度な検査方法を提供すること。
【解決手段】パターンが存在するブロックでは、ブロック毎に設定してある領域内でテンプレートマッチングを行って該ブロック領域において位置補正済みの検査画像を使用し、パターンが存在しないブロックでは、位置補正を行わずに、そのままの検査画像を使用し、各々の検査画像を結合して新たな検査画像を再構成し、この新たな検査画像と基準画像を比較することで検査する。 （もっと読む）

【課題】所定の繰り返しピッチで連続して生産される部品の画像検査において，その画像検査の実施状態を知ることが可能となる技術を提供する。
【解決手段】画像検査装置１０において，マッチング処理部１４１は，入力された検査画像のフレームから部品を検出し，検出された部品の位置と相関値とを取得する。フレーム間部品対応検出部１５１は，連続する２つのフレーム間で類似する部品の対応を検出する。対応部品位置差分算出部１５２は，対応部品間の検出位置の差分である対応部品位置差分を算出する。対応部品位置差分統計部１５３は，対応部品位置差分を統計した移動量ヒストグラムを作成する。部品移動量推定部１５５は，移動量ヒストグラムから連続するフレーム間での部品の移動量を推定する。画像検査実施状態判定部１５０は，部品の移動量の推定結果から，画像検査が適切に実施されているか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】処理装置によって基板上に成膜する処理を含む製造プロセスによって製造される又は製造された製造品について、上記基板上に異常が生じたか否かを検査するマクロ検査方法であって、マクロレベルの異常を客観的に検出することができるものを提供すること。
【解決手段】或る処理装置による処理を受けた後の製造品を撮像して検査対象マクロ画像を取得する一方、その製造品がその処理装置による処理を受ける以前に、その処理装置による処理を受けた同種の製造品を撮像して得られたマクロ画像の中から、比較の基準となる比較基準マクロ画像を用意する（Ｓ１０１，Ｓ１０２）。検査対象マクロ画像と比較基準マクロ画像との間で、互いに類似している程度を定量的に表す類似度を算出する（Ｓ１０３）。類似度が予め決められた管理範囲から外れたかどうかを判断する（Ｓ１０４）。 （もっと読む）

【課題】マハラノビス距離を用いて被検査製品の画像の良否検査を行う画像検査方法、画像検査装置において、正常製品群の分布を考慮した検査を行うことができるようにする。
【解決手段】電子計算機は、外観が正常な状態にある複数の正常製品の画像をそれぞれ、被検査製品の画像の良否を判定するための基準となる基準画像の候補画像として取得する（Ｓ３１）。次いで、各候補画像から所定の特徴量を抽出する（Ｓ３２）。次いで、抽出した特徴量に基づいて、複数の候補画像を分類する（Ｓ３３）。次いで、分類した複数の候補画像の分布に基づいて、複数の候補画像の一部を基準画像の群として選定する（Ｓ３４）。そして、選定した基準画像の群に基づいて、マハラノビス距離からなる基準空間を作成し、被検査製品の画像の良否判定の閾値を決定する（Ｓ３５、Ｓ３６）。 （もっと読む）

【課題】研削砥石や研磨砥石を用いて面取り加工が施されたガラス板等の端面の微細な凹凸の程度、すなわち表面粗さの検査を行うことが可能な検査方法を提供する。
【解決手段】搬送ライン上を搬送される光透過性矩形板状物の面取り加工が施された端面の表面状態を検査する端面検査方法において、固定配置された撮像手段を用いて、当該撮像手段の視野内を通過する前記光透過性矩形板状物の面取り加工が施された端面全域をカバーする複数ショット分の画像を連続撮像するステップと、前記連続撮像された複数ショット分の画像を、前記面取り加工が施された端面の表面粗さに相関するデータとして記憶装置に保存するステップと、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 タイヤの種類、タイヤ表面の状態および照明の位置関係に依存することなく、検査の安定化を図ることができる画像処理方法、画像処理装置、プログラムおよび記録媒体を提供する。
【解決手段】 制御部１２は、タイヤ回転方向に直交する方向のラインごとに、取込画像の各画素の濃度を、各画素が含まれるライン上の平均濃度に変換して、濃度射影変換する。次に、濃度射影変換が行われた画像に対して、タイヤの回転方向のラインのうちの１つのライン上の画素について、フーリエ展開する。また、濃度射影変換を行う前の取込画像から自己相関値を算出し、算出した自己相関値に基づいてブラダーグルーブの本数を算出する。フーリエ展開された周波数成分から、算出されたブラダーグルーブの本数で決まる周波数成分を除去し、残余の周波数成分を逆フーリエ展開し、逆フーリエ展開された画像に基づいて欠陥検出処理を行う。 （もっと読む）

【課題】被検査画像中に特徴量の急峻な変化がある場合でも精度よく検査できる画像検査方法及び画像検査装置を提供すること。
【解決手段】予め良品画像を複数の良品分割画像に分割して、良品分割画像ごとのマハラノビス距離を算出して基準空間を作成して、被検査画像の良否判定を行うための良否判定基準値を設定する。被検査画像を取得して（Ｓ４１）、画像処理を施す（Ｓ４２）。次いで、その被検査画像を、複数の被検査分割画像に分割する（Ｓ４３）。次いで、個々の被検査分割画像の所定の特徴量を抽出する（Ｓ４４）。次いで、各被検査分割画像のマハラノビス距離を算出して信号空間を作成する（Ｓ４５）。被検査分割画像ごとに、対応する信号空間のマハラノビス距離を、同一位置にある良品分割画像における良否判定基準値と比較することによって、被検査画像の良否判定を行う（Ｓ４６〜Ｓ４８）。 （もっと読む）

【課題】ブレードを撮像した画像におけるブレードの領域を検出することができる画像処理装置およびプログラムを提供する。
【解決手段】ＣＰＵ３４ｃは、ジェットエンジン内に周期的に配置されたブレードを撮像した動画像を構成するブレード画像からテンプレート画像を抽出し、ブレード画像から、テンプレート画像に対して所定のフレーム数だけ離れた参照画像を抽出する。ＣＰＵ３４ｃは、テンプレート画像と参照画像との差分を抽出し、その差分に基づいてブレード領域を検出する。 （もっと読む）

【課題】コストを上昇させることなく光量調整が可能なパターン検査装置およびパターン検査方法を提供する。
【解決手段】パターン検査装置１００は、光照射手段１と、検査用撮像手段２と、検査手段３と、調整用撮像手段４と、フォーカス調整手段５と、光量調整手段６と、メモリ７とを備える。予めパターン検査を行う前に、調整用画像の輝度情報ｘと、検査用照射光量ｚとの相関関係を取得しておき、この相関関係に基づいて、パターン検査時には、調整用画像の輝度画像ｘに対応する検査用照射光量ｚを設定するので、検査エリア２１の膜厚による検査用画像の輝度情報のばらつきを抑制できる。これにより、最適な検査用照射光量ｚが設定できることになり、パターン欠陥の検出漏れや擬似欠陥も起きなくなって、精度よくパターン検査を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】高い感度で高速に検査を行うことが可能な検査装置を提供する。
【解決手段】検査装置１は、ウェハＷの表面に照明光を照射する照明部１０と、照明光が照射されたウェハＷの表面からの光を検出する２次元撮像素子３３と、２次元撮像素子３３により検出された光情報を読み出して、当該光情報に基づきウェハＷの表面を検査するとともに、２次元撮像素子３３における検査に適する部分を求めるＣＰＵ４３とを備え、２次元撮像素子３３は、光情報を画素単位で部分的に読み出すことが可能なＣＭＯＳイメージセンサであり、ＣＰＵ４３は、２次元撮像素子３３における検査に適する部分の光情報のみを読み出して検査するようになっている。 （もっと読む）

【課題】基板外観検査において、不良見落としの確率を低くするとともに、虚報を低減する。
【解決手段】撮像手段1110、データ読出手段1120、対象領域抽出手段1310、領域辞書作成手段1340、領域位置合わせ手段1330、検査領域設定手段1350、密度辞書作成手段1360及び検査手段1370を備えて構成される。対象領域抽出手段は、CADデータ1510及び色基本データ1520から計算された対象領域の色と、撮像手段が取得した撮像画像データ1112の色との比較を行って、パッド画像データ1412を抽出する。領域位置合わせ手段は、撮像画像データとCADデータの位置合わせを行って、合わせ画像データ1432を作成する。密度辞書作成手段は、隣り合う対象領域の間隔が閾値以下の場合は高密度領域と判定し、閾値よりも大きい場合は低密度領域と判定する。検査領域設定手段は、高密度領域における非検査領域を、低密度領域における非検査領域よりも小さく設定して、検査画像を生成する。 （もっと読む）

【課題】検査方法の設定を簡素化し作業効率を改善するとともに、オペレータの習熟度に依存しにくい、高速かつ高認識率の検査を実現することを目的とする。
【解決手段】基板１０上に実装された部品２０の画像を光学センサ５０で取得し、その画像に対し演算処理を行って良否を判定する実装基板外観検査方法４００において、前記部品２０の検査の対象となる部分を含む領域を探索領域Ａ１として設定し、該探索領域Ａ１内において、検査領域Ａ２〜Ａ５をシフトさせて、予め登録された部品画像を探索するに際して、前記検査領域Ａ２〜Ａ５内の画像と前記部品画像との近似マハラノビス距離を演算し、前記近似マハラノビス距離が設定した閾値より小さくかつ最小となる点を探索した箇所とすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で、製造ライン上で部品の組み付けの良否を精度良く検査することができる方法を提供する。
【解決手段】製造ライン上で部品の組み付けを検査する方法であって、予め、組み付ける部品の基準となるマスタ画像を複数撮影しておき、部品を実際に組み付ける際の実画像を複数撮影し、各マスタ画像と各実画像との相関値をそれぞれ求め、各相関値に基づいて部品の組み付けの良否を判定する。実画像と相関値が最大のマスタ画像を抽出して組み付けられた部品の品番を特定して、特定された部品と組み付けられるべき部品との品番とを照合し、組み付けられるべき部品のマスタ画像と各実画像との相関値を求めて、組み付けた部品が組み付けられるべき部品と一致しているかを判定し、組み付けられるべきでない部品の複数のマスタ画像と各実画像との相関値を求めて、組み付けた部品が組み付けられるべきでない部品と一致していないかを判定する。 （もっと読む）

【課題】 任意の分光分布が設定可能であり、特にハロゲン光源の分光分布やＤ６５標準光等の既存の各種光源の分光分布に近似制御することが可能な光源装置を実現する。
【解決手段】 所定の発光分布を持つ複数の多色発光源と、これら多色発光源の発光量を夫々制御する光源制御手段とを具備する光源装置において、
所定の波長範囲における目標の分光分布データを保持する目標分光分布保持手段と、
前記発光源毎の駆動電流及び発光分布に対する発光出力の相関関係に基づく特性データを保持する特性データ保持手段と、
前記目標分光分布保持手段から取得する前記分光分布データと、前記特性データ保持手段から取得する前記特性データとを比較し、各波長における前記分光分布データと前記特性データの偏差が最小となる前記多色発光源の発光量の指令値を計算し、前記光源制御手段に渡す分光分布制御手段と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】印刷物の検査を迅速に行うと共に欠陥検出精度を向上させることを可能とする印刷物検査装置及び印刷物検査方法を提供する。
【解決手段】画像処理部３は、検査画像の各分割領域４３について、分割基準画像４１との間でパターンマッチング処理を行い、抽出領域が所定条件を満たす場合には当該抽出領域の位置に分割領域４３の位置補正を行い、抽出領域が所定条件を満たさない場合には他の分割領域４３の位置補正量や端点補正量を用いて分割領域４３の位置補正を行う。例えば、他の分割領域４３の位置補正量の平均値を用いて位置補正を行う。画像処理部３は、位置補正を行った分割領域４３毎に、分割基準画像と分割検査画像との間で差分処理等を行って汚れ欠陥や抜け欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】複数の検出器で得られる検出信号の検出特性の差異を装置上で解析し、回路やソフトウェアを変更することなく種々の検査目的に柔軟に対応できるようにすることができる外観検査装置を提供する。
【解決手段】試料１００を支持する試料ステージ１０１と、試料ステージ１０１上の試料１００に照明光１１１を照射する照明光源１０３と、照明光源１０３の照明光スポットに対して互いに位置が異なるように配置され、試料１００の表面から発生する散乱光１１２をそれぞれ検出する複数の検出器１２０ａ〜ｄと、検出器１２０ａ〜ｄからの検出信号を設定の条件に従って合成する信号合成部１０５と、信号合成部１０５による検出信号の合成条件を設定する入力操作部１０９と、入力操作部１０９により設定された条件に従って信号合成部１０５で合成された合成信号を基に構築された合成マップ２２０ａを表示する情報表示部１０８とを備える。 （もっと読む）

【課題】 ２画像の対応する各画素同士の画素値の差分を検出して、この差分が検出閾値を超えるとき画素部分を欠陥として検出する画像欠陥検査において、検出された真欠陥と疑似欠陥とを区別する。
【解決手段】 画像欠陥検査装置１０を、２つの検査画像の対応する画素同士のグレイレベル差を検出する差分検出部６と、そのグレイレベル差が検出閾値を超えるとき２つの検査画像のうちいずれか一方の上記画素の部分が欠陥として検出する欠陥検出部８と、グレイレベル差が検出された画素の座標値の分散値をその画素のグレイレベル差によって重み付けして算出する分散値算出部２１と、分散値の増大に応じて欠陥の検出を抑制する検出抑制部２２、２５と、を備えて構成される。 （もっと読む）