【課題】暗視野方式の検査装置などにおいて、信号を実測しながら検査条件を決める方法では時間がかかることと、設定した感度条件が適切か否かの判断が作業者の裁量に左右されることが課題である。
【解決手段】検査装置において、試料を保持するステージと、前記ステージ上に保持された試料の表面に照明光を照射する照明光学系と、前記試料に照射された照射光によって発生した散乱光を検出する暗視野光学系と、前記暗視野光学系にて検出された散乱光を電気信号に変換する光電変換部と、前記光電変換部によって変換された電気信号をデジタル信号に変化するＡＤ変換部と、前記試料表面上の異物からの散乱光の大きさから異物の大きさを判定する判定部と、前記試料面からの散乱光情報を用いて、検査条件を決定する信号処理部とを有する。 （もっと読む）

【課題】オペレータが表面検査装置を調整する際に、基準板等の特殊な道具を用いることなく、調整を容易に行うことが可能な調整データを出力する。
【解決手段】調整部５１の分散値算出部１１は、カメラ３のレンズ位置を所定位置に設定するための位置指令をレンズ位置設定部１２に出力し、レンズ位置設定部１２から所定位置への移動の完了を入力すると、カメラ３から反射光の強度を入力し、反射光の強度の分布に基づいて分散値を算出する。最大位置決定部１３は、分散値算出部１１からレンズ位置及び分散値を入力し、全てのレンズ位置及びそれに対応する分散値を得た後、全ての分散値のうち分散値が最大となるレンズ位置を最大レンズ位置として決定する。調整データ出力部１４は、レンズ位置、反射光の強度の分布、分散値及び最大レンズ位置を調整データとして出力する。 （もっと読む）

【課題】粉体の塗布が異常となった不良箇所を容易に特定することが可能な電線の製造方法を提供する。
【解決手段】適量の粉体離型材９が塗布された状態の絶縁コア１の画像におけるコア絶縁層５の色相の画素数を適正画素数範囲として設定しておく適正画素数範囲設定処理と、粉体離型材９を塗布した絶縁コア１の粉体塗布後画像Ｇｂを撮影する塗布後撮影処理と、粉体塗布後画像Ｇｂにおける絶縁コア１の色相の画素数を計数する計数処理と、を行い、粉体塗布後画像Ｇｂの絶縁コア１の色相の画素数の変化から粉体離型材９の塗布量をモニタしながら電線を製造する。粉体塗布後画像Ｇｂにおけるコア絶縁層５の色相の画素数が適正画素数範囲内に入っているか否かを判定する判定処理と、粉体塗布後画像Ｇｂにおけるコア絶縁層５の色相の画素数が適正画素数範囲から外れた絶縁コア１の区間を記憶する異常区間記憶処理とを行う。 （もっと読む）

【課題】部品の外観良否判別を行うにあたり、信頼性の高い基準値を得る。
【解決手段】優良サンプルＳ１の格付け評価結果のデータと、優良サンプルＳ１よりも不良部の程度の大きいサンプルＳ２、Ｓ３・・・の格付け評価結果のデータとの間で分散分析を行い、分散分析により優良サンプルＳ１に対して有意差無しとされたサンプルＳ５の不良部の程度（凹部の大きさ）以上、有意差有りとされたサンプルＳ６の不良部の程度以下の範囲内で、良否判別の基準値を設定する。 （もっと読む）

【課題】鋼材を加熱する際に生じる温度ムラの影響を受けずに鋼材表面の欠陥、例えば、溶融亜鉛メッキを施す際に生じるいわゆるドロス疵を正しく認識する鋼材の欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】予め、無欠陥部を加熱した上で赤外線サーモグラフィカメラを用いて材料の表面温度を熱画像データとして取得し、表面温度のラプラシアン標準偏差を鋼材表面温度の関数として定めておく。被検査鋼材を加熱した上で赤外線サーモグラフィカメラを用いて材料の表面温度を熱画像データとして取得し、表面温度のラプラシアンを算出し、そのラプラシアンを、表面温度に対応するラプラシアンの標準偏差で補正し、補正したラプラシアンに基づいて被検査材表面付近の欠陥の有無を評価する。 （もっと読む）

【課題】製品の欠損等がある部分を検出する。
【解決手段】画像データ取得部は画像データ２００を取得する。総和データ生成部は画像データ２００を複数のブロック３１０に分割し、各ブロック３１０内の画素に対応付けられる画素値を合計した総和データを生成する。差分データ生成部は位置が縦方向に隣り合う２つのブロックの総和データの差分を表す第１種の差分データと、位置が横方向に隣り合う２つのブロックの総和データの差分を表す第２種の差分データを生成する。判定データ生成部は第１種の差分データと第２種の差分データのうちの一方を選択し、選択した差分データと、選択した差分データに対応するブロックの画像データ２００内の位置とを対応付けた判定データを生成する。結果データ生成部は選択された差分データが表す差分が許容条件を満たすか否かを判別した結果データを生成する。出力部は結果データの画像データ２００内の位置を出力する。 （もっと読む）

【課題】誤って検出される擬似欠陥の数を低減できるとともに、欠陥の検出感度を落とすことなく、本来検出されるべき真の欠陥を検出できる基板検査方法及びその基板検査用のフィルタ画像の画像作成方法を提供する。
【解決手段】
基板の欠陥の有無を検査するために擬似欠陥を除去するためのフィルタ画像を作成する画像作成方法において、登録された画像の中心位置を中心とする円の円周上に位置するいずれかの画素の画素値を、円周上に位置する画素から選択した複数の画素の画素値のうちの最大値に置換することによって、フィルタ画像を作成するフィルタ画像作成工程Ｓ１４とを有する。 （もっと読む）

【目的】より高精度に光軸調整がなされたレーザ光で検査可能なパターン検査装置を提供する。
【構成】パターン検査装置１００は第１から第４象限の面で独立に受光するフォトダイオードアレイ２１２が受光したレーザ光の光量を用いて、レーザ光と供に発生するノイズ成分光の発生方向を特定するノイズ方向特定回路１２８と、レーザ光の光量を用いて、ノイズ成分光の光量を演算するノイズ光量演算回路１３０と、ノイズ成分光の発生方向の重心値の絶対値がノイズ成分光の光量をレーザ光の総光量で除した値になり、ノイズ成分光の発生方向と直交する方向の重心値が０になるように、ミラー２０２，２０４の反射面の位置を制御するミラー制御部１２１，１２２と、光軸が調整されたレーザ光を用いて、被検査試料のパターンの光学画像を取得する光学画像取得部１５０と、参照画像を入力し、光学画像と参照画像とを比較する比較回路１０８と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】シート状物に発生した周期性の凹凸状欠陥を安価な装置構成で比較的単純な信号処理によってリアルタイムに判定し、信頼性の高い周期性欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】走行するシート状物の幅方向を照明する照明手段と、反射光を検出する撮像手段と、検出した欠陥を画像判定してシート状物の幅方向の位置情報を演算し、その幅方向の位置情報に基づいて複数の領域に分別する幅方向領域分別手段と、該幅方向領域分別手段から欠陥検出のタイミングで外部へ電気信号として出力する信号出力手段と、特定の周期性欠陥判定処理手段とを具備ことを特徴とするシート状物の周期性欠陥検査装置により、上記課題を解決しえる。 （もっと読む）

【課題】ワーク表面等の微小凹凸の密集度合を定量的に評価することができる表面評価装置を提供する。
【解決手段】シリンダボア２表面の凹凸データに基づいてシリンダボア２表面を評価する表面評価装置２０において、前記シリンダボア２表面の凹凸データをフーリエ変換して周波数スペクトルを求める手段と、前記周波数スペクトルから所定のしきい値に基づいて周波数成分を抽出する手段と、前記抽出された周波数成分を逆フーリエ変換して凹凸データに復元する手段と、前記復元された凹凸データから所定のしきい値に基づいて凹凸座標データを抽出する手段と、前記凹凸座標データより座標の数と座標値の分散を求める手段と、前記座標値の分散よりシリンダボア２表面品質を評価する手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】欠陥面積の合計値のみから画像の欠陥の度合いを評価する場合に比べて、それぞれの欠陥の特徴による人間の視覚への影響を考慮した評価の指標となる評価指標を提供する。
【解決手段】画像中の検査領域の面積を検査領域面積算出部１１で算出し、また検査領域に存在する欠陥の面積を欠陥面積算出部１２で算出する。さらに、第１重み係数設定部１３は欠陥に対する人間の検出感度特性に対応する第１重み係数を欠陥ごとに設定する。例えば欠陥の大きさに対応する第１重み係数を欠陥ごとに設定する。評価指標算出部１４は、欠陥面積算出部１２で算出した欠陥の面積と検査領域面積算出部１１で算出した検査領域の面積を用いた評価指標に、第１重み係数設定手段で設定した第１重み係数を用いて重み付けを行い、検査領域の欠陥の度合いを示す評価指標を算出する。 （もっと読む）

【課題】撮影されたコンクリート表面に、実際のひび割れと類似した汚れや染み、撮影ムラ、型枠跡などが存在する場合でも、高い精度で実際のひび割れのみを検出することのできるひび割れ検出方法を提供すること。
【解決手段】ウェーブレット画像を作成するステップ、輪郭線追跡処理をおこなうことでノイズの一部が除去されてなる第１のひび割れ抽出画像を作成するステップ、第１のひび割れ抽出画像におけるひび割れに対してラベリングをおこない、ラベリングされたひび割れの特徴量を設定し、この特徴量と閾値を比較してノイズのさらに一部が除去されてなる第２のひび割れ抽出画像を作成するステップ、第２のひび割れ抽出画像における残りのノイズを除去して細線化画像を作成し、さらにひび割れ幅を設定するステップ、第１の関係式に細線化画像に対応するウェーブレット係数を代入してひび割れ幅を推定するステップ、からなる検出方法である。 （もっと読む）

【課題】サンプリング単位を従来よりも小さくした場合、欠陥がサンプリング単位を跨る場合が増える。その結果、分類精度が悪化してしまう。
【解決手段】基板を検査する検査装置において、光を基板へ照射する光学系と、前記基板からの光を検出する複数の検出器と、前記複数の検出器ごとの検出結果を閾値処理する第１の処理部と、前記検出器ごとの閾値処理結果の論理和を取る第２の処理部と、前記論理和結果についてラベリング処理を行う第３の処理部と、前記ラベリング処理結果から領域情報を算出する第４の処理部と、前記ラベリング処理結果から指向性情報を算出する第５の処理部と、前記領域情報と前記指向性情報とを使用して欠陥の種類を特定する第６の処理部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】基板の欠陥を検査する際に、検査レシピを効率よく更新する。
【解決手段】ウェハを撮像して基準画像を取得し（工程Ｓ１）、当該基準画像を含む検査レシピを記憶部に記憶する（工程Ｓ３）。検査レシピに基づいてウェハを撮像して検査対象画像を取得し（工程Ｓ４）、検査レシピと検査対象画像に基づいてウェハの欠陥を検査する（工程Ｓ１０）。検査対象画像や検査結果等を含むレシピを記憶部に記憶する（工程Ｓ１１）。工程Ｓ４〜Ｓ１１を繰り返し行い、記憶部に所定の条件を満たす検査対象画像が記憶された際、当該検査対象画像を含むレシピに基づいて記憶部に記憶された前記検査レシピを更新する（工程Ｓ１２）。以後、更新された検査レシピに基づいて工程Ｓ４〜Ｓ１１が行われ、ウェハの欠陥が検される。 （もっと読む）

【課題】 画像中のブラダーグルーブを検出し、検出したブラダーグルーブを画像中から除去する画像処理方法、画像処理装置、画像処理プログラムおよび記録媒体を提供する。
【解決手段】 画像処理方法は、濃度射影変換工程と、フーリエ展開工程と、周期算出工程と、逆フーリエ展開工程と、出力工程とを含む。濃度射影変換工程では、第１画像に第１方向の濃度射影変換を行って第２画像を作成する。フーリエ展開工程では、第２画像中の第２方向に並ぶ画素の濃度値をフーリエ展開する。周期算出工程では、第１画像中の線状模様の第２方向の周期を算出する。逆フーリエ展開工程では、フーリエ展開された周波数成分から、線状模様の周期を表す周波数成分を除去し、残余の周波数成分を逆フーリエ展開して第３画像を作成する。出力工程では、逆フーリエ展開工程で作成された第３画像を表す除去済画像情報を出力する。 （もっと読む）

【課題】製品の表面にある特異部分の分布に関する特徴を検出すること。
【解決手段】特異部分分布特徴検出装置１００は、製品の表面を撮影して表面画像を取得する画像取得部２と、その表面画像から複数の特異画素を含む処理対象画像を生成する処理対象画像生成部１０と、その処理対象画像上に設定した直交ＸＹ座標系における特異画素の座標を取得する特異画素座標取得部１１と、それら複数の特異画素の座標のうちの二つの座標のピッチと位相差との組み合わせを反復特性として導き出す反復特性導出部１２と、ピッチＧと位相差Ｒとを座標軸とする直交ＧＲ座標系を用いて、その組み合わせの直交ＧＲ座標系上の一座標への変換を実行し、その変換回数を座標毎に計数して計数結果を出力する座標系変換部１３と、その計数結果の解析に基づいて複数の特異画素が形成する反復的特徴を検出する反復的特徴検出部１４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】従来技術では、電縫鋼管溶接部に稀に発生する管体表面近傍の５０μｍ前後の微小な溶接欠陥を検出する技術は確立されておらず、かかる微小な溶接欠陥を有する電縫鋼管が製品の中に稀に混入する事態を防ぎ難い。
【解決手段】帯材を管状に成形して形成したＶ字状ギャップの縁部同士を連続的に溶接する電縫鋼管の製造方法において、溶接後ビード切削前の間に溶接部の輝度を輝度センサ10で監視し、その後、前記ビード切削よりも下流側で、溶接部をアレイ探触子を用いた超音波探傷装置11で検査する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の濃淡画像に微分を行わずにクラックを抽出してノイズの影響を低減し、粗面に生じた微細なクラックであっても精度よく検出することを可能にする。
【解決手段】検査対象物Ｗを撮像装置２により撮像した濃淡画像から２値化手段１１により２値画像を生成する。候補選別手段１３は、２値画像内で黒画素の連結成分のうち細長い形状の連結成分をクラック候補領域として抽出する。候補選別手段により抽出されたクラック候補領域は、クラスタリング手段１４により、慣性主軸の傾きの類似性を用いて分類される。クラスタリング手段により分類されたクラック候補領域は、連結処理手段１５により、分類ごとに連結可能性が評価される。判定手段１６は、連結処理手段１５が１つのクラックに属すると判断したクラック候補領域の長さの合計を用いて検査対象物Ｗの良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】被検体を撮影する際に自動的に焦点を合せ、得られた画像から欠陥の有無を判断する欠陥検査方法及び欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】撮影して得られた画像から欠陥の有無を判断する欠陥検査方法において、撮像手段２の焦点を合せる自動焦点調節ステップと、被検体における欠陥の有無を判断する画像解析ステップとを具備し、自動焦点調節ステップは、被検体と撮像手段２との距離又は撮像手段２の焦点距離を複数回変更して撮影し、得られた各画像から被検体の輪郭を抽出処理し、各輪郭抽出画像に対して離散フーリエ変換処理を用いることで周波数領域に変換し、周波数領域における輝度値の総和を算出し、輝度値の総和が最大となる被検体と撮像手段２との距離又は撮像手段２の焦点距離を特定し、特定された被検体と撮像手段２との距離又は撮像手段２の焦点距離に調節する、とした。 （もっと読む）

【課題】一定の明るさで刃面全体を見ることができ、効率良く正確に検査することができる工具欠陥検査方法と工具欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象物のワーク１２を撮像してその形状の特徴線を抽出する特徴抽出方法であって、撮像した画像データをそのまま用いて、撮像素子の画素配列の縦軸方向や横軸方向若しくは斜め方向に１画素×ｎ画素（ｎは自然数）の画素列をとり、その列内で前記各画素の輝度の最小値若しくは最大値となる画素を求める。その画素を検査対象物の形状の一部として抽出し、この抽出処理を画素列の方向と直交する方向に、画素列の位置を順次変えながら最小値若しくは最大値となる画素を求める。抽出した画素を繋ぎ合わせて、検査対象物の特徴線とする。 （もっと読む）