【課題】１回の円筒状部品の投入により円筒状部品表面の複数の部位を検査することができる新規な表面検査装置の提供する。
【解決手段】基台１０と、投入ステージ、複数の撮影ステージ及び取出ステージを少なくとも含み、基台１０の周りに配設された複数のステージと、夫々の回転軸が平行となるように並設された一対のローラを有し、各ローラ間に円筒状部品を載置して各ローラ４１の回転によって円筒状部品を回転させるローラユニット４０、が同一円周上に所定角度間隔で複数配置され、ローラユニット４０に載置された円筒状部品を各ステージ間で移動させる部品搬送盤３０と、ローラユニット４０の下方に配設されてローラの外周面に接触するローラ接触部を有し、ローラ接触部によってローラを回転させるローラ駆動盤２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】マーキングにより欠陥が示された光学フィルム作製用の原反フィルムであって、一旦ロール状に巻き取った場合であっても、枚葉に切り出した光学フィルムを歩留まり良く得ることができる原反フィルム、ならびにこれより作製される光学フィルムおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】フィルム幅方向の端部をフィルム長手方向に対して略平行な方向に切断、除去して光学フィルムを作製するための長尺の原反フィルムであって、当該フィルム幅方向の端部における、欠陥が存在する箇所とフィルム長手方向に関して略同じ位置に、欠陥を示すための傷を有する原反フィルム、ならびに、該原反フィルムの傷を有する端部および欠陥が存在する箇所を含む部分を切断、除去することにより作製された光学フィルムおよびその製造方法である。 （もっと読む）

【課題】管の外周面に形成された凹凸形状や凹み形状などの形状的な外観不良を適切に検出できる外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置１は、管１０の外周面に均一な拡散光を照射する照明装置３と、拡散光の照射により管１０の外周面に形成された陰影の濃淡画像を撮像するカメラ４１とを備えている。またカメラ４１は、その光軸Ｏｃが管１０の軸線Ｏｔに対して斜めに配設されている。管１０は、製造過程において外周面に凹凸形状や凹み形状が形成されることがある。管１０の外周面に均一な拡散光を照射すると、照射面に凹凸形状や凹み形状の陰影の濃淡ができる。管１０の外周面をカメラ４１で撮像すると、拡散光の照射によって形成された陰影の濃淡の鮮明な画像が得られる。 （もっと読む）

【課題】地合ノイズによって誤検出を生じることのない、リング照明装置およびリング照明装置を用いた表面検査装置を提供することを課題とする。
【解決手段】対象物を照射するリング照明装置であって、リング状の光出射部と対象物の中間に、前記光出射部と同心円状で、かつ、前記光出射部より径の小さい光学的な開口部を有する遮光板を備え、対象物に前記光出射部からの直接光が照射されないようにする。 （もっと読む）

【課題】基板パターンの何れか一辺が搬送方向と平行となっている基板の回折光観察において、合焦不良欠陥などの観察方向によって欠陥検出感度が不安定である欠陥に対して、欠陥検出感度を向上させるための基板検査装置および基板検査プログラムを提供すること。
【解決手段】繰返しパターンが表面に形成された基板を搬送する手段と、搬送された基板に対して線状の照明光を照射する手段と、照明された基板の線状領域の画像を撮像する手段と、照射される照明光の照射方向を、搬送される基板の搬送方向と一致する第１の方向と、搬送方向に対して所定の角度を有する第２の方向とで切替える手段と、繰り返しパターンの縦横サイズが縦方向と横方向とで異なる長さである場合、照射方向を第２の方向に切替え、縦横サイズの短い方から発生する回折光が取り込めるように、照射する照明光の照明角度と撮像するための撮像角度とを調整する手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】半導体デバイスの両面解析を簡単に行うことを可能にする。
【解決手段】両面解析評価装置は、一部のモールドを除去することによって半導体チップが露出したパッケージデバイスを固定する装置であり、基板と、基板の所定領域に置かれた前記パッケージデバイスを覆って基板に取り付けられる蓋とを備える。基板は、所定領域に配置されたパッケージデバイスのパッケージから出ている端子と対応する位置に設けられたパッド部と、所定領域において光を透過する透過領域とを備える。蓋は、基板に取り付けられたとき、透過領域に対応する位置に、光を透過する蓋透過領域を備える。蓋透過領域から半導体チップの表面を観察し解析することができる。基板の透過領域から半導体チップの裏面を観察し解析することができる。 （もっと読む）

【課題】スローアウェイチップや棒状切削工具等のワークを効率よく精度良く検査することができる工具欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】ワーク１２をチャック用部材１６により支持する支持装置１８と、ワーク１２の検査面を照明するリング照明３２と、照明されたワーク１２を撮像するカメラ２６を有する。カメラ２６により撮像された画像を表示する表示装置３０と、カメラ２６により撮像されたワーク１２の検査像を画像処理する画像処理装置２８を備える。リング照明３２から照射された照射光を、ワーク１２の検査面の背面側及び周囲で反射させる背面反射板２２を備える。リング照明３２は、ワーク検査面に対して斜め方向から照明光を照射するように設けられ、支持装置１８と背面反射板２２は白色系の同一色に形成されている。画像制御装置２８は、カメラ２６で写したワーク１２の画像を基にワーク１２の輪郭を抽出する抽出処理を行う。 （もっと読む）

【課題】画像検査機における照明装置の劣化や故障を安価に且つ確実に検査することが可能な検査方法を提供する。
【解決手段】照明装置１０と、カメラ２０と、コンピュータ３０とを有する画像検査機１において照明装置１０の検査を行う方法であって、照明装置１０の照明照度を検査するための照明照度検査工程（Ｓ１）と、照明装置１０の照明色を検査するための照明色検査工程（Ｓ２）とを備えている。照明照度検査工程（Ｓ１）と照明色検査工程（Ｓ２）とを任意のタイミングで実施することにより、照明装置１０の劣化等による照明照度及び照明色の変化に起因した画像検査機１における被検査対象物の誤検査を防止して、検査品質の信頼性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】圧延材の先端部が出側ローラに噛み込んだ際であっても表面疵を確実に検知可能な圧延材の表面疵検査方法及び表面疵検査装置を提供する。
【解決手段】圧延材２の先端部が出側ローラ４に達した際に、入側ローラ３の回転数を基に圧延材２の入側搬送速度を求めると共に、出側ローラ４の回転数を基に圧延材２の出側搬送速度を求め、出側ローラ４に設けられた実速度検出部により圧延材２の搬送速度の実績値を求め、出側搬送速度が実績値に近い場合は、出側ローラ４の回転数を基にラインレートを算出し、入側搬送速度が実績値に近い場合は、入側ローラ３の回転数を基にラインレートを算出して、算出されたラインレートをラインセンサカメラ８に適用する。 （もっと読む）

【課題】安価でスループットの高い検査が可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る表面検査装置１は、繰り返しパターンが形成されたウェハ１０の表面に直線偏光Ｌ１を照射する照明光学系３０と、ウェハ１０を保持するアライメントステージ２０と、ウェハ１０の表面からの反射光の像を撮像する撮像光学系４０と、撮像光学系４０により撮像された画像を記憶する画像記憶部５１と、画像記憶部５１に記憶された画像に所定の画像処理を行って繰り返しパターンの欠陥を検出する画像処理部５２と、画像処理部５２による画像処理の結果を出力する処理結果出力部５３とを備え、第２偏光板４３の透過軸の方位が第１偏光板３２の透過軸に対して、４５度以上９０度未満、もしくは９０度より大きく１３５度以下の傾斜角度で傾斜するように設定される。 （もっと読む）

【課題】照射された照射光をより有効に効率的に使用し、以って小形された被検体についても充分採用可能であって充填液中の異物を検出する。
【解決手段】被検体に向けられた照明光が透過するように設けた照明光屈折手段と、検査用のセンサを備え、照明光屈折手段を通過した検査用センサに向かう照明光路上の照明光の透過光による撮映および照明光屈折手段を通過した検査用センサから外れた照明光路上の照明光の反射光による撮映を行う撮像手段と、撮像手段による撮像画像に基づいて充填液中の異物を検出する検出手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】再度精密検査行うという手間を省いて、製造物の欠陥の有無を高速に判別することができるようにすること。
【解決手段】製造物を画像撮影し、欠陥の有無を判定する装置において、製造物を設計したデータから製造物を撮影した際に欠陥がなければ得られるであろう製造所望画像１０１を作成し、その中から特に欠陥が発生しやすい検査部位１０２を選択させ、これに欠陥パターン１０３を上乗せして欠陥パターン付きテンプレート１０４を作成させる。製造物を画像撮影し、欠陥パターン付きテンプレート１０４をテンプレートとしてテンプレートマッチングを行い、マッチングさせた評価値から欠陥の有無を判定する。これにより、評価値から欠陥の有無を直接判定することができ、精密検査を行うことなく、素早く次の同じ型の製造物を検査することができる。 （もっと読む）

フォーカスを維持しながら対象物を順次画像化する装置は、選択可能な画像取得モードを有するカメラと、上記カメラに光学的に接続された対物レンズと、上記対物レンズを通して動作する光学距離センサと、ストロボ照明器と、上記カメラと、上記照明器と、上記距離センサに接続されたコントローラを備えている。上記コントローラは、上記距離センサをシーケンシャルに作動し非作動にし、上記距離センサが非作動状態にある時にのみ、上記画像取得モードの選択と非選択を行ない、上記画像取得モードが作動している時にのみ、上記ストロボ照明器を作動し非作動にする。
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【課題】タイヤ外観検査における画像処理に要する処理時間を大幅に短縮することができ、その結果、必要台数を削減することのできるタイヤ外観検査装置を提供する。
【解決手段】タイヤ外観検査装置２０を、複数のサブプログラムに分割可能な画像処理プログラムを実行するＣＰＵ４を有する画像処理部５と、タイヤＴを操作する機構１１およびタイヤの画像を取得するカメラ１２を有するタイヤ検査機構部１０とを具えて構成し、カメラ１２から取得したタイヤ画像を処理する画像処理プログラムを、複数のサブプログラムに分割可能にするとともに、これらのサブプログラムのうち少なくとも２つを、互いに異なるＣＰＵ４で同時に処理するよう構成する。 （もっと読む）

【課題】周期的なパターンを持つ対象物を撮影する場合、使用するカメラの分解能と対象物のパターン周期の値が近いと、撮影した画像にモアレが見られることがある。画像の不鮮明化をほとんど生じさせることなく、モアレを解消した画像を得る観察方法およびそのモアレを解消した画像を利用する観察装置や欠陥検査装置を提供することを課題とする。
【解決手段】周期的パターンを持つ対象物を撮像することによって周期的パターンの観察を行う観察方法であって、対象物からの入射光を、対象物のパターン周期の概ｎ＋１／２倍（ｎは整数、０を含む）だけシフトさせた半周期シフト画像を取得し、対象物からの入射光を、対象物のパターン周期の概ｍ倍（ｍは整数、０を含む）だけシフトさせた全周期シフト画像を取得し、前記半周期シフト画像と前記全周期シフト画像を重ね合わせた合成画像を観察することで、周期的パターンを持つ対象物を観察する観察方法。 （もっと読む）

【課題】１つの統合ステーションで検査、検証、および修正を行う可能性を提供する自動光学検査、検証、および修正のためのシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】システムは、部品の欠陥の自動光学検査（ＡＯＩ）、検証、および修正のための自動装置と、部品に対してＡＯＩ、検証、および修正のいずれを行うかを選択するように作動するコントローラとを備える。
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【課題】 ローラの表面に強固に付着している異物を除去する。
【解決手段】 回転駆動側と従動側の一対のローラに金属リングを掛け渡し、該一対のローラの離隔距離を調整して前記金属リングに所定のテンションを与えつつ、該テンションを強めることによって前記金属リングの周長を補正する周長補正装置、又は、前記離隔距離を測定して、その計測値から前記金属リングの周長を計算する周長測定装置、又は、前記離隔距離を調整して前記金属リングに所定のテンションを与えつつ、前記金属リングの表面欠陥の有無を検査する表面欠陥検査装置は、前記一対のローラのそれぞれの外周面に接触する刃先を有するスクレーパを備える。 （もっと読む）

【課題】発光ダイオードを用いて移動する対象物上の所定領域の画像を精度よく取得する。
【解決手段】画像取得装置１は、対象物９を連続的に移動するコンベア２、および、コンベア２の上方に設けられたヘッド部３を備える。ヘッド部３は、フラッシュ光を出射するＬＥＤ３１、対象物９にフラッシュ光を導くとともに対象物９からの光が入射する顕微鏡３２、および、顕微鏡３２により所定の倍率で結像された対象物９の像を電気信号に変換する撮像デバイス３３を有する。画像取得装置１では、連続点灯時の許容電流を超える電流がＬＥＤ３１に入力されて、コンベア２により移動する対象物９に対してフラッシュ光が照射され、対象物９上の検査領域の画像が取得される。これにより、ＬＥＤ３１を用いて移動する対象物９上の検査領域の画像を精度よく取得することができる。 （もっと読む）

欠陥の画像を検査システムからデータベースに自動的に送信するシステム及び方法が開示される。その方法は、検査システムにロードされたリソグラフィコンポーネント上の欠陥を特定し、特定された欠陥の画像を捕捉する。オペレータは、特定された欠陥用の欠陥コードの選択を促され、捕捉された画像は、オペレータの欠陥コードの選択に応じて自動的にデータベースに送信される。
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本発明は、印刷機によって製造された印刷物の品質を判定するための方法であって、印刷機は複数の同一の単位印刷物を製造し、製造された単位印刷物から１単位印刷物集合が選択され、選択されたこの集合の単位印刷物は異なったエラータイプの集合に属する少なくとも１つのエラータイプ及び／又は異なったエラー特異性の集合に属する少なくとも１つのエラー特異性に関して判定され、選択された単位印刷物集合内部でこれらの単位印刷物のうちの少なくとも１単位印刷物に検出された一定のエラータイプのエラー又は一定の特異性のエラーは同一の単位印刷物又は選択されたこの集合の別の単位印刷物に検出された別のエラータイプの少なくとも１つのエラー又は別のエラー特異性の少なくとも１つのエラーとの関係で判定され、この判定によって印刷物は良好又は不良として分類され、製造された単位印刷物の選択された集合の単位印刷物につき１つの画像センサを用いて１つの共通の、画像データを生ずる撮影が行われ、相互関係で判定されるべき全てのエラーは同一撮影の画像データから検出されるように構成されている。 （もっと読む）