【課題】検査対象物の部分画像データを検査に用いる場合であっても、検査対象物の特徴部分まで視認することができる画像処理装置、該画像処理装置で実行する画像処理方法及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】検査対象物を撮像する撮像部と、該撮像部で撮像して取得した画像データに対して圧縮処理を実行して圧縮画像データを生成する圧縮処理部と、検査のための画像処理を実行する画像処理部とを備える。画像処理部は、取得した画像データの一部である部分画像データを生成し、画像処理に用いる画像データとして、圧縮画像データ又は部分画像データのいずれかの選択を受け付ける。画像処理部は、選択を受け付けた圧縮画像データ又は部分画像データを用いて、検査のための画像処理を実行する。 （もっと読む）

【課題】全て自動的に周期性パターンの欠陥検査方法および欠陥検査装置を提供すること。
【解決手段】取得した画像データについて濃度比較差分処理と２値化処理を行い、２値化処理工程で得た２値化画像から欠陥のサイズと位置情報を決定することで欠陥点の抽出を行う欠陥抽出処理をこの順に全ての画素について実施する事によって抽出された欠陥について、特定の方向の任意のピッチだけ離れた複数の画素の画像との輝度値を比較し、予め決めた判定基準に従って欠陥の種類である欠陥モードを選別する欠陥選別工程と、前記欠陥選別工程で選別された欠陥ごとに、輝度値の差分をクラス分けする欠陥種別クラス分け工程と、前記欠陥モード別クラス分け工程で得られた全ての欠陥についての判定結果を、予め設定した良否判定基準に従って、良否判定を行う良否判定工程と、から構成されていることを特徴とする周期性パターンの欠陥検査方法および欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】印刷物の欠陥有無の判定を正しく行うことができる検査装置、印刷システムおよび印刷物の検査方法を提供する。
【解決手段】検査装置２００は、複数の印刷物に対応する複数の元画像を画像ＩＤと関連付けて格納する格納部２５０と、印刷物の画像形成に用いた元画像の画像ＩＤを含む排紙画像情報を取得する取得部２６０と、画像形成装置１００から排出された検査対象の印刷物の画像を読み取る読取部２２０と、格納部２５０に格納された複数の元画像のうち、検査対象の印刷物に対応する排紙画像情報に含まれる画像ＩＤに関連付けられた元画像と、読取部２２０が読み取った読取画像とを比較して、検査対象の印刷物の欠陥有無を判定する判定部２４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】半導体基板の欠陥検査において、高精度かつ効率的に、可視光透過性を有する半導体基板の表裏面への焦点位置合せを行うこと。
【解決手段】
半導体基板の欠陥検査装置は、焦点位置合わせマークが表面に形成された可動ステージと、可視光を可動ステージに向けて照射する光源と、可動ステージに対向して設けられた対物レンズと、対物レンズが結像した画像を電気信号に変換する光電変換素子と、焦点位置合わせマークの可動ステージ上の位置および被検査物となる半導体基板の厚さが登録され、可動ステージと対物レンズの位置関係を制御する制御装置を備えている。制御装置は、登録された焦点位置合わせマークを基準にして半導体基板の裏面側の焦点位置合わせを行い、登録された半導体基板の厚さを基準にして半導体基板の表面側の焦点位置合わせを行う。 （もっと読む）

【課題】虚報を多発させることなく，システマティック欠陥を検出する半導体パターン検査装置を提供する。
【解決手段】検査に先立ち，前準備として，少数の実画像101と対応する設計データ102から，特徴量算出部でそれぞれのパターンの特徴を表す特徴量を算出し(106a，106b），これと，欠陥座標が指定された教示データ103とから，正常と欠陥を識別するルールである識別境界を識別境界算出部で算出する(107)。検査時には，検査対象の実画像104と，設計データ105から106a，106bと同様にして特徴量を算出し(108a，108b)，これらに対し，検査前準備にて算出した識別境界107を適用することにより，欠陥判定部で欠陥判定109を行う。 （もっと読む）

【課題】透過率が高い導電性透明電極パターンや微細な金属配線のパターンを、インライン検査で行うための検査システムを提供する。
【解決手段】検査ワーク１１を第１の方向Ｘに搬送するワーク搬送装置２０と、検査ワーク上に形成されたパターンの光学情報を取得する撮像装置３０と、第１の方向と直交する第２の方向Ｙに撮像装置を移動させる移動装置４０と、ワーク搬送装置、撮像装置及び移動装置を制御するとともに、光学情報に基づいてパターンを検査する制御部５０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物が大きくなっても、同じ撮像条件で得られた画像情報に基づいて膜厚むらの検査ができ、微妙な膜厚むらに対しても精度の高い検査ができる装置を提供する。
【解決手段】表面に皮膜が形成された検査対象物１０の、皮膜形成面の少なくとも一部を撮像し、得られた画像情報に基づいて検査対象物上の皮膜の膜厚むらを検査する膜厚むら検査装置であって、検査対象物又は撮像部４の少なくとも一方を移動させる移動部２と、移動中に撮像部で撮像された所定範囲の画像を移動位置毎に移動位置情報を付加して登録する画像登録部と、移動位置情報が付加された所定範囲の画像を移動位置の順に並べ全体画像として合成する画像合成部と、合成された全体画像の画像情報に基づいて検査対象物の色むらを検出する色むら検出部とを具備し、撮像部で撮像された画像の所定範囲は、撮像部に対して同じ角度で観察された範囲であることを特徴とする膜厚むら検査装置。 （もっと読む）

【課題】従来の標高計算は局所領域のミスマッチングによる誤差が生じ、精度の高い標高情報が得られず、多大な処理時間がかかるという問題点がある。
【解決手段】カラーフィルタ基板上の局所領域の標高をステレオ方式で算出し欠陥判定をする欠陥検査方法において、ステレオ画像の一方の撮像画像である基本画像から局所領域を検出する工程、ステレオ画像の他方の撮像画像であって局所領域を含む参照画像を取得する工程、局所領域を含むマッチング領域をステレオ画像から選定する工程、マッチング領域から基準マークとなる部位を選定する工程、局所領域を鮮明化する工程、鮮明化された局所領域の中心座標を求め、基準マークからの距離を算出する工程、基本画像と参照画像における局所領域間の視差を求める工程、局所領域の標高を算出する工程、とを含むことを特徴とするカラーフィルタ基板の欠陥検査方法。 （もっと読む）

【目的】インテグレータレンズによって形成される複数の集光点に起因した光学素子の劣化を回避可能な検査装置を提供することを目的とする。
【構成】パターン検査装置１００は、レーザ光を発生する光源１０３と、レーザ光を入射し、入射されたレーザ光を分割して光源群を形成するインテグレータレンズ２０６と、インテグレータレンズの入射面の手前に配置され、インテグレータレンズに入射するレーザ光を散乱させる散乱板２０４と、インテグレータレンズを通過したレーザ光を照明光として用いて、複数の図形パターンが形成された被検査試料におけるパターンの欠陥を検査する検査部１５０と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】特定の織物パターンがタイル状に敷き詰められた構造を有する複雑な地合の織物画像に含まれる微小欠陥を検出する。
【解決手段】検査対象となる織物に含まれる欠陥を検出する方法であって、織物の画像を取得する画像取得工程Ｓ１０と、画像取得工程Ｓ１０で取得した取得画像に基づいて比較用正常パターンを含む参照画像を生成する参照画像生成工程Ｓ２０と、参照画像生成工程Ｓ２０で生成した参照画像と画像取得工程Ｓ１０で取得した取得画像との双方にウェーブレット変換を施す画像変換工程Ｓ３０と、画像変換工程Ｓ３０によるウェーブレット変換後の参照画像と取得画像とを比較する画像比較工程Ｓ４０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】加工面の鋳巣の寸法計測に役立つ鋳巣の範囲を精度よく判定できる加工面欠陥判定方法及び信頼性の高い加工面品質検査方法を提供する。
【解決手段】２値化、輝度傾き抽出の処理ステップ１０２，１０３で加工面の原画像の２値化画像、輝度傾き抽出画像を得る。両画像を重ね合わせ処理ステップ１０５で重ね合わせて作成した欠陥検出用画像から鋳巣判定処理ステップで加工面の鋳巣の範囲を判定する。鋳巣判定処理ステップ１０６では、２値化画像中の鋳巣部分が拡大処理された２値化画像と輝度傾き抽出画像との論理積をとり、得られた鋳巣〔輝度傾き抽出画像における鋳巣（エッジの範囲）〕の範囲を判定結果として、２値化処理の閾値の高低に拘わらず精度のよい鋳巣範囲の判定を可能とした。同欠陥判定方法を品質検査方法に適用した。 （もっと読む）

【課題】研磨部及び再研磨部の仕上がり具合を簡単な手法で定量的に評価できる金属板の外観評価方法を提供する。
【解決手段】この金属板の外観評価方法では、金属板１の表面のデジタル画像１０をスキャナ４によって取得し、デジタル画像１０の一部画像１１に含まれる各ピクセルのＲＧＢ値をグレースケール変換して得られるＡｃ値の波形パターンに基づいて研磨部２及び再研磨部３の外観の可否を判断する。波形パターンを用いることで、研磨部２及び再研磨部３の外観を容易かつ定量的に判断できる。また、この方法では、波形パターンに基づいて、研磨部２及び再研磨部３の研磨方向がスキャナ４の走査方向と一致しているデジタル画像１０を判断対象として選別する。この前処理により、外観判断工程で用いる波形パターンのＳ／Ｎ比が向上し、判断精度が高められる。 （もっと読む）

【課題】連続して発生するガラス欠陥の検査において、必要な検査精度を確保したまま検査速度を高め、さらに、装置構成を複雑にせず装置コストを抑えた板ガラス検査装置を提供する。
【解決手段】複数の板ガラスを検査する板ガラス検査装置であって、第１板ガラスの欠陥候補範囲と、前記第１板ガラスとは異なる第２板ガラスの欠陥候補範囲とを検出する検出部１１０と、前記第１板ガラスの欠陥候補範囲の位置と、前記第２板ガラスの欠陥候補範囲の位置とを比較し、前記比較の結果に基づいて、前記第１板ガラスと前記第２板ガラスとに連続する欠陥の有無を判定する判定部１２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 微小細粒（タガント）を付与した物品の真贋判定を行う際に、撮影画像に含まれるタガントがコピーや印刷等によって付与されたものでないことを明確に区別して、真贋判定を効率よく行うことが可能な真贋判定装置等を提供する。
【解決手段】 個々の物品１の基材１１上に、基材とは異なる光学反射特性を有するタガント１２をランダムに配置しておく。物品１に対して異なる方向から光を照射し、複数枚の画像を撮影する。撮影された複数枚の画像の差分を抽出することによりタガント１２に影９が生じているか否かを判断する。影９が生じている場合は、真の物品であると判断する。これによりカラーコピーされたタガントでないことを効率よく判断できる。 （もっと読む）

【課題】本実施形態では、検査対象物が各種のものであっても、柔軟に対応して検査目的を達成できる表面パターンの検出方法及び装置を提供する。
【解決手段】この実施例では、予め撮像した参照用検査対象物の撮像信号に基づく参照用パターンデータを用意し、検査用対象物を撮像した撮像信号に基づくリアル撮像パターンデータを取得し、前記リアル撮像パターンデータを前記検査用対象物のリアル速度情報に基づき圧縮及び又は伸張して修正パターンデータを生成し、前記修正パターンデータと前記参照用パターンデータを比較して、類似か非類似を判定し、判定結果を示す信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】 すき入れ及び紙端を鮮明に撮像し、すき入れが形成された位置をばらつきが生じることなく高い精度で測定する検査方法を提供する。
【解決手段】 あらかじめ各照明の点灯及び消灯タイミングを設定した後、ラインカメラにおいて紙端及びすき入れを個々に撮像して１つの検査画像を取得し、検査画像から紙端及びすき入れを示す座標を検出して紙端の座標からすき入れの座標までの距離を算出した後、算出した各座標間の距離が許容範囲か否かを判定してすき入れが形成された位置の合否判定を行う。 （もっと読む）

【課題】ＴＦＴ基板の材質に依らず、配線やガラスなどのパターン材質の差異を、明瞭に顕在化する欠陥検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】ＴＦＴ基板の配線を通電することにより発熱する短絡欠陥を赤外カメラで検出する欠陥検査装置であって、ＴＦＴ基板に赤外線を照射する赤外線源と、ＴＦＴ基板の基準画像を保持する記憶部と、前記赤外カメラで得られた赤外画像と前記基準画像とのマッチングを行う画像処理部とを備え、前記赤外線源は、前記ＴＦＴ基板から見て前記赤外カメラと同じ側に設置されることを特徴とする欠陥検査装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】様々な形のトレイに対応可能であり、且つ、トレイ上の物品の適否の検出精度が向上する検査装置、検査方法および検査プログラムを提供することを課題とする。
【解決手段】物品を載せたトレイを検査する検査装置であって、検査対象のトレイを映した検査画像のデータを取得すると、記憶媒体に格納されている画像のデータであって、物品を適正に載置したトレイを映した第一の画像のデータと、物品を載置していないトレイを映した第二の画像のデータとにアクセスして、前記第一の画像のデータに対する前記検査画像のデータの近似度と前記第二の画像のデータに対する前記検査画像のデータの近似度とをそれぞれ算出し、算出した各近似度に基づいて前記トレイに載っている物品の有無および適否の少なくとも何れかを判定する判定処理部を備える。 （もっと読む）

【課題】適合度の高いマスタデータを簡単に作成することができる基板検査用マスタデータ作成方法を提供することを課題とする。
【解決手段】基板検査用マスタデータ作成方法は、部品Ｐａ１〜Ｐａ８を実装した基板Ｂを検査する際に用いられ、複数の部品Ｐａ１〜Ｐａ８に対して共用されるマスタデータＬ１〜Ｌ４を作成するデータ作成工程と、基板Ｂを検査して、作成したマスタデータＬ１〜Ｌ４の妥当性を検証する検証工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】表面に微小凹凸を有する加工品においても、バリ等の欠陥を正確に識別できる検査方法を提供する。
【解決手段】検査装置１は、検査台上に固定された被検査体１０を撮影するＣＣＤカメラ２、ＣＣＤカメラ２で撮影した画像を取り込んで記憶し、記憶した画像を解析する画像解析装置３、ＣＣＤカメラ２の同軸上に配置された落斜照明４、被検査体１０にエアを吹き付けるエアブロー装置５を有している。加工品１０にエアを吹き付けながら撮影したエアブロー中画像と、前記加工品１０にエアを吹き付けずに撮影したエア無し画像とを比較し、エア吹き付けによる形態変化に基づいて欠陥を検出する。 （もっと読む）