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Fターム[2G051FA00]の内容

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【課題】周期性のあるパターン、特に、LCD製造用フォトマスクのような基板において、回折光量差によるコントラストからパターン変動発生箇所を精度良く識別し、かつ、その変動発生周期を簡便に導出することによって、むら検査を実施することができるむら検査装置、むら検査方法およびむら判定方法を提供することを課題とする。
【解決手段】回折光量差によるコントラストからパターン変動発生箇所を精度良く識別し、かつ、その変動発生周期を簡便に導出することによってむら検査を実施することができる検査装置およびむら検査方法。 (もっと読む)


【課題】被検査体の検査効率を低下させることなく異なる角度の走査画像を取得し、欠陥判定の精度を高める表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置は、被検査体の軸に沿って導かれたレーザ光を反射するミラー手段と、ミラー手段によって反射され、被検査体の内側表面に印加されて反射されたレーザ光を受光する受光手段と、ミラー手段を被検査体の軸と同軸で回転させて周方向走査を行う周方向走査手段と、ミラー手段を被検査体の軸に沿って移動して軸方向走査を行う軸方向走査手段と、ミラー手段の被検査体の軸に対する反射角度を変更する反射角度変更手段とを備えている。 (もっと読む)


【課題】多重解像度解析により物体検出を行う際に用いる画像処理フィルタのパラメータを、操作者による最適パラメータの指定を要さずに最適化して、精度よく物体を検出することができる物体検出装置を提供する。
【解決手段】物体検出装置は、候補フィルタを記憶する候補フィルタ記憶部と、候補フィルタで多重解像度の学習用サンプル画像の各解像度画像を走査する候補フィルタ走査部と、候補フィルタ走査部による走査の結果を用いて学習用サンプル画像の各解像度画像の走査結果についての競合学習を行う競合学習部と、候補フィルタを、競合学習部による競合学習の結果において極値を示した学習用サンプル画像の解像度の最適フィルタに決定する最適フィルタ判定部と、多重解像度の被験対象画像を最適フィルタで画像処理して被験対象画像に含まれる物体を検出する物体検出部と、を有する。 (もっと読む)


【課題】
被検査面が円筒側面形で鏡面反射性を有し、円筒中心軸に対して回転する前記被検査面に対応する曲率および前記被検査面の位置の少なくとも一方が経時的に変化する被検査体表面に発生する微小な凹凸欠点を精度よく検出できないという問題点を解決する。
【解決手段】
被検査体に明暗パターンの光を照射する光照射手段と、前記被検査体から反射した前記明暗パターンを撮像する撮像手段と、前記撮像手段で撮像した前記明暗パターンを含む撮像画像に基づいて前記被検査体の表面を検査するデータ処理手段とを備える表面検査装置であって、データ処理手段が、撮像手段により連続で撮像された2枚の画像から、各画像内の明暗パターン領域を比較することにより、微小な凹凸欠点を高精度に検出できる。 (もっと読む)


【課題】
欠陥の種類を正確に判別することができる欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】
被検査体を撮像して得られる画像データに基づいて欠陥を検査する方法であって、
被検査体に対して複数の種粳の画像データを取り込み、
これら複数の種類の画像データのそれぞれについて欠陥の検出を行い、
1つの欠陥に対して欠陥を検出した画像データの組み合わせに応じて、その欠陥の種類を判別することを特徴とする、欠陥検査方法。 (もっと読む)


【課題】便器におけるトラップがある場合でも円滑に通過可能であり、流路の詰まり状況の確認や検査作業に最適な使い勝手の良いトイレ用内視鏡装置を提供することにある。
【解決手段】ケーブル線10の先端にカメラ21と照明用光源を内装したカメラヘッド15を取り付け、カメラ21により便器に接続される排水管の内部を撮影した画像が表示されるモニター本体1をケーブル線の後端に接続すると共にカメラヘッドとモニター本体とを接続する電線23をケーブル線に内装するように設けたトイレ用内視鏡装置Sであって、
ケーブル線10は、モニター本体1に着脱可能に設けた所定長さの密着巻きのコイルバネ11を用いると共に当該コイルバネ11の先端部11aと後端部11bを密着巻きにしないで隙間11cを生ずるように形成して柔軟性を有するようにした。 (もっと読む)


【課題】近赤外光の撮像が可能な簡便な近赤外撮影装置を提供すること、及び既存のデジタル画像撮影装置を用いた近赤外撮影機構を提供すること。
【解決手段】波長が900nmないし1000nmの範囲内で所定の波長の近赤外線を発する発光ダイオードを単数又は複数備えるLED光源手段14と、LED光源手段14が照射する被写体からの反射光のうち波長が900nmより短い成分を遮断するフィルタ手段16と、フィルタ手段16を透過した反射光を撮像し、波長1000nmないし1100nmを感度限界とする分光特性を有する可視光用イメージセンサを備える撮像手段12と、撮像手段の出力を画像表示する画像表示手段13と該各手段で必要な電力を供給する電源手段とを一体的に組み合わせて小型カメラ形状に構成する。 (もっと読む)


【課題】被写体の周期的な動きを撮影し、その各周期の動きを評価しながら、通常とは異なる画像のみを記録可能とする。
【解決手段】画像取得手段で取得した入力動画像を保持する一次記憶手段53と、被写体の基準となる動きを表す、基準動きパターンを取得する基準動きパターン取得手段37と、入力動画像の各フレームを、基準動きパターンの各フレームから計算される評価用データと比較することで、入力動画像と基準動きパターン同士の各フレームの異常度を算出し、これに基づいて入力動画像と基準動きパターン同士の全体の異常度を演算する異常度解析手段38と、異常度解析手段38で演算された異常度に基づき、異常度の高いフレームから順に一次記憶手段53に残し、一次記憶手段53の空きがなくなったら異常度の低いフレームから順に削除する保存画像抽出手段36とを備える。 (もっと読む)


【課題】簡易な構成で素材、板厚、端面の状態等を含めたガラス基板等の状態の検査を行うことが可能なガラス基板検査装置及びガラス基板製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】画像データを解析する解析手段を有し、前記解析手段は、前記画像データから特定の色の画像データを抽出する色抽出手段と、前記色抽出手段により抽出された前記特定の色の画像データを含む第一の所定領域の画像データの色の変化に基づき前記ガラス基板の端面に対する加工が行われているか否かを検出する端面状態検出手段と、
を有する。 (もっと読む)


【課題】散乱体が一定の波長分布の電磁波を受けた際の立体的な散乱分布から、その散乱体の物性を測定する散乱体物性測定装置を提供する。
【解決手段】試料載置台に測定すべき散乱体を置き、該電磁波を前記焦点を中心とする仮想球面の、一以上の任意の方向、及び、一以上の連続する方向の、少なくともいずれかの方向から前記散乱体に照射し、その際に該散乱体で散乱されて前記放物面鏡または放物面スクリーンに反射または投影された散乱波を 平面的な撮像データとして前記撮像手段で撮像し、こうして得られた撮像データから、該散乱体から発生する散乱波の立体的な分布を得て、その結果から該散乱体の物性を測定する場合に、前記散乱波を前記散乱体を中心とする仮想球面の中心軸を含む断面上の円弧の3π/4ラジアンより小さい範囲内に渡って撮像する。 (もっと読む)


【課題】診断対象部位からレプリカを採取する必要がなく、現場で簡単かつ短時間に金属組織を観察することができる材料組織観察装置を提供すること。
【解決手段】本発明の材料組織観察装置は、画像データ上の結晶粒界を画定する境界線の内部に最初の位置である中心点を指定する中心線指定手段と、上記中心点を含む閉曲線を境界線の近傍に設定する閉曲線設定手段と、上記閉曲線近傍の画像データの濃淡情報に基づいて閉曲線を変形する閉曲線変形手段と、変形した閉曲線が画像データ上の結晶粒界を画定する境界線のすべてと重なった場合に当該閉曲線を結晶粒界とする結晶粒界決定手段と、結晶粒界決定手段により決定された結晶粒界から結晶粒の変形度を求める第一演算処理手段と、記憶手段に予め記憶された同一材料のクリープ損傷度と結晶粒の変形度との検定曲線に基づいて第一演算処理手段で求めた結晶粒の変形度からクリープ損傷度を求める第二演算処理手段を有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】表面粗さの粗い被検査対象物においても、凹凸が数μm程度の微小凹凸性疵を確実に検出できる装置及び方法を提供する。
【解決手段】鋼板表面に波長が10.6μm以上の光を照射する光源4と、前記鋼板表面の微小凹凸疵の各点から鏡面反射された光の集束によって得られる明点に基づいて凹欠陥を、前記鋼板表面の微小凹凸疵の各点から鏡面反射された光の発散によって得られる暗点に基づいて凸欠陥を検出する検出系6,7とを有する。 (もっと読む)


本発明は、基体30が、流体または流体に含まれる成分の流れが第一面から第二面に通ることを防ぐように適合されている第一面および第二面を有する基体30中の漏れの位置を捜しあてる方法、およびこの方法に有用なシステム10を対象とし、ここで方法はa)第一面を第二面から離し;b)第一面と第二面との間に圧力差をつくり、ここで第一面上の圧力は第二面上の圧力より高く;c)第二面または基体30を含むデバイス11の出口32をバッフル23と接触させ、ここでバッフル23はパターンを形成する複数の相互連結部を有し、そしてバッフル23は基体30の第二面または基体30が配置されたデバイスの流体出口32を覆うために十分なサイズであり、そしてバッフル23のパーツは粒子33が通過できる開口を作成し;d)バッフル23の表面を拡散光源24からの光に暴露し;e)基体30の第一側を、基体30が基体30の第一面に保持するように設計されている粒子サイズの粒子33を含有する運搬流体と接触させ;f)基体30を通過した粒子33により散乱された光について、バッフル23の表面上の空間をモニタリングすることを含んでなる。
(もっと読む)


【課題】 照明系や受光系を構成する光学素子(凹面鏡)の検査精度を向上させることができる表面検査装置を提供する。
【解決手段】 ウェハWの表面を検査するための表面検査装置であって、ウェハWを支持するステージ10と、ウェハWを検査するための光を射出する光源22と、ステージ10に支持されたウェハWの表面を光源22からの光で照明する照明系20と、照明されたウェハWの表面からの光を所定の撮像面上に結像させる受光系30と、前記撮像面上に結像した像を撮像する撮像部32と、撮像部32で撮像された像に基づいてウェハW表面の検査を行う検査部(画像処理部45、中央制御部50及び表示部60)と、照明系20を構成する照明側凹面鏡26及び受光系30を構成する受光側凹面鏡31の少なくとも一方を観察する観察部40とを有する。 (もっと読む)


【課題】打痕検査に要する手間や時間を低減すること。
【解決手段】打痕検査装置100は、炉底管910の一部を覆うと共に炉底管910の表面に付着している付着物を炉底管910の表面から剥離させるデスケーラー部200と、炉底管910の一部を覆うと共に炉底管910の表面から剥離された付着物を取り除いて清掃する清掃部300と、炉底管910に沿って移動しながら清掃部300によって清掃された炉底管910の表面に、表面から凹んだ打痕があるか否かを検査する打痕検査部400と、を含んで構成される。 (もっと読む)


【課題】カラーレジストに感光作用を及ぼすことなく、カラーレジストの塗布状態の撮像、検査が可能なカラーレジスト塗布ムラ検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】すくなくとも、可視光に受光感度を有する撮像部20と、可視光を照射できる照明部10と、撮像側バンドパスフィルター40と、照明側バンドパスフィルター30と、前記撮像部20から取り込んだ画像からカラーレジスト塗布ムラを抽出、判定するための演算機能を有する画像解析部60と、判定された結果及びムラ画像を表示する表示部70とから構成されていることを特徴とするカラーレジスト塗布ムラ検査装置である。 (もっと読む)


【課題】装置全体をコンパクト化して、取り扱いを容易化するとともに、構成の簡素化と動作の安定化並びにローコスト化が図れる押し込み型管内検査カメラ装置を提供する。
【解決手段】有底筒状の本体フレーム11に、内周部を巻枠とするハードケーブル12の巻枠部11aを設け、本体フレーム11の内底面11cの巻枠部11aで囲われた中央部分に設けた空きスペース11sに、表示モニタ15を固定して設けた。 (もっと読む)


【課題】マスクの欠陥のレビュー時間を短縮可能なマスク欠陥レビュー方法及びマスク欠陥レビュー装置を提供する。
【解決手段】検査結果である複数の欠陥からレビューする欠陥を選択する(S102)。選択された欠陥が設計データ上で繰り返し表現されたパターンの欠陥である場合、設計データ上で繰り返し表現された他のパターンを抽出し(S106)、他のパターンにある欠陥を抽出する(S108)。選択された欠陥の周辺パターンと、抽出された欠陥の周辺パターンとを抽出し(S110)、抽出した周辺パターンが相互に類似するか否かを判別する(S112)。周辺パターンが相互に類似する場合、選択された欠陥と、抽出された欠陥とをグループ化する(S114)。選択された欠陥が実欠陥か擬似欠陥かを判定し(S128)、その判定結果をグループ化された他の欠陥に適用する(S130)。 (もっと読む)


【課題】高精度の検査を実現する。
【解決手段】画像検査装置は、予め良品と判定された検査対象の正常画像を基準画像として採用する基準画像作成部402と、基準画像の各画素の輝度値に予め設定された上限閾値を加算して上限閾値画像を作成すると共に、基準画像の各画素の輝度値に予め設定された下限閾値を加算して下限閾値画像を作成する閾値画像作成部404と、検査対象を撮影するCCDカメラ3と、検査対象を撮影して得られた検査画像と上限閾値画像および下限閾値画像とを画素毎に比較して検査対象の良否判定を行う検査手段(位置合わせ部406、膨張収縮処理部407、欠陥箇所抽出部408、判定部409)とを備える。 (もっと読む)


【課題】電気的な画像反転装置を使用することなく正像を得ることができ、また被写体とカメラの距離を離すことなく燃料集合体および内挿物の両方にフォーカスすることができ、効率的に外観検査を行うことができる燃料集合体の外観検査装置を提供する。
【解決手段】被写体からの光線を反射鏡により反射させた後、カメラヘッドに入射させて前記被写体を撮像する燃料集合体の外観検査装置であって、反射鏡として第1反射鏡および第2反射鏡の2枚の反射鏡を有し、被写体からの光線を前記第1反射鏡により反射させ、その後第2反射鏡により反射させた後、カメラヘッドに入射させて被写体を撮像する燃料集合体の外観検査装置。 (もっと読む)


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